JPH08203993A - 可搬式密閉コンテナのガス供給システム - Google Patents
可搬式密閉コンテナのガス供給システムInfo
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- JPH08203993A JPH08203993A JP2865495A JP2865495A JPH08203993A JP H08203993 A JPH08203993 A JP H08203993A JP 2865495 A JP2865495 A JP 2865495A JP 2865495 A JP2865495 A JP 2865495A JP H08203993 A JPH08203993 A JP H08203993A
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Abstract
流すことにより、密閉コンテナ内の半導体ウエハへの汚
染を低減することのできる可搬式密閉コンテナのガス供
給システムを提供することを目的とする。 【構成】 本発明の可搬式密閉コンテナのガス供給シス
テムは、半導体ウエハWを収納し内部を不活性ガス雰囲
気に密閉される密閉コンテナ10と、密閉コンテナ10
内部に不活性ガスと供給/排気するガス供給装置5とを
備えてなるものにおいて、密閉コンテナ10には、この
内部と外部とを連通する複数のガス通路20、21に互
いに反する方向に不活性ガスの流れを許容する一方向弁
30、31を設け、ガス供給装置には、各ガス通路2
0、21に対応して接離可能にされたガス流路50、5
1を形成したものである。
Description
られる可搬式密閉コンテナ内を不活性ガスで置換するた
めの、可搬式密閉コンテナのガス供給システムに関す
る。
清浄化したクリーンルーム内において行われるが、クリ
ーンルーム内での工程間の搬送は、半導体ウエハへの塵
埃の付着を防ぐために当該半導体ウエハを収納したウエ
ハカセットを可搬式の密閉コンテナに収納して行う。更
に、近年、半導体ウエハの自然酸化による酸化膜の成長
を防止するために、この密閉コンテナの内部雰囲気を窒
素N2 ガス等の不活性ガスで置換するようにしている。
満した密閉コンテナにウエハカセットを入れて搬送・保
管するようにしているが、密閉コンテナ内の窒素N2 ガ
スの濃度は、搬送待機中や保管中に規定値以下に低下し
てしまう場合があり、このような場合、従来は、窒素N
2 ガスの濃度が低下した密閉コンテナをクリーンルーム
内に設けたガスパージステーションへ搬送して、ここで
再パージしたのち元の場所に戻す等していたので、無駄
な搬送を行なわなくてはならず、かつ密閉コンテナの保
管が複雑になるという問題があった。
めに、本願発明の発明者は、特願平4−128850号
に記載の可搬式密閉コンテナのガス供給システムを提案
している。この可搬式密閉コンテナのガス供給システム
は、内部に空間を有するパージボックスと、このパージ
ボックスの開口内に嵌入して当該開口をボックス内側か
ら密閉している昇降台と、パージボックス内部に開口す
る給ガス管及び排ガス管を主要部とし、パージボックス
の開口を密閉状態にして錠機構付きの密閉コンテナが載
置されている。そして、密閉コンテナ内の不活性ガス
(例えば、窒素N2 ガス)の濃度が低下すると、このコ
ンテナの錠機構を解除して蓋を、昇降台側へ若干だけ変
位させて、供給ガスから窒素N2 ガスを、パージボック
スの内部空間内、及びコンテナ内に流入するとともに、
これらの内部の気体を排ガス管を通して外部へ追い出す
ことにより、コンテナ内の窒素N2 ガスを高い濃度のガ
スに置換(再パージ)した後、再び、錠機構で蓋を施錠
してコンテナ内を密閉状態にするものである。
テナのガス供給システムでは、密閉コンテナ内を濃度の
高い窒素N2 ガスで置換した後、蓋を施錠して密閉状態
で保管しておいても、コンテナ内面、錠機構等の機構部
から吸着物(不純物)がコンテナ内に放出をはじめ水
分、酸素濃度が上昇し、半導体ウエハが汚染されるとい
う問題があった。
連続的に窒素N2 ガスを、供給しつづけることも考えら
れるが、コンテナ以外のパージボックスの空間が大き
く、不要ガス濃度を下げるためには、置換用純粋窒素N
2 ガスが大量に必要となり、その不要ガスの排気も容易
に行えず窒素N2 ガスの置換に長時間かかり、また、パ
ージボックス分だけガス供給システムが大型化して不経
済なものとなる。
れたもので、経済的に一定量の置換ガスを常時流すこと
により、密閉コンテナ内の半導体ウエハへの汚染を低減
することのできる可搬式密閉コンテナのガス供給システ
ムを提供することを目的とする。
め、本発明の可搬式密閉コンテナのガス供給システムで
は、半導体ウエハを収納し内部を不活性ガス雰囲気に密
閉される可搬式密閉コンテナと、この可搬式密閉コンテ
ナの内部に不活性ガスを供給/排気するガス供給装置と
を備えてなる可搬式密閉コンテナのガス供給システムに
おいて、前記密閉コンテナには、この内部と外部とを連
通する複数のガス通路に互いに反する方向に前記不活性
ガスの流れを許容する一方向弁をそれぞれ設けると共
に、前記ガス供給装置には、前記各ガス通路に対応して
接離可能にされたガス流路を形成したものである。
供給システムでは、密閉コンテナの各ガス通路を、ガス
供給装置の各ガス流路にそれぞれ接続して、一方のガス
流路から一方向弁を介して不活性ガスを密閉コンテナ内
に供給し、一方向弁を介して他方のガス流路から密閉コ
ンテナ内の不要ガス(空気・水等)を外部に排気するこ
とができ、また、密閉コンテナの各ガス通路をガス供給
装置のガス流路に接続するだけで、極めて容易、且つ短
時間に不活性ガスの置換を行うことができる。
置から取り出して搬送する場合には、各ガス通路に設け
られた一方向弁の閉弁作動により、このガス通路からコ
ンテナ内への不要ガス(空気・水等)の進入を阻止する
ことができる。
ンテナのガス供給システムを図面を参照して説明する。
図1は本実施例における可搬式密閉コンテナのガス供給
システムの構成を示す縦断面図、図2(a)及び(b)
は本実施例における可搬式密閉コンテナのガス供給シス
テムの一方向弁の構成を示す要部拡大図である。
定場所に配置された可搬式密閉コンテナのガス供給シス
テムであって、ガス供給装置5と可搬式の密閉コンテナ
10とを主要部としている。11は密閉コンテナ(PO
D)10の本体であって、この開口部12にはフランジ
13が設けられている。また、密閉コンテナ10の開口
部12内には、環状シール材14を介して蓋15が嵌合
されているとともに、この蓋15に設けられた蓋錠機構
16を施錠することにより密閉コンテナ10の内部空間
Aを密閉状態にしている。また、この蓋15には、所定
半径を有する周方向に所定の間隔を隔てて(180度の
位相を持って)、密閉コンテナ10の内部空間Aと外部
とを連通するガス通路管20、21が設けられている。
各ガス通路管20、21は、互いに並行して蓋15を貫
通して延びており(蓋15の厚さを貫通して延びてい
る。)、これらの内部には、一方向弁(逆止弁)30、
31がそれぞれ配置されている。16は密閉コンテナ1
0の外部に設けられた把手である。17は半導体ウエハ
Wを収納したウエハカセットであって、密閉コンテナ1
0の内部空間A内の蓋15上に各ガス通路管20、21
を塞ぐことなく載置されている。
うに、蓋15から端部側に向かって小径孔22A、大径
孔22B及び小径孔22Cが順々に連続する段付孔22
が形成されており、この大径孔22Bと小径孔22Cと
をつなぐ傾斜面を、一方向弁30の弁座30Aとして球
状弁体30Bが着座している。この一方向弁30の球状
弁体31Bは、大径孔22Bの段部22aとの間に張設
された弁ばね23で弁座30Aに付勢されている。これ
により、一方向弁30は、密閉コンテナ10外部から内
部空間A内への不活性ガス(窒素N2 ガス)の流れを許
容し、その逆を阻止するようになっている。また、ガス
通路管21には、図2(b)に示すように、蓋15から
端部側に向かって小径孔24A、大径孔24B及び小径
孔24Cが順々に連続する段付孔24が形成されてお
り、この大径孔24Bと小径孔24Aとをつなぐ傾斜面
を、一方向弁31の弁座31Aとして球状弁体31Bが
着座している。この一方向弁31の球状弁体31Bは、
大径孔31Bの段部31aとの間に張設された弁ばね2
5で弁座31Aに付勢されている。これにより、一方向
弁31は、密閉コンテナ10の内部空間Aから外部への
窒素ガスN2 ガスの流れを許容し、その逆を阻止するよ
うになっている。
この上面40aには、ガス供給管20、21と同一半径
を有する周方向に所定の間隔を隔てて(180度の位相
を持って)、コネクタ管41と42がそれぞれ突出して
おり、この各コネクタ管41、42端には、環状シール
材41A、42Aがそれぞれ設けられている。このコネ
クタ管42は排ガス管43を介して、図示しない処理装
置(外部)に、コネクタ管42は給ガス管44及び開閉
弁45を介して、不活性ガス(例えば、窒素N2 ガス)
を生成するガス供給源46にそれぞれ接続されており、
コネクタ管42と排ガス管43とでガス排気流路50
を、コネクタ管41と給ガス管44、開閉弁45とでガ
ス供給流路51を形成している。尚、52は検知センサ
であって、密閉コンテナ10がガス供給装置1の供給台
40に確実に設置されたかを検知するものである。53
は供給台40に立設されたコンテナガイドである。
を窒素N2 ガスで置換するため、クリーンルーム内の作
業者又は図示しない自動搬送により、この各ガス通路管
20、21をコネクタ管41、42にそれぞれに一致さ
せてガス供給装置5の供給台40に載置すると、ガス通
路管20とコネクタ管41、ガス通路管21とコネクタ
管42とが環状シール材41A、42Aを介してそれぞ
れ気密に接続される。また、検知センサ50は、密閉コ
ンテナ10が供給台40に確実に載置されたか否かを検
知する。各ガス通路管20、21をコネクタ管41、4
2のそれぞれに接続した後、ガス供給源46を作動させ
るとともに、開閉弁45を開状態にすると、このガス供
給源46で生成された窒素N2 ガスが、開閉弁45−給
ガス管44を介してコネクタ管41に供給され、この供
給され窒素N2 ガスの圧力が一方向弁30の球状弁体3
0Bに作用するので、この球状弁体30は弁ばね23の
ばね力に抗して弁座30Aから離座して、一方向弁30
が開弁する。これにより、窒素N2 ガスが一方向弁30
を通って、ガス通路管20を介して密閉コンテナ10の
内部空間A内に供給される。
が窒素N2 ガスで充満されて、この空間A内の窒素N2
ガスが所定圧力になると、一方向弁31の球状弁体31
Bを弁ばね25のばね力に抗して弁座31Aから離座し
て、一方向弁31が開弁する。これにより、コンテナ1
0の内部空間Aの不要ガス(空気・水等)がガス通路管
21、コネクタ管42、一方向弁31及び排ガス管43
を介して、図示しない処理装置(密閉コンテナ10の外
部)に排気される。そして、所定の時間中に、ガス通路
管20から窒素N2 ガスを密閉コンテナ10内に供給す
るとともに、ガス通路管21から密閉コンテナ10内の
不要ガス(空気・水分等)を外部に排気することによ
り、密閉コンテナ10の内部空間A内の窒素N2 ガスの
置換が行われ、不要ガス(空気・水等)の濃度を低下さ
せて半導体ウエハWの保管に適した環境にする。
て、ガス供給源46の作動を停止するとともに、開閉弁
45を閉弁状態にすると、一方向30の球状弁30Bが
弁ばね23のばね力で弁座30Aに着座して、一方向弁
30が閉弁するとともに、密閉コンテナ10の内部空間
A内の圧力が一定値になる(弁ばね25のばね力を同じ
圧力)と、一方向弁31の球状弁体31Bが弁ばね25
のばね力で弁座31Aに着座して、一方向弁31が閉弁
して、密閉コンテナ10を密閉状態にする。そして、ク
リーンルーム内の作業者又は図示しない自動搬送によ
り、密閉コンテナ10を供給台40から取り出して所定
の目的地に搬送する。
に載置して保管する場合には、ガス供給源46を作動し
つづけ、一方向弁30、31を開弁状態にして、この保
管中に常時、窒素N2 ガスを給ガス管44−コネクタ管
41−ガス通路管20及び一方向弁30を介して密閉コ
ンテナ10内に供給し続けるとともに、ガス通路管21
−一方向弁31−コネクタ管42及び排ガス管43を介
して、密閉コンテナ10内に不要ガス(空気・水分等)
を順次、密閉コンテナ10の外部に排気して、密閉コン
テナ10を所定の目的地に搬送するまでの間に、コンテ
ナ内面、錠機構16等の機構部から密閉コンテナ10内
に放出しはじめる不要ガス(水分・空気)を、順次、密
閉コンテナ10の外部に排気して半導体ウエハWの汚染
を防止する。
のガス供給システムにおいて、各ガス供給管20、21
内に配置された一方向弁30、31は、これに限定され
るものでなく、図3(a)及び図3(b)に示すような
ものであってもよい。即ち、ガス通路管20内には、図
3(a)に示すように、この大径孔部22Bを一方向弁
30の弁座となる仕切部材30Cで2つの空間B、Cに
区画し、小径孔部22A側の空間Bの仕切部材30C
に、一方向弁30を構成するプラスチックやゴム材で形
成された傘状弁体55を設けるとともに、この傘状弁体
55の傘状部55Aで仕切部材30Cとの間に形成され
た密閉空間Dに連通する複数の通孔56を設けたもの
で、小径孔部22Cからの窒素N2 ガスにより傘状弁体
55の傘状部55Aが仕切部材30Cから離座して開弁
状態にする。また、ガス通路管21内には、図3(b)
に示すように、この大径孔部24Bを一方向弁31の弁
座となる仕切部材31Cで2つの空間E、Fに区画し、
小径孔部24C側の空間Fの仕切部材31Cに、一方向
弁31を構成するプラスチックやゴム材で形成された傘
状弁体60を設けるとともに、この傘状弁体60の傘状
部60Aで仕切部材31Cとの間に形成された密閉空間
Gに連通する複数の通孔61を設けたもので、小径孔部
24Aからの窒素N2 ガスにより傘状弁体60の傘状部
60Aが仕切部材31Cから離座して開弁状態にする。
ナのガス供給システムにおいて、各ガス通路管20、2
1を各コネクタ管41、42上に載置することにより、
環状シール材41A、42Aを介して各ガス通路管2
0、21と各コネクタ管41、42を気密に接続するよ
うにしているが、これに限定されるものでなく、図4に
示すように、各コネクタ管41、42の端面に開口する
凹所65を形成して、この凹所65の内周面65aに環
状シール材66を配置するとともに、各ガス通路管2
0、21の先端部に凹所65内に嵌合可能な小径部20
A、21Aを形成して、この小径部20A、21Aを各
コネクタ管41、42の凹所65内にそれぞれ嵌合する
ことにより、環状シール材66を介して各ガス通路管2
0、21と各コネクタ管41、42をと気密にして接続
するようにしたものであってもよい。
5に設けられた、ガス通路管20、21及びコネクタ管
41、42の配管数は、これに限定されるものでない。
のガス供給システムによれば、密閉コンテナの各ガス通
路を、ガス供給装置の各ガス流路にそれぞれ接続して、
一方のガス流路から一方向弁を介して不活性ガスを密閉
コンテナ内に供給し、一方向弁を介して他方のガス流路
から密閉コンテナ内の不要ガス(空気・水等)を外部に
排気することができるので、密閉コンテナ内の不要ガス
濃度を下げるために必要な不活性ガスが少量で、且つそ
の不要ガスの排気も容易に行うことができ、また、常
時、不活性ガスを密閉コンテナ内に供給する際において
も経済的に半導体ウエハへの汚染を低減することができ
るとともに、密閉コンテナの各ガス通路をガス供給装置
のガス流路に接続するだけで、極めて容易、且つ短時間
に不活性ガスの置換を行うことができる。
置から取り出して搬送する場合には、各ガス通路に設け
られた一方向弁の閉弁作動により、このガス通路からコ
ンテナ内への不要ガス(空気・水等)の進入を阻止する
ことができるので、密閉コンテナ内の半導体ウエハが汚
染されることを防止することができる。
のガス供給システムの構成を示す縦断面図である。
可搬式密閉コンテナのガス供給システムの一方向弁の構
成を示す要部拡大図である。
搬式密閉コンテナのガス供給システムの一方向弁の変形
例の構成を示す要部拡大図である。
ガス供給システムのガス通路管とコネクタ管との接続構
造の変形例を示す要部拡大図である。
Claims (1)
- 【請求項1】 半導体ウエハを収納し内部を不活性ガス
雰囲気に密閉される可搬式密閉コンテナと、この可搬式
密閉コンテナの内部に不活性ガスを供給/排気するガス
供給装置とを備えてなる可搬式密閉コンテナのガス供給
システムにおいて、 前記密閉コンテナには、この内部と外部とを連通する複
数のガス通路に互いに反する方向に前記不活性ガスの流
れを許容する一方向弁をそれぞれ設けると共に、前記ガ
ス供給装置には、前記各ガス通路に対応して接離可能に
されたガス流路を形成したことを特徴とする可搬式密閉
コンテナのガス供給システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2865495A JP3617681B2 (ja) | 1995-01-24 | 1995-01-24 | 可搬式密閉コンテナのガス供給システム |
Applications Claiming Priority (1)
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---|---|---|---|
JP2865495A JP3617681B2 (ja) | 1995-01-24 | 1995-01-24 | 可搬式密閉コンテナのガス供給システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JPH08203993A true JPH08203993A (ja) | 1996-08-09 |
JP3617681B2 JP3617681B2 (ja) | 2005-02-09 |
Family
ID=12254501
Family Applications (1)
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JP2865495A Expired - Fee Related JP3617681B2 (ja) | 1995-01-24 | 1995-01-24 | 可搬式密閉コンテナのガス供給システム |
Country Status (1)
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JP (1) | JP3617681B2 (ja) |
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