JP4707684B2 - マルチバンド用フィルタモジュール及び製造方法 - Google Patents
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Description
300 第1フィルタモジュール
310 第1フィルタ(第1フィルタ部)
320 第2フィルタ(第1フィルタ部)
330 第1基板
340 第1パッケージング基板
351 第1シーリング部
352 第2シーリング部
400 第2フィルタモジュール
410 第3フィルタ(第2フィルタ部)
420 第4フィルタ(第2フィルタ部)
200_1〜200_n 第1ないし第nパッド
Claims (20)
- 少なくとも1つの第1フィルタ部が上面に積層される第1基板と、
前記第1基板に積層された前記少なくとも1つの第1フィルタ部をパッケージングする第1パッケージング基板と、
少なくとも1つの第2フィルタ部が上面に積層される第2基板と、
前記第2基板に積層された前記少なくとも1つの第2フィルタ部をパッケージングする第2パッケージング基板と、を含み、
前記第1基板の底面と前記第2基板の底面とが相互向かい合うように接合され、
前記少なくとも1つの第1フィルタ部が、前記第1基板の第1領域に積層され、第1周波数バンド内の周波数をフィルタリングする第1フィルタと、前記第1基板の第2領域に前記第1フィルタと一定の距離離隔されるように積層されて第2周波数バンド内の周波数をフィルタリングする第2フィルタとを含み、
前記少なくとも1つの第2フィルタ部が、前記第2基板に積層され第3周波数バンド内の周波数をフィルタリングする第3フィルタと、前記第2基板に前記3フィルタと一定の距離離隔されるように積層されて第4周波数バンド内の周波数をフィルタリングする第4フィルタとを含み、
前記第1フィルタ及び第2フィルタは、類似した帯域の周波数をフィルタリングし、また、前記第3フィルタ及び第4フィルタは、類似した帯域の周波数をフィルタリングすることを特徴とするマルチバンド用フィルタモジュール。 - 前記第1パッケージング基板が、
前記第1基板の両側に備えられる第1及び第2シーリング部を介して前記第1基板と接合される第1ウエハと、
前記第1ウエハに積層され、前記少なくとも1つの第1フィルタ部と電気的に接続される複数のパッドが上端表面に備えられる第2ウエハと、
を含むことを特徴とする請求項1に記載のマルチバンド用フィルタモジュール。 - 前記第2パッケージング基板が、
前記第2基板の両側に備えられる第3及び第4シーリング部を介して前記第2基板と接合される第3ウエハと、
前記第3ウエハに積層され、前記少なくとも1つの第2フィルタ部と電気的に接続される複数のパッドが上端表面に備えられる第4ウエハと、
を含むことを特徴とする請求項1に記載のマルチバンド用フィルタモジュール。 - 前記各第1ないし第4フィルタは相異なるフィルタで他の周波数帯域をフィルタリングする周波数バンドフィルタを含み、
前記第2フィルタの周波数帯域は前記第3または第4フィルタの周波数帯域よりも前記第1フィルタの周波数帯域と類似し、前記第3フィルタの周波数帯域は前記第1または第2フィルタの周波数帯域よりも前記第4フィルタの周波数帯域と類似していることを特徴とする請求項1に記載のマルチバンド用フィルタモジュール。 - 前記各第1フィルタ、第2フィルタ、第3フィルタ、及び第4フィルタが、
それぞれ前記第1基板の第1及び第2の一定領域と、前記第2基板の第3及び第4の一定領域に形成される第1空洞部、第2空洞部、第3空洞部、及び第4空洞部と、
それぞれ前記第1基板上に位置して前記第1空洞部及び第2空洞部を覆い、前記第2基板上に位置して前記第3空洞部及び第4空洞部を覆う第1下部電極、第2下部電極、第3下部電極、及び第4下部電極と、
それぞれ前記第1ないし第4下部電極上に位置する第1圧電層、第2圧電層、第3圧電層、及び第4圧電層と、
それぞれ前記第1圧電層、第2圧電層、第3圧電層、及び第4圧電層上に位置する第1上部電極、第2上部電極、第3上部電極、及び第4上部電極と、
を含むことを特徴とする請求項1に記載のマルチバンド用フィルタモジュール。 - 前記第1基板の前記第1の一定領域に形成される前記第1空洞部は、前記第2基板の前記第3の一定領域に形成される前記第3空洞部と対向し、前記第1基板の前記第2の一定領域に形成される前記第2空洞部は、前記第2基板の前記第4の一定領域に形成される前記第4空洞部と対向するように形成されたことを特徴とする請求項5に記載のマルチバンド用フィルタモジュール。
- 前記少なくとも1つの第1フィルタ部または前記少なくとも1つの第2フィルタ部は、GSM(Global System for Mobile communication)850バンドフィルタ、GSM900バンドフィルタ、GSM1800バンドフィルタ、及びGSM1900バンドフィルタのいずれか1つを含んでマルチバンドフィルタリングを行なうことを特徴とする請求項1に記載のマルチバンド用フィルタモジュール。
- 前記少なくとも1つの第1フィルタ部または前記少なくとも1つの第2フィルタ部は、少なくとも2つの他の周波数バンドフィルタを同一基板上に集積化して製造され、前記同一基板は前記第1基板または第2基板であることを特徴とする請求項1に記載のマルチバンド用フィルタモジュール。
- 前記少なくとも2つの異なるバンドフィルタは、GSM850バンドフィルタ、GSM900バンドフィルタ、GSM1800バンドフィルタ、及びGSM1900バンドフィルタから選択されたことを特徴とする請求項8に記載のマルチバンド用フィルタモジュール。
- 前記少なくとも1つの第1フィルタ部及び第2フィルタ部は、FBAR(Film Bulk Acoustic Resonator)であることを特徴とする請求項1に記載のマルチバンド用フィルタモジュール。
- 前記少なくとも1つの第1フィルタ部が、
前記第1基板の一定領域に形成される空洞部と、
前記第1基板上に位置し前記空洞部を覆う下部電極と、
前記下部電極上に位置する圧電層と、
前記圧電層上に位置する上部電極と、
を含むことを特徴とする請求項10に記載のマルチバンド用フィルタモジュール。 - 前記少なくとも1つの第2フィルタ部が、
前記第2基板の一定領域に形成される空洞部と、
前記第2基板上に位置し前記空洞部を覆う下部電極と、
前記下部電極上に位置する圧電層と、
前記圧電層上に位置する上部電極と、
を含むことを特徴とする請求項11に記載のマルチバンド用フィルタモジュール。 - 前記第1基板の所定領域に形成される空洞部は、前記第2基板の所定領域に形成される空洞部と相互対向するように接合されることを特徴とする請求項12に記載のマルチバンド用フィルタモジュール。
- (a)少なくとも1つの第1フィルタ部を第1基板の上面に積層するステップと、
(b)前記第1基板に積層された前記少なくとも1つの第1フィルタ部をパッケージングするステップと、
(c)少なくとも1つの第2フィルタ部を第2基板の上面に積層するステップと、
(d)前記第2基板に積層された前記少なくとも1つの第2フィルタ部をパッケージングするステップと、
(e)前記第1基板の底面と前記第2基板の底面とが相互向かい合うように接合するステップと、
を含み、
上記第1フィルタ部として、類似した帯域の周波数をフィルタリングする第1フィルタ及び第2フィルタを使用し、また、上記第2フィルタ部として、類似した帯域の周波数をフィルタリングする第3フィルタ及び第4フィルタを使用することを特徴とするマルチバンド用フィルタモジュールの製造方法。 - 前記(a)ステップにおいて、前記少なくとも1つの第1フィルタ部は前記第1基板の相異なる領域に一定の距離離隔して積層され、
前記(b)ステップにおいて、
(b1)第1ウエハを提供し、前記少なくとも1つの第1フィルタ部と電気的に接続される複数のパッドが上端表面に備えられる第2ウエハを前記第1ウエハに積層するステップと、
(b2)前記第1基板の両側に備えられる第1及び第2シーリング部を介して前記第1基板と前記第1ウエハを接合するステップと、
を含むことを特徴とする請求項14に記載のマルチバンド用フィルタモジュールの製造方法。 - 前記(c)ステップにおいて、前記少なくとも1つの第2フィルタ部は前記第2基板の相異なる領域に一定の距離離隔して積層され、
前記(d)ステップにおいて、
(d1)第3ウエハを提供し、前記少なくとも1つの第2フィルタ部と電気的に接続される複数のパッドが上端表面に備えられる第4ウエハを前記第3ウエハに積層するステップと、
(d2)前記第2基板の両側に備えられる第3及び第4シーリング部を介して前記第2基板と前記第3ウエハとを接合するステップと、
を含むことを特徴とする請求項15に記載のマルチバンド用フィルタモジュールの製造方法。 - 前記各フィルタは、FBARであることを特徴とする請求項14に記載のマルチバンド用フィルタモジュールの製造方法。
- 前記少なくとも1つの第1フィルタ部及び第2フィルタ部はGSM850バンドフィルタ、GSM900バンドフィルタ、GSM1800バンドフィルタ、及びGSM1900バンドフィルタのうちいずれか1つを含んでマルチバンドフィルタリングを行なうことを特徴とする請求項14に記載のマルチバンド用フィルタモジュールの製造方法。
- 前記第1フィルタ部及び第2フィルタ部のいずれか1つは、少なくとも2つの異なる周波数バンドフィルタを同一基板上に集積化して製造され、前記同一基板は前記第1基板または第2基板であることを特徴とする請求項14に記載のマルチバンド用フィルタモジュールの製造方法。
- 前記少なくとも2つの異なるバンドフィルタは、GSM850バンドフィルタ、GSM900バンドフィルタ、GSM1800バンドフィルタ、及びGSM1900バンドフィルタから選択されることを特徴とする請求項19に記載のマルチバンド用フィルタモジュール。
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