JP4570370B2 - 半導体装置 - Google Patents
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Description
ここで、好ましくは、前記連結用トレンチは前記トレンチラインに対してT字状に接続している。
この構成により、トレンチラインの形成と同時に形成しうるため製造工程の増大なしに形成可能である。また幅についても前記連結用トレンチの幅と前記トレンチラインの幅は同一であるようにすれば製造が容易で高精度のパターン形成を実現することができる。
この構成により、半導体基板のドライエッチングにおいて一部でエッチング残りが生じ、トレンチゲート電極の一部が切断することが生じても、その切断領域は連結用トレンチを通して正常な隣接するトレンチゲート電極に接続するようになり、上記トランジスタの駆動能力あるいは応答速度の低下を容易に防止することができる。
なお前記実施の形態において、ゲート材料としてポリシリコンを用いたが、メタル、メタルシリサイドなど適宜変更可能である。
2 トレンチゲートライン
3 ゲート電極パッド
4 ゲート周辺配線
5 ソース電極
6 p+ 型基板
7 p- 型エピタキシャル層
8 n型ウェル層
9,18 トレンチ
10 ゲート絶縁膜
11 トレンチゲート電極
12 絶縁酸化膜
13 p+ 型ソース拡散層13
14 n+ 型ボディ拡散層
15 周辺n+ 型ボディ拡散層
16 連結用トレンチゲート電極
17 マスク絶縁膜
19 多結晶シリコン膜
20 レジストマスク
Claims (7)
- 一導電型半導体層と前記一導電型半導体層内に形成された逆導電型半導体層を有する半導体基板の前記逆導電型半導体層の表面部に形成した一導電型拡散層をソース領域とし、前記一導電型半導体層をドレイン領域とし、前記逆導電型半導体層上で並行する複数の直線状パターンのトレンチ内にゲート絶縁膜を介して導電体を埋め込み形成された複数のトレンチラインをゲート電極とするとともに、前記複数のトレンチラインは、直線状パターンを構成し、周縁部に形成されたゲート周辺配線上で接続され、前記ゲート周辺配線がゲート電極パッドに接続された、縦型電界効果トランジスタにおいて、
前記ゲート周辺配線近傍において、隣接する前記トレンチラインの1対がその並行途中の箇所において前記1対の間に設けられた1つの連結用トレンチを通して接続された半導体装置。 - 前記連結用トレンチは前記トレンチラインに対してT字状に接続していることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記連結用トレンチの深さと前記トレンチラインの深さが同一であることを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体装置。
- 前記並行する複数のトレンチラインは前記連結用トレンチを通してあみだ状に接続していることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の半導体装置。
- 前記隣接するトレンチラインあるいは前記連結用トレンチで区画された前記逆導電型半導体層の全表面部に前記ソース領域である一導電型拡散層が形成されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかにに記載の半導体装置。
- 前記隣接するトレンチラインあるいは前記連結用トレンチで区画された前記逆導電型半導体層の表面部に、前記ソース領域である一導電型拡散層と前記逆導電型半導体層の引き出し部である逆導電型拡散層が形成されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の半導体装置。
- 前記隣接するトレンチラインあるいは前記連結用トレンチで区画された前記逆導電型半導体層の表面部にストライプ状の前記一導電型拡散層が形成され、前記ストライプ状の一導電型拡散層を分断して前記逆導電型拡散層が形成されていることを特徴とする請求項6に記載の半導体装置。
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