JP2008171858A - 圧電素子、圧電体の製造方法及び熱処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】圧電体内部に、圧電体前駆体の熱処理工程の温度を制御して、圧電体内部に分散された空孔を含ませる。圧電体内部に空孔を含ませることで物質の硬さの目安となるヤング率が低下する。そのため、圧電応力を発生させた場合に、ヤング率の低下の寄与分が支配的になり、圧電体を含む構成を有する圧電素子の圧電性能を空孔が少ない場合と比べ向上させることができる。
【選択図】図8
Description
以下、第1の実施形態として、熱処理装置について図面を用いて説明する。図1は本実施形態に係る熱処理装置の概略図である。本熱処理装置は、昇温に伴う脱離ガスの分析を行い、脱離ガスの量をフィードバックして、試料の加熱を調整するものである。そのため、特に脱ガス工程など、温度制御ではなくガス放出量を制御することが好適な熱処理を行う場合に有効な熱処理装置である。本実施形態では脱離ガスの分析をTDS(昇温脱離分析)法を用いて実施している。
以下、第2の実施形態として内部に分散された空孔を有する圧電体の製造工程及びその特性について図面を用いて説明する。図2及び図3は、圧電体を形成するための工程断面図である。ここでは、焼結工程で空孔を形成する製造方法について説明する。物質としては一例として、チタン酸ジルコン酸鉛の製造方法を例に挙げて説明する。ここでは製造方法としてはMOD(Metal Oragnic Deposition)法を用いている。第2の実施形態としてのチタン酸ジルコン酸鉛の製造方法では、内部に空孔を形成し、チタン酸ジルコン酸鉛のヤング率を低減することで圧電性能(印加電圧に対する変位量)の高い圧電体を形成する製造方法について説明する。
以下、第3の実施形態として内部に分散された空孔を有する圧電体の製造工程及びその特性について図面を用いて説明する。図4及び図5は、圧電体を形成するための工程断面図である。ここでは、改質工程中の熱処理で空孔を形成する製造方法について説明する。工程4までは第1の実施形態と同じ工程を用いるので再掲を防ぐため省略し、工程5から説明を行う。
以下、第4の実施形態として内部での空孔の発生を抑えることを可能とする圧電体の製造工程及びその特性について図面を用いて説明する。図6及び図7は、圧電体を形成するための工程断面図である。ここでは、改質工程中の熱処理で空孔を形成する製造方法について説明する。工程4までは第1の実施形態と同じ工程を用いるため、再掲を防ぐため省略し、工程5から説明を行う。
以下、第5の実施形態として第2、第3、第4の実施形態に示される製造方法で作られた、分散された空孔を有する圧電素子の穴面積と圧電性能との関係について図面を用いて説明する。図8は圧電体中にある穴の面積比を横軸にとり、電圧を印加した場合の圧電性能比を縦軸にとった場合のグラフである。なお、縦軸は用いた試料の中で最も高い圧電性能を有する試料の圧電性能で規格化している。そして、横軸は用いた試料の中で最も穴面積が高い試料の穴面積で規格化している。
第2〜第4の実施形態ではキレート剤として、ジエタノールアミンを用いた例について説明したが、ジエタノールアミンに代えてヘプタフルロブタノイルピバロイルメタン(FOD)、ジピバロイルメタン(DPM)、トリフルオロアセチルアセトンなどのβ−ジケトンを配位子とするキレート剤を用いても良い。この場合、第2〜第4の実施形態で検出対象となる有機物は、ジエタノールアミン(DEA)に代えて上記した有機物を検出することで対応することができる。
Claims (8)
- 圧電体を用いた圧電素子であって、前記圧電体内部に分散された空孔を含むことを特徴とする圧電素子。
- 前記圧電体は、Pb:Ti:O(PT)、Pb:Zr:O(PZ)、Pb:(Zr:Ti):O、Pb:(Mg:Nb):O−Pb:Ti:O(PMN−PT)、Pb:Zn:Ti:Nb:O、Pb:(Ni:Nb):O−Pb:Ti:O(PNN−PT)、Pb:(In:Nb):O−Pb:Ti:O(PIN−PT)、Pb:(Sc:Ta):O−Pb:Ti:O(PST−PT)、Pb:(Sc:Nb):O−Pb:Ti:O(PSN−PT)、Bi:Sc:O−Pb:Ti:O(BS−PT)、Bi:Yb:O−Pb:Ti:O(BY−PT)、Sr:Sm:Bi:Ta:O(SSBT)、Ba:Pb:O、Ba:Ti:O(BT)、Sr:Bi:Nb:Ta:O(SBNT)、Ba:Sr:Ti(BST)、Bi:Ti:O(BIT)、Bi:La:Ti:O(BLT)、Sr:Ba:Ti:Nb(SBTN)の少なくとも1つを含むことを特徴とする請求項1に記載の圧電素子。
- (1)基板の第1面側に位置する、前記基板を含む全部材の露出部の少なくとも一部に、下部電極を形成する工程と、
(2)前記基板の第1面側に位置する、前記基板を含む全部材の露出部の少なくとも一部に、有機溶媒と、有機系のアミノカルボン酸(キレート)剤、有機系の増粘剤、有機金属を含む圧電体溶液を塗布する工程と、
(3)前記基板を前記圧電体溶液の膜から前記有機溶媒が除去される範囲で低温の熱処理を行い、前記圧電体溶液の膜を第1圧電体前駆体へと変換する工程と、
(4)熱処理装置を用い、前記第1圧電体前駆体を前記第1圧電体前駆体由来の有機物が少なくとも一部は残留する範囲で高温の熱処理を行い、第2圧電体前駆体に改質する工程と、
(5)前記第2圧電体前駆体を、結晶化が抑制される範囲で高温の熱処理を行い、第3圧電体前駆体に改質する工程と、
(6)前記第3圧電体前駆体を熱処理して内部に分散された空孔を有する、結晶化された圧電体に改質する工程と、
を含み、かつ前記(2)、前記(3)、前記(4)、前記(5)を含む工程を当該順に一回又は複数回行うことを特徴とする圧電体の製造方法。 - (1)基板の第1面側に位置する、前記基板を含む全部材の露出部の少なくとも一部に、下部電極を形成する工程と、
(2)前記基板の第1面側に位置する、前記基板を含む全部材の露出部の少なくとも一部に、有機溶媒と、有機系のアミノカルボン酸(キレート)剤、有機系の増粘剤、有機金属を含む圧電体溶液を塗布する工程と、
(3)前記基板を前記圧電体溶液の膜から前記有機溶媒が除去される範囲で低温の熱処理を行い、前記圧電体溶液の膜を第1圧電体前駆体へと変換する工程と、
(4)熱処理装置を用い、前記第1圧電体前駆体中の有機物が発泡揮発し、前記第1圧電体前駆体の内部に空孔が分散されて残される温度範囲で熱処理を行い、第2圧電体前駆体に改質する工程と、
(5)前記第2圧電体前駆体を結晶化が抑制される範囲で高温の熱処理を行い、第3圧電体前駆体に改質する工程と、
(6)前記第3圧電体前駆体を熱処理して、内部に分散される空孔を含む、結晶化された圧電体に改質する工程と、
を含み、かつ前記(2)、前記(3)、前記(4)、前記(5)を含む工程を当該順に一回又は複数回行うことを特徴とする圧電体の製造方法。 - (1)基板の第1面側に位置する、前記基板を含む全部材の露出部の少なくとも一部に、下部電極を形成する工程と、
(2)前記基板の第1面側に位置する、前記基板を含む全部材の露出部の少なくとも一部に、有機溶媒と、有機系のアミノカルボン酸(キレート)剤、有機系の増粘剤、有機金属を含む圧電体溶液を塗布する工程と、
(3)前記基板を前記圧電体溶液の膜から前記有機溶媒が除去される範囲で低温の熱処理を行い、前記圧電体溶液の膜を第1圧電体前駆体へと変換する工程と、
(4)熱処理装置を用い、前記第1圧電体前駆体を前記キレート剤及び前記増粘剤が揮発除去され、かつ前記第1圧電体前駆体の内部の空孔発生が抑えられる温度範囲で熱処理を行い、第2圧電体前駆体に改質する工程と、
(5)前記第2圧電体前駆体を結晶化が抑制される範囲で高温の熱処理を行い、第3圧電体前駆体に改質する工程と、
(6)前記第3圧電体前駆体を熱処理して空孔発生を抑えて結晶化される圧電体に改質する工程と、
を含み、かつ前記(2)、前記(3)、前記(4)、前記(5)を含む工程を当該順に一回又は複数回行うことを特徴とする圧電体の製造方法。 - 前記有機金属は、Pb、Ti、Zr、Mg、Nb、In、Zn、Ni、Sc、Ta、Bi、Yb、Sr、Sm、Ba、Laの少なくとも1つを含むことを特徴とする請求項3乃至5のいずれか一項に記載の圧電体の製造方法。
- 請求項3乃至5のいずれか一項に記載の圧電体の製造方法に用いられる熱処理装置であって、前記熱処理装置は、圧電体を製造する工程で発生する脱離ガスを分析し、前記脱離ガスの量及び/又は、前記脱離ガスの組成をもとに熱処理温度を調整する制御信号を得るための検出器を備えることを特徴とする熱処理装置。
- 前記熱処理装置の検出器はTDS(昇温脱離分析)法、GC−MS(ガス・クロマトグラフ質量分析)法、TG−MS(熱重量−質量同時分析)法、FT−IR(フーリエ変換赤外分光分析)法、GC−IR(ガス・クロマトグラフ赤外分光)法、PL(フォトルミネッセンス)法、誘導結合プラズマ質量分析(ICP−MS)法、グロー発光測定法、に用いられる検出器を少なくとも1つ含むことを特徴とする請求項7に記載の熱処理装置。
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JP2007001105A JP2008171858A (ja) | 2007-01-09 | 2007-01-09 | 圧電素子、圧電体の製造方法及び熱処理装置 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010062174A (ja) * | 2008-09-01 | 2010-03-18 | Honda Motor Co Ltd | 圧電セラミック材料及びアクチュエータ |
CN110240478A (zh) * | 2019-06-13 | 2019-09-17 | 北京科技大学 | 一种具有优异压电性能材料的制备方法 |
Citations (3)
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JPH1081016A (ja) * | 1995-09-19 | 1998-03-31 | Seiko Epson Corp | 圧電体薄膜素子、その製造方法、及び圧電体薄膜素子を用いたインクジェット式記録ヘッド |
JP2004218005A (ja) * | 2003-01-15 | 2004-08-05 | Osaka Yakin Kogyo Kk | 粉末成形体の脱脂焼結システム及び脱脂焼結方法 |
JP2006282456A (ja) * | 2005-03-31 | 2006-10-19 | Seiko Epson Corp | Pzt薄膜形成用組成物及びpzt薄膜の製造方法 |
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2007
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