JPH10127038A - リニアモータの固定子 - Google Patents
リニアモータの固定子Info
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- JPH10127038A JPH10127038A JP29966196A JP29966196A JPH10127038A JP H10127038 A JPH10127038 A JP H10127038A JP 29966196 A JP29966196 A JP 29966196A JP 29966196 A JP29966196 A JP 29966196A JP H10127038 A JPH10127038 A JP H10127038A
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- Japan
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- permanent magnets
- stator
- linear motor
- magnets
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- Linear Motors (AREA)
Abstract
を正弦波関数に近づけ、両端付近の推力リップルを低減
する。 【解決手段】同じ長方形の平板の永久磁石を中心間距離
Pで2列に並べ、この2列の永久磁石が間をおいて対面
するようヨークに固着された固定子と、前記2列の永久
磁石の間にエアギャップを介して配置されたコイル及び
このコイルを固着したテーブルからなるとともに前記固
定子に沿って移動可能に支持する支持機構を備えた可動
子とからなり、対向する前記永久磁石の極性及び隣合う
前記永久磁石の極性が異なるよう着磁されたリニアモー
タにおいて、2列の永久磁石の両端と両端から2番目の
永久磁石の中心間距離を(0.85〜0.95)・Pと
する。
Description
て電気エネルギーを直線運動エネルギーに変換するリニ
アモータの固定子に関する。
に変換する装置としてリニアモータが広く知られてお
り、多くの種類のものが開発されている。リニアモータ
は直線状の固定子と固定子に沿って移動する可動子から
なり、固定子と可動子の間の電磁作用によって推力が直
接得られるため、効率がよいほか、バックラッシュがな
く精密な位置決めができるなどの特徴を有しており、こ
れらを生かした利用が広まりつつある。このモータの固
定子と可動子にはコイルと永久磁石が備えられており、
その配置は様々である。そのうち、固定子に永久磁石を
配置し可動子にコイルを設けたものは、可動子が軽量で
あるため負荷重量を大きくすることができたり、加速度
を大きくすることができるなどの利点があるためFA分
野での採用が増えつつある。
従来の一般的なリニアモータの移動方向と直角な面の断
面図である。図において1は図示しないベースに固定さ
れた固定子であり、該固定子1のヨーク2、3には永久
磁石4、5が固着されて上に開口するコ字状をしてい
る。永久磁石4、5は平板状をしており、同じ長方形の
平板状のものが中心間距離Pで可動子6の移動方向、す
なわち紙面に垂直な方向に直線状に並べられている。対
向する永久磁石4、5の磁極は異なる極性となるよう着
磁されており、同時に移動方向の隣り合う永久磁石の磁
極も異なる極性となるよう着磁されている。永久磁石
4、5の間にはエアギャップを介して平板状のコイル7
があり、上部の平板状のテーブル8に固着されている。
テーブル8とコイル7は可動子6の一部をなしており、
図示しない支持機構により移動方向に移動可能に支持さ
れている。テーブル8は被搬送物を運んだりするための
台となっており必要に応じて搬送のための機構や部品が
取り付けられる。コイル7には前記永久磁石の中心間距
離Pに対応した所定の距離だけ移動方向に離れて、相数
に応じた複数のコイルが巻回されている。この複数のコ
イルに多相の交流電流を供給して励磁すると、可動子6
を移動方向に直線移動させることができる。また、この
構造に少し改良を加えたものとして、両端の永久磁石の
長さを他の永久磁石の長さの半分にするというものが特
開平6−38502号公報に開示されている。
的な従来技術では、移動方向の両端では永久磁石の磁束
が両端の外側に漏れて磁束密度の大きさが他より小さく
なると同時に磁束密度のピークの位置が等ピッチの位置
より外側にずれて磁束密度の分布に歪みが残るので、両
端付近ではなめらかな推力が得られず、スムーズな動き
ができないという欠点があった。また前記の改善された
従来技術においても、両端の永久磁石の磁束密度の大き
さが他の永久磁石の磁束密度の大きさに近づくものの、
磁束密度のピークが等ピッチの位置より内側にきて磁束
密度分布の歪みが改善されることにはならなかった。
題を解決するため、同じ長方形の平板状の永久磁石を中
心間距離Pで2列に並べ、この2列の永久磁石が間をお
いて対面するようヨークに固着された固定子と、前記2
列の永久磁石の間にエアギャップを介して配置されたコ
イル及びこのコイルを固着したテーブルからなるととも
に前記固定子に沿って移動可能に支持する支持機構を備
えた可動子とからなり、対向する前記永久磁石の極性及
び隣合う前記永久磁石の極性が異なるよう着磁されたリ
ニアモータにおいて、2列の永久磁石の両端と両端から
2番目の永久磁石の中心間距離を(0.85〜0.9
5)・Pとしたのである。
磁束密度のピッチをPにすることができ、同時に、大き
さも他の永久磁石の大きさに近づけることができるので
ある。以下、本発明の実施の形態を図に基づいて説明す
る。図1は本発明のリニアモータの固定子の要部平面図
であり、1は図示しないベースなどに固定された固定
子、2、3はこの固定子のヨークである。このヨーク
2、3の内側にはそれぞれ永久磁石41、42、43、
47、48、49、51、52、53、57、58、5
9が固着されており、対面する永久磁石が異極となるよ
う着磁され、同時に移動方向に隣り合う永久磁石も異極
となるよう着磁されている。そして両端の永久磁石4
1、49、51、59と両端から2番目の永久磁石4
2、48、52、58との中心間距離はそれぞれa・P
となるよう配置されている。ここでaの値は0.85〜
0.95であり、このうち0.9〜0.92の範囲がさ
らに望ましい。以上の構成をした固定子の磁束密度を数
値解析して求めたのが図2である。この図からわかるよ
うに、本発明によると、両端付近の永久磁石の磁束密度
のピッチがPになり、ピークの大きさが正弦波関数のピ
ークに近づいており、可動子が両端付近にきたときの推
力リップルが小さくなるのである。
平行に対面したリニアモータの固定子について述べた
が、本発明の趣旨によると永久磁石は2列に限るもので
はなく、1列、又は3列、4列などとしてもよく、また
平行に対面するよう配置されたものに限るものでもな
く、他の形態の配置としてよいことも明白である。
ニアモータの移動方向の両端部の磁束密度分布が、従来
に比べて正弦波関数に近づくので、永久磁石が配置され
た両端付近まで推力リップルを伴うことなく可動子を駆
動することができる。従って、精密な位置決めをするこ
とができると同時に位置決めの整定時間を短くすること
ができてリニアモータの性能を向上する効果がある。
Claims (1)
- 同じ長方形をした平板状の永久磁石を中心間距離Pで2
列に並べ、この2列の永久磁石が間をおいて対面するよ
うヨークに固着された固定子と、前記2列の永久磁石の
間にエアギャップを介して配置されたコイル及びこのコ
イルを固着したテーブルからなるとともに前記固定子に
沿って移動可能に支持する支持機構を備えた可動子とか
らなり、対向する前記永久磁石の極性及び隣合う前記永
久磁石の極性が異なるよう着磁されたリニアモータにお
いて、2列の永久磁石の両端と両端から2番目の永久磁
石の中心間距離を(0.85〜0.95)・Pとするこ
とを特徴とするリニアモータの固定子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29966196A JP3700883B2 (ja) | 1996-10-23 | 1996-10-23 | リニアモータの固定子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29966196A JP3700883B2 (ja) | 1996-10-23 | 1996-10-23 | リニアモータの固定子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10127038A true JPH10127038A (ja) | 1998-05-15 |
JP3700883B2 JP3700883B2 (ja) | 2005-09-28 |
Family
ID=17875450
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP29966196A Expired - Fee Related JP3700883B2 (ja) | 1996-10-23 | 1996-10-23 | リニアモータの固定子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3700883B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006191093A (ja) * | 2004-12-29 | 2006-07-20 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィ装置およびアクチュエータ |
US10898638B2 (en) | 2016-03-03 | 2021-01-26 | Bayer Healthcare Llc | System and method for improved fluid delivery in multi-fluid injector systems |
-
1996
- 1996-10-23 JP JP29966196A patent/JP3700883B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006191093A (ja) * | 2004-12-29 | 2006-07-20 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィ装置およびアクチュエータ |
JP4528260B2 (ja) * | 2004-12-29 | 2010-08-18 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | リソグラフィ装置およびアクチュエータ |
US10898638B2 (en) | 2016-03-03 | 2021-01-26 | Bayer Healthcare Llc | System and method for improved fluid delivery in multi-fluid injector systems |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3700883B2 (ja) | 2005-09-28 |
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