JP4642556B2 - 防湿フィルムの製造方法 - Google Patents
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前記高分子フィルム基材の少なくとも片面に金属蒸着層が形成された防湿フィルムであって、
前記熱処理後の金属蒸着層が、該金属蒸着層の金属に関するXPSスペクトルのピーク高さをHMe、酸素に関するXPSスペクトルのピーク高さをHOと定義した場合に、HO/HMeの値が0.5以上である金属酸化物層と、HO/HMeの値が0.5未満である金属及び金属酸化物の複合層とを備えており、
前記金属酸化物層並びに前記金属及び金属酸化物の複合層における金属に関するXPSスペクトルの積分値をSMe、酸素に関するXPSスペクトルの積分値をSOと定義した場合に、前記金属酸化物層におけるSO/SMeの値が0.5〜1.5であり、且つ、前記金属及び金属酸化物の複合層におけるSO/SMeの値が0.5未満であり、
前記金属酸化物層の密度が2.0〜10.0g/cm3であり、且つ、前記金属酸化物層が前記熱処理後の金属蒸着層の表面から該金属蒸着層全体の厚みに対し6〜50%の厚みを占めている防湿フィルムを得ることを特徴とする方法である。
また、本発明の防湿フィルムの製造方法においては、前記高分子フィルム基材がポリエチレンテレフタレート(PET)フィルムであり、且つ、前記金属がアルミニウムであることが好ましい。
前記金属蒸着層が、前記金属蒸着層の金属に関するXPSスペクトルのピーク高さをHMe、酸素に関するXPSスペクトルのピーク高さをHOと定義した場合に、HO/HMeの値が0.5以上である金属酸化物層と、HO/HMeの値が0.5未満である金属及び金属酸化物の複合層とを備えており、
前記金属酸化物層の密度が2.0〜10.0g/cm3であり、且つ、前記金属酸化物層が前記金属蒸着層の表面から前記金属蒸着層全体の厚みに対し10〜30%の厚みを占めていることを特徴とするものである。
ISFET(半導体)測定方式pH計(pH BOY KS501;新電元社製)を用いて、温度23℃の条件で水性液体のpHを測定した。
溶存酸素メーター(OM−51;堀場製作所製)を用いて、温度23℃の条件で水性液体の溶存酸素濃度を測定した。
酸素濃度計(PBI Dansensor)を用いて、温度23℃の条件で熱処理の雰囲気の酸素濃度を測定した。
先ず、デプスプロファイル測定用の装置(5400MC;PHI社製)を用い、X線源はMgKα、検出深さは4〜5nm、スパッタ速度は約2.5nm/min(SiO2換算)の条件でデプスプロファイル測定を行い、XPSスペクトルを得た。次いで、得られたXPSスペクトルから各層における金属と酸素に関するXPSスペクトルの積分値(SMe,So)を求め、その値から各層の金属と酸素の積分値比(So/SMe)を求めた。
先ず、各層の金属と酸素の積分値比(So/SMe)の測定と同様の方法でXPSスペクトルを得た。次いで、得られたXPSスペクトルから各層におけるスパッタ時間の長さを読み取り、その値から各層の厚みの割合を求めた。
XRR(X線反射率法)の測定用の装置(ATX−G;リガク社製)を用い、走査モードは連続走査、走査範囲は0〜5°、ステップ幅は0.004°、走査速度は0.5°/minの条件で、X線反射率測定を行い、反射率データを得た。次いで、得られた反射率データから屈折率(n)を、非線形の最小二乗法にて精密化することにより求め、その値に基づいて計算により金属酸化物層の密度を求めた。
JIS Z−0208に記載された方法に準拠して、水蒸気透過度測定器(PERMATRAN−W 3/31;Modern Control社製)を用いて、温度40℃、試料面積50cm2、片側90%相対湿度(RH)もう一方の側を0%相対湿度(RH)の条件で、防湿フィルムの水蒸気透過度を測定した。
防湿フィルムを目視によって観察し、防湿フィルムの外観を評価した。なお、防湿フィルムのカールや皺が全くない場合を合格(○)と判定し、防湿フィルムのカールや皺が発生した場合を不合格(×)と判定した。
先ず、厚み12μmのポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム上に、厚み50nmのアルミニウム蒸着層を形成させたアルミニウム蒸着PETフィルム(VM−PET1510;東レフィルム加工(株)製)の蒸着層の表面に、純水(水性液体)を卓上コーター(K303 Proofer;RK Print−Coat Instruments社製)を用いて、メイヤバー(水性液体を塗布した直後の1m2あたりの質量が12g/m2)で塗布した。次に、純水(水性液体)が塗布されたフィルムを縦16cm×横30cm×高さ3cmの紙製容器に入れ、さらにこの容器を縦20cm×横33cmのAl/CPP製のパウチに入れた後、縦15cmをキュートシーラー(V−300;FUJI IMPULSE製)でシールした。その後、直径5mmのチューブを縦の残り部分から入れ、チューブから酸素ガスを20ml/minのペースで3分間吹き込み、パウチ内の酸素濃度を23%にし、縦の残り部分をシールした。次いで、温度95℃のオーブン中で15分間熱処理して、防湿フィルムを得た。
水性液体として、純水に代えてメタノール(和光純薬工業(株)製)と純水とを用いて調製した50質量%メタノール水溶液を用いた以外は実施例1と同様にして、防湿フィルムを得た。
水性液体として、純水に代えて無水酢酸(和光純薬工業(株)製)と純水とを用いて調製した5質量%無水酢酸水溶液を用いた以外は実施例1と同様にして、防湿フィルムを得た。
水性液体として、純水に代えて数平均分子量150000のポリアクリル酸(和光純薬工業(株)製)と純水とを用いて調製した15質量%ポリアクリル酸(PAA)水溶液を用いた以外は実施例1と同様にして、防湿フィルムを得た。
蒸着フィルムとして、アルミニウム蒸着PETフィルムに代えて厚み12μmのポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム上に、厚み50nmの銅蒸着層を形成させた銅蒸着PETフィルムを用いた以外は実施例3と同様にして、防湿フィルムを得た。
先ず、純水10mlに酸素を20ml/minのペースで5分間吹き込み、溶存酸素濃度9.7mg/lの純水を得た。次いで、水性液体として、純水に代えて得られた溶存酸素濃度9.7mg/lの純水を用いた以外は実施例1と同様にして、防湿フィルムを得た。
熱処理の雰囲気の酸素濃度条件として、酸素ガスを20ml/minのペースで5分間吹き込み、パウチ内の酸素濃度を25%とした以外は実施例1と同様にして、防湿フィルムを得た。
先ず、数平均分子量150000のポリアクリル酸(和光純薬工業(株)製)と純水とを用いて調製した15質量%ポリアクリル酸(PAA)水溶液に酸素を20ml/minのペースで5分間吹き込み、溶存酸素濃度9.1mg/lの15質量%ポリアクリル酸(PAA)水溶液を得た。次いで、水性液体として、純水に代えて得られた溶存酸素濃度9.1mg/lの15質量%ポリアクリル酸(PAA)水溶液を用いた以外は実施例1と同様にして、防湿フィルムを得た。
水性液体として、純水に代えて数平均分子量150000のポリアクリル酸(和光純薬工業(株)製)と純水とを用いて調製した15質量%ポリアクリル酸(PAA)水溶液を用いた以外は実施例7と同様にして、防湿フィルムを得た。
先ず、無水酢酸(和光純薬工業(株)製)と純水とを用いて調製した5質量%無水酢酸水溶液に酸素を20ml/minのペースで5分間吹き込み、溶存酸素濃度9.2mg/lの5質量%無水酢酸水溶液を得た。次いで、水性液体として、純水に代えて得られた溶存酸素濃度9.2mg/lの5質量%無水酢酸水溶液を用いた以外は実施例1と同様にして、防湿フィルムを得た。
水性液体として、純水に代えて無水酢酸(和光純薬工業(株)製)と純水とを用いて調製した5質量%無水酢酸水溶液を用いた以外は実施例7と同様にして、防湿フィルムを得た。
先ず、メタノール(和光純薬工業(株)製)と純水とを用いて調製した50質量%メタノール水溶液に酸素を20ml/minのペースで5分間吹き込み、溶存酸素濃度9.0mg/lの50質量%メタノール水溶液を得た。次いで、水性液体として、純水に代えて得られた溶存酸素濃度9.0mg/lの5質量%無水酢酸水溶液を用いた以外は実施例1と同様にして、防湿フィルムを得た。
水性液体として、純水に代えてメタノール(和光純薬工業(株)製)と純水とを用いて調製した50質量%メタノール水溶液を用いた以外は実施例7と同様にして、防湿フィルムを得た。
熱処理の雰囲気の温度条件として、温度95℃のオーブンに代えて温度60℃のオーブン中で熱処理した以外は実施例1と同様にして、防湿フィルムを得た。
熱処理の雰囲気の温度条件として、温度95℃のオーブンに代えて温度70℃のオーブン中で熱処理した以外は実施例1と同様にして、防湿フィルムを得た。
熱処理の雰囲気の温度条件として、温度95℃のオーブンに代えて温度80℃のオーブン中で熱処理した以外は実施例1と同様にして、防湿フィルムを得た。
熱処理の雰囲気の酸素濃度条件として、酸素ガスを20ml/minのペースで15分間吹き込み、パウチ内の酸素濃度を35%とした以外は実施例1と同様にして、防湿フィルムを得た。
厚み12μmのポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム上に、厚み50nmのアルミニウム蒸着層を形成させたアルミニウム蒸着PETフィルム(VM−PET1510;東レフィルム加工(株)製)を用いた。
厚み12μmのポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム上に、厚み80nmのSiOx蒸着層を形成させたSiOx蒸着PETフィルム(MOS−TH;尾池工業(株)製)を用いた。
厚み12μmのポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム上に、厚み25nmのAl2O3蒸着層を形成させたAl2O3蒸着PETフィルム(1011HG;東レフィルム加工(株)製)を用いた。
厚み12μmのポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム上に、厚み50nmのAlとAl2O3との混合物の蒸着層を形成させたAlとAl2O3との混合物の蒸着PETフィルム(1015MT;東レフィルム加工(株)製)を用いた。
先ず、アルミニウム蒸着PETフィルム(VM−PET1510;東レフィルム加工(株)製)の蒸着層の表面に、純水を卓上コーター(K303 Proofer;RK Print−Coat Instruments社製)を用いて、メイヤバー(水性液体を塗布した直後の1m2あたりの質量が12g/m2)で塗布し、1分間放置した。次いで、純水が塗布されたフィルムを温度30℃のオーブン中で15分間熱処理して、防湿フィルムを得た。
熱処理の雰囲気の温度条件として、温度30℃のオーブンに代えて温度230℃のオーブン中で熱処理した以外は比較例5と同様にして、防湿フィルムを得た。得られた防湿フィルムの金属蒸着層は酸化したが、防湿フィルムにカールや皺が発生した。
実施例1〜17における、水性液体のpH及び溶存酸素濃度並びに熱処理時の雰囲気の温度及び酸素濃度は表1に示す通りであった。また、実施例1〜17及び比較例1〜6で得られた防湿フィルムにおける、各層の金属と酸素の積分値比、各層の厚みの割合、金属酸化物層の密度、水蒸気透過度及び外観は表1に示す通りであった。
Claims (4)
- 高分子フィルム基材の少なくとも片面に蒸着法によって金属蒸着層を形成させた後に、前記金属蒸着層の表面に水性液体を塗布し、次いで50℃以上100℃未満の温度で熱処理して前記金属蒸着層の表面を酸化せしめることによって、
前記高分子フィルム基材の少なくとも片面に金属蒸着層が形成された防湿フィルムであって、
前記熱処理後の金属蒸着層が、該金属蒸着層の金属に関するXPSスペクトルのピーク高さをHMe、酸素に関するXPSスペクトルのピーク高さをHOと定義した場合に、HO/HMeの値が0.5以上である金属酸化物層と、HO/HMeの値が0.5未満である金属及び金属酸化物の複合層とを備えており、
前記金属酸化物層並びに前記金属及び金属酸化物の複合層における金属に関するXPSスペクトルの積分値をSMe、酸素に関するXPSスペクトルの積分値をSOと定義した場合に、前記金属酸化物層におけるSO/SMeの値が0.5〜1.5であり、且つ、前記金属及び金属酸化物の複合層におけるSO/SMeの値が0.5未満であり、
前記金属酸化物層の密度が2.0〜10.0g/cm3であり、且つ、前記金属酸化物層が前記熱処理後の金属蒸着層の表面から該金属蒸着層全体の厚みに対し6〜50%の厚みを占めている防湿フィルムを得ることを特徴とする、
防湿フィルムの製造方法。 - 前記水性液体の溶存酸素濃度が6〜12mg/lであることを特徴とする請求項1に記載の防湿フィルムの製造方法。
- 前記熱処理を酸素濃度が20〜100容量%に維持された雰囲気中で実施することを特徴とする請求項1又は2に記載の防湿フィルムの製造方法。
- 前記高分子フィルム基材がポリエチレンテレフタレート(PET)フィルムであり、且つ、前記金属がアルミニウムであることを特徴とする請求項1〜3のうちのいずれか一項に記載の防湿フィルムの製造方法。
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