JP6507779B2 - 電気光学装置、電気光学装置の製造方法、および電子機器 - Google Patents
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Description
(電子機器としての投射型表示装置)
図1は、本発明を適用した電子機器としての投射型表示装置の光学系を示す模式図である。図1に示す投射型表示装置1000は、光源部1002と、光源部1002から出射された光を画像情報に応じて変調する電気光学装置100と、電気光学装置100で変調された光を投射画像としてスクリーン等の被投射物1100に投射する投射光学系1004とを有している。光源部1002は、光源1020と、カラーフィルター1030とを備えている。光源1020は白色光を出射し、カラーフィルター1030は、回転に伴って各色の光を出射し、電気光学装置100は、カラーフィルター1030の回転に同期したタイミングで、入射した光を変調する。なお、カラーフィルター1030に代えて、光源1020から出射された光を各色の光に変換する蛍光体基板を用いてもよい。また、各色の光毎に光源部1002および電気光学装置100を設けてもよい。
図2は、本発明を適用した電気光学装置100の基本構成を模式的に示す説明図であり、図2(a)、(b)は各々、電気光学装置100の要部を示す説明図、および電気光学装置100の要部の分解斜視図である。図3は、本発明を適用した電気光学装置100の要部におけるA−A′断面を模式的に示す説明図であり、図3(a)、(b)は各々、ミラーが一方側に傾いた状態を模式的に示す説明図、およびミラーが他方側に傾いた状態を模式的に示す説明図である。
図4は、本発明の実施の形態1に係る電気光学装置100の説明図であり、図4(a)、(b)、(c)は各々、電気光学装置100全体の断面図、ミラー50の周辺を拡大して示す断面図、およびリード端子の説明図である。
このように構成した電気光学装置100において、ミラー50に向けて照射された光が原因で透光性カバー71や素子基板1が温度上昇することがある。そこで、本形態では、まず、透光性カバー71に対して赤外線カットフィルター79が設けられている。本形態において、赤外線カットフィルター79は、透光性カバー71に対して積層された誘電体多層膜等の膜からなる。かかる赤外線カットフィルター79は、赤外域の光を反射して赤外線の透過量を低減するのに対して、可視光に対する反射率が極めて小さい。
本形態の電気光学装置100において、基板90から外側に向けて、基板90の外部金属層96に導通するリード端子40が複数、延在しており、かかるリード端子40は、リード端子40の第2接続部44を基板90から離間させる方向に屈曲した屈曲部42を有している。より具体的には、リード端子40は、基板90の外部金属層96に接続された第1接続部41と、屈曲部42によって第1接続部41の端部から斜めに延在する中間部43と、中間部43の端部で外側に折れ曲がって第1接続部41と平行な先端部からなる第2接続部44とを有している。従って、図1に示す投射型表示装置1000に設けられた回路基板150の電極155にリード端子40の第2接続部44(先端部)をハンダ等によって接続した際、基板90が回路基板150から離間した状態になるので、基板90と回路基板150との間には空間が介在する。従って、基板90と回路基板150との間に、矢印Hで示す空気等の流体を通すことにより、電気光学装置100からの放熱性を高めることができる。従って、素子基板1等では、温度上昇が発生しにくい。それ故、素子基板1等の温度上昇に起因する電気光学装置100の誤動作や寿命低下を抑制することができる。
本形態の電気光学装置100において、基板90の底板部91の素子基板1とは反対側の外面91tには放熱器120が取り付けられている。本形態において、放熱器120は、ブロック121から基板90とは反対側に複数枚の放熱フィン122が突出したヒートシンクであり、ヒートシンクは、アルミニウムや銅等の金属製である。
図5〜図9を参照して、本形態の電気光学装置100の製造方法を説明する。図5は、本発明の実施の形態1に係る電気光学装置100の製造工程のうち、大型のウエハーから単品サイズの複数の積層体を得る方法を示す工程断面図である。図6は、本発明の実施の形態1に係る電気光学装置100の製造に用いた第2ウエハー20等の製造方法を示す工程図であり、図6には、各工程におけるウエハーの平面図を示すとともに、平面図の下段には切断端面図を示してある。図7は、本発明の実施の形態1に係る電気光学装置100の製造工程において基板90および封止樹脂98によって素子基板1を封止する工程を示す工程断面図である。図8は、本発明の実施の形態1に係る電気光学装置100の製造工程で用いたリードフレーム等の説明図である。図9は、本発明の実施の形態1に係る電気光学装置100の製造工程でリード端子40を形成する方法を示す工程断面図である。なお、図6(b)ではミラー等の図示を省略し、図5では、図4と比べてミラー50の数を減らして3つのミラー50が1枚の素子基板1に形成されるものとして示してある。
図10は、本発明の実施の形態2に係る電気光学装置100の断面図である。なお、本形態の基本的な構成は、実施の形態1と同様であるため、共通する部分には同一の符号を付してそれらの説明を省略する。
上記実施の形態では、透光性カバー71のミラー50と対向する面71sに赤外線カットフィルター79を積層したが、透光性カバー71のミラー50と対向する面とは反対側の面71tに赤外線カットフィルター79を積層してもよい。また、透光性カバー71の面71s、および面71tの双方に赤外線カットフィルター79を積層してもよい。また、上記実施の形態では、透光性カバー71に赤外線カットフィルター79を積層したが、透光性カバー71と赤外線カットフィルター79との間に間隔を設けて、透光性カバー71と赤外線カットフィルター79とを重ねて配置してもよい。
Claims (10)
- 素子基板と、
前記素子基板の第1面側に設けられたミラーと、
前記ミラーを駆動する駆動素子と、
透光性カバーを有する封止部材であって、前記ミラーが前記透光性カバーと前記素子基板との間に位置するように設けられた前記封止部材と、
前記透光性カバーに設けられた赤外線カットフィルターと、
前記素子基板が搭載された基板と、
を有し、
前記基板から外側にリード端子が延在しており、
前記リード端子は、前記リード端子の先端部を前記基板から離間させる方向に屈曲した屈曲部を有し、
前記リード端子は、前記リード端子の延在方向に対して交差する方向に突出した凸部を備えていることを特徴とする電気光学装置。 - 請求項1に記載の電気光学装置において、
前記赤外線カットフィルターは、前記透光性カバーの前記ミラーと対向する第2面、および前記透光性カバーの前記第2面とは反対側の第3面の少なくとも一方に積層された膜からなることを特徴とする電気光学装置。 - 請求項1または2に記載の電気光学装置において、
前記基板の前記素子基板とは反対側の面に放熱器が設けられていることを特徴とする電気光学装置。 - 請求項3に記載の電気光学装置において、
前記放熱器は、放熱フィンを備えたヒートシンクであることを特徴とする電気光学装置。 - 素子基板と、
前記素子基板の第1面側に設けられたミラーと、
前記ミラーを駆動する駆動素子と、
透光性カバーを有する封止部材であって、前記ミラーが前記透光性カバーと前記素子基板との間に位置するように設けられた前記封止部材と、
前記透光性カバーに設けられた赤外線カットフィルターと、
前記素子基板が搭載された基板と、
を有し、
前記基板から外側にリード端子が延在しており、
前記リード端子は、前記リード端子の先端部を前記基板から離間させる方向に屈曲した屈曲部を有し、
前記封止部材は、前記素子基板と前記透光性カバーとの間で前記ミラーが形成されている領域を囲むスペーサーを含み、
前記素子基板は、前記基板に形成された凹状の基板実装部の内側に収容され、
前記基板実装部の内側には、前記スペーサーの周りを封止する封止樹脂が設けられていることを特徴とする電気光学装置。 - 素子基板と、
前記素子基板の第1面側に設けられたミラーと、
前記ミラーを駆動する駆動素子と、
透光性カバーを有する封止部材であって、前記ミラーが前記透光性カバーと前記素子基板との間に位置するように設けられた前記封止部材と、
前記透光性カバーに設けられた赤外線カットフィルターと、
前記素子基板が搭載された基板と、
を有し、
前記基板から外側にリード端子が延在しており、
前記リード端子は、前記リード端子の先端部を前記基板から離間させる方向に屈曲した屈曲部を有し、
前記素子基板は、前記基板に形成された凹状の基板実装部の内側に収容され、
前記基板実装部の開口端は、前記基板に固定された前記透光性カバーによって塞がれていることを特徴とする電気光学装置。 - 請求項6に記載の電気光学装置において、
前記透光性カバーは、前記基板に封止用ガラスによって固定されていることを特徴とする電気光学装置。 - ミラー、前記ミラーを駆動する駆動素子、および端子が設けられた第1ウエハーを用意する第1ウエハー準備工程と、
底部が透光性の凹部、および前記凹部と重なる赤外線カットフィルターが設けられた第2ウエハーを形成する第2ウエハー形成工程と、
前記ミラーと前記凹部が平面視で重なるように前記第1ウエハーの前記ミラーが設けられている側の面と前記第2ウエハーの前記凹部が設けられている面とを接着する接着工程と、
前記第1ウエハーと前記第2ウエハーを分割する分割工程と、
を有することを特徴とする電気光学装置の製造方法。 - 請求項8記載の電気光学装置の製造方法において、
前記第2ウエハー形成工程では、
透光性ウエハーに前記赤外線カットフィルターを成膜する工程と、
スペーサー用ウエハーに貫通穴を形成する工程と、
前記透光性ウエハーと前記スペーサー用ウエハーとを重ねて接着して前記第2ウエハーを得る工程と、
を行うことを特徴とする電気光学装置の製造方法。 - 請求項1乃至7の何れか一項に記載の電気光学装置を備えた電子機器であって、
前記ミラーに光源光を照射する光源部を有することを特徴とする電子機器。
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