JPH09110112A - 半導体装置製造用ストッカのトランスファ移送装置 - Google Patents
半導体装置製造用ストッカのトランスファ移送装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 半導体ウェーハを収容するストッカ内でトラ
ンスファをＸ軸及びＹ軸方向に正確に移送可能なトラン
スファ移送装置を提供する。 【解決手段】 トランスファ１１をＸ軸方向に移送させ
るためのＸ軸駆動手段と、Ｘ軸駆動手段が設けられたベ
ース１２と、ベースをＹ軸方向に移送させるＹ軸駆動手
段とを備え、Ｘ軸駆動手段は、トランスファを固定する
固定板１３と、固定板の下部に設けられた複数のローラ
１４〜１６と、ベース上に設けられローラをＸ軸方向に
案内するガイドレール１７と、ローラのいずれか一つを
駆動するモータ１８とを含み、Ｙ軸駆動手段は、ベース
をＹ軸方向に案内する複数のガイドポスト２１と、複数
のスプロケット２５〜２７に案内され、その一端がベー
スに固定され、その他端がウエイト２９に固定された一
対のチェーン２８と、スプロケットのいずれか一つを駆
動する駆動モータ２４とを含む。
ンスファをＸ軸及びＹ軸方向に正確に移送可能なトラン
スファ移送装置を提供する。 【解決手段】 トランスファ１１をＸ軸方向に移送させ
るためのＸ軸駆動手段と、Ｘ軸駆動手段が設けられたベ
ース１２と、ベースをＹ軸方向に移送させるＹ軸駆動手
段とを備え、Ｘ軸駆動手段は、トランスファを固定する
固定板１３と、固定板の下部に設けられた複数のローラ
１４〜１６と、ベース上に設けられローラをＸ軸方向に
案内するガイドレール１７と、ローラのいずれか一つを
駆動するモータ１８とを含み、Ｙ軸駆動手段は、ベース
をＹ軸方向に案内する複数のガイドポスト２１と、複数
のスプロケット２５〜２７に案内され、その一端がベー
スに固定され、その他端がウエイト２９に固定された一
対のチェーン２８と、スプロケットのいずれか一つを駆
動する駆動モータ２４とを含む。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体装置製造用ス
トッカ（ｓｔｏｃｋｅｒ）のトランスファ（ｔｒａｎｓ
ｆｅｒ）移送装置に関し、特に、トランスファを垂直方
向に移送する距離を延長可能にして同一容積におけるス
トッカの設置面積を減少させた半導体装置製造用ストッ
カのトランスファ移送装置に関する。
トッカ（ｓｔｏｃｋｅｒ）のトランスファ（ｔｒａｎｓ
ｆｅｒ）移送装置に関し、特に、トランスファを垂直方
向に移送する距離を延長可能にして同一容積におけるス
トッカの設置面積を減少させた半導体装置製造用ストッ
カのトランスファ移送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、ウェーハから最終製品まで半導
体装置は多くの工程を経て製造される。従って、各工程
を行うためにはウェーハを一の工程から他の工程へ移送
する作業が必要となる。
体装置は多くの工程を経て製造される。従って、各工程
を行うためにはウェーハを一の工程から他の工程へ移送
する作業が必要となる。
【０００３】この際、ウェーハは汚染に極めて敏感なの
で、汚染されると性能が劣化し、収率に莫大な影響を及
ぼす。そこで、移送中にウェーハが汚染されないように
厳重に保護する必要がある。従って、半導体装置の製造
に必要な殆どの工程はクリーンルーム内でなされ、この
クリーンルーム内部は高い清浄度を保つように設備が備
えられている。
で、汚染されると性能が劣化し、収率に莫大な影響を及
ぼす。そこで、移送中にウェーハが汚染されないように
厳重に保護する必要がある。従って、半導体装置の製造
に必要な殆どの工程はクリーンルーム内でなされ、この
クリーンルーム内部は高い清浄度を保つように設備が備
えられている。
【０００４】また、このようなクリーンルーム内でさえ
も、ウェーハが一の工程から他の工程へ移送される際
に、周辺の汚染から厳重に保護しなければならず、この
ため各工程に移送されてくるウェーハを内部に安全に保
管するストッカが備えられている。
も、ウェーハが一の工程から他の工程へ移送される際
に、周辺の汚染から厳重に保護しなければならず、この
ため各工程に移送されてくるウェーハを内部に安全に保
管するストッカが備えられている。
【０００５】このようなストッカはクリーンルーム内で
の各々の工程に一つずつ配置され、次の工程に供給され
るウェーハを一時的に保管したり、一の工程を終えたウ
ェーハを次の工程に送るまで一時的に保管する役割を果
している。
の各々の工程に一つずつ配置され、次の工程に供給され
るウェーハを一時的に保管したり、一の工程を終えたウ
ェーハを次の工程に送るまで一時的に保管する役割を果
している。
【０００６】図６は前述したような従来のストッカを示
す斜視図であって、ストッカ１は高さが比較的高い六面
体形状であって、その内部に複数のウェーハを積載した
カセットを備える。
す斜視図であって、ストッカ１は高さが比較的高い六面
体形状であって、その内部に複数のウェーハを積載した
カセットを備える。
【０００７】ウェーハはカセットに積載されたまま一の
工程から次の工程に移送される。図６に示すように、ス
トッカ１の前面下部にはコンベヤ２が設けられており、
このコンベヤ２によりカセットがストッカ１内で出入り
する。また、ストッカ１の前面上部には移載機３が設け
られている。移載機３の前方にはレール５が設けられ、
このレール５に沿って台車４が案内される。移載機３は
ストッカ１内のカセットをレール５上の台車４に移した
り、台車４上のカセットをストッカ１内に移すのに使用
される。
工程から次の工程に移送される。図６に示すように、ス
トッカ１の前面下部にはコンベヤ２が設けられており、
このコンベヤ２によりカセットがストッカ１内で出入り
する。また、ストッカ１の前面上部には移載機３が設け
られている。移載機３の前方にはレール５が設けられ、
このレール５に沿って台車４が案内される。移載機３は
ストッカ１内のカセットをレール５上の台車４に移した
り、台車４上のカセットをストッカ１内に移すのに使用
される。
【０００８】図７及び図８はそれぞれストッカ１の内部
構造を示す概略的な横断面図及び縦断面図である。図７
及び図８に示すように、ストッカ１内の両側壁にはカセ
ットを載置する複数のカセットステージ６が配置されて
いる。カセットステージ６に載置されたカセット（図示
せず）を運搬するトランスファ７が設けられており、こ
のトランスファ７はＸ軸及びＹ軸移送装置により水平方
向及び垂直方向に移送自在となっている。
構造を示す概略的な横断面図及び縦断面図である。図７
及び図８に示すように、ストッカ１内の両側壁にはカセ
ットを載置する複数のカセットステージ６が配置されて
いる。カセットステージ６に載置されたカセット（図示
せず）を運搬するトランスファ７が設けられており、こ
のトランスファ７はＸ軸及びＹ軸移送装置により水平方
向及び垂直方向に移送自在となっている。
【０００９】図８及び図９に示すように、Ｘ軸及びＹ軸
移送装置は、トランスファ７を支持して垂直方向すなわ
ちＹ軸方向に移送自在にするＹ軸フレーム８と、トラン
スファ７を支持するＹ軸フレーム８を水平方向すなわち
Ｘ軸方向に移送自在にするＸ軸フレーム９とを備えてい
る。
移送装置は、トランスファ７を支持して垂直方向すなわ
ちＹ軸方向に移送自在にするＹ軸フレーム８と、トラン
スファ７を支持するＹ軸フレーム８を水平方向すなわち
Ｘ軸方向に移送自在にするＸ軸フレーム９とを備えてい
る。
【００１０】従って、トランスファ７はＸ軸フレーム９
とＹ軸フレーム８に沿って水平及び垂直方向に移動しな
がら、各カセットステージ６に載置されたカセットを次
の工程のために取り出したり、外部から搬入されたカセ
ットを空のカセットステージ６に載置して次の工程まで
保管させる。
とＹ軸フレーム８に沿って水平及び垂直方向に移動しな
がら、各カセットステージ６に載置されたカセットを次
の工程のために取り出したり、外部から搬入されたカセ
ットを空のカセットステージ６に載置して次の工程まで
保管させる。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】このようなトランスフ
ァ移送装置において、トランスファ７を所望の位置に存
するカセットステージ６まで正確に移送して停止させる
ことにより、所望のカセットステージ６に載置されたカ
セットを取り出したり、搬入されてきたカセットを所望
のカセットステージ６に載置させるためには、トランス
ファ７をＸ軸及びＹ軸方向に正確に移送しなければなら
ない。
ァ移送装置において、トランスファ７を所望の位置に存
するカセットステージ６まで正確に移送して停止させる
ことにより、所望のカセットステージ６に載置されたカ
セットを取り出したり、搬入されてきたカセットを所望
のカセットステージ６に載置させるためには、トランス
ファ７をＸ軸及びＹ軸方向に正確に移送しなければなら
ない。
【００１２】しかし、従来のトランスファ移送装置によ
れば、トランスファ７を支持するＹ軸フレーム８をＸ軸
フレーム９に沿って移送するようになっているので、移
送の際Ｙ軸フレーム８に揺れが生じる。特に、Ｙ軸フレ
ーム８に上部にトランスファ７が位置している場合に
は、揺れがさらに激しくなって、移送動作が円滑に行え
ないという問題があった。
れば、トランスファ７を支持するＹ軸フレーム８をＸ軸
フレーム９に沿って移送するようになっているので、移
送の際Ｙ軸フレーム８に揺れが生じる。特に、Ｙ軸フレ
ーム８に上部にトランスファ７が位置している場合に
は、揺れがさらに激しくなって、移送動作が円滑に行え
ないという問題があった。
【００１３】また、Ｙ軸フレーム８の高さは高いので、
トランスファ７がＹ軸方向の上部に位置するほど揺れが
大きく発生する。このようにトランスファ７をＸ軸また
はＹ軸に移送する際に揺れが生ずると、トランスファ７
は所望のカセットステージ６の存する位置に正確移動で
きず、これによりトランスファ７がカセットを運搬する
ために把持しようとしてもうまく動作できず、また、外
部から搬入されたカセットを所望のカセットステージ６
に正確に載置することができない。
トランスファ７がＹ軸方向の上部に位置するほど揺れが
大きく発生する。このようにトランスファ７をＸ軸また
はＹ軸に移送する際に揺れが生ずると、トランスファ７
は所望のカセットステージ６の存する位置に正確移動で
きず、これによりトランスファ７がカセットを運搬する
ために把持しようとしてもうまく動作できず、また、外
部から搬入されたカセットを所望のカセットステージ６
に正確に載置することができない。
【００１４】このような誤動作はＹ軸フレーム８の高さ
が高くなるほど多く生じるので、Ｙ軸フレーム８の高さ
は設計上一定の範囲に制限されていた。Ｙ軸フレーム８
の高さによりストッカ１内に配置されるカセットステー
ジ６の段数とストッカ全体の高さが決定されるので、ス
トッカの全体容積を設定する場合にＹ軸フレーム８の高
さは制限的な要素として作用していた。
が高くなるほど多く生じるので、Ｙ軸フレーム８の高さ
は設計上一定の範囲に制限されていた。Ｙ軸フレーム８
の高さによりストッカ１内に配置されるカセットステー
ジ６の段数とストッカ全体の高さが決定されるので、ス
トッカの全体容積を設定する場合にＹ軸フレーム８の高
さは制限的な要素として作用していた。
【００１５】ストッカ１の容積はカセットステージの数
と関連するので、さらに多くのカセットを収容するため
にはストッカの容積を増大し、ひいてはカセットステー
ジの数を増やす必要がある。しかし、ストッカの高さを
これ以上高くすることはできないので、その断面積すな
わち設置面積を増加させていた。
と関連するので、さらに多くのカセットを収容するため
にはストッカの容積を増大し、ひいてはカセットステー
ジの数を増やす必要がある。しかし、ストッカの高さを
これ以上高くすることはできないので、その断面積すな
わち設置面積を増加させていた。
【００１６】しかし、ストッカ１の設置面積を広くする
と、クリーンルーム内におけるストッカ全体の占有面積
が増加するので、クリーンルームを広くしなければなら
ず、そのためには高価な設備と多額の費用が必要とされ
ていた。
と、クリーンルーム内におけるストッカ全体の占有面積
が増加するので、クリーンルームを広くしなければなら
ず、そのためには高価な設備と多額の費用が必要とされ
ていた。
【００１７】そこで、本発明は、上述の問題点を解決す
るためになされたものであって、その目的は、トランス
ファをＸ軸及びＹ軸方向に移送させる場合に揺れを生じ
させることなくトランスファを所望のカセットステージ
の位置に正確に移送し停止させることができ、従って、
カセットの運搬を安全に行うことができる半導体装置製
造用ストッカのトランスファ移送装置を提供することに
ある。
るためになされたものであって、その目的は、トランス
ファをＸ軸及びＹ軸方向に移送させる場合に揺れを生じ
させることなくトランスファを所望のカセットステージ
の位置に正確に移送し停止させることができ、従って、
カセットの運搬を安全に行うことができる半導体装置製
造用ストッカのトランスファ移送装置を提供することに
ある。
【００１８】本発明の他の目的は、トランスファのＹ軸
方向の移送距離を延長させると共にストッカ自体の高さ
をさらに高くすることによって、カセットステージの数
を増加し、さらに多くのカセットを収容できるようにし
た半導体装置製造用ストッカのトランスファ移送装置を
提供することにある。
方向の移送距離を延長させると共にストッカ自体の高さ
をさらに高くすることによって、カセットステージの数
を増加し、さらに多くのカセットを収容できるようにし
た半導体装置製造用ストッカのトランスファ移送装置を
提供することにある。
【００１９】本発明のさらに他の目的は、ストッカの設
置面積を増大することなく高さを高くして収容可能なカ
セットの数を増加することにより、クリーンルーム内に
おけるストッカの占有面積をそのまま保ちながら高価の
設備と費用を節減させることができる半導体装置製造用
ストッカのトランスファ移送装置を提供することにあ
る。
置面積を増大することなく高さを高くして収容可能なカ
セットの数を増加することにより、クリーンルーム内に
おけるストッカの占有面積をそのまま保ちながら高価の
設備と費用を節減させることができる半導体装置製造用
ストッカのトランスファ移送装置を提供することにあ
る。
【００２０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のトランスファ移送装置は、ストッカ内で半
導体ウェーハが積載されたカセットを運搬するトランス
ファをＸ軸及びＹ軸方向に移送する半導体装置製造用ス
トッカのトランスファ移送装置であって、トランスファ
をＸ軸方向に移送させるためのＸ軸駆動手段と、Ｘ軸駆
動手段が設けられたベースと、ベースをＹ軸方向に移送
させるＹ軸駆動手段とを備えることを特徴とする。
に、本発明のトランスファ移送装置は、ストッカ内で半
導体ウェーハが積載されたカセットを運搬するトランス
ファをＸ軸及びＹ軸方向に移送する半導体装置製造用ス
トッカのトランスファ移送装置であって、トランスファ
をＸ軸方向に移送させるためのＸ軸駆動手段と、Ｘ軸駆
動手段が設けられたベースと、ベースをＹ軸方向に移送
させるＹ軸駆動手段とを備えることを特徴とする。
【００２１】ここで、Ｘ軸駆動手段は、トランスファを
固定する固定板と、固定板の下部に設けられた複数のロ
ーラと、ベース上に設けられ、ローラをＸ軸方向に案内
するガイドレールと、複数のローラのうちいずれか一つ
を駆動させるモータとにより構成するのが好ましい。
固定する固定板と、固定板の下部に設けられた複数のロ
ーラと、ベース上に設けられ、ローラをＸ軸方向に案内
するガイドレールと、複数のローラのうちいずれか一つ
を駆動させるモータとにより構成するのが好ましい。
【００２２】また、Ｙ軸駆動手段は、ベースをＹ軸方向
に移動自在に案内する複数のガイドポストと、複数のス
プロケットに案内され、その一端がベースに固定され、
その他端がウエイトに固定された一対のチェーンと、複
数のスプロケットのうちいずれか一つを回転させ、一対
のチェーンを駆動させる駆動モータとにより構成するの
が好ましい。
に移動自在に案内する複数のガイドポストと、複数のス
プロケットに案内され、その一端がベースに固定され、
その他端がウエイトに固定された一対のチェーンと、複
数のスプロケットのうちいずれか一つを回転させ、一対
のチェーンを駆動させる駆動モータとにより構成するの
が好ましい。
【００２３】
【発明の実施の形態】以下、添付の図面を参照しながら
本発明による半導体装置製造用ストッカのトランスファ
移送装置の好ましい実施形態について説明する。
本発明による半導体装置製造用ストッカのトランスファ
移送装置の好ましい実施形態について説明する。
【００２４】図１、図２及び図３はそれぞれ本発明のト
ランスファ移送装置を示す正面図、平面図及び側面図で
ある。図１、図２及び図３に示すように、ウェーハが積
載されたカセットを運搬するための通常のトランスファ
１１がＸ軸駆動手段により水平方向すなわちＸ軸方向に
移動自在に設置されている。Ｘ軸駆動手段はベース１２
上に設けられている。
ランスファ移送装置を示す正面図、平面図及び側面図で
ある。図１、図２及び図３に示すように、ウェーハが積
載されたカセットを運搬するための通常のトランスファ
１１がＸ軸駆動手段により水平方向すなわちＸ軸方向に
移動自在に設置されている。Ｘ軸駆動手段はベース１２
上に設けられている。
【００２５】Ｘ軸駆動手段が設けられたベース１２はＹ
軸駆動手段により垂直方向すなわちＹ軸方向に移動自在
になっている。従って、トランスファ１１はＸ軸駆動手
段及びＹ軸駆動手段によりそれぞれＸ軸及びＹ軸方向に
移送されるように構成されている。
軸駆動手段により垂直方向すなわちＹ軸方向に移動自在
になっている。従って、トランスファ１１はＸ軸駆動手
段及びＹ軸駆動手段によりそれぞれＸ軸及びＹ軸方向に
移送されるように構成されている。
【００２６】図１ないし図４に示すように、Ｘ軸駆動手
段はトランスファ１１を固定する固定板１３を備える。
固定板１３の下部には、駆動ローラ１４とガイドローラ
１５，１６が設けられている。また、ベース１２上には
ガイドレール１７が設けられ、駆動ローラ１４及びガイ
ドローラ１５，１６がそれぞれガイドレール１７の上面
及び両側面に沿って案内される。
段はトランスファ１１を固定する固定板１３を備える。
固定板１３の下部には、駆動ローラ１４とガイドローラ
１５，１６が設けられている。また、ベース１２上には
ガイドレール１７が設けられ、駆動ローラ１４及びガイ
ドローラ１５，１６がそれぞれガイドレール１７の上面
及び両側面に沿って案内される。
【００２７】ここで、これらのローラ１４〜１６のうち
いずれか一つがモータ１８により駆動される。なお、図
４に示すように、ガイドレール１７の上面に沿って案内
される駆動ローラ１４を駆動させるのが好ましい。従っ
て、モータ１８を駆動させると駆動ローラ１４が回転
し、固定板１３がガイドレール１７に沿って移動し、こ
の固定板１３に固定されたトランスファ１１がＸ軸方向
に移送される。
いずれか一つがモータ１８により駆動される。なお、図
４に示すように、ガイドレール１７の上面に沿って案内
される駆動ローラ１４を駆動させるのが好ましい。従っ
て、モータ１８を駆動させると駆動ローラ１４が回転
し、固定板１３がガイドレール１７に沿って移動し、こ
の固定板１３に固定されたトランスファ１１がＸ軸方向
に移送される。
【００２８】図５に示すように、Ｙ軸駆動手段は、Ｙ軸
方向に立設され、ベース１２を案内・支持する複数のガ
イドポスト２１を備える。複数のガイドポスト２１は上
下部が水平フレーム２２，２３により堅く固定されてい
る。
方向に立設され、ベース１２を案内・支持する複数のガ
イドポスト２１を備える。複数のガイドポスト２１は上
下部が水平フレーム２２，２３により堅く固定されてい
る。
【００２９】また、ベース１２は駆動モータ２４により
駆動される第１〜第３スプロケット２５〜２７とこれに
連結されるチェーン２８により移動される。すなわち、
チェーン２８の一端はベース１２に固定され、チェーン
２８の他端にはウエイト２９が取り付けられ、スプロケ
ットのうち第１及び第２スプロケット２５，２６は上部
に、第３スプロケット２７は下部に設けられている。
駆動される第１〜第３スプロケット２５〜２７とこれに
連結されるチェーン２８により移動される。すなわち、
チェーン２８の一端はベース１２に固定され、チェーン
２８の他端にはウエイト２９が取り付けられ、スプロケ
ットのうち第１及び第２スプロケット２５，２６は上部
に、第３スプロケット２７は下部に設けられている。
【００３０】従って、チェーン２８はベース１２の一端
から第２スプロケット２６、第３スプロケット２７、第
１スプロケット２５の順に案内され、他端がウエイト２
９に取り付けられている。第１〜第３スプロケット２５
〜２７のうちいずれか一つを駆動モータ２４の駆動軸に
連結して駆動することによりベース１２を移動させるこ
とができる。好ましくは、Ｙ軸駆動手段の下部に設けら
れた第３スプロケット２７を駆動モータ２４の駆動軸に
連結する。
から第２スプロケット２６、第３スプロケット２７、第
１スプロケット２５の順に案内され、他端がウエイト２
９に取り付けられている。第１〜第３スプロケット２５
〜２７のうちいずれか一つを駆動モータ２４の駆動軸に
連結して駆動することによりベース１２を移動させるこ
とができる。好ましくは、Ｙ軸駆動手段の下部に設けら
れた第３スプロケット２７を駆動モータ２４の駆動軸に
連結する。
【００３１】このように構成されたチェーン２８と第１
〜第３スプロケット２５〜２７はベース１２の両側にそ
れぞれ設置され、一つの駆動モータ２４が両側の第３ス
プロケット２７を同時に駆動可能としている。
〜第３スプロケット２５〜２７はベース１２の両側にそ
れぞれ設置され、一つの駆動モータ２４が両側の第３ス
プロケット２７を同時に駆動可能としている。
【００３２】このような本発明の構成によれば、図１な
いし図４に示すように、トランスファ１１はＸ軸方向に
移動可能である。すなわち、Ｘ軸駆動手段のモータ１８
がいずれか一方向に回転すると、固定板１３の下部に設
けられた駆動ローラ１４が回転して、トランスファ１１
を搭載した固定板１３がガイドレール１７に沿ってＸ軸
方向に移動する。
いし図４に示すように、トランスファ１１はＸ軸方向に
移動可能である。すなわち、Ｘ軸駆動手段のモータ１８
がいずれか一方向に回転すると、固定板１３の下部に設
けられた駆動ローラ１４が回転して、トランスファ１１
を搭載した固定板１３がガイドレール１７に沿ってＸ軸
方向に移動する。
【００３３】この際、トランスファ１１は固定板１３に
より設置高さが低く、固定板１３の移動はガイドローラ
１５、１６によりガイドレール１７の両側面に沿って支
持・案内されるので、Ｘ軸方向の移送中にトランスファ
１１の揺れは生じない。
より設置高さが低く、固定板１３の移動はガイドローラ
１５、１６によりガイドレール１７の両側面に沿って支
持・案内されるので、Ｘ軸方向の移送中にトランスファ
１１の揺れは生じない。
【００３４】また、トランスファ１１はＹ軸方向にも移
送可能である。すなわち、Ｙ軸駆動手段の駆動モータ２
４がいずれか一方向に回転すると、駆動モータ２４の駆
動軸に連結された両側の第３スプロケット２７が同時に
回転し、この両側の第３スプロケット２７の回転により
チェーン２８が回転方向に駆動される。
送可能である。すなわち、Ｙ軸駆動手段の駆動モータ２
４がいずれか一方向に回転すると、駆動モータ２４の駆
動軸に連結された両側の第３スプロケット２７が同時に
回転し、この両側の第３スプロケット２７の回転により
チェーン２８が回転方向に駆動される。
【００３５】例えば、図５において、駆動モータ２４が
両側の第３スプロケット２７を時計回り方向に回転させ
ると、チェーン２８は第１〜第３スプロケット２５〜２
７に案内されて、ベース１２を下方向に移動させると共
にウエイト２９を上方向に引き上げる。この際、ウエイ
ト２９はベース１２の昇降時の荷重による駆動モータ２
４の負荷を減らす機能をする。
両側の第３スプロケット２７を時計回り方向に回転させ
ると、チェーン２８は第１〜第３スプロケット２５〜２
７に案内されて、ベース１２を下方向に移動させると共
にウエイト２９を上方向に引き上げる。この際、ウエイ
ト２９はベース１２の昇降時の荷重による駆動モータ２
４の負荷を減らす機能をする。
【００３６】また、駆動モータ２４が両側の第３スプロ
ケット２７を反時計方向に回転させると、チェーン２８
は第１〜第３スプロケット２５〜２７に案内されて、ベ
ース１２を上方向に引き上げると共にウエイト２９を下
方向に下降させる。従って、駆動モータ２４の回転方向
によりベース１２を上下方向に昇降させることができ、
これによりベース１２上に設置されたトランスファ１１
をＹ軸方向に移送することができる。
ケット２７を反時計方向に回転させると、チェーン２８
は第１〜第３スプロケット２５〜２７に案内されて、ベ
ース１２を上方向に引き上げると共にウエイト２９を下
方向に下降させる。従って、駆動モータ２４の回転方向
によりベース１２を上下方向に昇降させることができ、
これによりベース１２上に設置されたトランスファ１１
をＹ軸方向に移送することができる。
【００３７】前記のように昇降可能なベース１２は複数
のガイドポスト２１により支持・案内されるので、昇降
時に揺れを生じることなくトランスファ１１を安定的に
移送できる。このように、トランスファ１１のＹ軸方向
の移送時に揺れが生じることはない。
のガイドポスト２１により支持・案内されるので、昇降
時に揺れを生じることなくトランスファ１１を安定的に
移送できる。このように、トランスファ１１のＹ軸方向
の移送時に揺れが生じることはない。
【００３８】従って、ガイドポスト２１の設置高さを高
くしてトランスファ１１のＹ軸方向移送距離を延長でき
るので、ストッカの高さを延長してその容積を増加さ
せ、よってさらに多くのカセットを収容することが可能
となる。
くしてトランスファ１１のＹ軸方向移送距離を延長でき
るので、ストッカの高さを延長してその容積を増加さ
せ、よってさらに多くのカセットを収容することが可能
となる。
【００３９】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、ベー
ス上に設置されたトランスファの設置高さが低いので、
Ｘ軸方向の移送時に揺れを生じることはなく、また、ベ
ースは複数のガイドポストにより支持されながらＹ軸方
向に移動するので、Ｙ軸方向の移送時に揺れを生じるこ
ともない。従って、トランスファはＸ軸及びＹ軸方向に
正確に移送されて、トランスファを所望のカセットステ
ージの位置に正確に移送することができる。よって、カ
セットステージにカセットを載置したり、ステージカセ
ットに載置されているカセットを引き出して運搬する作
業を誤動作なしに行うことができる。
ス上に設置されたトランスファの設置高さが低いので、
Ｘ軸方向の移送時に揺れを生じることはなく、また、ベ
ースは複数のガイドポストにより支持されながらＹ軸方
向に移動するので、Ｙ軸方向の移送時に揺れを生じるこ
ともない。従って、トランスファはＸ軸及びＹ軸方向に
正確に移送されて、トランスファを所望のカセットステ
ージの位置に正確に移送することができる。よって、カ
セットステージにカセットを載置したり、ステージカセ
ットに載置されているカセットを引き出して運搬する作
業を誤動作なしに行うことができる。
【００４０】また、トランスファがＹ軸方向に揺れるこ
となく移動自在となるので、Ｙ軸方向への移送距離を延
長でき、これによりストッカの高さをより高くすること
が可能となる。従って、ストッカの全体の容積を増大で
きるので、より多くのカセットを収容でき、また、スト
ッカの設置面積を広げる必要がないので、これに伴うク
リーンルームの設備・費用を節減できる。
となく移動自在となるので、Ｙ軸方向への移送距離を延
長でき、これによりストッカの高さをより高くすること
が可能となる。従って、ストッカの全体の容積を増大で
きるので、より多くのカセットを収容でき、また、スト
ッカの設置面積を広げる必要がないので、これに伴うク
リーンルームの設備・費用を節減できる。
【図１】本発明によるストッカのトランスファ移送装置
を示す正面図である。
を示す正面図である。
【図２】本発明によるストッカのトランスファ移送装置
を示す平面図である。
を示す平面図である。
【図３】本発明によるストッカのトランスファ移送装置
を示す側面図である。
を示す側面図である。
【図４】図３の要部拡大図である。
【図５】本発明によるストッカのトランスファ移送装置
のＹ軸駆動手段を示す斜視図である。
のＹ軸駆動手段を示す斜視図である。
【図６】従来の半導体製造用ストッカを示す斜視図であ
る。
る。
【図７】従来のストッカの内部を概略的に示す横断面図
である。
である。
【図８】従来のストッカの内部を概略的に示す縦断面図
である。
である。
【図９】従来のトランスファ移送装置を示す側面図であ
る。
る。
１１ トランスファ １２ ベース １３ 固定板 １４ 駆動ローラ １５，１６ ガイドローラ １７ ガイドレール １８ モータ ２１ ガイドポスト ２２，２３ 水平フレーム ２４ 駆動モータ ２５ 第１スプロケット ２６ 第２スプロケット ２７ 第３スプロケット ２８ チェーン ２９ ウエイト
Claims (3)
- 【請求項１】 ストッカ内で半導体ウェーハが積載され
たカセットを運搬するトランスファをＸ軸及びＹ軸方向
に移送する半導体装置製造用ストッカのトランスファ移
送装置において、 前記トランスファをＸ軸方向に移送させるためのＸ軸駆
動手段と、 前記Ｘ軸駆動手段が設けられたベースと、 前記ベースをＹ軸方向に移送させるＹ軸駆動手段と、を
備えることを特徴とするトランスファ移送装置。 - 【請求項２】 前記Ｘ軸駆動手段は、 前記トランスファを固定する固定板と、 前記固定板の下部に設けられた複数のローラと、 前記ベース上に設けられ、前記ローラをＸ軸方向に案内
するガイドレールと、 前記複数のローラのうちいずれか一つを駆動させるモー
タと、を備えることを特徴とする請求項１に記載のトラ
ンスファ移送装置。 - 【請求項３】 前記Ｙ軸駆動手段は、 前記ベースをＹ軸方向に移動自在に案内する複数のガイ
ドポストと、 複数のスプロケットに案内され、その一端が前記ベース
に固定され、その他端がウエイトに固定された一対のチ
ェーンと、 前記複数のスプロケットのうちいずれか一つを回転さ
せ、一対のチェーンを駆動させる駆動モータと、を備え
ることを特徴とする請求項１に記載のトランスファ移送
装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1995-35421 | 1995-10-13 | ||
| KR1019950035421A KR970023964A (ko) | 1995-10-13 | 1995-10-13 | 반도체 제조용 스톡커의 트랜스퍼 이송장치 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09110112A true JPH09110112A (ja) | 1997-04-28 |
Family
ID=19430198
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8019062A Pending JPH09110112A (ja) | 1995-10-13 | 1996-02-05 | 半導体装置製造用ストッカのトランスファ移送装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09110112A (ja) |
| KR (1) | KR970023964A (ja) |
| DE (1) | DE19639634A1 (ja) |
| GB (1) | GB2306163B (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013523474A (ja) * | 2010-03-31 | 2013-06-17 | エーティーエス オートメーション ツーリング システムズ インコーポレイテッド | ウェットベンチ装置および方法 |
| KR20220051463A (ko) * | 2020-10-19 | 2022-04-26 | 주식회사 해토 | 초박형 유리 강화 열처리 시스템 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100577622B1 (ko) * | 2001-12-04 | 2006-05-10 | 로제 가부시키가이샤 | 용기의 일시적 반입, 유치, 반출용 장치 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0192110A (ja) * | 1987-10-02 | 1989-04-11 | Daifuku Co Ltd | クレーンの昇降キャレッジ駆動装置 |
| JPH03131493A (ja) * | 1989-10-13 | 1991-06-05 | Toshiba Corp | 走行体の発塵防止装置 |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2197788B1 (ja) * | 1972-09-05 | 1976-10-29 | Mills Const Sa | |
| IT1023865B (it) * | 1974-09-27 | 1978-05-30 | Bertello Ist Grafico | Carrello di manovra per archivi automatici atto a prelevare e presentare alla consultazione i cassetti indifferentemente su entrambi i lati |
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| US4775281A (en) * | 1986-12-02 | 1988-10-04 | Teradyne, Inc. | Apparatus and method for loading and unloading wafers |
| KR0133676B1 (ko) * | 1987-12-07 | 1998-04-23 | 후세 노보루 | 웨이퍼 이동 교체 장치 및 방법 |
| JP2559617B2 (ja) * | 1988-03-24 | 1996-12-04 | キヤノン株式会社 | 基板処理装置 |
| EP0599032A1 (de) * | 1992-11-23 | 1994-06-01 | Manitec Consulting AG | Behälterlager |
| GB2276874B (en) * | 1993-04-05 | 1997-04-02 | Hitachi Shipbuilding Eng Co | System for storage and retrieval of steel plates |
| DE4420286A1 (de) * | 1993-06-28 | 1995-01-05 | Owl Ag Logistik Systeme Buchs | Einrichtung zum Kommissionieren und Transportieren von Gegenständen in einem Lager |
| DE4425208C2 (de) * | 1994-07-16 | 1996-05-09 | Jenoptik Technologie Gmbh | Einrichtung zur Kopplung von Be- und Entladegeräten mit Halbleiterbearbeitungsmaschinen |
-
1995
- 1995-10-13 KR KR1019950035421A patent/KR970023964A/ko not_active Application Discontinuation
-
1996
- 1996-01-25 GB GB9601456A patent/GB2306163B/en not_active Expired - Fee Related
- 1996-02-05 JP JP8019062A patent/JPH09110112A/ja active Pending
- 1996-09-26 DE DE19639634A patent/DE19639634A1/de not_active Ceased
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2013523474A (ja) * | 2010-03-31 | 2013-06-17 | エーティーエス オートメーション ツーリング システムズ インコーポレイテッド | ウェットベンチ装置および方法 |
| KR20220051463A (ko) * | 2020-10-19 | 2022-04-26 | 주식회사 해토 | 초박형 유리 강화 열처리 시스템 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| GB9601456D0 (en) | 1996-03-27 |
| GB2306163B (en) | 1997-11-19 |
| KR970023964A (ko) | 1997-05-30 |
| DE19639634A1 (de) | 1997-04-17 |
| GB2306163A (en) | 1997-04-30 |
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