JP4868200B2 - 圧電アクチュエータおよびインクジェットヘッドの製造方法 - Google Patents
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Description
ここで、圧電特性向上のためには、圧電体グレインの粒成長と、成膜時の衝撃によって生じる格子欠陥(すべり、欠損、転位)の修正が必要となる。このとき、グレイン成長にはある程度の高温条件が必要であるが、他方、格子欠陥の修正には一定の温度とともにある程度の回復期間が必要である。このことから、アニール初期に高温・短時間で処理を行ってグレイン成長を行わせた後に、さらに、拡散を抑制できる程度の低温で時間をかけて処理を行うことにより、結晶中の格子欠陥を修正することができることが分かった。本発明は、かかる新規な知見に基づいてなされたものである。
なお、ノズルプレート12を他のプレート13〜15と同様にステンレスで形成してもよく、この場合には、インク流路形成体形成工程において、ノズルプレート12にはノズルとなる孔をプレス加工により形成し、このノズルプレート12を他のプレート13〜15とともに積層した状態で接合し、流路ユニット11の全体を形成するようにしても良い。
次に、図2Aに示すように、ステンレスにより形成された振動板2を流路ユニット11における圧力室プレート15の上面に位置合わせした状態で重ねて熱圧着により接合し、振動板2によって各圧力室16の開口部16Aを閉鎖する(振動板接合工程)。
また、予め所定温度に加熱した電気炉の中に振動板2を設置している。ここで、振動板2を電気炉の中に設置してから昇温を開始する場合には、アニール開始後、炉内が充分な高温に達するまでは、グレイン成長が充分には促進されないのであるが、予め炉内を所定温度に加熱しておけば、振動板2を炉内に投入した直後からグレイン成長が活発に行われる。これにより、高い圧電特性を得ることができる。
<予備実験1>
1.圧電膜の形成
1)成膜
基板としてはステンレス(SUS430)板を、材料粒子としては平均粒子径0.3〜1μmのPZTを用いた。成膜装置としては上記実施形態と同様のものを使用した。
基板上に、ノズル開口0.4mm×10mm、成膜チャンバー内圧力200Pa、エアロゾル室内圧力30000Pa、キャリアガス種類He、ガス流量は4.5リットル/min、ノズル−基板間距離10〜20mmとして、エアロゾルの吹き付けを行い、圧電膜を形成した。
続いて形成した圧電膜のアニール処理を行った。900℃まで昇温したマッフル炉(ヤマト工業株式会社製 FP100)内に圧電膜を形成した基板を入れ、900℃で60秒間保持した後、基板を取り出し、自然冷却により室温まで冷却した。
圧電膜上に粘着性樹脂テープを用いてマスキングを行い、有効面積3.6mm2以上の上部電極をAu蒸着機を用いて形成し、基板であるステンレス板を下部電極とした圧電アクチュエータを構成した。圧電膜の分極処理を行った。
この圧電アクチュエータについて、強誘電体測定器(TFANALYZER2000;AiXACT社製)により、電圧を印加しながら静電容量を測定し、残留分極(Pr)と抗電界(Ec)とを測定した。圧電膜の厚さは表面粗さ計による段差測定で概ね9μmであった。
圧電膜の厚さを9μm、アニール温度を850℃、アニール時間を30秒間とした。その他は、予備実験1と同様にして圧電膜の形成及び試験を行った。
圧電膜の厚さを7μm、アニール温度を850℃、アニール時間を30秒間とした。その他は、予備実験1と同様にして圧電膜の形成及び試験を行った。
圧電膜の厚さを12μm、アニール温度を850℃、アニール時間を60秒間とした。その他は、予備実験1と同様にして圧電膜の形成及び試験を行った。
圧電膜の厚さを7μm、アニール温度を850℃、アニール時間を60秒間とした。その他は、予備実験1と同様にして圧電膜の形成及び試験を行った。
圧電膜の厚さを12μm、アニール温度を850℃、アニール時間を120秒間とした。その他は、予備実験1と同様にして圧電膜の形成及び試験を行った。
圧電膜の厚さを10μm、アニール温度を850℃、アニール時間を180秒間とした。その他は、予備実験1と同様にして圧電膜の形成及び試験を行った。
圧電膜の厚さを5μm、アニール温度を850℃、アニール時間を180秒間とした。その他は、予備実験1と同様にして圧電膜の形成及び試験を行った。
圧電膜の厚さを16μm、アニール温度を750℃、アニール時間を180秒間とした。その他は、予備実験1と同様にして圧電膜の形成及び試験を行った。
圧電膜の厚さを12.5μm、アニール温度を750℃、アニール時間を300秒間とした。その他は、予備実験1と同様にして圧電膜の形成及び試験を行った。
圧電膜の厚さを5μm、アニール温度を750℃、アニール時間を180秒間とした。その他は、予備実験1と同様にして圧電膜の形成及び試験を行った。
予備実験1〜11について、アニール温度、アニール時間、圧電膜の厚さ、圧電膜の単位厚さあたりのアニール時間、分極時の印加電界、抗電界Ec、およびPr/Ecを表1に示した。
<実施例1>
上記予備実験と同様にして厚さ7μmの圧電膜を成膜した。
850℃に昇温したマッフル炉内に圧電膜を形成した基板を入れ、1分間保持した(以上、第1のアニール処理工程)。
次に、この基板を700℃に昇温した別のマッフル炉に移し、3分間保持した。続けて、この基板を600℃に昇温した別のマッフル炉に移し、5分間保持し、さらに500℃に昇温した別のマッフル炉に移し、15分間保持した(以上、第2のアニール処理工程)。基板を炉から取り出し、自然冷却により室温まで冷却した。
この後、上記予備実験と同様にして圧電アクチュエータを構成し、試験を行った。なお分極時の印加電界を150kV/cmとした。
上記予備実験と同様にして厚さ9μmの圧電膜を成膜した。
赤外線ランプ(インクリッジ工業製 HSH−1)により、圧電膜の表面が約1000℃となるように照射強度を調整して2分間照射を行った(以上、第1のアニール処理工程)。
次に、圧電膜の表面が約600℃となるように照射強度を調整して5分間照射を行った。続いて、圧電膜の表面が約500℃となるように照射強度を調整して10分間照射を行った(以上、第2のアニール処理工程)。この後、圧電膜を自然冷却により室温まで冷却した。
この後、実施例1と同様にして圧電アクチュエータを構成し、試験を行った。なお分極時の印加電界を150kV/cmとした。
<実施例3>
材料粒子として、Nbを添加したPZTを使用して、上記予備実験と同様にして厚さ7μmの圧電膜を成膜した。この圧電膜について、実施例1と同様の条件によりアニール処理した。この後、実施例1と同様にして圧電アクチュエータを構成し、試験を行った。なお分極時の印加電界を150kV/cmとした。
上記実施例3と同様の材料粒子を使用して、上記予備実験と同様にして厚さ10μmの圧電膜を成膜した。850℃に昇温したマッフル炉内に圧電膜を形成した基板を入れ、3分間保持してアニール処理を行った。基板を炉から取り出し、自然冷却により室温まで冷却した。この後、実施例1と同様にして圧電アクチュエータを構成し、試験を行った。なお分極時の印加電界を250kV/cmとした。
(1)上記実施形態では、振動板2としてステンレス(SUS430)製のものを使用したが、基板の材質としては圧電アクチュエータに一般的に使用されるものであれば特に制限はなく、例えばSUS304、42A合金等であっても良い。
(2)上記実施形態では、あらかじめ所定温度に加熱した電気炉の中に振動板2を設置しているが、振動板2を電気炉の中に設置してから昇温を開始しても構わない。この場合には、できるだけ速やかに処理雰囲気を所定のアニール温度まで昇温させることが好ましい。
2…振動板(基板)
3…圧電膜
M…材料粒子(圧電材料の粒子)
Z…エアロゾル
Claims (7)
- 圧電材料の粒子を含むエアロゾルを基板の表面側に噴き付けて前記粒子を付着させることにより圧電膜を形成する圧電膜形成工程と、
前記圧電膜をアニール処理するアニール処理工程と、を含み、かつ、
前記アニール処理工程が、アニール温度を700℃以上とする第1のアニール処理工程と、前記第1のアニール処理工程の後に行われるとともに前記第1のアニール処理工程よりもアニール温度が低くアニール時間が長い第2のアニール処理工程と、を含む圧電アクチュエータの製造方法。 - 前記第1のアニール処理工程において、アニール時間を1分以上3分以下とする請求項1に記載の圧電アクチュエータの製造方法。
- 前記第2のアニール処理工程において、アニール温度を500℃以上650℃以下、アニール時間を10分以上30分以下とする請求項1または請求項2に記載の圧電アクチュエータの製造方法。
- 前記第1のアニール処理工程において、アニール温度まで昇温する昇温速度を800℃/min以上とする請求項1〜請求項3のいずれかに記載の圧電アクチュエータの製造方法。
- 前記第1のアニール処理工程において、処理雰囲気の温度をあらかじめアニール温度まで昇温した後に、この処理雰囲気中に前記基板を設置してアニール処理を行う請求項1〜請求項3のいずれかに記載の圧電アクチュエータの製造方法。
- インクを吐出するためのインク吐出ノズルに連通するとともに一面側に開口する開口部を備えた圧力室が複数設けられたインク流路形成体と、
前記インク流路形成体の一面側に前記開口部を閉じるように設けられる振動板とこの振動板上に積層される圧電膜とを備える圧電アクチュエータと、
を備えるインクジェットヘッドを製造する方法であって、
圧電材料の粒子を含むエアロゾルを前記振動板の表面側に噴き付けて前記粒子を付着させることにより圧電膜を形成する圧電膜形成工程と、
前記圧電膜をアニール処理するアニール処理工程と、を含み、かつ、
前記アニール処理工程が、アニール温度を700℃以上とする第1のアニール処理工程と、前記第1のアニール処理工程の後に行われるとともに前記第1のアニール処理工程よりもアニール温度が低くアニール時間が長い第2のアニール処理工程と、を含むインクジェットヘッドの製造方法。 - 前記圧電膜形成工程の前に、
前記インク流路形成体を形成するインク流路形成体形成工程と、
前記インク流路形成体の前記一面側に前記振動板を接合する振動板接合工程と、
をさらに備える請求項6に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
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