JP2005109433A - 半導体ウエーハの切削方法および研削用のバンプ保護部材 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】バンプ19が形成されていない半導体ウエーハ14の外周領域に貼着する外周貼着部11と、該外周貼着部11に囲繞され該バンプ19を支持し保護するバンプ保護部12と、該外周貼着部11と該バンプ保護部12とで形成され該バンプ19を収容する凹部13と、から構成された保護部材10を用い、バンプ19を保護する保護部材配設工程と、半導体ウエーハ14の保護部材側をチャックテーブル2に保持し、半導体ウエーハ14の裏面を研削手段で研削する研削工程とから構成されるものであって、半導体ウエーハの外周領域を全面的に保護部材10の外周貼着部11で支える。
【選択図】 図6
Description
また、保護テープについては、上記の課題の他に、粘着剤の使用量を減らして材料無駄をなくすこと、およびエネルギー照射作業と保護テープ剥離作業の作業性を向上させることである。
また、半導体ウエーハに貼着される保護部材は、半導体ウエーハの外周領域において外周貼着部でのみ貼着しているので、バンプに対して粘着剤が接触することがないことからして、バンプに粘着剤の一部が残存するような事態は一切生じないのである。
2 チャックテーブル
3 研削砥石
4 駆動部
5 ガイド部
6 移動用駆動部
10 保護部材
11 外周貼着部
12 バンプ保護部
13 凹部
14 半導体ウエーハ
15 ストリート
16 半導体チップ
17 外周領域
18 ノッチ
19 バンプ
Claims (2)
- 表面に複数のバンプが形成された半導体ウエーハの裏面を研削する方法であって、
バンプが形成されていない半導体ウエーハの外周領域に貼着する外周貼着部と、該外周貼着部に囲繞され該バンプを支持し保護するバンプ保護部と、該外周貼着部と該バンプ保護部とで形成され該バンプを収容する凹部と、から構成された保護部材を用い、
半導体ウエーハの表面の外周領域に該保護部材の外周貼着部を貼着してバンプ保護部でバンプを保護する保護部材配設工程と、
半導体ウエーハの保護部材側をチャックテーブルに保持し、半導体ウエーハの裏面を研削手段で研削する研削工程と、
から構成される半導体ウエーハの研削方法。 - 表面にバンプが形成された半導体ウエーハの裏面を保護する保護部材であって、
バンプが形成されていない半導体ウエーハの外周領域に貼着する外周貼着部と、該外周貼着部に囲繞され該バンプを支持し保護するバンプ保護部と、該外周貼着部と該バンプ保護部とで形成され該バンプを収容する凹部と、
から構成された研削用のバンプ保護部材。
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