JP2005086074A - 半導体ウェーハの移し替え方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】外的刺激を受けて粘着力が低下する保護テープ2を半導体ウェーハ1の表面に貼着した状態で半導体ウェーハ1の裏面を研削し、同様の外的刺激を受けて粘着力が低下するダイシングテープ4に研削後の半導体ウェーハ1の裏面を貼着してダイシングフレームと一体化し、保護テープ2側にその外的刺激を与えてから保護テープ2を半導体ウェーハの表面から剥離する。
【選択図】図10
Description
10:表面 11:ストリート 12:半導体チップ 13:外周側部 14:裏面
130:鋭利部
2:保護テープ
20:突出部
3:研削装置
30:第一のカセット載置領域 31:第二のカセット載置領域
300:第一のカセット 310:第二のカセット
32:搬出入手段
320:保持部
33:位置合わせテーブル
340:第一の搬送手段 341:第二の搬送手段
35:ターンテーブル
350、351、352、353:チャックテーブル
36:壁部
360a、360b:レール 361a、361b:駆動源
362a、362b:支持板
37:第一の研削手段
370:スピンドル 371:マウンタ 372:研削ホイール
373:研削砥石
38:第二の研削手段
380:スピンドル 381:マウンタ 382:研削ホイール
383:研削砥石
39:洗浄手段
390:保持テーブル
4:ダイシングテープ
40:粘着面
5:ダイシングフレーム
6:貼合部
Claims (6)
- 表面に回路が形成された半導体ウェーハの裏面を研削した後に、該半導体ウェーハをダイシングフレームに移し替える半導体ウェーハの移し替え方法であって、
外的刺激を受けて粘着力が低下する保護テープを半導体ウェーハの表面に貼着する保護テープ貼着工程と、
該保護テープ側を研削装置のチャックテーブルに載置して該半導体ウェーハの裏面を研削する研削工程と、
該外的刺激を受けて粘着力が低下するダイシングテープに研削後の該半導体ウェーハの裏面を貼着してダイシングフレームと一体化するダイシングテープ貼着工程と、
該保護テープ側に該外的刺激を与える外的刺激付与工程と、
該保護テープを該半導体ウェーハの表面から剥離する保護テープ剥離工程と
から構成される半導体ウェーハの移し替え方法。 - 前記外的刺激は紫外線である
請求項1に記載の半導体ウェーハの移し替え方法。 - 前記半導体ウェーハの外周側面は円弧状に形成されている請求項1または2に記載の半導体ウェーハの移し替え方法。
- 前記保護テープは前記半導体ウェーハより外径が大きく形成される請求項1または2に記載の半導体ウェーハの移し替え方法。
- 前記研削工程において、前記半導体ウェーハは、厚みが100μm以下になるように研削される
請求項1、2、3または4に記載の半導体ウェーハの移し替え方法。 - 前記半導体ウェーハの表面には、半導体チップの厚みに相当する深さの溝が形成されており、
前記研削工程においては、該溝が裏面から表出するまで該裏面を研削して個々の半導体チップに分割する
請求項1、2、3、4または5に記載の半導体ウェーハの移し替え方法。
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