JP4674548B2 - ボンディング装置及びボンディングツール - Google Patents
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Description
を吸着することができる。
2 フィルム状基板
3 ボンディング対象物
14、21 下面
14a、21a 押圧領域
14b、21b 吸着領域
Claims (4)
- ボンディングツールの下面に吸着して保持したフィルム状基板を接合用部材が予め施されたボンディング対象物である基板の電極形成面に押圧してボンディングするボンディング装置であって、
前記ボンディングツールの下面に、フィルム状基板を吸着する吸着溝が形成された吸着面と、前記吸着面に吸着された前記フィルム状基板を前記電極形成面に押圧する押圧面とを備え、
前記吸着面が、前記押圧面から側方へ向かって上り勾配で傾斜して成り、前記押圧面により押圧されて押し出された前記接合用部材が固着する側方へ向かって末広がり状の空間を前記電極形成面と前記フィルム状基板との間に形成することを特徴とするボンディング装置。 - 前記押圧面が前記ボンディングツールの下面の略中央に形成されるとともに前記吸着面が前記ボンディングツールの下面の両側に前記押圧面を挟んで形成されていることを特徴とする請求項1記載のボンディング装置。
- フィルム状基板を接合用部材が予め施されたボンディング対象物である基板の電極形成面に押圧してボンディングするボンディング装置に装着されるボンディングツールであって、
フィルム状基板を吸着する吸着溝が形成された吸着面と、前記吸着面に吸着された前記フィルム状基板を前記電極形成面に押圧する押圧面とを有する下面を備え、
前記吸着面が、前記押圧面から側方へ向かって上り勾配で傾斜して成り、前記押圧面により押圧されて押し出された前記接合用部材が固着する側方へ向かって末広がり状の空間を前記電極形成面と前記フィルム状基板との間に形成することを特徴とするボンディングツール。 - 前記押圧面が前記下面の略中央に形成されるとともに前記吸着面が前記下面の両側に前記押圧面を挟んで形成されていることを特徴とする請求項3記載のボンディングツール。
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