JP2003042665A - 熱処理装置、熱処理システム、熱処理方法、熱処理条件設定プログラム及びこのプログラムを記録したコンピュータ読みとり可能な記録媒体 - Google Patents

熱処理装置、熱処理システム、熱処理方法、熱処理条件設定プログラム及びこのプログラムを記録したコンピュータ読みとり可能な記録媒体

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JP2003042665A
JP2003042665A JP2001229726A JP2001229726A JP2003042665A JP 2003042665 A JP2003042665 A JP 2003042665A JP 2001229726 A JP2001229726 A JP 2001229726A JP 2001229726 A JP2001229726 A JP 2001229726A JP 2003042665 A JP2003042665 A JP 2003042665A
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heat treatment
processed
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control amount
characteristic data
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JP2001229726A
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Yuji Inoue
雄二 井上
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Original Assignee
Sony Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 手間と時間をかけることなく容易に各被処理
物ごとに最適な熱処理条件を設定することができる熱処
理装置、熱処理システム、熱処理方法、熱処理条件設定
プログラム及びこのプログラムを記録したコンピュータ
読みとり可能な記録媒体を提供すること。 【解決手段】 熱処理装置1とコントロール装置3とか
らなる熱処理システム20であって、熱処理装置1は、
被処理物に熱処理を行う熱処理機構部7とこの熱処理機
構部7を制御する制御部6とを備え、コントロール装置
3は、被処理物の温度プロファイル条件と被処理物自体
の特性データの入力を受け、これら温度プロファイル条
件と特性データに基づいて熱処理機構部7の制御量を設
定し制御部6に出力する制御量設定手段14を備えてい
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えばリフローは
んだ付け装置などのように、熱処理の際に加熱時間と設
定温度の厳密な制御が必要とされる熱処理装置、熱処理
システム、熱処理方法、熱処理条件設定プログラム及び
このプログラムを記録したコンピュータ読みとり可能な
記録媒体に関する。
【0002】
【従来の技術】リフローはんだ付け装置は、一般に、プ
リヒート部と本加熱部、更には冷却部とから構成され
る。プリヒート部や本加熱部における加熱手段としては
輻射式ヒータや温風式ヒータが用いられ、冷却部におけ
る冷却手段としてはファンが用いられる。はんだを介し
て部品が搭載されたプリント回路基板は、コンベアに
て、先ずプリヒート部に搬送されて予熱された後、本加
熱部へと送られ、はんだの溶融温度を超える温度で加熱
される。はんだの溶融によって部品の電極端子はプリン
ト回路基板の回路パターンに接合される。溶融したはん
だは、冷却部にて冷却され固化する。
【0003】図5は、上述したリフローはんだ付け処理
時の、プリント回路基板の温度プロファイル例を示す。
はんだ側から見ると溶融温度は一般に高めの方が濡れ性
が良く有利である。しかし、部品側から見ると温度が低
いほど熱による影響が少なく有利となる。これら条件に
プリント回路基板全体を均一に昇温したいという要求な
どが加わって温度プロファイルが決まってくる。
【0004】温度プロファイルが決まると、処理すべき
プリント回路基板がその温度プロファイルとなるよう
に、リフローはんだ付け装置に備えられた熱処理機構部
(各種ヒータやコンベア)の各種設定を調整する。すな
わち、熱処理機構部に各種制御信号を与える制御部によ
り、ヒータ自体の発熱量や、温風式ヒータにおける送風
量や、コンベア速度などを制御して、所望の温度プロフ
ァイルでプリント回路基板が加熱されるようにする。
【0005】従来は、その制御量の設定は以下のように
して行っていた。
【0006】先ず、プリント回路基板に熱電対を取り付
けて、実際に熱処理機構部を通過させて温度測定をす
る。そして、この温度測定により得られた温度プロファ
イルが、そのプリント回路基板に対する所望の温度プロ
ファイルとなるべく、熱処理機構部の各種制御量を調整
する。この調整は、熱電対を用いた温度測定により得ら
れた温度プロファイルと所望の温度プロファイルとを比
較して、作業者が過去の経験や実績に基づいてマニュア
ル操作にて熱処理機構部の制御量を設定する。以上のよ
うな作業は、所望の温度プロファイルが得られるまで何
回か繰り返される。
【0007】プリント回路基板の大きさの変更や、搭載
部品の変更や、各種仕様の変更などがあれば、これに応
じて熱処理機構部における各種設定も、上述と同様な作
業にて変更しなければならない。今まで処理していたプ
リント回路基板に対する設定のままでは、必ずしも所望
のプロファイルが得られるとは限らないからである。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】上述したようなやり方
では、所望の温度プロファイルとなるべき最適な熱処理
条件にするまで、何度も、熱電対を付けたプリント回路
基板を熱処理機構部に通して温度測定を行わなければな
らなかった。特に、両面実装基板だと両面それぞれに対
して上述のような作業を必要とする。場合によっては、
半日ぐらいかかる作業となることもあった。また、マニ
ュアル操作による制御量の設定は、ある程度の経験を必
要とし、誰もが簡単に行えるというわけではなかった。
【0009】本発明は上述の問題に鑑みてなされ、手間
と時間をかけることなく、また熟練を要することなく、
各被処理物ごとに最適な熱処理条件を設定することがで
きる熱処理装置、熱処理システム、熱処理方法、熱処理
条件設定プログラム及びこのプログラムを記録したコン
ピュータ読みとり可能な記録媒体を提供することを課題
とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項1に係る
熱処理装置は、被処理物の温度プロファイル条件と、被
処理物自体の特性データの入力を受け、これら温度プロ
ファイル条件と特性データに基づいて、被処理物に熱処
理を行う熱処理機構部の制御量を設定し、この設定され
た制御量を、熱処理機構部を制御する制御部に出力する
制御量設定手段を備えている。
【0011】これにより、被処理物に熱電対を取り付け
て熱処理機構部を通す作業や、これで得られる実際の温
度プロファイルを確認しながらのマニュアル操作による
制御量の調整という面倒な作業を繰り返し行わなくて
も、容易に所望の温度プロファイルが得られる。
【0012】本発明の請求項2に係る熱処理装置は、制
御量設定手段にて設定された制御量を、被処理物ごとに
履歴データとして記憶する記憶手段が設けられており、
所望の履歴データを記憶手段から読み出し可能としてい
る。
【0013】これにより、同じ制御量の設定が適用でき
る同種の被処理物に対しては、制御量の設定作業を最初
の1回だけ行うだけでよく、無駄な作業を行わなくても
済む。
【0014】本発明の請求項3に係る熱処理システム
は、熱処理装置と、この熱処理装置と信号の送受信が可
能なコントロール装置とからなる熱処理システムであっ
て、熱処理装置は、被処理物に熱処理を行う熱処理機構
部と、この熱処理機構部を制御する制御部とを備え、コ
ントロール装置は、被処理物の温度プロファイル条件
と、被処理物自体の特性データの入力を受け、これら温
度プロファイル条件と特性データに基づいて熱処理機構
部の制御量を設定し制御部に出力する制御量設定手段を
備えている。
【0015】これにより、被処理物に熱電対を取り付け
て熱処理機構部を通す作業や、これで得られる実際の温
度プロファイルを確認しながらのマニュアル操作による
制御量の調整という面倒な作業を繰り返し行わなくて
も、容易に所望の温度プロファイルが得られる。更に、
コントロール装置を熱処理装置とは別体として設けてい
るので、他の熱処理装置にも適用でき、汎用性をもたせ
ることができる。
【0016】本発明の請求項4に係る熱処理システムで
は、制御量設定手段にて設定された制御量を、被処理物
ごとに履歴データとして記憶する記憶手段がコントロー
ル装置に設けられており、所望の履歴データを記憶手段
から読み出し可能としている。
【0017】これにより、同じ制御量の設定が適用でき
る同種の被処理物に対しては、制御量の設定作業を最初
の1回だけ行うだけでよく、無駄な作業を行わなくても
済む。
【0018】本発明の請求項5に係る熱処理方法では、
被処理物に熱処理を行う熱処理機構部の制御量を、被処
理物の温度プロファイル条件と、被処理物自体の特性デ
ータに基づいて設定し、この設定された制御量に基づい
て熱処理機構部を制御して被処理物の熱処理を行う。
【0019】これにより、被処理物に熱電対を取り付け
て熱処理機構部を通す作業や、これで得られる実際の温
度プロファイルを確認しながらのマニュアル操作による
制御量の調整という面倒な作業を繰り返し行わなくて
も、容易に所望の温度プロファイルが得られる。
【0020】本発明の請求項6に係る熱処理方法では、
被処理物ごとに制御量を履歴データとして記憶し、履歴
データとして記憶されている被処理物と同種の被処理物
に対しては、履歴データの被処理物に対する制御量を流
用する。
【0021】これにより、同じ制御量の設定が適用でき
る同種の被処理物に対しては、制御量の設定作業を最初
の1回だけ行うだけでよく、無駄な作業を行わなくても
済む。
【0022】本発明の請求項7に係る熱処理条件設定プ
ログラムは、被処理物の温度プロファイル条件と、被処
理物自体の特性データの入力を受け、これら温度プロフ
ァイル条件と特性データに基づいて、被処理物に熱処理
を行う熱処理機構部の制御量を設定する処理をコンピュ
ータに実行させる。
【0023】これにより、被処理物に熱電対を取り付け
て熱処理機構部を通す作業や、これで得られる実際の温
度プロファイルを確認しながらのマニュアル操作による
制御量の調整という面倒な作業を繰り返し行わなくて
も、容易に所望の温度プロファイルが得られる。
【0024】本発明の請求項8に係る熱処理条件設定プ
ログラムは、被処理物の温度プロファイル条件と、被処
理物自体の特性データの入力を受け、これら温度プロフ
ァイル条件と特性データに基づいて、被処理物に熱処理
を行う熱処理機構部の制御量を設定する処理と、被処理
物ごとに制御量を履歴データとして記憶させる処理と、
履歴データを検索して、指定された被処理物と同種の被
処理物に対する制御量を読み出す処理とをコンピュータ
に実行させる。
【0025】これにより、被処理物に熱電対を取り付け
て熱処理機構部を通す作業や、これで得られる実際の温
度プロファイルを確認しながらのマニュアル操作による
制御量の調整という面倒な作業を繰り返し行わなくて
も、容易に所望の温度プロファイルが得られる。更に、
同じ制御量の設定が適用できる同種の被処理物に対して
は、制御量の設定作業を最初の1回だけ行うだけでよ
く、無駄な作業を行わなくても済む。
【0026】本発明の請求項9に係るコンピュータ読み
とり可能な記録媒体には、被処理物の温度プロファイル
条件と、被処理物自体の特性データの入力を受け、これ
ら温度プロファイル条件と特性データに基づいて、被処
理物に熱処理を行う熱処理機構部の制御量を設定する処
理をコンピュータに実行させるための熱処理条件設定プ
ログラムが記録されている。
【0027】これにより、被処理物に熱電対を取り付け
て熱処理機構部を通す作業や、これで得られる実際の温
度プロファイルを確認しながらのマニュアル操作による
制御量の調整という面倒な作業を繰り返し行わなくて
も、容易に所望の温度プロファイルが得られる。
【0028】本発明の請求項10に係るコンピュータ読
みとり可能な記録媒体は、被処理物の温度プロファイル
条件と、被処理物自体の特性データの入力を受け、これ
ら温度プロファイル条件と特性データに基づいて、被処
理物に熱処理を行う熱処理機構部の制御量を設定する処
理と、被処理物ごとに制御量を履歴データとして記憶さ
せる処理と、履歴データを検索して、指定された被処理
物と同種の被処理物に対する制御量を読み出す処理とを
コンピュータに実行させるための熱処理条件設定プログ
ラムが記録されている。
【0029】これにより、被処理物に熱電対を取り付け
て熱処理機構部を通す作業や、これで得られる実際の温
度プロファイルを確認しながらのマニュアル操作による
制御量の調整という面倒な作業を繰り返し行わなくて
も、容易に所望の温度プロファイルが得られる。更に、
同じ制御量の設定が適用できる同種の被処理物に対して
は、制御量の設定作業を最初の1回だけ行うだけでよ
く、無駄な作業を行わなくても済む。
【0030】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。
【0031】図3は、本実施の形態による熱処理システ
ムを概略的に示す。熱処理システム20は、リフローは
んだ付け装置1とコントロール装置3とから構成され
る。リフローはんだ付け装置1とコントロール装置3と
は、それぞれに設置されたアンテナ4、5を介して無線
で信号のやり取りが可能となっている。あるいは、無線
でなく、ケーブルを介して信号のやり取りを行うように
してもよい。
【0032】図4は、リフローはんだ付け装置1とコン
トロール装置3の構成を示すブロック図である。
【0033】リフローはんだ付け装置1には熱処理機構
部7として、例えば温風式ヒータ8、輻射式ヒータ9、
コンベア10が備えられている。被処理物であるプリン
ト回路基板は、コンベア10によって、温風式ヒータ8
や輻射式ヒータ9の設置された個所を移動される。熱処
理機構部7は制御部6によって制御される。例えば、制
御部6によって制御される制御量としては、温風式ヒー
タ8や輻射式ヒータ9の発熱量、温風式ヒータ8の送風
量、コンベア10の速度などである。
【0034】制御部9には、その他に、表示画面2、R
AM11、送受信部12が接続されている。
【0035】コントロール装置3には、熱処理機構部7
に対する制御量設定手段としてのCPU14が設けられ
ている。CPU14には、その他に、コントロールパネ
ル15、記憶手段としてのハードディスク17、RAM
18、表示画面16、送受信部13が接続されている。
【0036】次に、図1、図2を参照して、本実施の形
態による熱処理条件設定の流れについて説明する。
【0037】先ず、ステップS1として、コントロール
装置3に備えられた表示画面16、あるいはリフローは
んだ付け装置1に備えられた表示画面2に初期画面を呼
び出す。この操作は、コントロール装置3に備えられた
コントロールパネル15を作業者が操作することで行
う。なお、以下で述べる各種設定画面の切り替えや、入
力もコントロールパネル15を作業者が操作することで
行う。
【0038】今、これから処理を行おうとすべきプリン
ト回路基板(処理対象基板)と同種のものについて、熱
処理機構部7に対する制御量の履歴データがなく、今回
新規に制御量の設定を行う場合には、図2のAで示すよ
うな画面に切り替える。そして、処理対象基板であるプ
リント回路基板の温度プロファイル条件を入力する(ス
テップS2)。
【0039】入力する温度プロファイル条件としては、
プリヒート温度、プリヒート時間、本加熱ピーク温度、
本加熱ピーク時間などである。すなわち、このステップ
S2では、処理対象基板に対して決められている所望の
温度プロファイル条件を入力する。
【0040】ステップS2の入力が終了すると、図2の
Bで示すような画面に切り替える。そして、処理対象基
板自体の特性データを入力する(ステップS3)。
【0041】入力する特性データとしては、基板の外形
寸法、厚さ、基板材料、基板の仕様、部品点数、搭載部
品の種類、はんだ材料などである。また、その処理対象
基板を特定する情報(例えば基板名AA123など)も
特性データとして入力する。
【0042】次いで、図2のCで示すような画面に切り
替え、ステップS2、ステップS3で入力された情報
を、RAM18あるいはRAM11に一時的に記憶する
(ステップS4)。
【0043】そして、ステップS2、ステップS3で入
力された情報に基づいて、コントロール装置3のCPU
14によって、熱処理機構部7の各種制御量が自動的に
設定される(ステップS5)。CPU14は、過去の実
績データなどに基づいて、入力された条件にとって最適
な熱処理機構部7の制御量を計算する。図2のDは、制
御量として、例えばPH1、PH2、RF1、RF2の
4つの加熱ゾーンに設置された上下のヒータの設定温度
を示す。その他にも、温風式ヒータ8の場合には送風量
であったり、コンベア10の速度などが設定される。
【0044】次いで、以上のようにして設定された制御
量にて動作される熱処理機構部7に、熱電対を取り付け
た処理対象基板を実際に通して、このとき得られる温度
プロファイルを確認して、所望の温度プロファイルが得
られているのであれば調整作業はこれで終了する。ま
だ、制御量の調整が必要であるなら、マニュアル操作に
て熱処理機構部7の制御量を調整する(ステップS
6)。
【0045】本実施の形態では、予めステップS2、ス
テップS3にて入力された各種条件に基づいて、ある程
度、所望の温度プロファイルに近い温度プロファイルが
得られるので、マニュアル操作にて調整するにしても、
熱電対を付けた基板を1度通すだけの微調整で対応で
き、調整作業にかかる負担は従来に比べ大幅に軽減され
る。また、入力する各種条件をより細かく設定するなど
して、微調整をする必要なく、ステップS5で行われる
処理のみで所望の温度プロファイルとすることができる
ということが実績として得られれば、ステップS6は省
略してもよい。
【0046】そして、所望の温度プロファイルとなるべ
く熱処理機構部7の制御量が設定された場合には、ステ
ップS2、ステップS3で入力された情報、及びステッ
プS5にて得られた熱処理機構部7の各種制御量を履歴
データとしてコントロール装置3のハードディスク17
に記憶させる(ステップS7)。ステップS5で得られ
る各種制御量は、この制御量が適用される処理対象基板
を特定する情報(例えば基板名AA123)と対応付け
て記憶される。
【0047】この履歴データとして記憶されている基板
と同種(搭載部品が少し違うなどの小さな変更も同種と
みなす)のものに対しては、その履歴データとしての基
板に対する制御量を流用することができる。
【0048】この場合には、ステップS1で初期画面を
呼び出した後、ステップS2’として、履歴データを検
索する。
【0049】その検索の結果、今、処理を行おうとすべ
き基板(処理対象基板)と同種のものが見つかった場合
には、その履歴データとしての基板に対する制御量を読
み出し(ステップS3’)、これをそのまま処理対象基
板にも流用する。
【0050】これにより、一度制御量が設定された基板
と同種のものについては、ステップS2〜ステップS7
の作業を行う必要がなく、単に履歴データから呼び出し
た制御量をそのまま流用するだけで、最適な熱処理条件
を得られる。
【0051】以上、本発明の実施の形態について説明し
たが、勿論、本発明はこれに限定されることなく、本発
明の技術的思想に基づいて種々の変形が可能である。
【0052】コントロール装置3はリフローはんだ付け
装置1に内蔵させてもよい。しかし、この場合には、コ
ントロール装置は、その内蔵されたリフローはんだ付け
装置専用となり汎用性がなくなる。上記実施の形態のよ
うに、コントロール装置3をリフローはんだ付け装置1
から独立して設ければ、リフローはんだ付け装置1が複
数ある場合には複数のリフローはんだ付け装置1を、更
には他の種類の熱処理装置を、1台のコントロール装置
3から全てコントロールでき、汎用性が高まると共に複
数の装置を集中管理して管理性の向上も実現できる。
【0053】また、本発明は、リフローはんだ付けに限
らず、例えば、半導体基板のアニール処理や、金属材料
の焼き入れ、焼きなましなどの他の熱処理にも適用可能
である。
【0054】
【発明の効果】本発明の請求項1によれば、手間と時間
をかけることなく、誰でも容易に各被処理物ごとに最適
な熱処理条件を設定することができる。これにより、短
時間での生産ラインの切り替えも可能となる。
【0055】本発明の請求項2によれば、一度制御量の
設定がされた被処理物と同種のものについては、その設
定をそのまま流用できるので、新たに設定作業を行う必
要がない。
【0056】本発明の請求項3によれば、手間と時間を
かけることなく、誰でも容易に各被処理物ごとに最適な
熱処理条件を設定することができる。これにより、短時
間での生産ラインの切り替えも可能となる。更に、コン
トロール装置に汎用性をもたせて、複数の熱処理装置を
一括して管理できる。
【0057】本発明の請求項4によれば、一度制御量の
設定がされた被処理物と同種のものについては、その設
定をそのまま流用できるので、新たに設定作業を行う必
要がない。
【0058】本発明の請求項5によれば、手間と時間を
かけることなく、誰でも容易に各被処理物ごとに最適な
熱処理条件を設定することができる。これにより、短時
間での生産ラインの切り替えも可能となる。
【0059】本発明の請求項6によれば、一度制御量の
設定がされた被処理物と同種のものについては、その設
定をそのまま流用できるので、新たに設定作業を行う必
要がない。
【0060】本発明の請求項7によれば、手間と時間を
かけることなく、誰でも容易に各被処理物ごとに最適な
熱処理条件を設定することができる。これにより、短時
間での生産ラインの切り替えも可能となる。
【0061】本発明の請求項8によれば、手間と時間を
かけることなく、誰でも容易に各被処理物ごとに最適な
熱処理条件を設定することができる。これにより、短時
間での生産ラインの切り替えも可能となる。更に、一度
制御量の設定がされた被処理物と同種のものについて
は、その設定をそのまま流用できるので、新たに設定作
業を行う必要がない。
【0062】本発明の請求項9によれば、手間と時間を
かけることなく、誰でも容易に各被処理物ごとに最適な
熱処理条件を設定することができる。これにより、短時
間での生産ラインの切り替えも可能となる。
【0063】本発明の請求項10によれば、手間と時間
をかけることなく、誰でも容易に各被処理物ごとに最適
な熱処理条件を設定することができる。これにより、短
時間での生産ラインの切り替えも可能となる。更に、一
度制御量の設定がされた被処理物と同種のものについて
は、その設定をそのまま流用できるので、新たに設定作
業を行う必要がない。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態による熱処理条件設定の流
れを示すフローチャートである。
【図2】図1のフローチャートに沿った流れで画面表示
される表示例を示す図である。
【図3】本実施の形態による熱処理システムの構成を示
す概略図である。
【図4】同熱処理システムのブロック図である。
【図5】リフローはんだ付け時におけるプリント回路基
板の温度プロファイルを示す図である。
【符号の説明】
1……リフローはんだ付け装置、3……コントロール装
置、6……制御部、7……熱処理機構部、8……温風式
ヒータ、9……輻射式ヒータ、10……コンベア、14
……制御量設定手段(CPU)、15……コントロール
パネル、16……表示画面、17……記憶手段(ハード
ディスク)、20……熱処理システム。

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 被処理物に熱処理を行う熱処理機構部
    と、 前記熱処理機構部を制御する制御部とを備えた熱処理装
    置において、 前記被処理物の温度プロファイル条件と、前記被処理物
    自体の特性データの入力を受け、前記温度プロファイル
    条件と前記特性データに基づいて前記熱処理機構部の制
    御量を設定し前記制御部に出力する制御量設定手段を設
    けたことを特徴とする熱処理装置。
  2. 【請求項2】 前記被処理物ごとに前記制御量を履歴デ
    ータとして記憶する記憶手段を設け、所望の履歴データ
    を前記記憶手段から読み出し可能としたことを特徴とす
    る請求項1に記載の熱処理装置。
  3. 【請求項3】 熱処理装置と、該熱処理装置と信号の送
    受信が可能なコントロール装置とからなる熱処理システ
    ムであって、 前記熱処理装置は、 被処理物に熱処理を行う熱処理機構部と、該熱処理機構
    部を制御する制御部とを備え、 前記コントロール装置は、 前記被処理物の温度プロファイル条件と、前記被処理物
    自体の特性データの入力を受け、前記温度プロファイル
    条件と前記特性データに基づいて前記熱処理機構部の制
    御量を設定し前記制御部に出力する制御量設定手段を備
    えていることを特徴とする熱処理システム。
  4. 【請求項4】 前記被処理物ごとに前記制御量を履歴デ
    ータとして記憶する記憶手段を前記コントロール装置に
    設け、 所望の履歴データを前記記憶手段から読み出し可能とし
    たことを特徴とする請求項3に記載の熱処理システム。
  5. 【請求項5】 被処理物に熱処理を行う熱処理機構部の
    制御量を、前記被処理物の温度プロファイル条件と、前
    記被処理物自体の特性データに基づいて設定し、 前記設定された制御量に基づいて前記熱処理機構部を制
    御して前記被処理物の熱処理を行うことを特徴とする熱
    処理方法。
  6. 【請求項6】 前記被処理物ごとに前記制御量を履歴デ
    ータとして記憶し、 前記履歴データとして記憶されている被処理物と同種の
    被処理物に対しては、前記履歴データの被処理物に対す
    る制御量を流用することを特徴とする請求項5に記載の
    熱処理方法。
  7. 【請求項7】 被処理物の温度プロファイル条件と、前
    記被処理物自体の特性データの入力を受け、前記温度プ
    ロファイル条件と前記特性データに基づいて、前記被処
    理物に熱処理を行う熱処理機構部の制御量を設定する処
    理をコンピュータに実行させるための熱処理条件設定プ
    ログラム。
  8. 【請求項8】 被処理物の温度プロファイル条件と、前
    記被処理物自体の特性データの入力を受け、前記温度プ
    ロファイル条件と前記特性データに基づいて、前記被処
    理物に熱処理を行う熱処理機構部の制御量を設定する処
    理と、 前記被処理物ごとに前記制御量を履歴データとして記憶
    させる処理と、 前記履歴データを検索して、指定された被処理物と同種
    の被処理物に対する制御量を読み出す処理とをコンピュ
    ータに実行させるための熱処理条件設定プログラム。
  9. 【請求項9】 被処理物の温度プロファイル条件と、前
    記被処理物自体の特性データの入力を受け、前記温度プ
    ロファイル条件と前記特性データに基づいて、前記被処
    理物に熱処理を行う熱処理機構部の制御量を設定する処
    理をコンピュータに実行させるための熱処理条件設定プ
    ログラムを記録したコンピュータ読みとり可能な記録媒
    体。
  10. 【請求項10】 被処理物の温度プロファイル条件と、
    前記被処理物自体の特性データの入力を受け、前記温度
    プロファイル条件と前記特性データに基づいて、前記被
    処理物に熱処理を行う熱処理機構部の制御量を設定する
    処理と、 前記被処理物ごとに前記制御量を履歴データとして記憶
    させる処理と、 前記履歴データを検索して、指定された被処理物と同種
    の被処理物に対する制御量を読み出す処理とをコンピュ
    ータに実行させるための熱処理条件設定プログラムを記
    録したコンピュータ読みとり可能な記録媒体。
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