JP4711880B2 - 炉運転制御方法 - Google Patents
炉運転制御方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4711880B2 JP4711880B2 JP2006132045A JP2006132045A JP4711880B2 JP 4711880 B2 JP4711880 B2 JP 4711880B2 JP 2006132045 A JP2006132045 A JP 2006132045A JP 2006132045 A JP2006132045 A JP 2006132045A JP 4711880 B2 JP4711880 B2 JP 4711880B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- furnace
- evaporation
- evaporable material
- calculated
- controlled
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 22
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 74
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 57
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims description 55
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 22
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 22
- 238000013459 approach Methods 0.000 claims description 11
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 8
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 22
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 20
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 14
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 13
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 11
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 9
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 5
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 4
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000005303 weighing Methods 0.000 description 3
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 238000004880 explosion Methods 0.000 description 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 238000000935 solvent evaporation Methods 0.000 description 2
- 239000001856 Ethyl cellulose Substances 0.000 description 1
- ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N Ethyl cellulose Chemical compound CCOCC1OC(OC)C(OCC)C(OCC)C1OC1C(O)C(O)C(OC)C(CO)O1 ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WUOACPNHFRMFPN-UHFFFAOYSA-N alpha-terpineol Chemical compound CC1=CCC(C(C)(C)O)CC1 WUOACPNHFRMFPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 238000013329 compounding Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- SQIFACVGCPWBQZ-UHFFFAOYSA-N delta-terpineol Natural products CC(C)(O)C1CCC(=C)CC1 SQIFACVGCPWBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 1
- 238000010981 drying operation Methods 0.000 description 1
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 1
- 229920001249 ethyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- 235000019325 ethyl cellulose Nutrition 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 229940116411 terpineol Drugs 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Drying Of Solid Materials (AREA)
- Waste-Gas Treatment And Other Accessory Devices For Furnaces (AREA)
- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
- Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)
Description
図1は制御対象炉1を炉運転制御する炉運転制御装置を示す。ここでは、PDPパネル用前面パネルなどの大型パネルが被熱処理パネル2であって、被熱処理パネル2が制御対象炉1によって乾燥または焼成処理を受ける。
実験ユニット5は、実験ユニット本体7とこの重量を計量する計量装置8とで構成されている。実験ユニット本体7は、下ヒータ9と上ヒータ10、およびこの下ヒータ9と上ヒータ10によって上下が閉塞された筒状の隔壁11とで構成されている。
この書き込みに際しては、実測したモデルパネル6の温度変化特性に基づいて計算した蒸発性材料の計算蒸発量変化特性(理論値)が、Stephanの法則により次式にて算出される。
ここでGa は蒸発性材料の蒸発量、DTは溶剤蒸気が空気中に広がる時の拡散係数、Rはガス定数、Tは温度、PSは飽和蒸気圧、P∞は蒸気分圧、δは境界層厚さを示す。式中の各値は周知の数式を用いて算出されるが、たとえば拡散係数DTは下記のGillilandの式によって計算される。
√((1/M)+(1/Mair))
ここで、Pは全圧、M,Mairは分子量、V,Vairは沸点分子容、Tは温度を示す。
入力データは、物性データと乾燥条件および形状データの塗布膜厚:dであって、物理データは、蒸発性材料の溶剤の沸点分子容、分子量、配合比(重量比、体積比)、蒸気圧曲線である。乾燥または焼成条件は、モデルパネル6上の風速、モデルパネル6の温度データである。
ts = tr 、または ts ≒ tr
場合には、そのときのシミュレーション条件で炉運転制御部3が制御対象炉1を運転を実行する。また、ts と tr の間の誤差が大きい場合には、この計算した蒸発所要時間:tsが目標時間:trに近づくように、前記制御対象炉のパラメータである温度プロファイル,ガス流量、ガス温度のうちの少なくとも一つを変更してシミュレーションを繰り返す。被熱処理パネル2が制御対象炉1の内部を搬入出方向に移送されている場合には、これを含めて少なくとも一つを変更してシミュレーションを繰り返す。
上記の実施の形態では、補正用の実験定数:Cに基づいて実験データを補正して制御対象炉1のパラメータを設定する場合を例に挙げて説明したが、補正用の実験定数:Cによってデータを補正せずに蒸発所要時間:tsが目標時間:trに近づくように前記制御対象炉のパラメータの数値を設定した場合であっても、制御対象炉のパラメータの数値を従来よりも迅速に適正値に近づけることができ、高歩留まりの実現に寄与できる。
2 被熱処理パネル
3 炉運転制御部
4 記憶部
5 実験ユニット
6 モデルパネル
Gs 実測蒸発量変化特性
Gr 計算蒸発量変化特性
C 実験定数
ts 蒸発所要時間
tr 目標時間
Claims (4)
- 被熱処理パネルを乾燥または焼成運転する制御対象炉の性能に関連するパラメータの数値を設定するに際し、
前記被熱処理パネルに塗布する蒸発性材料の塗布膜厚と同じ膜厚で前記蒸発性材料が塗布されたモデルパネルを、前記制御対象炉とは別の実験ユニットにセットし、
前記実験ユニットの温度を規定温度に設定し、経過時間に対する前記蒸発性材料の蒸発量を実測することにより前記蒸発性材料の実測蒸発量変化特性:Gsを算出し、
前記制御対象炉を所定の温度プロファイルとなるように制御する炉運転制御部が、前記被熱処理パネルの蒸発性材料を目標蒸発量だけ蒸発させるに必要な蒸発所要時間:tsを、実測に基づいて算出した前記蒸発性材料の実測蒸発量変化特性:Gsで算出し、
この算出した蒸発所要時間:tsが目標時間:trに近づくように前記制御対象炉のパラメータの数値を変更する
炉運転制御方法。 - 被熱処理パネルを乾燥または焼成運転する制御対象炉の性能に関連するパラメータの数値を設定するに際し、
前記被熱処理パネルに塗布する蒸発性材料の塗布膜厚と同じ膜厚で前記蒸発性材料が塗布されたモデルパネルを、前記制御対象炉とは別の実験ユニットにセットし、
前記実験ユニットの温度を規定温度に設定し、経過時間に対する前記蒸発性材料の蒸発量を実測することにより前記蒸発性材料の実測蒸発量変化特性:Gsを算出し、
この実測に基づいて算出した前記蒸発性材料の実測蒸発量変化特性:Gsに、前記蒸発性材料の計算上の蒸発量変化特性:Grを変換するに必要な実験定数:Cを計算し、
前記制御対象炉を所定の温度プロファイルとなるように制御する炉運転制御部が、被熱処理パネルの蒸発性材料を目標蒸発量だけ蒸発させるに必要な蒸発所要時間:tsを前記実験定数:Cで補正して計算し、
この計算した蒸発所要時間:tsが目標時間:trに近づくように前記制御対象炉のパラメータの数値を変更する
炉運転制御方法。 - 蒸発性材料と前記蒸発性材料の塗布膜厚ごとに前記実験定数:Cを計算し、
前記炉運転制御部が蒸発所要時間:tsを計算するときには、蒸発性材料と蒸発性材料の塗布膜厚に対応した前記実験定数:Cで補正して計算する
請求項2記載の炉運転制御方法。 - 前記算出した蒸発所要時間:tsが目標時間:trに近づくように前記制御対象炉のパラメータの数値を変更することは、
制御対象炉の温度プロファイル、炉に対して給排気するガスのガス流量、ガス温度のうち少なくとも1つを変更することである
請求項1または請求項2に記載の炉運転制御方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006132045A JP4711880B2 (ja) | 2006-05-11 | 2006-05-11 | 炉運転制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006132045A JP4711880B2 (ja) | 2006-05-11 | 2006-05-11 | 炉運転制御方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007303728A JP2007303728A (ja) | 2007-11-22 |
JP4711880B2 true JP4711880B2 (ja) | 2011-06-29 |
Family
ID=38837810
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006132045A Active JP4711880B2 (ja) | 2006-05-11 | 2006-05-11 | 炉運転制御方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4711880B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7653600B2 (en) | 1997-05-30 | 2010-01-26 | Capital Security Systems, Inc. | Automated document cashing system |
CN115524456A (zh) * | 2022-10-10 | 2022-12-27 | 中国核动力研究设计院 | 一种模拟失水事故复杂环境条件的实验装置及其实验方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08191182A (ja) * | 1995-01-11 | 1996-07-23 | Excel:Kk | オーブンの加熱条件設定装置 |
JP2003042665A (ja) * | 2001-07-30 | 2003-02-13 | Sony Corp | 熱処理装置、熱処理システム、熱処理方法、熱処理条件設定プログラム及びこのプログラムを記録したコンピュータ読みとり可能な記録媒体 |
-
2006
- 2006-05-11 JP JP2006132045A patent/JP4711880B2/ja active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08191182A (ja) * | 1995-01-11 | 1996-07-23 | Excel:Kk | オーブンの加熱条件設定装置 |
JP2003042665A (ja) * | 2001-07-30 | 2003-02-13 | Sony Corp | 熱処理装置、熱処理システム、熱処理方法、熱処理条件設定プログラム及びこのプログラムを記録したコンピュータ読みとり可能な記録媒体 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007303728A (ja) | 2007-11-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6391362B2 (ja) | 減圧乾燥装置、基板処理装置および減圧乾燥方法 | |
JP4711880B2 (ja) | 炉運転制御方法 | |
JP6808690B2 (ja) | 減圧乾燥装置、基板処理装置および減圧乾燥方法 | |
JP6560072B2 (ja) | 減圧乾燥装置および減圧乾燥方法 | |
JP2011165691A (ja) | 減圧乾燥方法及び減圧乾燥装置 | |
JP3993358B2 (ja) | 空調装置の温湿度制御装置と温湿度制御方法と温湿度制御プログラムを記録した記録媒体 | |
JP2005098962A (ja) | 発生ガス分析方法とその装置 | |
JP2019022883A5 (ja) | ||
Wang et al. | Influence of the sensing and reference electrodes relative size on the sensing properties of Li3PO4-based potentiometric CO2 sensors | |
EP1925690A1 (en) | Method and apparatus for producing protective film | |
KR102391214B1 (ko) | 도장 건조 장치 및 도장 건조 방법 | |
TW201533755A (zh) | 透明導電膜之形成方法及薄膜加熱乾燥裝置 | |
JP4952908B2 (ja) | 真空蒸着装置及びその制御方法 | |
JP5233248B2 (ja) | 電極製造装置 | |
JP2019036654A (ja) | 減圧乾燥装置、基板処理装置および減圧乾燥方法 | |
JPH0926409A (ja) | 積層型酸素センサ素子 | |
JPS606037A (ja) | 空燃比制御装置 | |
JP3559777B2 (ja) | 農水産物の乾燥方法 | |
CN112444550A (zh) | 传感器元件 | |
JP2009192674A (ja) | 基板の乾燥方法及び乾燥炉 | |
JP2023092250A (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
JP2007093058A (ja) | 穀物の含水率算出方法 | |
JPS58124113A (ja) | オ−ブンの雰囲気制御方法 | |
JP2008171858A (ja) | 圧電素子、圧電体の製造方法及び熱処理装置 | |
JP2004001237A (ja) | 木材の乾燥方法及びその装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20080430 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20081023 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101216 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110105 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110201 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110222 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110322 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140401 Year of fee payment: 3 |