JP2011517428A - ウェハスクライブのためのオートフォーカス方法及び装置 - Google Patents
ウェハスクライブのためのオートフォーカス方法及び装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011517428A JP2011517428A JP2011501985A JP2011501985A JP2011517428A JP 2011517428 A JP2011517428 A JP 2011517428A JP 2011501985 A JP2011501985 A JP 2011501985A JP 2011501985 A JP2011501985 A JP 2011501985A JP 2011517428 A JP2011517428 A JP 2011517428A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- workpiece
- laser beam
- wafer
- measurement
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 29
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 22
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 22
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 17
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 10
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 6
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 119
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 5
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 3
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 3
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000010438 granite Substances 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 238000005305 interferometry Methods 0.000 description 1
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000013519 translation Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/04—Automatically aligning, aiming or focusing the laser beam, e.g. using the back-scattered light
- B23K26/046—Automatically focusing the laser beam
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/36—Removing material
- B23K26/362—Laser etching
- B23K26/364—Laser etching for making a groove or trench, e.g. for scribing a break initiation groove
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/36—Removing material
- B23K26/40—Removing material taking account of the properties of the material involved
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K2103/00—Materials to be soldered, welded or cut
- B23K2103/50—Inorganic material, e.g. metals, not provided for in B23K2103/02 – B23K2103/26
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67259—Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection
- H01L21/67265—Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection of substrates stored in a container, a magazine, a carrier, a boat or the like
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Dicing (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Automatic Focus Adjustment (AREA)
Abstract
【選択図】 図3
Description
Claims (15)
- レーザ処理システムにおけるレーザ焦点と被加工物との間の相対的な変位を定量化する改善された方法であって、前記レーザ処理システムは、焦点を有する加工用レーザと、測定用レーザビームを生成する測定用レーザと、レーザビーム検出器とを備え、前記測定用レーザビーム及び前記レーザビーム検出器は、前記レーザ焦点と前記被加工物との間の前記変位を定量化するように動作し、前記被加工物は、上面及び底面を有する方法において、
前記測定用レーザビームの偏光を特定のタイプの偏光に設定し、かつ、前記被加工物の前記上面に対して特定の向きに設定するステップと、
前記被加工物の前記上面から反射する測定用レーザビームエネルギの、前記被加工物の前記底面から反射して、後に前記レーザビーム検出器によって検出される測定用レーザビームエネルギの量に対する比を最大にするように選択されたグレージング角で、前記測定用レーザビームを前記被加工物に方向付けるステップとを有し、
前記加工用レーザ及び前記測定用レーザは、異なる波長で動作し、
前記測定用レーザビーム及び前記レーザビーム検出器は、前記被加工物が前記レーザ焦点に対して高速に動いている間に、前記レーザ焦点と前記被加工物との間の前記相対的な変位を定量化する方法。 - 前記レーザビームの偏光の前記特定のタイプは、実質的に直線偏光である請求項1記載の方法。
- 前記レーザビームの前記特定の向きは、実質的に前記被加工物の前記上面に対してs偏光である請求項1記載の方法。
- 前記グレージング角は、前記被加工物の前記上面に対する垂直に対して、約84度から約87度までの間である請求項1記載の方法。
- 前記高速な動きは、約10mm/sより大きく、約1000mm/sより小さい請求項1記載の方法。
- 前記測定用レーザは、約700nmより小さい波長で動作する請求項1記載の方法。
- 前記測定用レーザビームは、ピンホール開口を用いてコリメートされる請求項1記載の方法。
- 前記測定用レーザビームは、帯域通過フィルタによってフィルタリングされる請求項1記載の方法。
- レーザ処理システムにおけるレーザ焦点と被加工物との間の相対的な変位を定量化する改善された装置であって、前記レーザ処理システムは、レーザ焦点を有する加工用レーザと、測定用レーザビームを生成する測定用レーザと、測定用レーザ光学素子と、レーザビーム検出器とを備え、前記測定用レーザビーム、前記測定用レーザ光学素子及び前記レーザビーム検出器は、前記レーザ焦点と前記被加工物との間の前記変位を定量化するように動作し、前記被加工物は上面及び底面を有する、装置において、
前記測定用レーザ及び前記測定用レーザ光学素子は、前記測定用レーザビームを、前記被加工物から反射し、前記レーザビーム検出器によって検出されるように方向付け、これによって、前記レーザ焦点と前記被加工物との間の相対的な変位を定量化し、前記レーザビームは、特定の偏光を有し、前記被加工物の前記上面に対して特定の向きで、前記被加工物の前記上面に入射するように方向付けられ、
前記測定用レーザビームは、更に、前記被加工物の前記上面から反射するレーザビームエネルギの、前記被加工物の前記底面から反射して、後に前記レーザビーム検出器によって検出されるレーザビームエネルギの量に対する比を最大にするように選択されたグレージング角で前記被加工物に方向付けられ、
前記加工用レーザ及び前記測定用レーザは、異なる波長で動作し、
前記レーザビームは、前記被加工物から反射するように方向付けられ、これによって、前記被加工物が前記レーザ焦点に対して高速に動いている間に、前記レーザ焦点と前記被加工物との間の前記相対的な変位を定量化する装置。 - 前記レーザビームの偏光の前記特定のタイプは、実質的に直線偏光である請求項9記載の装置。
- 前記特定の向きは、実質的に前記被加工物の前記上面に対してs偏光である請求項9記載の装置。
- 前記グレージング角は、前記被加工物の前記上面に対する垂直に対して、約84度から約87度までの間である請求項9記載の装置。
- 前記動きは、約10mm/sから約1000mm/sまでの間である請求項9記載の装置。
- 前記加工用レーザ及び前記測定用レーザは、異なる波長で動作する請求項9記載の装置。
- 前記測定用レーザは、約700nmより小さい波長で動作する請求項9記載の装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US4042008P | 2008-03-28 | 2008-03-28 | |
US61/040,420 | 2008-03-28 | ||
PCT/US2009/038122 WO2009120706A2 (en) | 2008-03-28 | 2009-03-24 | Autofocus method and apparatus for wafer scribing |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011517428A true JP2011517428A (ja) | 2011-06-09 |
Family
ID=41114651
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011501985A Pending JP2011517428A (ja) | 2008-03-28 | 2009-03-24 | ウェハスクライブのためのオートフォーカス方法及び装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2011517428A (ja) |
KR (1) | KR101666462B1 (ja) |
CN (1) | CN101983420B (ja) |
TW (1) | TWI447468B (ja) |
WO (1) | WO2009120706A2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012045624A (ja) * | 2010-08-26 | 2012-03-08 | Samsung Led Co Ltd | レーザスクライビング装置およびそのスクライビング方法 |
CN103955108A (zh) * | 2014-05-15 | 2014-07-30 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 多能点谱分辨软x射线分幅成像*** |
US11648629B2 (en) | 2019-05-16 | 2023-05-16 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Laser processing apparatus, laser processing method, and correction data generation method |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
USRE46672E1 (en) | 2006-07-13 | 2018-01-16 | Velodyne Lidar, Inc. | High definition LiDAR system |
CN102259234A (zh) * | 2010-05-26 | 2011-11-30 | Ntn株式会社 | 激光制图装置和激光制图方法 |
CN103217098B (zh) * | 2012-01-19 | 2017-05-03 | 昆山思拓机器有限公司 | 多光谱光电寻焦器的寻焦方法 |
CN103212908A (zh) * | 2012-01-19 | 2013-07-24 | 昆山思拓机器有限公司 | 一种激光喷嘴零点位置标定方法 |
US10627490B2 (en) | 2016-01-31 | 2020-04-21 | Velodyne Lidar, Inc. | Multiple pulse, LIDAR based 3-D imaging |
WO2017164989A1 (en) | 2016-03-19 | 2017-09-28 | Velodyne Lidar, Inc. | Integrated illumination and detection for lidar based 3-d imaging |
US10393877B2 (en) | 2016-06-01 | 2019-08-27 | Velodyne Lidar, Inc. | Multiple pixel scanning LIDAR |
EP3593166B1 (en) | 2017-03-31 | 2024-04-17 | Velodyne Lidar USA, Inc. | Integrated lidar illumination power control |
CA3062701A1 (en) | 2017-05-08 | 2018-11-15 | Velodyne Lidar, Inc. | Lidar data acquisition and control |
KR102551322B1 (ko) * | 2017-12-08 | 2023-07-04 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 변위센서를 이용한 스크라이브 장치 및 그것의 동작 방법 |
CN111868886B (zh) * | 2018-04-09 | 2024-01-05 | 东京毅力科创株式会社 | 激光加工装置、激光加工***以及激光加工方法 |
US10712434B2 (en) | 2018-09-18 | 2020-07-14 | Velodyne Lidar, Inc. | Multi-channel LIDAR illumination driver |
US11082010B2 (en) | 2018-11-06 | 2021-08-03 | Velodyne Lidar Usa, Inc. | Systems and methods for TIA base current detection and compensation |
US11885958B2 (en) * | 2019-01-07 | 2024-01-30 | Velodyne Lidar Usa, Inc. | Systems and methods for a dual axis resonant scanning mirror |
US11556000B1 (en) | 2019-08-22 | 2023-01-17 | Red Creamery Llc | Distally-actuated scanning mirror |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04116414A (ja) * | 1990-09-06 | 1992-04-16 | Canon Inc | 自動焦点合せ装置 |
JPH06297175A (ja) * | 1993-04-15 | 1994-10-25 | Nippon Steel Corp | レーザ加工装置用ギャップセンサ |
JP2000230802A (ja) * | 1999-02-10 | 2000-08-22 | Anritsu Corp | 変位測定装置 |
JP2006187782A (ja) * | 2005-01-05 | 2006-07-20 | Disco Abrasive Syst Ltd | レーザー加工装置 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5117254A (en) * | 1988-05-13 | 1992-05-26 | Canon Kabushiki Kaisha | Projection exposure apparatus |
JP3555230B2 (ja) * | 1994-05-18 | 2004-08-18 | 株式会社ニコン | 投影露光装置 |
US6031615A (en) * | 1997-09-22 | 2000-02-29 | Candela Instruments | System and method for simultaneously measuring lubricant thickness and degradation, thin film thickness and wear, and surface roughness |
JP5122773B2 (ja) * | 2006-08-04 | 2013-01-16 | 株式会社ディスコ | レーザー加工機 |
-
2009
- 2009-03-24 CN CN2009801112711A patent/CN101983420B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2009-03-24 WO PCT/US2009/038122 patent/WO2009120706A2/en active Application Filing
- 2009-03-24 KR KR1020107021644A patent/KR101666462B1/ko active IP Right Grant
- 2009-03-24 JP JP2011501985A patent/JP2011517428A/ja active Pending
- 2009-03-25 TW TW098109704A patent/TWI447468B/zh not_active IP Right Cessation
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04116414A (ja) * | 1990-09-06 | 1992-04-16 | Canon Inc | 自動焦点合せ装置 |
JPH06297175A (ja) * | 1993-04-15 | 1994-10-25 | Nippon Steel Corp | レーザ加工装置用ギャップセンサ |
JP2000230802A (ja) * | 1999-02-10 | 2000-08-22 | Anritsu Corp | 変位測定装置 |
JP2006187782A (ja) * | 2005-01-05 | 2006-07-20 | Disco Abrasive Syst Ltd | レーザー加工装置 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012045624A (ja) * | 2010-08-26 | 2012-03-08 | Samsung Led Co Ltd | レーザスクライビング装置およびそのスクライビング方法 |
CN103955108A (zh) * | 2014-05-15 | 2014-07-30 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 多能点谱分辨软x射线分幅成像*** |
US11648629B2 (en) | 2019-05-16 | 2023-05-16 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Laser processing apparatus, laser processing method, and correction data generation method |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101983420A (zh) | 2011-03-02 |
KR20110010693A (ko) | 2011-02-07 |
TWI447468B (zh) | 2014-08-01 |
WO2009120706A2 (en) | 2009-10-01 |
TW200951530A (en) | 2009-12-16 |
WO2009120706A3 (en) | 2010-02-18 |
CN101983420B (zh) | 2013-06-26 |
KR101666462B1 (ko) | 2016-10-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2011517428A (ja) | ウェハスクライブのためのオートフォーカス方法及び装置 | |
JP5743123B1 (ja) | レーザーダイシング装置及びダイシング方法 | |
KR100262992B1 (ko) | 마스크 패턴을 반복적으로 영상화하는 방법 및 그 장치 | |
US8305568B2 (en) | Surface inspection method and surface inspection apparatus | |
JP4885942B2 (ja) | 光学的三角測量を利用した光学測定装置 | |
TW202017683A (zh) | 加工系統以及加工方法 | |
JP2016139726A (ja) | レーザーダイシング装置 | |
TW202035047A (zh) | 加工系統以及加工方法 | |
JPS5979104A (ja) | 光学装置 | |
JP2018129540A (ja) | レーザーダイシング装置 | |
JP6327524B2 (ja) | レーザーダイシング装置 | |
JP7475211B2 (ja) | レーザー加工装置の検査方法 | |
KR20080098811A (ko) | 표면 측정 장치 | |
JP2012052870A (ja) | マスクブランク検査装置およびその光学調整方法 | |
JPS62140418A (ja) | 面位置検知装置 | |
JP2010188396A (ja) | レーザ加工方法、レーザ加工装置及びソーラパネル製造方法 | |
JP2018129541A (ja) | 位置検出装置 | |
JPH02191314A (ja) | パターン検出装置 | |
JP2019095360A (ja) | ファイバレーザ加工機、及び光学式エンコーダ | |
JP2002206920A (ja) | 傾き検出方法及び装置 | |
JP2869143B2 (ja) | 基板の傾斜検出装置 | |
JPH0745116B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
CN114878593A (zh) | 一种晶圆表面缺陷检测装置和方法 | |
CN116819892A (zh) | 一种光学量测装置及方法 | |
JP2890616B2 (ja) | 配線形成方法及び装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120201 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130527 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130604 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20130822 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20130829 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131204 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20140520 |