JP4885942B2 - 光学的三角測量を利用した光学測定装置 - Google Patents
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Description
2つの光ビームを第1の波長範囲と第2の波長範囲で放射するのに適した発光体手段と、
入射光ビームのそれぞれを2つの波長範囲に関してそれぞれ2つの異なる方向に向けるのに適した光学スプリッタであって、基準面および被検査面に対して側方に配置され、それにより、2つの出力ビームが実質的に同一長さの経路に沿ってそれぞれ基準面および被検査面に向けられ、その後に互いに集光するようにこれらの面でそれぞれ反射される光学スプリッタと、
同一の入射ビームによってもたらされた2つの反射ビームを集め、これらのビームを1つの同一の光学的出力経路に沿って交互に向けて出力するのに適した光学ビーム結合器と、
前記出力されたビームのそれぞれを受光する、
・基準面と被測定面とによってそれぞれ反射された2つのビームによって形成される2つの光の像(例えば、光スポット状の)を受光するように設置され、かつ
・2つの光の像のそれぞれのエネルギー重心の位置を表す出力信号を発生するのに適したオプトエレクトロニクスセンサ
を備えたセンサ手段と、
基準面に対する被測定面の位置および傾きに関する情報を提供するために、オプトエレクトロニクスセンサで発生した信号の全てを処理する手段と、
を備える装置において、
a)発光体手段は、2つの光ビームを所定の繰り返し周波数で交互に放射するように構成され、
b)光学ビーム結合器は、反射したビームを交互に向け、
c)オプトエレクトロニクスセンサは、2つの反射したビームによって交互に形成される2つの光の像を交互に受光することを特徴とし、かつ、
d)入射する単一の各ビームから、所定の配置で分布した少なくとも3つの個別の平行な光ビームである複数の光ビームを発生させるように構成されたビーム分割器手段と、
e)発光体手段によって交互に放射された2つの光ビームと、それぞれオプトエレクトロニクスセンサ上に形成された前記2つの像との時間的関係を確立する同期化手段と、
を有し、
(f)オプトエレクトロニクスセンサは、数が前記ビーム分割器手段で分割された前記複数の光ビームの数よりも少ないかまたは同じであり、かつ、複数の光ビームの配置と関連づけられた配置で設置されていることを特徴とする。
前記第1および第2の範囲を包含する波長帯域で光ビームを放射する少なくとも1つの光源と、
前記光ビームにおいて前記第1および第2の波長範囲を所定の周波数周期で経時的に交互に分離するのに適した光変調器と、
を備える。
・数が複数の分割されたビームの数よりも少ないかまたは同数であり、
・各オプトエレクトロニクスセンサ15が交互の2つの反射ビームF’’L、F’’Rによってそれぞれ形成された2つの光の像16L、16Wを交互に受光するように、複数の分割ビームの配置と関連づけられた配置で設置され、かつ、
・2つの光の像16L、16Wのそれぞれのエネルギー重心の位置を表す出力信号を発生するのに好適である。
上述の第1および第2範囲ΔλLおよびΔλWを包含する波長帯域にある単一の光ビーム22を放射する光源(またはいくつかの組み合わされた光源)21と、
上述の第1および第2波長範囲ΔλLおよびΔλWにそれぞれ対応した波長、特に上述の実施例で想定された範囲では、基準面に向けられたビームの場合にはおよそ600〜630nmの範囲のΔλLと、被検査面に向けられたビームの場合にはおよそ670〜1050nmの範囲のΔλWである波長を有し、前記実施例に関して、時間的に交互に切り替わるように所定の周波数サイクル、特に1kHzと10kHzとの間のサイクル周波数、好ましくは約2.5kHzでビームを、上記の単一の光ビーム22の中で分離するのに好適な光変調器23と、
を備えることができる。
Claims (9)
- 平坦な基準面、および前記基準面に実質的に垂直な方向に対して、局所的には平面にたとえられることができる被検査面の距離と2つの方向における傾きとを測定するための、光学的三角測量を利用した光学的測定装置であって、
2つの光ビームを第1の波長範囲と第2の波長範囲でそれぞれ同一の経路に沿って放射するのに適した発光体手段と、
入射する前記光ビームのそれぞれを前記2つの波長範囲に関してそれぞれ2つの異なる方向に向けるのに適した光学スプリッタであって、前記基準面および前記被検査面に対して側方に配置され、それにより出力した2つのビームは実質的に同一長さの経路に沿ってそれぞれ前記基準面および前記被検査面に向けられ、その後、互いに集光するように、前記基準面および前記被検査面でそれぞれ反射される光学スプリッタと、
入射した同一のビームによってもたらされた前記2つの反射されたビームを集め、該反射されたビームを1つ且つ同一の光学的出力経路に沿って向けて出力するのに適した光学ビーム結合器と、
出力した前記ビームのそれぞれを受光するための、
・反射した2つの前記ビームによって形成された2つの光の像を交互に受光するように設置され、かつ
・前記2つの光の像のそれぞれのエネルギー重心の位置を表す出力信号を発生するのに適したオプトエレクトロニクスセンサ
を備えたセンサ手段と、
前記基準面に対する前記被検査面の前記位置および傾きに関する情報を提供するために、前記オプトエレクトロニクスセンサで発生した前記信号の全てを処理する手段と、
を備え、
a)前記発光体手段は、前記2つの光ビームを所定の繰り返し周波数で交互に放射するように構成され、
b)前記光学ビーム結合器は、前記反射したビームを交互に向け、
c)前記オプトエレクトロニクスセンサは、2つの反射したビームによって交互に形成される前記2つの光の像を交互に受光することを特徴とし、かつ、
d)入射する単一の各ビームから、所定の配置で分布した少なくとも3つの個別の平行な光ビームである複数の光ビームを発生させるように構成されたビーム分割器手段と、
e)前記発光体手段によって交互に放射された前記2つの光ビームと、それぞれ前記オプトエレクトロニクスセンサ上に形成された前記2つの像との時間的関係を確立する同期化手段と、
を有し、
(f)前記オプトエレクトロニクスセンサは、数が前記ビーム分割器手段で分割された前記複数の光ビームの数よりも少ないかまたは同じであり、かつ、前記複数の光ビームの配置と関連づけられた配置で設置されていることを特徴とする装置。 - 前記センサ手段の各センサは、受光した前記2つの光の像のそれぞれの前記エネルギー重心の前記位置を表す2つの出力信号を発生するのに適した位置感応センサ(PSD)であることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記信号処理手段は、前記基準面に対する前記被検査面の、前記距離の最良推定値および傾きの前記2つの角度の最良推定値に関する情報をそれぞれ供給するのに適していることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記発光体手段は、
前記第1および第2の範囲を包含する波長帯域で単一の光ビームを放射する少なくとも1つの光源と、
前記単一の光ビームにおいて前記第1および第2の波長範囲を所定の周波数周期で経時的にて交互に分離するのに適した光変調器と、
を備えていることを特徴とする請求項1に記載の装置。 - 前記周期の周波数は1kHzと10kHzとの間にあり好ましくは約2.5kHzであることを特徴とする請求項4に記載の装置。
- 前記発光体手段は赤および/または近赤外の光を放射することを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記2つの波長範囲は、それぞれ、前記基準面の上に向けられたビームの場合にはおよそ600〜630nmの範囲であり、前記被検査面に向けられたビームに関してはおよそ670〜1050nmの範囲であることを特徴とする請求項6に記載の装置。
- 前記ビーム分割器手段は、所定の形態に配列された所定の形状の少なくとも3つの穴があけられ、前記光ビームによって交互に照明されるのに適したスクリーンを備えることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記光学スプリッタおよび前記光学ビーム結合器は、前記波長に応じた屈折および反射によって作用する静的な光学部品であることを特徴とする請求項1に記載の装置。
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