JP2005035013A - 液体移送装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】低い駆動電圧で駆動された圧電素子によっても、十分に液室内の液体に圧力を付与して、液室から外部に液体を移送することができる液体移送装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】インク貯留部形成工程(S1)により形成されたインク貯留部(またはインク貯留部となる積層体)に、振動板接合工程(S2)おいて振動板が拡散接合または陽極接合される。その後、PZT成膜工程(S3)により圧電体膜が成膜され、アニール工程(S4)でアニール処理される。このため、インク貯溜室に振動板を接合した状態で圧電体膜を振動板上に形成することができ、PZT層を形成する処理条件が厳しくとも、振動板のダメージを軽減することができる。更に、インク貯留部を形成する板状部材のそれぞれの接合および振動板の接合において、有機系の接着剤は未使用であるので、板状部材の接合(積層)界面の耐熱性を向上させることができる。
【選択図】 図5
【解決手段】インク貯留部形成工程(S1)により形成されたインク貯留部(またはインク貯留部となる積層体)に、振動板接合工程(S2)おいて振動板が拡散接合または陽極接合される。その後、PZT成膜工程(S3)により圧電体膜が成膜され、アニール工程(S4)でアニール処理される。このため、インク貯溜室に振動板を接合した状態で圧電体膜を振動板上に形成することができ、PZT層を形成する処理条件が厳しくとも、振動板のダメージを軽減することができる。更に、インク貯留部を形成する板状部材のそれぞれの接合および振動板の接合において、有機系の接着剤は未使用であるので、板状部材の接合(積層)界面の耐熱性を向上させることができる。
【選択図】 図5
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液体移送装置の製造方法に関し、特に、低い駆動電圧で駆動された圧電素子によっても、十分に液室内の液体に圧力を付与して、液室から外部に液体を移送することができる液体移送装置の製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来より、圧電素子により液体を移送する装置、例えば、インクジェット記録装置に搭載されるインクジェットヘッドには各種構成のものが知られている。その一例として、特開平11−34341号公報に記載されたものは、弾性板として用いる圧電体層の表面全体に共通電極を印刷した後、その圧電体層の共通電極の印刷側に別の圧電体層を積層して真空プレスして更に焼成し一体化する。後者の圧電体層を分極した後、前者の圧電体層の弾性板と、インク室が予め形成されているキャビティプレートとを積層し、接着剤などにより接着する。最後に、前記後者の圧電体層の各インク室に対応する位置に帯状の個別電極を形成し、圧電素子を完成させる。この完成した圧電素子に対してノズルプレート、駆動回路などを接続すれば、インクジェットヘッドが完成となる。
【0003】
この圧電素子の個別電極に正の電圧が印加され、共通電極に負の電圧が印加されると、圧電素子が変形して(電極に挟まれた圧電体層が面方向に収縮し、弾性板がこれを拘束しようとして生じる撓みにより)インク室内に突出する。このため、インク室内のインクは加圧され、インクがインク吐出口から吐出されて記録が実行されることとなる。
【0004】
【特許文献1】
特開平11−34341号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述したインクジェットヘッドの製造方法は、積層された圧電体層を焼成して圧電素子を形成するものであるので、比較的厚みの厚い圧電素子(圧電体層)の製造に適した方法である。
【0006】
ここで、インク室からインクを吐出する際には、弾性板が厚い(剛性が高い)ほど、高い応力を弾性板に付与しなくてはならない。この高い応力を弾性板に付与するためには、圧電素子(圧電体層)の変形量を大きくしなくてはならず、高い電圧が駆動電圧として必要になるという問題点があった。
【0007】
一方、弾性板を薄くするほど、弾性板の剛性を小さくでき、低い駆動電圧で、該弾性板を動作させることができる。しかし、上述したインクジェットヘッドの製造方法では、成膜の限界や、ハンドリングなどの点から、数μmから略10μm程度の厚みの圧電体層(薄型の圧電体層)を作製することは困難であり、この点でも高い駆動電圧が必要となるという問題点があった。
【0008】
薄型の圧電体層を形成する一般的な方法においては、基材となるシート材料上に圧電素子を形成する超微粒子を噴射、堆積させるエアロゾルデポジション法という手法がある。しかし、これを利用して薄型化された弾性板上に圧電素子を形成する場合には、高速で弾性板上に噴射される微粒子のエネルギーによって生ずる応力により、薄型化された弾性板に、回復できないダメージを与えてしまいかねないという問題点があった。
【0009】
更に、薄型の圧電素子を形成する別の方法として、前記圧電素子を構成する材料の溶液をスピンコートによって塗布することと、加熱することとを繰り返すいわゆるゾルゲル法という手法がある。しかし、これを利用して薄型化された弾性板上に圧電素子を形成する場合には、繰り返される熱ストレスにより、弾性板が変形(カール)してしまいやすいという問題点があった。
【0010】
本発明は、このような問題点を解消すべくなされたものであって、低い駆動電圧で駆動された圧電素子によっても、十分に液室内の液体に圧力を付与して、液室から外部に液体を移送することができる液体移送装置の製造方法を提供することを目的とするものである。
【0011】
【課題を解決するための手段】
この目的を達成するために請求項1に記載の液体移送装置の製造方法は、圧電素子を変形させてその圧電素子に対応して設けられた液室内の液体に圧力を付与し、その液室から外部に液体を移送する液体移送装置において、前記液室を形成する開口を有する第1のシート材料とその開口を覆う第2のシート材料を積層して一体化する工程、前記シート材料の積層体における第2のシート材料上の少なくとも前記開口に対応する位置を含む位置に、前記圧電素子を構成する材料を成膜形成する工程、前記シート材料の積層体及び前記圧電体膜をアニール処理し、前記圧電素子を構成する材料を結晶化する工程とを備えている。
【0012】
この請求項1の液体移送装置の製造方法によれば、液室を形成する開口を有する第1のシート材料とその開口を覆う第2のシート材料とが積層され一体化される。このシート材料の積層体における第2のシート材料上の、少なくとも液室の開口に対応する位置を含む位置には、圧電素子を構成する材料が成膜形成される。形成された圧電体膜とシート材料の積層体とは、アニール処理され、圧電素子を構成する材料が結晶化される。
【0013】
請求項2に記載の液体移送装置の製造方法は、圧電素子を変形させてその圧電素子に対応して設けられた液室内の液体に圧力を付与し、その液室から外部に液体を移送する液体移送装置の製造方法であり、前記液室を形成する開口を有する第1のシート材料とその開口を覆う第2のシート材料を積層して拡散接合または陽極接合により一体化する接合工程と、前記シート材料の積層体における第2のシート材料上の少なくとも前記開口に対応する位置を含む位置に、前記圧電素子を構成する超微粒子を噴射、堆積させて圧電体膜を形成する圧電体膜形成工程と、前記シート材料の積層体及び前記圧電体膜をアニール処理するアニール工程とを備えている。
【0014】
この請求項2に記載の液体移送装置の製造方法によれば、液室を形成する開口を有する第1のシート材料とその開口を覆う第2のシート材料とが、接合工程により、積層され、拡散接合または陽極接合により一体化される。つまり、一体化されたシート材料の積層体が形成される。このシート材料の積層体における第2のシート材料上の、少なくとも液室の開口に対応する位置を含む位置には、圧電体膜形成工程により、圧電素子を構成する超微粒子が噴射、堆積されて、圧電体膜が形成される。形成された圧電体膜とシート材料の積層体と(圧電体膜の形成されたシート材料の積層体)は、アニール工程によりアニール処理される。
【0015】
請求項3に記載の液体移送装置の製造方法は、圧電素子を変形させてその圧電素子に対応して設けられた液室内の液体に圧力を付与し、その液室から外部に液体を移送する液体移送装置の製造方法であり、前記液室を形成する開口を有する第1のシート材料とその開口を覆う第2のシート材料を積層して拡散接合または陽極接合により一体化する接合工程と、前記シート材料の積層体における第2のシート材料上の少なくとも前記開口に対応する位置を含む位置に、前記圧電素子を構成する材料の溶液を塗布することと、加熱することとを繰り返して圧電体膜を形成する圧電体膜形成工程と、前記シート材料の積層体及び前記圧電体膜をアニール処理するアニール工程とを備えている。
【0016】
この請求項3に記載の液体移送装置の製造方法によれば、液室を形成する開口を有する第1のシート材料とその開口を覆う第2のシート材料とが、接合工程により、積層され、拡散接合または陽極接合により一体化される。つまり、一体化されたシート材料の積層体が形成される。一体化されたシート材料の積層体における第2のシート材料上の、少なくとも開口に対応する位置を含む位置には、圧電体膜形成工程により、圧電素子を構成する材料の溶液の塗布と、加熱とが繰り返されて圧電体膜が形成される。形成された圧電体膜とシート材料の積層体と(圧電体膜の形成されたシート材料の積層体)は、アニール工程によりアニール処理される。
【0017】
請求項4に記載の液体移送装置の製造方法は、請求項1から3のいずれかに記載の液体移送装置の製造方法において、前記シート材料は、金属シート材料であって、拡散接合により一体化される。
【0018】
請求項5に記載の液体移送装置の製造方法は、請求項1から3のいずれかに記載の液体移送装置の製造方法において、前記第1のシート材料はガラスシート材料であり、前記第2のシート材料は金属シート材料若しくはシリコン基板であって、前記第1のシート材料と前記第2のシート材料とは、陽極接合により一体化される。
【0019】
請求項6に記載の液体移送装置の製造方法は、請求項4に記載の液体移送装置の製造方法において、前記圧電体膜形成工程の前に、前記液室に連通する流路を形成する流路口を有する1以上の金属シート材料および前記第1のシート材料を、前記第1のシート材料が最上層になるように積層し、前記金属シート材料と前記第1のシート材料との積層体を拡散接合により一体化する積層工程を備えている。
【0020】
請求項7に記載の液体移送装置の製造方法は、請求項5に記載の液体移送装置の製造方法において、前記圧電体膜形成工程の前に、前記液室に連通する流路を形成する流路口を有する1以上のガラスグリーンシートと前記第1のシート材料のグリーンシートとを、前記第1のシート材料が最上層に形成されるように積層して焼成し、一体化する積層工程を備えている。
【0021】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好ましい実施例について、添付図面を参照して説明する。図1は、本発明の一実施例である製造方法により製造された圧電式インクジェットヘッド6を搭載したインクジェット記録装置100を示す斜視図である。まず、このインクジェット記録装置100について略述する。圧電式インクジェットヘッド6は、用紙62に印字をするものであり、インクカートリッジ61と共にキャリッジ64に搭載されている。
【0022】
キャリッジ64は、エンドレスベルト75に接合されており、プーリ73がモータの駆動により正逆回転されると、キャリッジ軸71およびガイド板72に沿って直線方向に往復移動する。この往復移動中に圧電式インクジェットヘッド6に穿設されたノズル54(図3参照)から、インクが用紙62に向けて吐出される。用紙62は、インクジェット記録装置100の側方に設けられた給紙カセット(図示せず)から、圧電式インクジェットヘッド6と、プラテンローラ66との間に給紙され、圧電式インクジェットヘッド6によって所定の印字がなされた後に排紙される。尚、用紙62の給紙、排紙機構については図示を省略する。
【0023】
また、プラテンローラ66の側方にはパージ装置67が設けられている。パージ装置67は、圧電式インクジェットヘッド6の内部に溜まっている不良インクを排出するための装置である。キャリッジ64がリセット位置にある場合に、圧電式インクジェットヘッド6のノズル形成面をパージキャップ81で覆い密閉空間を形成する。その密閉空間は、パージキャップ81と連通し、カム83により作動するポンプ82によって減圧される。こうして圧電式インクジェットヘッド6の内部に溜まっている不良インクは排出される。
【0024】
次に、図2と図3とを参照して、圧電式インクジェットヘッド6の構成について説明する。図2は、圧電式インクジェットヘッド6の外観斜視図である。図2に示すように、圧電式インクジェットヘッド6は、インクを貯留するインク貯留部10と、そのインク貯留部10内のインクに圧力を付与するための圧力付与部材20とを備えている。
【0025】
インク貯留部10は、(後述するノズルプレート43を除いて)無機材料で形成された板状部材を積層して得られた積層体を、一体化したものである。板状部材としては、例えば、ステンレス、チタン、チタン合金、銅、銅合金、工具銅、低合金銅、ニッケル、ニッケル合金、コバルト合金、アルミニウム、アルミニウム合金などの金属の圧延シートである板状金属部材のいずれかが用いられる。
【0026】
また、板状部材は、板状金属部材に限られるものでなく、ホウ珪酸ガラス、鉛ガラス、ソーダガラス、ソーダライムガラスなどのガラス粉末をアクリル系樹脂などのバインダ樹脂に分散させ、シート成形したグリーンシートを用いてもよい。尚、本実施例においては、板状部材を板状金属部材とする場合には、ステンレスを用いており、また、板状部材にグリーンシートを用いる場合にはホウ珪酸ガラスのものを用いている。また、グリーンシートを作製するガラス組成については、後述する圧電体膜20bの形成時(PZT成膜工程(S3)、アニール工程(S4))の熱処理条件においても軟化しないものが選択される。
【0027】
尚、本実施例においては、インク貯留部10の一部には合成樹脂が用いられており、かかる合成樹脂にて形成される部位については、後述するアニール工程(S4)など合成樹脂が変形する加熱を伴う工程の後にインク貯留部10に組み付けられる。
【0028】
金属材料で形成されたインク貯留部10は、積層された板状金属部材の互いに面する側(積層界面)を固層拡散接合により接合し、一体化したものである。また、ガラスで形成されたインク貯留部10は、積層されたグリーンシートを焼結により一体化したものである。このため、本実施例のインク貯留部10を構成する各板状部材の積層界面には、有機系の接着剤は存在しない。このインク貯留部10の詳細な構成を、図3を参照して説明する。
【0029】
図3は、インク貯留部10の分解斜視図である。このインク貯留部10は、図3に示すように、マニホールドプレート11,12、スペーサプレート13及びキャビティプレート14の4枚の板状部材を上記のように積層したものに、ノズルプレート43を貼付した構造である。本実施例では、各プレート11,12,13,14,43は、50μm〜150μm程度の厚さである。
【0030】
ノズルプレート43は、インク貯留部10の最下層を形成する合成樹脂製の板状部材である。このノズルプレート43には、微小径のインク吐出用のノズル54が、当該ノズルプレート43における長辺方向(第1の方向)に沿って2列の千鳥配列状に設けられている。ノズル54は、微小ピッチwの間隔でノズルプレート43に多数個穿設されている。
【0031】
マニホールドプレート11は、ノズルプレート43の上面に積層される板状部材である。マニホールドプレート11の上面には、上向き開放するようにマニホールド室11aが凹設されている。
【0032】
マニホールドプレート12は、マニホールドプレート11の上面に積層される板状部材である。このマニホールドプレート12には、インク通路としての一対のマニホールド室12a,12aが、ノズル54の列の両側に沿って延びるように穿設されている。各マニホールド室12aは、マニホールド室11aとほぼ同じ位置にて、平面視形状で略同じ形状で設けられている。これにより、両マニホールド室11a,12aが一体となって1つのマニホールド室を形成している。また、各マニホールド室12aは、プレートの平面視において、後述する液室16の列と重なり且つその列方向に延びている。
【0033】
キャビティプレート14は、スペーサプレート13を挟んで、マニホールドプレート12の上方に積層されるものであり、インク貯留部10の最上層の板状部材である。このキャビティプレート14には、その長辺方向(第1の方向)に沿う中心線に沿って、多数個の液室16が穿設されている。このため、各プレート11,12,13,14が積層された状態で、各液室16の上面部(スペーサプレート13と反対側の面)は、開口した状態となる。
【0034】
この液室16は、上記中心線を基準として左右に一列ずつ配列されている。一方の列の液室16は、他方の列の液室16と長手方向に交互に配置され、それぞれ、中心線に対して直交する第2の方向(短辺方向)に延びる細長い形状を有している。
【0035】
各液室16の先端16aは、前記ノズルプレート43におけるノズル54に、スペーサプレート13及びマニホールドプレート11,12のそれぞれに穿設されている微小径の貫通孔17を介して連通している。一方、各液室16の他端16bは、スペーサプレート13における左右両側部位に穿設された貫通孔18を介して、マニホールドプレート11,12におけるマニホールド室11a,12aに連通している。なお、液室16の他端16bは、キャビティプレート14の下面側にのみ開口するように凹み形成されているものである(図3(b)の拡大図参照)。また、キャビティプレート14とスペーサプレート13との一端部であって両プレート13,14において積層方向に同じ位置には、マニホールド室12a,12aに連通する供給孔19a,19bが穿設されている。
【0036】
これにより、インクカートリッジ61から供給されるインクは、供給孔19a,19bを介して前記左右両マニホールド室11a,11a,12a,12a内に流入し、更に、各貫通孔18を通って各液室16内に分配される。そして、この各液室16内から貫通孔17を通って、当該液室16に対応するノズル54に至るという構成になっている(図4参照)。
【0037】
圧力付与部材20は、インク貯留部10に設けられた液室16の容積を変化させるためのものであり、電圧が印加されると動作する圧電アクチュエータである。この圧力付与部材20は、インク貯留部10の上面(最上層の板状部材、キャビティプレート14の上面)に積層されており、全ての液室16の上面の開口を被覆する長方形の形状を有している。この圧力付与部材20は、金属の圧延シートである振動板20aと、その振動板20aの片面側(液室16とは反対側)に設けられた圧電体膜20bとの2層構造となっている。
【0038】
振動板20aは、10μm〜50μm厚みのステンレス製の圧延シート(板状金属部材)、またはインク貯留部10を形成する板状金属部材と同様の各種金属の圧延シートが用いられる。本実施例では、30μm厚みのものが用いられている。また、振動板20aのキャビティプレート14上面に重ね一体的に接合されている。これにより、全ての液室16の上面部の開口は、振動板20aにより閉塞される。
【0039】
この振動板20aとキャビティプレート14との接合には、有機系の接着剤は使用されていない。言い換えれば、振動板20aとインク貯留部10との接合界面には、無機物のみが存在している。
【0040】
具体的には、インク貯留部10が板状金属部材により形成されている場合には、振動板20aは、インク貯留部10に固相拡散接合されている。また、インク貯留部10がガラスで形成されている場合には、振動板20aは、インク貯留部10に陽極接合される。尚、固相拡散接合および陽極接合においては、必ずしも、インク貯留部10と振動板20aとを直接的に接合する必要はなく、インク貯留部10や振動板20aを構成する素材よりも低融点の合金やガラスをインサート材として用いて、間接的にインク貯留部10と振動板20aとを接合しても良い。
【0041】
また、本実施例で使用する振動板20aは、10μm〜50μm厚であり、従来の振動板20aよりも薄型である。故に、低い電圧(圧電体膜20bの小さな歪み)で振動板20aを動作させることができ、一層の省電力構成とすることができる。
【0042】
圧電体膜20bは、振動板20a上に成膜され、振動板20aを変形させるための応力発生源である。この圧電体膜20bは、チタン酸鉛とジルコン酸鉛との固溶体であり強誘電体であるチタン酸ジルコン酸鉛(以下単に「PZT」と称す)を主成分として形成されている。その膜厚は、略10μmである。強誘電体であるPZTは、電圧の印加により一方向に分極され、印加電圧をオフした後も、分極が残る(残留分極)物質である。また分極処理が行われたPZTに電圧を印加すると、歪みが発生する。本実施例では、PZTの分極方向が振動板20aの面に対して垂直な方向となるように分極処理を施している。
【0043】
振動板20aの厚み(剛性)に対して、圧電体膜20bの厚みには最適範囲がある。振動板20aの厚みが厚い(剛性が高い)ほど、圧力付与部材20を変形させるためには、大きな応力が必要となる。圧電体膜20bの厚みを大きくすると発生する応力を増大させることができるが、駆動電圧を高くする必要がある。
【0044】
一方、従来の圧電アクチュエータの形成に用いられた方法、即ち、ペースト状のPZTをドクターブレード法またはスクリーン印刷法でPZTのグリーンシートを制作する方法は、数十μm以上の厚膜の圧電体膜を形成する方法であって、数μmから10μm程度の圧電体膜を形成することは困難で、駆動電圧を高くする必要がある。また、化学蒸着法やスパッタ法は、1μm程度の膜を形成する方法で、本実施例に適用不可能ではないが、十分な応力を発生するには以下の方法が好適である。
【0045】
そこで、本実施例の圧電体膜20bは、後述するエアロゾルデポジション法(以下単に「AD法」と称す)(S31)、ゾルゲル法(S32)の内のいずれかの方法で形成されている(図5〜図7参照)。
【0046】
また、圧電体膜20bの上面(振動板20aと反対側の面)には、積層方向においてその下側に設けられた各液室16に対応する箇所ごとに、細幅の個別電極24が、第1の方向(長辺方向)に沿って列状に形成されている(図2において(a)で示す拡大図参照)。各個別電極24は、圧電体膜20bの中央部から、第1の方向と直交する第2の方向に延出された短冊状に形成されている。本実施例においては、前記各個別電極24の幅寸法は対応する液室16における平面視での幅より少し狭く設定されている。
【0047】
振動板20aは導電性の金属材料で形成され、個別電極24とで圧電体膜20bを挟み込む構成となって、全ての液室16に対して共通のコモン電極となる。
【0048】
圧力付与部材20の上側には、フレキシブルフラットケーブル40が重ねられる。このフレキシブルフラットケーブル40には、各個別電極24のそれぞれに独立に接続される配線パターン(図示せず)が形成され、各個別電極24は、該配線パターンを介して電源及び信号源に電気的に接続される。
【0049】
フレキシブルフラットケーブル40を介して全ての個別電極24と振動板20aとの間に、通常の吐出動作時よりも高い電圧を印加することで、圧電体膜20bにおいて、個別電極24と振動板20aとの間に挟まれた部分が分極処理される。これにより、圧電体膜20bの分極処理された部分に、吐出動作のための電圧を印加したときに歪みの発生する活性部が形成される。
【0050】
次に、図4を参照して、上記のように構成された圧電式インクジェットへッド6のインク吐出動作について説明する。
【0051】
図4は、図2に示した圧電式インクジェットへッド6のII−II断面線における断面構造を模式的に示した図である。図4(a)は、個別電極24と振動板20aとに電圧が印加されていない状態を示した図である。
【0052】
キャビティプレート14により形成される液室16にはインクが充填されており、スペーサプレート13及びマニホールドプレート11,12のそれぞれに設けられた貫通孔17によって、液室16に充填されたインクは、ノズルプレート43のノズル54の開口近傍まで誘導されている。
【0053】
尚、圧電式インクジェットヘッド6に保持されているインク(吐出前のインク)には、吐出方向とは反対側に作用する負圧が作用している。このため、電圧が印加されていない状態で、下向きに開口したノズル54からインクが吐出されることはなく、ノズル54まで誘導されたインクには、メニスカスZが形成されている。
【0054】
液室16の上面には、個別電極24と振動板20aとの間の分極処理された圧電体膜20bの活性部が対応している。活性部は、図4の圧電体膜20bにおいて、黒の太枠線で囲み表示している。本実施例では、分極方向は、振動板20aの面に対して垂直な方向、即ち、圧電体膜20bの厚み方向であり、且つ、圧電体膜20bから振動板20aに向かう方向(図4において矢印Pで示す方向)となるように分極処理が施されている。また、コモン電極となる振動板20aは、グランドに接続(接地)されている。
【0055】
図4(b)は、図4(a)に示した圧電式インクジェットヘッド6に電圧が印加された状態を示した図である。フレキシブルフラットケーブル40を介して任意の個別電極24に電圧を印加する(個別電極24を正極とし、振動板20aを接地する)と、活性部に分極方向Pと同方向に電界が形成される。そして、該活性部は、分極方向Pと直角方向(図4(b)において矢印X1,X2で示す方向)に収縮する。このとき、振動板20aは縮まないので、振動板20aと圧電体膜20bとは、振動板側、即ち、液室16側に凸となるように湾曲する。
【0056】
このため、所定の液室16が選択的に加圧され、該液室16の容積が低下する。すると、該液室16内のインクの圧力が上昇し、その圧力が、対応するノズル54に伝播されて、インク滴が吐出される。電圧の印加が停止されれば、湾曲した圧電体膜20bと振動板20aとは元の状態に戻って、液室16の容積が元に戻る。液室16は減圧状態となるので、インク供給側(インクカートリッジ61)からインクを吸引する。これにより、圧電式インクジェットヘッド6の状態は、図4(a)に示した状態に復帰する。
【0057】
なお、通常、圧力付与部材20の全個別電極24に電圧を印加して液室16の容積を縮小しておき、ノズルからインク滴を吐出させるときには、その吐出させようとする液室16に対応する個別電極24の電圧印加を停止し、圧力付与部材20の弾性により液室16の容積を拡大した後、再びその個別電極24に電圧を印加して液室16内のインクに吐出のための圧力を付与することもできる。
【0058】
次に、図5から図7を参照して、上記のように構成された圧電式インクジェットヘッド6の製造方法について説明する。
【0059】
図5は、本発明の実施の形態の1つである圧電式インクジェットヘッド6の製造工程(ヘッド製造工程)を示した図である。圧電式インクジェットヘッド6は、インク貯留部形成工程(S1)、振動板接合工程(S2)、PZT成膜工程(S3)、アニール工程(S4)、電極印刷工程(S5)、分極工程(S6)、組立工程(S7)の各工程を順に経て製造され、完成に至る。
【0060】
インク貯留部形成工程(S1)は、インク貯留部10を形成する工程であり、積層工程(S11)を備えている。積層工程(S11)は、インク貯留部10を形成する板状部材を積層する工程である。所定形状に加工されたマニホールドプレート11,12、スペーサプレート13、キャビティプレート14は、マニホールドプレート11,12及びスペーサプレート13の各貫通孔17と、キャビティプレート14の液室16の先端16aとが、それぞれ対応する位置にセットされるように位置決めされ、上記した順に積層される。
【0061】
板状部材が板状金属部材であると、得られた積層体は、位置ズレを防止するために仮止めを行った後、振動板接合工程(S2)へ搬入される。一方、板状部材がガラスのグリーンシートであると、積層工程(S11)の終了後、得られた積層体は、焼結工程(S12)へ搬入される。
【0062】
焼結工程(S12)は、グリーンシートの積層体を焼結により一体化する工程である。該工程(S12)では、積層体を真空プレスして各プレート11〜14を密着させた後、脱脂と焼成とを行ってインク貯留部10の成型体を得る。得られた成型体は、振動板接合工程(S2)へ搬入される。
【0063】
振動板接合工程(S2)は、インク貯留部形成工程(S1)において作製された積層体或いは成型体に振動板20aを接合する工程である。この振動板接合工程(S2)では、拡散接合工程(S21)または、陽極接合工程(S22)のいずれかの工程によって、振動板20aの接合が実行される。
【0064】
拡散接合工程(S21)は、板状金属部材の積層体に対して適用される工程である。該工程(S21)では、インク貯留部形成工程(S1)で作製された積層体を、真空もしくは窒素やアルゴンなどの不活性雰囲気下で、積層体の再結晶温度以上(1000℃〜1300℃)に加熱しつつ、4.9Mpa〜19.6Mpaで0.5時間〜24時間圧縮する。
【0065】
陽極接合工程(S22)は、ガラスの成形体に対して適用される工程である。該工程(S22)では、インク貯留部形成工程(S1)で作製された成形体を、ガラス軟化点より低い温度に加熱し、振動板20aを負極、インク貯留部10を陽極として数百ボルトの直流電圧を印加する。
【0066】
これらの拡散接合工程(S21)または、陽極接合工程(S22)を経ることにより、振動板20aとインク貯留部10とは接合される。つまり、振動板20aと、インク貯留部10を形成するキャビティプレート14とが接合される。尚、請求項1に記載の第1のシート材料は、本実施例においては、キャビティプレート14を示している。尚、キャビティプレート14は、必ずしも、他のプレートと独立した状態の板状部材(シート材料)である必要はなく、他のプレートと一体化されている板状部材(シート材料)であっても良い。
【0067】
このように、インク貯留部10を形成する板状部材のそれぞれの接合および振動板20aの接合において、有機系の接着剤は未使用であるので、板状部材の接合(積層)界面の耐熱性を向上させることができる。
【0068】
PZT成膜工程(S3)は、振動板20aの上面に、圧電体膜20bを形成するための処理である。このPZT成膜工程(S3)では、AD法(S31)またはゾルゲル法(S32)のいずれかの方法によって、緻密な略10μm厚さの圧電体膜20bが成膜される。このPZT成膜工程(S3)のAD法(S31)およびゾルゲル法(S32)について、図6と図7とを参照して説明する。
【0069】
図6は、PZT成膜方法の1つであるAD法(S31)を説明する図である。AD(S31)法は、サブμmの直径のPZT微粒子をガス流に乗せて被着体に吹き付け、被着体表面に結合させる成膜方法である。図6に示すように、PZT粉末は、タンク120に収蔵され、ガスボンベ124の駆動によってチューブ123を介して供給された圧縮ガスによって舞上がり、圧縮ガスを媒体として、貫通口125からチューブ127経由で成膜室130へ輸送される。このとき輸送媒体として用いるガスは、窒素ガス、ヘリウムガスなどである。
【0070】
成膜室130は、振動板20aにPZT粉末を噴射するための室である。この成膜室130の天井部には、タンク120からチューブ127を介して供給されたPZT粉末を下方に向かって噴射するノズル部材132が備えられている。
【0071】
ノズル部材132の下方であって、その対向する位置には、振動板接合工程(S2)で作製されたインク貯留部10と振動板20aとの接合体が設置される設置台(非図示)が設けられている。この設置台はノズル部材132と対向する方向と直角な水平面に沿ってすなわちX−Y方向に移動可能に構成されている。インク貯留部10と振動板20aとの接合体は、振動板20aがノズル部材132に対向するように設置台に設置される。
【0072】
この成膜室130には、その内部を脱気するための真空ポンプ133が接続されている。PZT粉末の噴射時には、この真空ポンプ133によって、成膜室130内は所定の圧力に減圧されている。
【0073】
タンク120から輸送されたPZT粉末は、高速で、ノズル部材132から被着体である振動板20a上に噴射される。噴射されたPZT粉末の運動エネルギーは、振動板20aに衝突することによって熱エネルギーに変換され、その熱エネルギーによって粒子同士が一体化され、振動板20aの面上に圧電体膜20bが形成される。設置台に設置された接合体は、X−Y方向に搬送される。これにより、振動板20aの面上に、まんべんなくPZT粉末が噴射され、均一で緻密な圧電体膜20bが形成される。なお、表面に露出しているインク貯留部10の部分(振動板20a以外の部分)には、マスキングを施しておいても良い。
【0074】
AD法(S31)は、高速でPZT粉末を被着体に噴射する必要があるので、被着体には強い衝撃力が加わる。本実施例の圧電式インクジェットヘッド6の製造方法では、インク貯留部形成工程(S1)、振動板接合工程(S2)を経た後に、PZT成膜工程(S3)へと進行するので、振動板20a単体の状態ではなく、振動板20aをインク貯留部10に組み付けて剛性の高い状態で圧電体膜20bを成膜することができる。故に、振動板20aが10μm〜50μm厚といった薄型のものであっても、PZT噴射時の衝撃力に十分に耐えることができる。
【0075】
図7は、PZT成膜方法の1つであるゾルゲル法(S32)を説明する図である。ゾルゲル法(S32)は、圧電体膜20bを形成可能な金属成分の水酸化物の水和錯体、すなわちゾルを脱水処理してゲルとし、このゲルを加熱焼成して無機酸化物を調整する方法である。
【0076】
このゾルゲル法(S32)により圧電体膜20bを形成するには、まず、PZT膜を形成可能なチタン、ジルコニウム、鉛、さらには他の金属成分それぞれのアルコキシドに水、アルコールを加えて、PZT前駆体溶液を調整する。調整されたPZT前駆体溶液は、ゾル組成物となる。
【0077】
そして、PZT前駆体溶液スピンコート工程(S321)において、PZT前駆体溶液を振動板20a上にスピンコートする。振動板20aは、振動板接合工程(S2)において、インク貯留部10に接合されているので、PZT前駆体溶液は、インク貯留部10に接合された振動板20aの上面に塗布される。尚、塗布方法は、スピンコート以外に、通常行われている方法、例えば、ディップコート、ロールコート、バーコート、スクリーン印刷あるいはスプレー噴霧等によって行ってもよい。
【0078】
塗布されたPZT前駆体溶液は、乾燥工程(S322)において、75℃〜200℃で5分間乾燥し、溶媒を蒸発させる。この乾燥(加熱)された膜上に、PZT前駆体溶液をさらに塗布して膜厚を厚くすることもできる。
【0079】
乾燥工程の後は、形成された膜を、焼成工程(S323)において焼成する。この焼成工程は、ゾル組成物の膜をゲル化し、かつ膜中から有機物を除去するのに十分な温度で、十分な時間加熱が行われる。本実施例では、焼成温度を350〜450℃として、5分間焼成が行われる。このPZT前駆体溶液スピンコート工程(S321)、乾燥工程(S322)、焼成工程(S323)の各工程を所定回数、例えば4回以上繰り返して必要厚みの圧電体前駆体膜を積層する。これらの乾燥と脱脂処理により、溶液中の金属アルコキシドは、金属、酸素、金属のネットワークを形成する。
【0080】
その後、プレアニール工程(S324)において、圧電体前駆体膜のアニール処理を行う。プレアニール処理は、圧電体前駆体膜を熱処理により結晶化させる工程である。該工程(S324)において、圧電体前駆体膜を酸素雰囲気下において、700℃で1分間焼成する。これにより、圧電体前駆体膜は、ペロブスカイト結晶構造の金属酸化膜からなる膜に変換され、圧電体膜20bが形成される。
【0081】
ゾルゲル法(S32)では、繰り返して熱処理を行う必要がある。このため、10μm〜50μm厚みの振動板20aに圧電体膜20bを形成する場合には、振動板20aとの熱膨張率の相違からカールの発生が懸念される。しかし、本実施例の圧電式インクジェットヘッド6の製造方法では、振動板20a単体の状態ではなく、振動板20aをインク貯留部10に組み付けた状態(振動板20aの剛性を高めた状態)で圧電体膜20bを形成するので、振動板20aが10μm〜50μm厚といった薄型のものであっても、カールの発生を抑制できる。
【0082】
工程内部品にカールや変形が生じると、その取り扱いが煩雑となる。また、カールや変形の修正を行いつつ組み立てなどを行わなくてはならず、生産効率を低下させる。また、カールなどが著しい場合には、製品として取り扱えない不良品となる。しかし、本実施例の製造方法においては、PZT成膜工程(S3)の前に、インク貯留部形成工程(S1)と振動板接合工程(S2)とを設けているので、カールや変形を抑制でき、良好な製品を歩留まり良く製造することができる。
【0083】
図5に戻って説明する。アニール工程(S4)は、PZT成膜工程(S3)で作製された圧電体膜20bを形成するPZTの結晶を成長させるための工程であり、高温での熱処理が行われる。PZTの成膜方法に応じてアニール条件は設定される。例えば、AD法(S31)で作製された場合には、600℃〜750℃で1時間程度、熱処理される。ゾルゲル法(S32)で作製された場合には、RTA炉を用いると、600℃〜1200℃で0.1〜10分程度で熱処理される。
【0084】
このアニール工程では、従来のグリーンシートを焼成する場合のような千数百℃の高温を用いないので、インク貯留部10を形成する板状部材の変形や損傷を生じることはない。この場合、もちろんインク貯留部10を形成する板状部材は、アニール処理には耐え得る材料である。このアニール工程により、圧電体に前述の成膜時に生じた応力を解放することができるとともに圧電体を結晶化させ、圧電特性を発現させまたは駆動時における圧電特性を向上させることができる。
【0085】
本実施例においては、上記のとおり剛性を高めているので、アニール工程(S4)において高温の熱処理を行っても、部材の脱離や変形などが発生することはない。
【0086】
電極印刷工程(S5)は、圧電体膜20bの上面に、個別電極24を形成する工程である。個別電極24は、各液室16のそれぞれの位置に対応つけてパターンニングされたマスクを圧電体膜20bの上面に合わせ、マスクの上から電極ペーストを印刷する。各液室16の上面に対応する位置に印刷されたペーストは、所定条件で乾燥した後に焼成して金属層とする。
【0087】
分極工程(S6)は、圧電体膜20bを分極するための工程である。この分極工程(S6)では、フレキシブルフラットケーブル40を圧電体膜20bの上部に装着し、電極印刷工程(S5)で形成された個別電極24のそれぞれと、各個別電極24に対応するフレキシブルフラットケーブル40の配線パターンとを導通する。そして、個別電極24を正極とし、振動板20aを接地して、インク吐出動作時よりも高い電圧を圧電体膜20bに印加する。これにより、圧電体膜20bは、振動板20aの面に対して垂直な方向、即ち、圧電体膜20bの厚み方向に分極処理が施される。また、分極方向は、圧電体膜20bの上面から振動板20a側に向かう方向となる。これにより、圧電体膜20bにおいて、個別電極24の形成された(電圧の印加された)部分に、圧電体として機能する活性部が形成される。
【0088】
その後、組立工程(S7)によって、圧電式インクジェットヘッド6は、インクジェット記録装置100の本体に搭載される。
【0089】
以上説明したように、本実施例の圧電式インクジェットヘッド6の製造方法によれば、各板状部材および振動板20aを有機系の接着剤を使用することなく接合して圧電式インクジェットヘッド6を形成するので、各接合部の耐熱性を向上させることができる。このため、圧電体膜20bを形成するために熱処理を行った後も、その形状を保つように接合形態を維持することができる。また、インク貯留部10に振動板20aを接合した状態で圧電体膜20bを振動板20a上に形成するので、圧電体膜20bを形成する処理条件が厳しくとも、振動板20aのダメージを軽減することができる。更に、圧電体膜20bの形成された振動板20a(圧力付与部材20)のハンドリング性を向上させることができる。
【0090】
以上、実施例に基づいて本発明を説明したが、本発明は、上記実施例に何ら限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で種々の改良変形が可能であることは容易に推察できるものである。
【0091】
本実施例においては、上記した製造方法は、予め単独の圧電式インクジェットヘッド6を形成するために所定形状に加工された板状部材を使用するものとした。これに代えて、1の圧電式インクジェットヘッド6を作製するための各部材がマトリクス状に連ねられた板状部材を用いて、本実施例の圧電式インクジェットヘッド6を製造するようにしてもよい。これによれば、複数の圧電式インクジェットヘッド6が同時に形成された一体物を得ることとなり、得られた一体物を、分極工程(S6)の後であって組立工程(S7)の前にダイシングすることにより、個別の圧電式インクジェットヘッド6とする。
【0092】
加えて、上記実施例においては、特に言及していないが、PZT成膜工程(S3)の前に、形成される圧電体膜20bと振動板20aとの密着性を向上させるために、振動板20aの清浄工程や、更にはプライマー処理を行う処理工程を設けても良い。
【0093】
また、本実施例においては、ノズルプレート43を除く板状部材の積層体と振動板20aとを拡散接合或いは陽極接合して、得られた積層体の振動板20aの上面に圧電体膜20bを形成したが、圧電体膜20bの被形成側の積層体はこれに限られるものではなく、例えば、キャビティプレート14と振動板20aとの積層体、或いはキャビティプレート14とスペーサプレート13と振動板20aとの積層体など、積層体の構成は適宜選択できるものである。
【0094】
これによれば、ノズルプレート43以外にも、圧電体膜20bを形成する工程を経ない部品については、プラスチック材料などを用いることができ、また、有機系の接着剤で接合を行うことができるので、コストの低減や、製造時間の短縮を図ることができる。
【0095】
加えて、インク貯留部10を全て無機材料の板状部材を用いて形成しても良い。つまり、インク貯留部10を完成体としてから振動板20aの接合を行うようにしても良い。これによれば、工程内の作業を簡略にすることができる。
【0096】
更に、本実施例においては、インクジェットヘッドに適用した例を用いて説明したが、本発明は、圧電素子の変形により液体に圧力を付与して移送するものならば、各種の装置に適用することができる。
【0097】
【発明の効果】
請求項1の液体移送装置の製造方法によれば、液室を形成する開口を有する第1のシート材料とその開口を覆う第2のシート材料とが積層され一体化される。このシート材料の積層体における第2のシート材料上の、少なくとも液室の開口に対応する位置を含む位置には、圧電素子を構成する材料が成膜形成される。形成された圧電体膜とシート材料の積層体とは、アニール処理される。
【0098】
よって、第2のシート材料のみの場合よりも剛性が高められた状態(第1のシート材料と第2シート材料が一体化された状態)で、圧電体膜を形成することができ、圧電体膜の形成によってシート材料が受けるダメージを軽減することができる。
【0099】
更に、アニール処理によって、積層されたシート材料を損傷することなく圧電体を結晶化して、圧電体の特性を発現または向上させることができる。
【0100】
請求項2に記載の液体移送装置の製造方法によれば、液室を形成する開口を有する第1のシート材料とその開口を覆う第2のシート材料とが、接合工程により、積層され、拡散接合または陽極接合により一体化される。一体化されたシート材料の積層体における第2のシート材料上の少なくとも液室の開口に対応する位置を含む位置には、圧電体膜形成工程により、圧電素子を構成する超微粒子が噴射、堆積されて、圧電体膜が形成される。形成された圧電体膜とシート材料の積層体と(圧電体膜の形成されたシート材料の積層体)は、アニール工程によりアニール処理される。
【0101】
よって、第2のシート材料のみの場合よりも剛性が高められた状態(第1のシート材料と第2のシート材料が一体化された状態)で、圧電体膜を形成することができ、圧電体膜の被形成側(第2のシート材料)の耐衝撃性を向上させることができるという効果がある。このため、圧電体膜の形成によって第2のシート材料が受けるダメージを軽減させることができるという効果がある。
【0102】
圧電素子を構成する超微粒子を噴射、堆積して、圧電体膜を形成する製造方法では、第2のシート材料が、厳しい成膜条件にさらされるが、第2のシート材料が受けるダメージを軽減できるので、薄型の圧電素子を、即ち、薄型化された第2のシート材料に対して適正な厚みの圧電体膜を備えた圧電素子を形成することができる。
【0103】
更に、第1のシート材料と第2のシート材料とは、拡散接合または陽極接合により一体化されているので、有機物が分解される高温でアニール処理を行っても、積層体の接合面は、積層体を維持する十分な接合強度を保持することができるという効果がある。
【0104】
これによれば、圧電体素子を低い電圧で駆動させても大きな変形量を得ることができる圧電素子を形成できるので、消費電力を低減することのできる液体移送装置を製造することができる。
【0105】
請求項3に記載の液体移送装置の製造方法によれば、液室を形成する開口を有する第1のシート材料とその開口を覆う第2のシート材料が、接合工程により、積層され、拡散接合または陽極接合により一体化される。一体化されたシート材料の積層体における第2のシート材料上の少なくとも開口に対応する位置を含む位置には、圧電体膜形成工程により、圧電素子を構成する材料の溶液の塗布と、加熱とが繰り返されて圧電体膜が形成される。形成された圧電体膜とシート材料の積層体と(圧電体膜の形成されたシート材料の積層体)は、アニール工程によりアニール処理される。
【0106】
よって、第2のシート材料のみの場合よりも剛性が高められた状態(第1のシート材料と第2のシート材料が一体化された状態)で、圧電体膜を形成することができ、圧電体膜の形成によって第2のシート材料が受けるダメージを軽減させることができるという効果がある。
【0107】
つまり、圧電素子を構成する材料の溶液のスピンコートによる塗布と、加熱とを繰り返して圧電体膜を形成する製造方法は、繰り返しの熱履歴に、第1のシート材料と第2のシート材料との積層体はさらされる。このため、例えば、厚みの薄い第2のシート材料単独に圧電体膜を形成すると、カールや変形(ダメージ)が生じやすい。しかし、第2のシート材料の厚みが薄い場合であっても、第2のシート材料が第1のシート材料で補強された状態で圧電体膜を形成することができるので、カールや変形を抑制できる。これにより、薄型の圧電素子を、即ち、薄型化された第2のシート材料に対して適正な厚みの圧電体膜を備えた圧電素子を形成することができる。
【0108】
更に、第1のシート材料と第2のシート材料とは、拡散接合または陽極接合により一体化されているので、有機物が分解される高温でアニール処理を行っても、積層体の接合面は、積層体を維持する十分な接合強度を保持することができるという効果がある。
【0109】
故に、圧電体素子を低い電圧で駆動させても大きな変形量を得ることができる圧電素子を形成でき、消費電力を低減することのできる液体移送装置を製造することができる。
【0110】
請求項4に記載の液体移送装置の製造方法によれば、請求項1から3のいずれかに記載の液体移送装置の製造方法の奏する効果に加え、シート材料は、金属シート材料であって、拡散接合により一体化される。よって、シート材料の積層体を、圧電体膜(圧電素子)の形成に耐え得る十分な強度を有するものとすることができる上、材質に適した接合方法で各シート材料を接合でき、一体化されたシート材料の積層体に十分な接合強度を付与することができるという効果がある。
【0111】
請求項5に記載の液体移送装置の製造方法によれば、請求項1から3のいずれかに記載の液体移送装置の製造方法の奏する効果に加え、第1のシート材料はガラスシート材料であり、第2のシート材料は金属シート材料若しくはシリコン基板であって、第1のシート材料と第2のシート材料とは、陽極接合により一体化される。よって、シート材料の積層体を、圧電体膜(圧電素子)の形成に耐え得る十分な強度を有するものとすることができる上、材質に適した接合方法で各シート材料を接合でき、一体化されたシート材料の積層体に十分な接合強度を付与することができるという効果がある。
【0112】
請求項6に記載の液体移送装置の製造方法によれば、請求項4に記載の液体移送装置の製造方法の奏する効果に加え、圧電体膜形成工程の前に、液室に連通する流路を形成する流路口を有する1以上の金属シート材料および第1のシート材料を、第1のシート材料が最上層になるように積層し、金属シート材料と第1のシート材料との積層体を拡散接合により一体化する積層工程を備えている。よって、第1のシート材料は、別の金属シート材料と一体化された状態となり、第1のシート材料のみに第2のシート材料を積層する場合よりも圧電体膜の被形成側の剛性を一層高めることができるという効果がある。このため、第2のシート材料(圧電体膜の被形成側)を、圧電体膜の形成に十分に耐える強度を有するものとすることができ、良好な状態の液体移送装置を製造できる。加えて、積層工程により作製された積層体は、拡散接合により金属シート材料が一体化されたものであるので、かかる積層体部分についても、アニール処理を経ることによる接合状態の悪化や、製品として使用できないような熱変形が発生することがない。
【0113】
請求項7に記載の液体移送装置の製造方法によれば、請求項5に記載の液体移送装置の製造方法の奏する効果に加え、圧電体膜形成工程の前に、液室に連通する流路を形成する流路口を有する1以上のガラスグリーンシートと第1のシート材料のグリーンシートとを、第1のシート材料が最上層に形成されるように積層して焼成し、一体化する積層工程を備えている。
【0114】
よって、第1のシート材料は、別のガラスシート材料(ガラスグリーンシートが焼成されたもの)と一体化された状態となり、第1のシート材料単独に第2のシート材料を積層する場合よりも圧電体膜の被形成側の剛性を一層高めることができるという効果がある。このため、第2のシート材料(圧電体膜の被形成側)を、圧電体膜の形成に十分に耐える強度を有するものとすることができ、良好な状態の液体移送装置を製造できる。加えて、積層工程により作製された積層体についても、アニール処理を経ることによる接合状態の悪化や、製品として使用できないような熱変形が発生することがない。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の製造方法により製造された圧電式インクジェットヘッドを搭載したインクジェット記録装置を示す斜視図である。
【図2】圧電式インクジェットヘッドの外観斜視図である。
【図3】インク貯留部の分解斜視図である。
【図4】図2に示した圧電式インクジェットへッドのII−II断面線における断面構造を模式的に示した図である。
【図5】本発明の圧電式インクジェットヘッドの製造工程を示した図である。
【図6】PZT成膜方法の1つであるエアロゾルデポジション法を説明する図である。
【図7】PZT成膜方法の1つであるゾルゲル法を説明する図である。
【符号の説明】
6 圧電式インクジェットヘッド(液体移送装置)
16 液室(液室、開口)
14 キャビティプレート(第1のシート材料)
17 貫通孔(流路口)
20a 振動板(第2のシート材料)
54 ノズル(流路口)
S1 インク貯留部形成工程(積層工程)
S2 振動板接合工程(接合工程)
S3 PZT成膜工程(圧電体膜形成工程)
S11 積層工程(積層工程)
S12 焼成工程(積層工程)
S21 拡散接合工程(接合工程、積層工程の一部)
S22 陽極接合工程(接合工程)
液体(インク)
板状金属部材(金属シート材料)
グリーンシート(ガラスグリーンシート、グリーンシート)
【発明の属する技術分野】
本発明は、液体移送装置の製造方法に関し、特に、低い駆動電圧で駆動された圧電素子によっても、十分に液室内の液体に圧力を付与して、液室から外部に液体を移送することができる液体移送装置の製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来より、圧電素子により液体を移送する装置、例えば、インクジェット記録装置に搭載されるインクジェットヘッドには各種構成のものが知られている。その一例として、特開平11−34341号公報に記載されたものは、弾性板として用いる圧電体層の表面全体に共通電極を印刷した後、その圧電体層の共通電極の印刷側に別の圧電体層を積層して真空プレスして更に焼成し一体化する。後者の圧電体層を分極した後、前者の圧電体層の弾性板と、インク室が予め形成されているキャビティプレートとを積層し、接着剤などにより接着する。最後に、前記後者の圧電体層の各インク室に対応する位置に帯状の個別電極を形成し、圧電素子を完成させる。この完成した圧電素子に対してノズルプレート、駆動回路などを接続すれば、インクジェットヘッドが完成となる。
【0003】
この圧電素子の個別電極に正の電圧が印加され、共通電極に負の電圧が印加されると、圧電素子が変形して(電極に挟まれた圧電体層が面方向に収縮し、弾性板がこれを拘束しようとして生じる撓みにより)インク室内に突出する。このため、インク室内のインクは加圧され、インクがインク吐出口から吐出されて記録が実行されることとなる。
【0004】
【特許文献1】
特開平11−34341号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述したインクジェットヘッドの製造方法は、積層された圧電体層を焼成して圧電素子を形成するものであるので、比較的厚みの厚い圧電素子(圧電体層)の製造に適した方法である。
【0006】
ここで、インク室からインクを吐出する際には、弾性板が厚い(剛性が高い)ほど、高い応力を弾性板に付与しなくてはならない。この高い応力を弾性板に付与するためには、圧電素子(圧電体層)の変形量を大きくしなくてはならず、高い電圧が駆動電圧として必要になるという問題点があった。
【0007】
一方、弾性板を薄くするほど、弾性板の剛性を小さくでき、低い駆動電圧で、該弾性板を動作させることができる。しかし、上述したインクジェットヘッドの製造方法では、成膜の限界や、ハンドリングなどの点から、数μmから略10μm程度の厚みの圧電体層(薄型の圧電体層)を作製することは困難であり、この点でも高い駆動電圧が必要となるという問題点があった。
【0008】
薄型の圧電体層を形成する一般的な方法においては、基材となるシート材料上に圧電素子を形成する超微粒子を噴射、堆積させるエアロゾルデポジション法という手法がある。しかし、これを利用して薄型化された弾性板上に圧電素子を形成する場合には、高速で弾性板上に噴射される微粒子のエネルギーによって生ずる応力により、薄型化された弾性板に、回復できないダメージを与えてしまいかねないという問題点があった。
【0009】
更に、薄型の圧電素子を形成する別の方法として、前記圧電素子を構成する材料の溶液をスピンコートによって塗布することと、加熱することとを繰り返すいわゆるゾルゲル法という手法がある。しかし、これを利用して薄型化された弾性板上に圧電素子を形成する場合には、繰り返される熱ストレスにより、弾性板が変形(カール)してしまいやすいという問題点があった。
【0010】
本発明は、このような問題点を解消すべくなされたものであって、低い駆動電圧で駆動された圧電素子によっても、十分に液室内の液体に圧力を付与して、液室から外部に液体を移送することができる液体移送装置の製造方法を提供することを目的とするものである。
【0011】
【課題を解決するための手段】
この目的を達成するために請求項1に記載の液体移送装置の製造方法は、圧電素子を変形させてその圧電素子に対応して設けられた液室内の液体に圧力を付与し、その液室から外部に液体を移送する液体移送装置において、前記液室を形成する開口を有する第1のシート材料とその開口を覆う第2のシート材料を積層して一体化する工程、前記シート材料の積層体における第2のシート材料上の少なくとも前記開口に対応する位置を含む位置に、前記圧電素子を構成する材料を成膜形成する工程、前記シート材料の積層体及び前記圧電体膜をアニール処理し、前記圧電素子を構成する材料を結晶化する工程とを備えている。
【0012】
この請求項1の液体移送装置の製造方法によれば、液室を形成する開口を有する第1のシート材料とその開口を覆う第2のシート材料とが積層され一体化される。このシート材料の積層体における第2のシート材料上の、少なくとも液室の開口に対応する位置を含む位置には、圧電素子を構成する材料が成膜形成される。形成された圧電体膜とシート材料の積層体とは、アニール処理され、圧電素子を構成する材料が結晶化される。
【0013】
請求項2に記載の液体移送装置の製造方法は、圧電素子を変形させてその圧電素子に対応して設けられた液室内の液体に圧力を付与し、その液室から外部に液体を移送する液体移送装置の製造方法であり、前記液室を形成する開口を有する第1のシート材料とその開口を覆う第2のシート材料を積層して拡散接合または陽極接合により一体化する接合工程と、前記シート材料の積層体における第2のシート材料上の少なくとも前記開口に対応する位置を含む位置に、前記圧電素子を構成する超微粒子を噴射、堆積させて圧電体膜を形成する圧電体膜形成工程と、前記シート材料の積層体及び前記圧電体膜をアニール処理するアニール工程とを備えている。
【0014】
この請求項2に記載の液体移送装置の製造方法によれば、液室を形成する開口を有する第1のシート材料とその開口を覆う第2のシート材料とが、接合工程により、積層され、拡散接合または陽極接合により一体化される。つまり、一体化されたシート材料の積層体が形成される。このシート材料の積層体における第2のシート材料上の、少なくとも液室の開口に対応する位置を含む位置には、圧電体膜形成工程により、圧電素子を構成する超微粒子が噴射、堆積されて、圧電体膜が形成される。形成された圧電体膜とシート材料の積層体と(圧電体膜の形成されたシート材料の積層体)は、アニール工程によりアニール処理される。
【0015】
請求項3に記載の液体移送装置の製造方法は、圧電素子を変形させてその圧電素子に対応して設けられた液室内の液体に圧力を付与し、その液室から外部に液体を移送する液体移送装置の製造方法であり、前記液室を形成する開口を有する第1のシート材料とその開口を覆う第2のシート材料を積層して拡散接合または陽極接合により一体化する接合工程と、前記シート材料の積層体における第2のシート材料上の少なくとも前記開口に対応する位置を含む位置に、前記圧電素子を構成する材料の溶液を塗布することと、加熱することとを繰り返して圧電体膜を形成する圧電体膜形成工程と、前記シート材料の積層体及び前記圧電体膜をアニール処理するアニール工程とを備えている。
【0016】
この請求項3に記載の液体移送装置の製造方法によれば、液室を形成する開口を有する第1のシート材料とその開口を覆う第2のシート材料とが、接合工程により、積層され、拡散接合または陽極接合により一体化される。つまり、一体化されたシート材料の積層体が形成される。一体化されたシート材料の積層体における第2のシート材料上の、少なくとも開口に対応する位置を含む位置には、圧電体膜形成工程により、圧電素子を構成する材料の溶液の塗布と、加熱とが繰り返されて圧電体膜が形成される。形成された圧電体膜とシート材料の積層体と(圧電体膜の形成されたシート材料の積層体)は、アニール工程によりアニール処理される。
【0017】
請求項4に記載の液体移送装置の製造方法は、請求項1から3のいずれかに記載の液体移送装置の製造方法において、前記シート材料は、金属シート材料であって、拡散接合により一体化される。
【0018】
請求項5に記載の液体移送装置の製造方法は、請求項1から3のいずれかに記載の液体移送装置の製造方法において、前記第1のシート材料はガラスシート材料であり、前記第2のシート材料は金属シート材料若しくはシリコン基板であって、前記第1のシート材料と前記第2のシート材料とは、陽極接合により一体化される。
【0019】
請求項6に記載の液体移送装置の製造方法は、請求項4に記載の液体移送装置の製造方法において、前記圧電体膜形成工程の前に、前記液室に連通する流路を形成する流路口を有する1以上の金属シート材料および前記第1のシート材料を、前記第1のシート材料が最上層になるように積層し、前記金属シート材料と前記第1のシート材料との積層体を拡散接合により一体化する積層工程を備えている。
【0020】
請求項7に記載の液体移送装置の製造方法は、請求項5に記載の液体移送装置の製造方法において、前記圧電体膜形成工程の前に、前記液室に連通する流路を形成する流路口を有する1以上のガラスグリーンシートと前記第1のシート材料のグリーンシートとを、前記第1のシート材料が最上層に形成されるように積層して焼成し、一体化する積層工程を備えている。
【0021】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好ましい実施例について、添付図面を参照して説明する。図1は、本発明の一実施例である製造方法により製造された圧電式インクジェットヘッド6を搭載したインクジェット記録装置100を示す斜視図である。まず、このインクジェット記録装置100について略述する。圧電式インクジェットヘッド6は、用紙62に印字をするものであり、インクカートリッジ61と共にキャリッジ64に搭載されている。
【0022】
キャリッジ64は、エンドレスベルト75に接合されており、プーリ73がモータの駆動により正逆回転されると、キャリッジ軸71およびガイド板72に沿って直線方向に往復移動する。この往復移動中に圧電式インクジェットヘッド6に穿設されたノズル54(図3参照)から、インクが用紙62に向けて吐出される。用紙62は、インクジェット記録装置100の側方に設けられた給紙カセット(図示せず)から、圧電式インクジェットヘッド6と、プラテンローラ66との間に給紙され、圧電式インクジェットヘッド6によって所定の印字がなされた後に排紙される。尚、用紙62の給紙、排紙機構については図示を省略する。
【0023】
また、プラテンローラ66の側方にはパージ装置67が設けられている。パージ装置67は、圧電式インクジェットヘッド6の内部に溜まっている不良インクを排出するための装置である。キャリッジ64がリセット位置にある場合に、圧電式インクジェットヘッド6のノズル形成面をパージキャップ81で覆い密閉空間を形成する。その密閉空間は、パージキャップ81と連通し、カム83により作動するポンプ82によって減圧される。こうして圧電式インクジェットヘッド6の内部に溜まっている不良インクは排出される。
【0024】
次に、図2と図3とを参照して、圧電式インクジェットヘッド6の構成について説明する。図2は、圧電式インクジェットヘッド6の外観斜視図である。図2に示すように、圧電式インクジェットヘッド6は、インクを貯留するインク貯留部10と、そのインク貯留部10内のインクに圧力を付与するための圧力付与部材20とを備えている。
【0025】
インク貯留部10は、(後述するノズルプレート43を除いて)無機材料で形成された板状部材を積層して得られた積層体を、一体化したものである。板状部材としては、例えば、ステンレス、チタン、チタン合金、銅、銅合金、工具銅、低合金銅、ニッケル、ニッケル合金、コバルト合金、アルミニウム、アルミニウム合金などの金属の圧延シートである板状金属部材のいずれかが用いられる。
【0026】
また、板状部材は、板状金属部材に限られるものでなく、ホウ珪酸ガラス、鉛ガラス、ソーダガラス、ソーダライムガラスなどのガラス粉末をアクリル系樹脂などのバインダ樹脂に分散させ、シート成形したグリーンシートを用いてもよい。尚、本実施例においては、板状部材を板状金属部材とする場合には、ステンレスを用いており、また、板状部材にグリーンシートを用いる場合にはホウ珪酸ガラスのものを用いている。また、グリーンシートを作製するガラス組成については、後述する圧電体膜20bの形成時(PZT成膜工程(S3)、アニール工程(S4))の熱処理条件においても軟化しないものが選択される。
【0027】
尚、本実施例においては、インク貯留部10の一部には合成樹脂が用いられており、かかる合成樹脂にて形成される部位については、後述するアニール工程(S4)など合成樹脂が変形する加熱を伴う工程の後にインク貯留部10に組み付けられる。
【0028】
金属材料で形成されたインク貯留部10は、積層された板状金属部材の互いに面する側(積層界面)を固層拡散接合により接合し、一体化したものである。また、ガラスで形成されたインク貯留部10は、積層されたグリーンシートを焼結により一体化したものである。このため、本実施例のインク貯留部10を構成する各板状部材の積層界面には、有機系の接着剤は存在しない。このインク貯留部10の詳細な構成を、図3を参照して説明する。
【0029】
図3は、インク貯留部10の分解斜視図である。このインク貯留部10は、図3に示すように、マニホールドプレート11,12、スペーサプレート13及びキャビティプレート14の4枚の板状部材を上記のように積層したものに、ノズルプレート43を貼付した構造である。本実施例では、各プレート11,12,13,14,43は、50μm〜150μm程度の厚さである。
【0030】
ノズルプレート43は、インク貯留部10の最下層を形成する合成樹脂製の板状部材である。このノズルプレート43には、微小径のインク吐出用のノズル54が、当該ノズルプレート43における長辺方向(第1の方向)に沿って2列の千鳥配列状に設けられている。ノズル54は、微小ピッチwの間隔でノズルプレート43に多数個穿設されている。
【0031】
マニホールドプレート11は、ノズルプレート43の上面に積層される板状部材である。マニホールドプレート11の上面には、上向き開放するようにマニホールド室11aが凹設されている。
【0032】
マニホールドプレート12は、マニホールドプレート11の上面に積層される板状部材である。このマニホールドプレート12には、インク通路としての一対のマニホールド室12a,12aが、ノズル54の列の両側に沿って延びるように穿設されている。各マニホールド室12aは、マニホールド室11aとほぼ同じ位置にて、平面視形状で略同じ形状で設けられている。これにより、両マニホールド室11a,12aが一体となって1つのマニホールド室を形成している。また、各マニホールド室12aは、プレートの平面視において、後述する液室16の列と重なり且つその列方向に延びている。
【0033】
キャビティプレート14は、スペーサプレート13を挟んで、マニホールドプレート12の上方に積層されるものであり、インク貯留部10の最上層の板状部材である。このキャビティプレート14には、その長辺方向(第1の方向)に沿う中心線に沿って、多数個の液室16が穿設されている。このため、各プレート11,12,13,14が積層された状態で、各液室16の上面部(スペーサプレート13と反対側の面)は、開口した状態となる。
【0034】
この液室16は、上記中心線を基準として左右に一列ずつ配列されている。一方の列の液室16は、他方の列の液室16と長手方向に交互に配置され、それぞれ、中心線に対して直交する第2の方向(短辺方向)に延びる細長い形状を有している。
【0035】
各液室16の先端16aは、前記ノズルプレート43におけるノズル54に、スペーサプレート13及びマニホールドプレート11,12のそれぞれに穿設されている微小径の貫通孔17を介して連通している。一方、各液室16の他端16bは、スペーサプレート13における左右両側部位に穿設された貫通孔18を介して、マニホールドプレート11,12におけるマニホールド室11a,12aに連通している。なお、液室16の他端16bは、キャビティプレート14の下面側にのみ開口するように凹み形成されているものである(図3(b)の拡大図参照)。また、キャビティプレート14とスペーサプレート13との一端部であって両プレート13,14において積層方向に同じ位置には、マニホールド室12a,12aに連通する供給孔19a,19bが穿設されている。
【0036】
これにより、インクカートリッジ61から供給されるインクは、供給孔19a,19bを介して前記左右両マニホールド室11a,11a,12a,12a内に流入し、更に、各貫通孔18を通って各液室16内に分配される。そして、この各液室16内から貫通孔17を通って、当該液室16に対応するノズル54に至るという構成になっている(図4参照)。
【0037】
圧力付与部材20は、インク貯留部10に設けられた液室16の容積を変化させるためのものであり、電圧が印加されると動作する圧電アクチュエータである。この圧力付与部材20は、インク貯留部10の上面(最上層の板状部材、キャビティプレート14の上面)に積層されており、全ての液室16の上面の開口を被覆する長方形の形状を有している。この圧力付与部材20は、金属の圧延シートである振動板20aと、その振動板20aの片面側(液室16とは反対側)に設けられた圧電体膜20bとの2層構造となっている。
【0038】
振動板20aは、10μm〜50μm厚みのステンレス製の圧延シート(板状金属部材)、またはインク貯留部10を形成する板状金属部材と同様の各種金属の圧延シートが用いられる。本実施例では、30μm厚みのものが用いられている。また、振動板20aのキャビティプレート14上面に重ね一体的に接合されている。これにより、全ての液室16の上面部の開口は、振動板20aにより閉塞される。
【0039】
この振動板20aとキャビティプレート14との接合には、有機系の接着剤は使用されていない。言い換えれば、振動板20aとインク貯留部10との接合界面には、無機物のみが存在している。
【0040】
具体的には、インク貯留部10が板状金属部材により形成されている場合には、振動板20aは、インク貯留部10に固相拡散接合されている。また、インク貯留部10がガラスで形成されている場合には、振動板20aは、インク貯留部10に陽極接合される。尚、固相拡散接合および陽極接合においては、必ずしも、インク貯留部10と振動板20aとを直接的に接合する必要はなく、インク貯留部10や振動板20aを構成する素材よりも低融点の合金やガラスをインサート材として用いて、間接的にインク貯留部10と振動板20aとを接合しても良い。
【0041】
また、本実施例で使用する振動板20aは、10μm〜50μm厚であり、従来の振動板20aよりも薄型である。故に、低い電圧(圧電体膜20bの小さな歪み)で振動板20aを動作させることができ、一層の省電力構成とすることができる。
【0042】
圧電体膜20bは、振動板20a上に成膜され、振動板20aを変形させるための応力発生源である。この圧電体膜20bは、チタン酸鉛とジルコン酸鉛との固溶体であり強誘電体であるチタン酸ジルコン酸鉛(以下単に「PZT」と称す)を主成分として形成されている。その膜厚は、略10μmである。強誘電体であるPZTは、電圧の印加により一方向に分極され、印加電圧をオフした後も、分極が残る(残留分極)物質である。また分極処理が行われたPZTに電圧を印加すると、歪みが発生する。本実施例では、PZTの分極方向が振動板20aの面に対して垂直な方向となるように分極処理を施している。
【0043】
振動板20aの厚み(剛性)に対して、圧電体膜20bの厚みには最適範囲がある。振動板20aの厚みが厚い(剛性が高い)ほど、圧力付与部材20を変形させるためには、大きな応力が必要となる。圧電体膜20bの厚みを大きくすると発生する応力を増大させることができるが、駆動電圧を高くする必要がある。
【0044】
一方、従来の圧電アクチュエータの形成に用いられた方法、即ち、ペースト状のPZTをドクターブレード法またはスクリーン印刷法でPZTのグリーンシートを制作する方法は、数十μm以上の厚膜の圧電体膜を形成する方法であって、数μmから10μm程度の圧電体膜を形成することは困難で、駆動電圧を高くする必要がある。また、化学蒸着法やスパッタ法は、1μm程度の膜を形成する方法で、本実施例に適用不可能ではないが、十分な応力を発生するには以下の方法が好適である。
【0045】
そこで、本実施例の圧電体膜20bは、後述するエアロゾルデポジション法(以下単に「AD法」と称す)(S31)、ゾルゲル法(S32)の内のいずれかの方法で形成されている(図5〜図7参照)。
【0046】
また、圧電体膜20bの上面(振動板20aと反対側の面)には、積層方向においてその下側に設けられた各液室16に対応する箇所ごとに、細幅の個別電極24が、第1の方向(長辺方向)に沿って列状に形成されている(図2において(a)で示す拡大図参照)。各個別電極24は、圧電体膜20bの中央部から、第1の方向と直交する第2の方向に延出された短冊状に形成されている。本実施例においては、前記各個別電極24の幅寸法は対応する液室16における平面視での幅より少し狭く設定されている。
【0047】
振動板20aは導電性の金属材料で形成され、個別電極24とで圧電体膜20bを挟み込む構成となって、全ての液室16に対して共通のコモン電極となる。
【0048】
圧力付与部材20の上側には、フレキシブルフラットケーブル40が重ねられる。このフレキシブルフラットケーブル40には、各個別電極24のそれぞれに独立に接続される配線パターン(図示せず)が形成され、各個別電極24は、該配線パターンを介して電源及び信号源に電気的に接続される。
【0049】
フレキシブルフラットケーブル40を介して全ての個別電極24と振動板20aとの間に、通常の吐出動作時よりも高い電圧を印加することで、圧電体膜20bにおいて、個別電極24と振動板20aとの間に挟まれた部分が分極処理される。これにより、圧電体膜20bの分極処理された部分に、吐出動作のための電圧を印加したときに歪みの発生する活性部が形成される。
【0050】
次に、図4を参照して、上記のように構成された圧電式インクジェットへッド6のインク吐出動作について説明する。
【0051】
図4は、図2に示した圧電式インクジェットへッド6のII−II断面線における断面構造を模式的に示した図である。図4(a)は、個別電極24と振動板20aとに電圧が印加されていない状態を示した図である。
【0052】
キャビティプレート14により形成される液室16にはインクが充填されており、スペーサプレート13及びマニホールドプレート11,12のそれぞれに設けられた貫通孔17によって、液室16に充填されたインクは、ノズルプレート43のノズル54の開口近傍まで誘導されている。
【0053】
尚、圧電式インクジェットヘッド6に保持されているインク(吐出前のインク)には、吐出方向とは反対側に作用する負圧が作用している。このため、電圧が印加されていない状態で、下向きに開口したノズル54からインクが吐出されることはなく、ノズル54まで誘導されたインクには、メニスカスZが形成されている。
【0054】
液室16の上面には、個別電極24と振動板20aとの間の分極処理された圧電体膜20bの活性部が対応している。活性部は、図4の圧電体膜20bにおいて、黒の太枠線で囲み表示している。本実施例では、分極方向は、振動板20aの面に対して垂直な方向、即ち、圧電体膜20bの厚み方向であり、且つ、圧電体膜20bから振動板20aに向かう方向(図4において矢印Pで示す方向)となるように分極処理が施されている。また、コモン電極となる振動板20aは、グランドに接続(接地)されている。
【0055】
図4(b)は、図4(a)に示した圧電式インクジェットヘッド6に電圧が印加された状態を示した図である。フレキシブルフラットケーブル40を介して任意の個別電極24に電圧を印加する(個別電極24を正極とし、振動板20aを接地する)と、活性部に分極方向Pと同方向に電界が形成される。そして、該活性部は、分極方向Pと直角方向(図4(b)において矢印X1,X2で示す方向)に収縮する。このとき、振動板20aは縮まないので、振動板20aと圧電体膜20bとは、振動板側、即ち、液室16側に凸となるように湾曲する。
【0056】
このため、所定の液室16が選択的に加圧され、該液室16の容積が低下する。すると、該液室16内のインクの圧力が上昇し、その圧力が、対応するノズル54に伝播されて、インク滴が吐出される。電圧の印加が停止されれば、湾曲した圧電体膜20bと振動板20aとは元の状態に戻って、液室16の容積が元に戻る。液室16は減圧状態となるので、インク供給側(インクカートリッジ61)からインクを吸引する。これにより、圧電式インクジェットヘッド6の状態は、図4(a)に示した状態に復帰する。
【0057】
なお、通常、圧力付与部材20の全個別電極24に電圧を印加して液室16の容積を縮小しておき、ノズルからインク滴を吐出させるときには、その吐出させようとする液室16に対応する個別電極24の電圧印加を停止し、圧力付与部材20の弾性により液室16の容積を拡大した後、再びその個別電極24に電圧を印加して液室16内のインクに吐出のための圧力を付与することもできる。
【0058】
次に、図5から図7を参照して、上記のように構成された圧電式インクジェットヘッド6の製造方法について説明する。
【0059】
図5は、本発明の実施の形態の1つである圧電式インクジェットヘッド6の製造工程(ヘッド製造工程)を示した図である。圧電式インクジェットヘッド6は、インク貯留部形成工程(S1)、振動板接合工程(S2)、PZT成膜工程(S3)、アニール工程(S4)、電極印刷工程(S5)、分極工程(S6)、組立工程(S7)の各工程を順に経て製造され、完成に至る。
【0060】
インク貯留部形成工程(S1)は、インク貯留部10を形成する工程であり、積層工程(S11)を備えている。積層工程(S11)は、インク貯留部10を形成する板状部材を積層する工程である。所定形状に加工されたマニホールドプレート11,12、スペーサプレート13、キャビティプレート14は、マニホールドプレート11,12及びスペーサプレート13の各貫通孔17と、キャビティプレート14の液室16の先端16aとが、それぞれ対応する位置にセットされるように位置決めされ、上記した順に積層される。
【0061】
板状部材が板状金属部材であると、得られた積層体は、位置ズレを防止するために仮止めを行った後、振動板接合工程(S2)へ搬入される。一方、板状部材がガラスのグリーンシートであると、積層工程(S11)の終了後、得られた積層体は、焼結工程(S12)へ搬入される。
【0062】
焼結工程(S12)は、グリーンシートの積層体を焼結により一体化する工程である。該工程(S12)では、積層体を真空プレスして各プレート11〜14を密着させた後、脱脂と焼成とを行ってインク貯留部10の成型体を得る。得られた成型体は、振動板接合工程(S2)へ搬入される。
【0063】
振動板接合工程(S2)は、インク貯留部形成工程(S1)において作製された積層体或いは成型体に振動板20aを接合する工程である。この振動板接合工程(S2)では、拡散接合工程(S21)または、陽極接合工程(S22)のいずれかの工程によって、振動板20aの接合が実行される。
【0064】
拡散接合工程(S21)は、板状金属部材の積層体に対して適用される工程である。該工程(S21)では、インク貯留部形成工程(S1)で作製された積層体を、真空もしくは窒素やアルゴンなどの不活性雰囲気下で、積層体の再結晶温度以上(1000℃〜1300℃)に加熱しつつ、4.9Mpa〜19.6Mpaで0.5時間〜24時間圧縮する。
【0065】
陽極接合工程(S22)は、ガラスの成形体に対して適用される工程である。該工程(S22)では、インク貯留部形成工程(S1)で作製された成形体を、ガラス軟化点より低い温度に加熱し、振動板20aを負極、インク貯留部10を陽極として数百ボルトの直流電圧を印加する。
【0066】
これらの拡散接合工程(S21)または、陽極接合工程(S22)を経ることにより、振動板20aとインク貯留部10とは接合される。つまり、振動板20aと、インク貯留部10を形成するキャビティプレート14とが接合される。尚、請求項1に記載の第1のシート材料は、本実施例においては、キャビティプレート14を示している。尚、キャビティプレート14は、必ずしも、他のプレートと独立した状態の板状部材(シート材料)である必要はなく、他のプレートと一体化されている板状部材(シート材料)であっても良い。
【0067】
このように、インク貯留部10を形成する板状部材のそれぞれの接合および振動板20aの接合において、有機系の接着剤は未使用であるので、板状部材の接合(積層)界面の耐熱性を向上させることができる。
【0068】
PZT成膜工程(S3)は、振動板20aの上面に、圧電体膜20bを形成するための処理である。このPZT成膜工程(S3)では、AD法(S31)またはゾルゲル法(S32)のいずれかの方法によって、緻密な略10μm厚さの圧電体膜20bが成膜される。このPZT成膜工程(S3)のAD法(S31)およびゾルゲル法(S32)について、図6と図7とを参照して説明する。
【0069】
図6は、PZT成膜方法の1つであるAD法(S31)を説明する図である。AD(S31)法は、サブμmの直径のPZT微粒子をガス流に乗せて被着体に吹き付け、被着体表面に結合させる成膜方法である。図6に示すように、PZT粉末は、タンク120に収蔵され、ガスボンベ124の駆動によってチューブ123を介して供給された圧縮ガスによって舞上がり、圧縮ガスを媒体として、貫通口125からチューブ127経由で成膜室130へ輸送される。このとき輸送媒体として用いるガスは、窒素ガス、ヘリウムガスなどである。
【0070】
成膜室130は、振動板20aにPZT粉末を噴射するための室である。この成膜室130の天井部には、タンク120からチューブ127を介して供給されたPZT粉末を下方に向かって噴射するノズル部材132が備えられている。
【0071】
ノズル部材132の下方であって、その対向する位置には、振動板接合工程(S2)で作製されたインク貯留部10と振動板20aとの接合体が設置される設置台(非図示)が設けられている。この設置台はノズル部材132と対向する方向と直角な水平面に沿ってすなわちX−Y方向に移動可能に構成されている。インク貯留部10と振動板20aとの接合体は、振動板20aがノズル部材132に対向するように設置台に設置される。
【0072】
この成膜室130には、その内部を脱気するための真空ポンプ133が接続されている。PZT粉末の噴射時には、この真空ポンプ133によって、成膜室130内は所定の圧力に減圧されている。
【0073】
タンク120から輸送されたPZT粉末は、高速で、ノズル部材132から被着体である振動板20a上に噴射される。噴射されたPZT粉末の運動エネルギーは、振動板20aに衝突することによって熱エネルギーに変換され、その熱エネルギーによって粒子同士が一体化され、振動板20aの面上に圧電体膜20bが形成される。設置台に設置された接合体は、X−Y方向に搬送される。これにより、振動板20aの面上に、まんべんなくPZT粉末が噴射され、均一で緻密な圧電体膜20bが形成される。なお、表面に露出しているインク貯留部10の部分(振動板20a以外の部分)には、マスキングを施しておいても良い。
【0074】
AD法(S31)は、高速でPZT粉末を被着体に噴射する必要があるので、被着体には強い衝撃力が加わる。本実施例の圧電式インクジェットヘッド6の製造方法では、インク貯留部形成工程(S1)、振動板接合工程(S2)を経た後に、PZT成膜工程(S3)へと進行するので、振動板20a単体の状態ではなく、振動板20aをインク貯留部10に組み付けて剛性の高い状態で圧電体膜20bを成膜することができる。故に、振動板20aが10μm〜50μm厚といった薄型のものであっても、PZT噴射時の衝撃力に十分に耐えることができる。
【0075】
図7は、PZT成膜方法の1つであるゾルゲル法(S32)を説明する図である。ゾルゲル法(S32)は、圧電体膜20bを形成可能な金属成分の水酸化物の水和錯体、すなわちゾルを脱水処理してゲルとし、このゲルを加熱焼成して無機酸化物を調整する方法である。
【0076】
このゾルゲル法(S32)により圧電体膜20bを形成するには、まず、PZT膜を形成可能なチタン、ジルコニウム、鉛、さらには他の金属成分それぞれのアルコキシドに水、アルコールを加えて、PZT前駆体溶液を調整する。調整されたPZT前駆体溶液は、ゾル組成物となる。
【0077】
そして、PZT前駆体溶液スピンコート工程(S321)において、PZT前駆体溶液を振動板20a上にスピンコートする。振動板20aは、振動板接合工程(S2)において、インク貯留部10に接合されているので、PZT前駆体溶液は、インク貯留部10に接合された振動板20aの上面に塗布される。尚、塗布方法は、スピンコート以外に、通常行われている方法、例えば、ディップコート、ロールコート、バーコート、スクリーン印刷あるいはスプレー噴霧等によって行ってもよい。
【0078】
塗布されたPZT前駆体溶液は、乾燥工程(S322)において、75℃〜200℃で5分間乾燥し、溶媒を蒸発させる。この乾燥(加熱)された膜上に、PZT前駆体溶液をさらに塗布して膜厚を厚くすることもできる。
【0079】
乾燥工程の後は、形成された膜を、焼成工程(S323)において焼成する。この焼成工程は、ゾル組成物の膜をゲル化し、かつ膜中から有機物を除去するのに十分な温度で、十分な時間加熱が行われる。本実施例では、焼成温度を350〜450℃として、5分間焼成が行われる。このPZT前駆体溶液スピンコート工程(S321)、乾燥工程(S322)、焼成工程(S323)の各工程を所定回数、例えば4回以上繰り返して必要厚みの圧電体前駆体膜を積層する。これらの乾燥と脱脂処理により、溶液中の金属アルコキシドは、金属、酸素、金属のネットワークを形成する。
【0080】
その後、プレアニール工程(S324)において、圧電体前駆体膜のアニール処理を行う。プレアニール処理は、圧電体前駆体膜を熱処理により結晶化させる工程である。該工程(S324)において、圧電体前駆体膜を酸素雰囲気下において、700℃で1分間焼成する。これにより、圧電体前駆体膜は、ペロブスカイト結晶構造の金属酸化膜からなる膜に変換され、圧電体膜20bが形成される。
【0081】
ゾルゲル法(S32)では、繰り返して熱処理を行う必要がある。このため、10μm〜50μm厚みの振動板20aに圧電体膜20bを形成する場合には、振動板20aとの熱膨張率の相違からカールの発生が懸念される。しかし、本実施例の圧電式インクジェットヘッド6の製造方法では、振動板20a単体の状態ではなく、振動板20aをインク貯留部10に組み付けた状態(振動板20aの剛性を高めた状態)で圧電体膜20bを形成するので、振動板20aが10μm〜50μm厚といった薄型のものであっても、カールの発生を抑制できる。
【0082】
工程内部品にカールや変形が生じると、その取り扱いが煩雑となる。また、カールや変形の修正を行いつつ組み立てなどを行わなくてはならず、生産効率を低下させる。また、カールなどが著しい場合には、製品として取り扱えない不良品となる。しかし、本実施例の製造方法においては、PZT成膜工程(S3)の前に、インク貯留部形成工程(S1)と振動板接合工程(S2)とを設けているので、カールや変形を抑制でき、良好な製品を歩留まり良く製造することができる。
【0083】
図5に戻って説明する。アニール工程(S4)は、PZT成膜工程(S3)で作製された圧電体膜20bを形成するPZTの結晶を成長させるための工程であり、高温での熱処理が行われる。PZTの成膜方法に応じてアニール条件は設定される。例えば、AD法(S31)で作製された場合には、600℃〜750℃で1時間程度、熱処理される。ゾルゲル法(S32)で作製された場合には、RTA炉を用いると、600℃〜1200℃で0.1〜10分程度で熱処理される。
【0084】
このアニール工程では、従来のグリーンシートを焼成する場合のような千数百℃の高温を用いないので、インク貯留部10を形成する板状部材の変形や損傷を生じることはない。この場合、もちろんインク貯留部10を形成する板状部材は、アニール処理には耐え得る材料である。このアニール工程により、圧電体に前述の成膜時に生じた応力を解放することができるとともに圧電体を結晶化させ、圧電特性を発現させまたは駆動時における圧電特性を向上させることができる。
【0085】
本実施例においては、上記のとおり剛性を高めているので、アニール工程(S4)において高温の熱処理を行っても、部材の脱離や変形などが発生することはない。
【0086】
電極印刷工程(S5)は、圧電体膜20bの上面に、個別電極24を形成する工程である。個別電極24は、各液室16のそれぞれの位置に対応つけてパターンニングされたマスクを圧電体膜20bの上面に合わせ、マスクの上から電極ペーストを印刷する。各液室16の上面に対応する位置に印刷されたペーストは、所定条件で乾燥した後に焼成して金属層とする。
【0087】
分極工程(S6)は、圧電体膜20bを分極するための工程である。この分極工程(S6)では、フレキシブルフラットケーブル40を圧電体膜20bの上部に装着し、電極印刷工程(S5)で形成された個別電極24のそれぞれと、各個別電極24に対応するフレキシブルフラットケーブル40の配線パターンとを導通する。そして、個別電極24を正極とし、振動板20aを接地して、インク吐出動作時よりも高い電圧を圧電体膜20bに印加する。これにより、圧電体膜20bは、振動板20aの面に対して垂直な方向、即ち、圧電体膜20bの厚み方向に分極処理が施される。また、分極方向は、圧電体膜20bの上面から振動板20a側に向かう方向となる。これにより、圧電体膜20bにおいて、個別電極24の形成された(電圧の印加された)部分に、圧電体として機能する活性部が形成される。
【0088】
その後、組立工程(S7)によって、圧電式インクジェットヘッド6は、インクジェット記録装置100の本体に搭載される。
【0089】
以上説明したように、本実施例の圧電式インクジェットヘッド6の製造方法によれば、各板状部材および振動板20aを有機系の接着剤を使用することなく接合して圧電式インクジェットヘッド6を形成するので、各接合部の耐熱性を向上させることができる。このため、圧電体膜20bを形成するために熱処理を行った後も、その形状を保つように接合形態を維持することができる。また、インク貯留部10に振動板20aを接合した状態で圧電体膜20bを振動板20a上に形成するので、圧電体膜20bを形成する処理条件が厳しくとも、振動板20aのダメージを軽減することができる。更に、圧電体膜20bの形成された振動板20a(圧力付与部材20)のハンドリング性を向上させることができる。
【0090】
以上、実施例に基づいて本発明を説明したが、本発明は、上記実施例に何ら限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で種々の改良変形が可能であることは容易に推察できるものである。
【0091】
本実施例においては、上記した製造方法は、予め単独の圧電式インクジェットヘッド6を形成するために所定形状に加工された板状部材を使用するものとした。これに代えて、1の圧電式インクジェットヘッド6を作製するための各部材がマトリクス状に連ねられた板状部材を用いて、本実施例の圧電式インクジェットヘッド6を製造するようにしてもよい。これによれば、複数の圧電式インクジェットヘッド6が同時に形成された一体物を得ることとなり、得られた一体物を、分極工程(S6)の後であって組立工程(S7)の前にダイシングすることにより、個別の圧電式インクジェットヘッド6とする。
【0092】
加えて、上記実施例においては、特に言及していないが、PZT成膜工程(S3)の前に、形成される圧電体膜20bと振動板20aとの密着性を向上させるために、振動板20aの清浄工程や、更にはプライマー処理を行う処理工程を設けても良い。
【0093】
また、本実施例においては、ノズルプレート43を除く板状部材の積層体と振動板20aとを拡散接合或いは陽極接合して、得られた積層体の振動板20aの上面に圧電体膜20bを形成したが、圧電体膜20bの被形成側の積層体はこれに限られるものではなく、例えば、キャビティプレート14と振動板20aとの積層体、或いはキャビティプレート14とスペーサプレート13と振動板20aとの積層体など、積層体の構成は適宜選択できるものである。
【0094】
これによれば、ノズルプレート43以外にも、圧電体膜20bを形成する工程を経ない部品については、プラスチック材料などを用いることができ、また、有機系の接着剤で接合を行うことができるので、コストの低減や、製造時間の短縮を図ることができる。
【0095】
加えて、インク貯留部10を全て無機材料の板状部材を用いて形成しても良い。つまり、インク貯留部10を完成体としてから振動板20aの接合を行うようにしても良い。これによれば、工程内の作業を簡略にすることができる。
【0096】
更に、本実施例においては、インクジェットヘッドに適用した例を用いて説明したが、本発明は、圧電素子の変形により液体に圧力を付与して移送するものならば、各種の装置に適用することができる。
【0097】
【発明の効果】
請求項1の液体移送装置の製造方法によれば、液室を形成する開口を有する第1のシート材料とその開口を覆う第2のシート材料とが積層され一体化される。このシート材料の積層体における第2のシート材料上の、少なくとも液室の開口に対応する位置を含む位置には、圧電素子を構成する材料が成膜形成される。形成された圧電体膜とシート材料の積層体とは、アニール処理される。
【0098】
よって、第2のシート材料のみの場合よりも剛性が高められた状態(第1のシート材料と第2シート材料が一体化された状態)で、圧電体膜を形成することができ、圧電体膜の形成によってシート材料が受けるダメージを軽減することができる。
【0099】
更に、アニール処理によって、積層されたシート材料を損傷することなく圧電体を結晶化して、圧電体の特性を発現または向上させることができる。
【0100】
請求項2に記載の液体移送装置の製造方法によれば、液室を形成する開口を有する第1のシート材料とその開口を覆う第2のシート材料とが、接合工程により、積層され、拡散接合または陽極接合により一体化される。一体化されたシート材料の積層体における第2のシート材料上の少なくとも液室の開口に対応する位置を含む位置には、圧電体膜形成工程により、圧電素子を構成する超微粒子が噴射、堆積されて、圧電体膜が形成される。形成された圧電体膜とシート材料の積層体と(圧電体膜の形成されたシート材料の積層体)は、アニール工程によりアニール処理される。
【0101】
よって、第2のシート材料のみの場合よりも剛性が高められた状態(第1のシート材料と第2のシート材料が一体化された状態)で、圧電体膜を形成することができ、圧電体膜の被形成側(第2のシート材料)の耐衝撃性を向上させることができるという効果がある。このため、圧電体膜の形成によって第2のシート材料が受けるダメージを軽減させることができるという効果がある。
【0102】
圧電素子を構成する超微粒子を噴射、堆積して、圧電体膜を形成する製造方法では、第2のシート材料が、厳しい成膜条件にさらされるが、第2のシート材料が受けるダメージを軽減できるので、薄型の圧電素子を、即ち、薄型化された第2のシート材料に対して適正な厚みの圧電体膜を備えた圧電素子を形成することができる。
【0103】
更に、第1のシート材料と第2のシート材料とは、拡散接合または陽極接合により一体化されているので、有機物が分解される高温でアニール処理を行っても、積層体の接合面は、積層体を維持する十分な接合強度を保持することができるという効果がある。
【0104】
これによれば、圧電体素子を低い電圧で駆動させても大きな変形量を得ることができる圧電素子を形成できるので、消費電力を低減することのできる液体移送装置を製造することができる。
【0105】
請求項3に記載の液体移送装置の製造方法によれば、液室を形成する開口を有する第1のシート材料とその開口を覆う第2のシート材料が、接合工程により、積層され、拡散接合または陽極接合により一体化される。一体化されたシート材料の積層体における第2のシート材料上の少なくとも開口に対応する位置を含む位置には、圧電体膜形成工程により、圧電素子を構成する材料の溶液の塗布と、加熱とが繰り返されて圧電体膜が形成される。形成された圧電体膜とシート材料の積層体と(圧電体膜の形成されたシート材料の積層体)は、アニール工程によりアニール処理される。
【0106】
よって、第2のシート材料のみの場合よりも剛性が高められた状態(第1のシート材料と第2のシート材料が一体化された状態)で、圧電体膜を形成することができ、圧電体膜の形成によって第2のシート材料が受けるダメージを軽減させることができるという効果がある。
【0107】
つまり、圧電素子を構成する材料の溶液のスピンコートによる塗布と、加熱とを繰り返して圧電体膜を形成する製造方法は、繰り返しの熱履歴に、第1のシート材料と第2のシート材料との積層体はさらされる。このため、例えば、厚みの薄い第2のシート材料単独に圧電体膜を形成すると、カールや変形(ダメージ)が生じやすい。しかし、第2のシート材料の厚みが薄い場合であっても、第2のシート材料が第1のシート材料で補強された状態で圧電体膜を形成することができるので、カールや変形を抑制できる。これにより、薄型の圧電素子を、即ち、薄型化された第2のシート材料に対して適正な厚みの圧電体膜を備えた圧電素子を形成することができる。
【0108】
更に、第1のシート材料と第2のシート材料とは、拡散接合または陽極接合により一体化されているので、有機物が分解される高温でアニール処理を行っても、積層体の接合面は、積層体を維持する十分な接合強度を保持することができるという効果がある。
【0109】
故に、圧電体素子を低い電圧で駆動させても大きな変形量を得ることができる圧電素子を形成でき、消費電力を低減することのできる液体移送装置を製造することができる。
【0110】
請求項4に記載の液体移送装置の製造方法によれば、請求項1から3のいずれかに記載の液体移送装置の製造方法の奏する効果に加え、シート材料は、金属シート材料であって、拡散接合により一体化される。よって、シート材料の積層体を、圧電体膜(圧電素子)の形成に耐え得る十分な強度を有するものとすることができる上、材質に適した接合方法で各シート材料を接合でき、一体化されたシート材料の積層体に十分な接合強度を付与することができるという効果がある。
【0111】
請求項5に記載の液体移送装置の製造方法によれば、請求項1から3のいずれかに記載の液体移送装置の製造方法の奏する効果に加え、第1のシート材料はガラスシート材料であり、第2のシート材料は金属シート材料若しくはシリコン基板であって、第1のシート材料と第2のシート材料とは、陽極接合により一体化される。よって、シート材料の積層体を、圧電体膜(圧電素子)の形成に耐え得る十分な強度を有するものとすることができる上、材質に適した接合方法で各シート材料を接合でき、一体化されたシート材料の積層体に十分な接合強度を付与することができるという効果がある。
【0112】
請求項6に記載の液体移送装置の製造方法によれば、請求項4に記載の液体移送装置の製造方法の奏する効果に加え、圧電体膜形成工程の前に、液室に連通する流路を形成する流路口を有する1以上の金属シート材料および第1のシート材料を、第1のシート材料が最上層になるように積層し、金属シート材料と第1のシート材料との積層体を拡散接合により一体化する積層工程を備えている。よって、第1のシート材料は、別の金属シート材料と一体化された状態となり、第1のシート材料のみに第2のシート材料を積層する場合よりも圧電体膜の被形成側の剛性を一層高めることができるという効果がある。このため、第2のシート材料(圧電体膜の被形成側)を、圧電体膜の形成に十分に耐える強度を有するものとすることができ、良好な状態の液体移送装置を製造できる。加えて、積層工程により作製された積層体は、拡散接合により金属シート材料が一体化されたものであるので、かかる積層体部分についても、アニール処理を経ることによる接合状態の悪化や、製品として使用できないような熱変形が発生することがない。
【0113】
請求項7に記載の液体移送装置の製造方法によれば、請求項5に記載の液体移送装置の製造方法の奏する効果に加え、圧電体膜形成工程の前に、液室に連通する流路を形成する流路口を有する1以上のガラスグリーンシートと第1のシート材料のグリーンシートとを、第1のシート材料が最上層に形成されるように積層して焼成し、一体化する積層工程を備えている。
【0114】
よって、第1のシート材料は、別のガラスシート材料(ガラスグリーンシートが焼成されたもの)と一体化された状態となり、第1のシート材料単独に第2のシート材料を積層する場合よりも圧電体膜の被形成側の剛性を一層高めることができるという効果がある。このため、第2のシート材料(圧電体膜の被形成側)を、圧電体膜の形成に十分に耐える強度を有するものとすることができ、良好な状態の液体移送装置を製造できる。加えて、積層工程により作製された積層体についても、アニール処理を経ることによる接合状態の悪化や、製品として使用できないような熱変形が発生することがない。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の製造方法により製造された圧電式インクジェットヘッドを搭載したインクジェット記録装置を示す斜視図である。
【図2】圧電式インクジェットヘッドの外観斜視図である。
【図3】インク貯留部の分解斜視図である。
【図4】図2に示した圧電式インクジェットへッドのII−II断面線における断面構造を模式的に示した図である。
【図5】本発明の圧電式インクジェットヘッドの製造工程を示した図である。
【図6】PZT成膜方法の1つであるエアロゾルデポジション法を説明する図である。
【図7】PZT成膜方法の1つであるゾルゲル法を説明する図である。
【符号の説明】
6 圧電式インクジェットヘッド(液体移送装置)
16 液室(液室、開口)
14 キャビティプレート(第1のシート材料)
17 貫通孔(流路口)
20a 振動板(第2のシート材料)
54 ノズル(流路口)
S1 インク貯留部形成工程(積層工程)
S2 振動板接合工程(接合工程)
S3 PZT成膜工程(圧電体膜形成工程)
S11 積層工程(積層工程)
S12 焼成工程(積層工程)
S21 拡散接合工程(接合工程、積層工程の一部)
S22 陽極接合工程(接合工程)
液体(インク)
板状金属部材(金属シート材料)
グリーンシート(ガラスグリーンシート、グリーンシート)
Claims (7)
- 圧電素子を変形させてその圧電素子に対応して設けられた液室内の液体に圧力を付与し、その液室から外部に液体を移送する液体移送装置において、
前記液室を形成する開口を有する第1のシート材料とその開口を覆う第2のシート材料を積層して一体化する工程、
前記シート材料の積層体における第2のシート材料上の少なくとも前記開口に対応する位置を含む位置に、前記圧電素子を構成する材料を成膜形成する工程、
前記シート材料の積層体及び前記圧電体膜をアニール処理し、前記圧電素子を構成する材料を結晶化する工程からなる液体移送装置の製造方法。 - 圧電素子を変形させてその圧電素子に対応して設けられた液室内の液体に圧力を付与し、その液室から外部に液体を移送する液体移送装置の製造方法において、
前記液室を形成する開口を有する第1のシート材料とその開口を覆う第2のシート材料を積層して拡散接合または陽極接合により一体化する接合工程と、
前記シート材料の積層体における第2のシート材料上の少なくとも前記開口に対応する位置を含む位置に、前記圧電素子を構成する超微粒子を噴射、堆積させて圧電体膜を形成する圧電体膜形成工程と、
前記シート材料の積層体及び前記圧電体膜をアニール処理するアニール工程とを備えている液体移送装置の製造方法。 - 圧電素子を変形させてその圧電素子に対応して設けられた液室内の液体に圧力を付与し、その液室から外部に液体を移送する液体移送装置の製造方法において、
前記液室を形成する開口を有する第1のシート材料とその開口を覆う第2のシート材料を積層して拡散接合または陽極接合により一体化する接合工程と、
前記シート材料の積層体における第2のシート材料上の少なくとも前記開口に対応する位置を含む位置に、前記圧電素子を構成する材料の溶液を塗布することと、加熱することとを繰り返して圧電体膜を形成する圧電体膜形成工程と、
前記シート材料の積層体及び前記圧電体膜をアニール処理するアニール工程とを備えている液体移送装置の製造方法。 - 前記シート材料は、金属シート材料であって、拡散接合により一体化されることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の液体移送装置の製造方法。
- 前記第1のシート材料はガラスシート材料であり、前記第2のシート材料は金属シート材料若しくはシリコン基板であって、前記第1のシート材料と前記第2のシート材料とは、陽極接合により一体化されることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の液体移送装置の製造方法。
- 前記圧電体膜形成工程の前に、前記液室に連通する流路を形成する流路口を有する1以上の金属シート材料および前記第1のシート材料を、前記第1のシート材料が最上層になるように積層し、前記金属シート材料と前記第1のシート材料との積層体を拡散接合により一体化する積層工程を備えていることを特徴とする請求項4に記載の液体移送装置の製造方法。
- 前記圧電体膜形成工程の前に、前記液室に連通する流路を形成する流路口を有する1以上のガラスグリーンシートと前記第1のシート材料のグリーンシートとを、前記第1のシート材料が最上層に形成されるように積層して焼成し、一体化する積層工程を備えていることを特徴とする請求項5に記載の液体移送装置の製造方法。
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