JP4528260B2 - リソグラフィ装置およびアクチュエータ - Google Patents
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Description
Claims (15)
- パターニングデバイスから基板へとパターンを転写するように配置構成されたリソグラフィ装置であって、
リソグラフィ装置の一部を起動するように構成された電磁アクチュエータを有し、アクチュエータは相互に作用するほぼ静止状態の部分および可動部分を有し、静止部分は複数のコイルおよび磁化可能な材料の磁気回路を有し、可動部分が磁石システムを有し、
磁石システムが、対向する端部を有する磁石アレイを形成する磁石のアレイを有し、磁石アレイの各磁石が分極方向を有し、磁石アレイが主磁石のアレイを有し、主磁石のアレイの端位置にある端部主磁石の分極方向が、磁石システムの中心軸線に実質的に平行に配向される複数の中間主磁石の分極方向とは異なり、中間主磁石が、端部主磁石と主磁石のアレイの別の端位置に配置された別の端部主磁石との間の中間位置に配置構成され、
端部主磁石の分極方向の角度、および他方端の主磁石の分極方向の角度が、中間主磁石の分極方向に平行な直線に対して対称であるリソグラフィ装置。 - 端部主磁石の分極方向と中間主磁石の分極方向との間の角度が、約+45°と−45°の間である、請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- 端部主磁石と他方端にある主磁石のそれぞれが、2つの隣接する中間主磁石間の距離とは異なる距離で、隣接する中間主磁石から隔置される、請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- 2つの連続する中間主磁石間の距離がほぼ一定である、請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- 端部主磁石とその隣接中間主磁石との間のピッチおよび他方端の主磁石とその隣接中間主磁石との間のピッチが、2つの隣接する中間主磁石間のピッチとは異なる、請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- 2つの連続する中間主磁石の間のピッチがほぼ一定である、請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- 主磁石が磁石アレイの端部から端部への方向に平行な方向で幅を有し、端部主磁石と他方端の主磁石それぞれの幅が、中間主磁石の幅と異なる、請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- 端部主磁石と他方端の主磁石との間に配置構成された全ての中間主磁石が、同じ幅を有する、請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- 隣接する中間主磁石の分極方向が、基本的に相互に反対である、請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- 磁石アレイが従属磁石のアレイを有し、従属磁石の分極方向が、中間主磁石の分極方向に対して基本的に直角である、請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- 磁気回路が、可動部分に面していないコイルの側に第一磁化可能材料を、コイルに面する可動部分の側に第二磁化可能材料を有する、請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- 電磁アクチュエータであって、
相互に作用するほぼ静止状態の部分および可動部分を有し、静止部分は複数のコイルおよび磁化可能材料の磁気回路を有し、可動部分が磁石システムを有し、
磁石システムが、対向する端部を有する磁石アレイを形成する磁石のアレイを有し、磁石アレイの各磁石は分極方向を有し、磁石アレイが主磁石のアレイを有し、主磁石のアレイの端部位置にある端部主磁石の分極方向が、磁石システムの中心軸線に実質的に平行に配向される複数の中間主磁石の分極方向とは異なり、中間主磁石が、端部主磁石と主磁石のアレイの別の端部位置に配置された別の端部主磁石との間の中間位置に配置構成され、
端部主磁石の分極方向の角度、および他方端の主磁石の分極方向の角度が、中間主磁石の分極方向に平行な直線に対して対称であるアクチュエータ。 - 磁石アレイが従属磁石のアレイを有し、従属磁石の分極方向が主磁石の分極方向とは異なる、請求項12に記載のアクチュエータ。
- 各従属磁石が2つの隣接主磁石の間に位置決めされる、請求項13に記載のアクチュエータ。
- リソグラフィ装置であって、
放射線のビームを調整するように構成された照明システムと、
パターニングデバイスを支持するように構成されたパターニングデバイス支持体とを有し、パターニングデバイスが、放射線のビームにパターンを形成して、パターン形成した放射線ビームを形成するように構成され、さらに、
基板を保持するように構成された基板支持体と、
パターン形成した放射線ビームを基板の目標部分に投影するように構成された投影システムと、
リソグラフィ装置の一部を起動するように構成された電磁アクチュエータとを有し、アクチュエータが相互に作用するほぼ静止状態の部分および可動部分を有し、静止部分が複数のコイルおよび磁化可能材料の磁気回路を有し、可動部分が磁石システムを有し、
磁石システムが、対向する端部を有する磁石アレイを形成する磁石のアレイを有し、磁石アレイの各磁石は分極方向を有し、磁石アレイが主磁石のアレイを有し、主磁石のアレイの端部位置にある端部主磁石の分極方向が、磁石システムの中心軸線に実質的に平行に配向される複数の中間主磁石の分極方向とは異なり、中間主磁石が、端部主磁石と主磁石のアレイの別の端部位置に配置された別の端部主磁石との間の中間位置に配置構成され、
端部主磁石の分極方向の角度、および他方端の主磁石の分極方向の角度が、中間主磁石の分極方向に平行な直線に対して対称であるリソグラフィ装置。
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