JP2003209963A - リニアモータ - Google Patents
リニアモータInfo
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- JP2003209963A JP2003209963A JP2002003461A JP2002003461A JP2003209963A JP 2003209963 A JP2003209963 A JP 2003209963A JP 2002003461 A JP2002003461 A JP 2002003461A JP 2002003461 A JP2002003461 A JP 2002003461A JP 2003209963 A JP2003209963 A JP 2003209963A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ヨークの両端部における端効果の影響により
磁界効率が悪化することなく、推力の変動の発生を極力
低減できる高精度なリニアモータを提供する。 【解決手段】 ヨーク１上に設けたハルバッハ配列構造
を有する界磁極２と、界磁極２と磁気的空隙を介して対
向するように配置した電機子巻線３を有する電機子４と
を備えたリニアモータにおいて、ヨーク１の両端位置に
配設した第１主磁極２Ｃの進行方向の幅Ｗｃを、ヨーク
１の両端を除く位置に設けた第２主磁極２Ａの進行方向
の幅Ｗａより狭くし、第１主磁極２Ｃと隣り合わせに配
置した第１副磁極２Ｄの進行方向の幅Ｗｄを、第２主磁
極２Ａの第１副磁極２Ｄと反対側に配置した第２副磁極
２Ｂの進行方向の幅Ｗｂより広くし、第２主磁極２Ａ同
志の中心間の距離を極ピッチＰとし、第1主磁極２Ｃと
第２主磁極２Ａの中心間の距離をＰ’とするとき、Ｐ’
＝１．０３×Ｐの関係を有したものである。
磁界効率が悪化することなく、推力の変動の発生を極力
低減できる高精度なリニアモータを提供する。 【解決手段】 ヨーク１上に設けたハルバッハ配列構造
を有する界磁極２と、界磁極２と磁気的空隙を介して対
向するように配置した電機子巻線３を有する電機子４と
を備えたリニアモータにおいて、ヨーク１の両端位置に
配設した第１主磁極２Ｃの進行方向の幅Ｗｃを、ヨーク
１の両端を除く位置に設けた第２主磁極２Ａの進行方向
の幅Ｗａより狭くし、第１主磁極２Ｃと隣り合わせに配
置した第１副磁極２Ｄの進行方向の幅Ｗｄを、第２主磁
極２Ａの第１副磁極２Ｄと反対側に配置した第２副磁極
２Ｂの進行方向の幅Ｗｂより広くし、第２主磁極２Ａ同
志の中心間の距離を極ピッチＰとし、第1主磁極２Ｃと
第２主磁極２Ａの中心間の距離をＰ’とするとき、Ｐ’
＝１．０３×Ｐの関係を有したものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置や
工作機械などのＦＡ機器に使用されると共に、特にハル
バッハ配列構造の界磁極を有するリニアモータに関す
る。
工作機械などのＦＡ機器に使用されると共に、特にハル
バッハ配列構造の界磁極を有するリニアモータに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体製造装置あるいは工作機械
などのＦＡ機器においては、送りや加工の高速化・高精
度化を達成できるよう、界磁極を構成する永久磁石と当
該永久磁石の磁極面に磁気的空隙を介して対向した電機
子巻線を配置する電機子を備えたリニアモータの利用が
図られている。図３は従来のリニアモータの平断面図で
ある。図３において、１はヨークであり、互いに平行さ
せた強磁性体よりなる２個一対のもので構成されてい
る。２は界磁極であり、ヨーク１上の進行方向に沿って
隣接し、磁極の向きが異なる主磁極２Ｅと副磁極２Ｆで
構成された永久磁石からなるハルバッハ配列構造を有し
ている。３は界磁極２と磁気的空隙を介して対向するよ
うに配置した電機子巻線、４は電機子巻線３を備えた電
機子であって、界磁極２の長手方向に対して相対移動す
るものである。ここで、界磁極２においては、副磁極２
Ｆの進行方向の幅と主磁極２Ｅの進行方向の幅の比を、
０．７５〜０．８としている。このような構成におい
て、リニアモータは電機子４を固定子に、界磁極２を相
対移動する可動子として、界磁極２を直線移動するよう
になっている。
などのＦＡ機器においては、送りや加工の高速化・高精
度化を達成できるよう、界磁極を構成する永久磁石と当
該永久磁石の磁極面に磁気的空隙を介して対向した電機
子巻線を配置する電機子を備えたリニアモータの利用が
図られている。図３は従来のリニアモータの平断面図で
ある。図３において、１はヨークであり、互いに平行さ
せた強磁性体よりなる２個一対のもので構成されてい
る。２は界磁極であり、ヨーク１上の進行方向に沿って
隣接し、磁極の向きが異なる主磁極２Ｅと副磁極２Ｆで
構成された永久磁石からなるハルバッハ配列構造を有し
ている。３は界磁極２と磁気的空隙を介して対向するよ
うに配置した電機子巻線、４は電機子巻線３を備えた電
機子であって、界磁極２の長手方向に対して相対移動す
るものである。ここで、界磁極２においては、副磁極２
Ｆの進行方向の幅と主磁極２Ｅの進行方向の幅の比を、
０．７５〜０．８としている。このような構成におい
て、リニアモータは電機子４を固定子に、界磁極２を相
対移動する可動子として、界磁極２を直線移動するよう
になっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来技術で
は、ヨーク１の中心部に位置する主磁極２Ｅと副磁極２
Ｆの磁石幅の寸法比と，ヨーク１端に位置する主磁極２
Ｅと副磁極２Ｆの磁石幅の寸法比は同じであるため、ヨ
ーク１の両端部において、端効果のために磁路がヨーク
１の中心部と異なることとなり、磁界効率が悪化するた
め、推力の変動が発生する問題があった。その結果、リ
ニアモータを組み込んだ工作機械や半導体装置などにお
いては制御性能を劣化させる原因となっていた。本発明
は、上記課題を解決するためになされたものであり、ヨ
ークの両端部における端効果の影響により磁界効率が悪
化することなく、推力の変動の発生を極力低減できる高
精度なリニアモータを提供することを目的とする。
は、ヨーク１の中心部に位置する主磁極２Ｅと副磁極２
Ｆの磁石幅の寸法比と，ヨーク１端に位置する主磁極２
Ｅと副磁極２Ｆの磁石幅の寸法比は同じであるため、ヨ
ーク１の両端部において、端効果のために磁路がヨーク
１の中心部と異なることとなり、磁界効率が悪化するた
め、推力の変動が発生する問題があった。その結果、リ
ニアモータを組み込んだ工作機械や半導体装置などにお
いては制御性能を劣化させる原因となっていた。本発明
は、上記課題を解決するためになされたものであり、ヨ
ークの両端部における端効果の影響により磁界効率が悪
化することなく、推力の変動の発生を極力低減できる高
精度なリニアモータを提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記問題を解決するた
め、請求項１の本発明は、互いに平行させた強磁性体で
構成してなる２個一対のヨークと、前記ヨーク上の進行
方向に沿って、磁極の向きが異なる主磁極と副磁極とか
ら構成されるハルバッハ配列構造を有する界磁極と、前
記界磁極と磁気的空隙を介して対向するように配置した
電機子巻線を有する電機子とを備え、前記界磁極と前記
電機子との何れか一方を相対移動する可動子に、他方を
固定子とするリニアモータにおいて、前記主磁極は、前
記ヨークの両端位置に配設した第１主磁極の進行方向の
幅Ｗｃが、前記ヨークの両端を除く内側の位置に設けた
第２主磁極の進行方向の幅Ｗａより狭くなるように形成
してあり、前記副磁極は、前記第１主磁極と隣り合わせ
に配置した第１副磁極の進行方向の幅Ｗｄが、前記第２
主磁極の第１副磁極と反対側に配置した第２副磁極の進
行方向の幅Ｗｂより広くなるように形成してあり、前記
第２主磁極同志の中心間の距離を極ピッチＰとし、前記
第1主磁極と前記第２主磁極の中心間の距離をＰ’とす
るとき、Ｐ’＝１．０３×Ｐの関係を有したものであ
る。請求項２の本発明は、請求項1記載のリニアモータ
において、前記主磁極の極数が偶数である時、前記第１
主磁極の進行方向の幅を、前記第２主磁極の進行方向の
幅の０．４５〜０．５５としたものである。請求項３の
本発明は、請求項1記載のリニアモータにおいて、前記
主磁極の極数が奇数である時、前記第１主磁極の進行方
向の幅を、第２主磁極の進行方向の幅の０．７５〜０．
８５としたものである。
め、請求項１の本発明は、互いに平行させた強磁性体で
構成してなる２個一対のヨークと、前記ヨーク上の進行
方向に沿って、磁極の向きが異なる主磁極と副磁極とか
ら構成されるハルバッハ配列構造を有する界磁極と、前
記界磁極と磁気的空隙を介して対向するように配置した
電機子巻線を有する電機子とを備え、前記界磁極と前記
電機子との何れか一方を相対移動する可動子に、他方を
固定子とするリニアモータにおいて、前記主磁極は、前
記ヨークの両端位置に配設した第１主磁極の進行方向の
幅Ｗｃが、前記ヨークの両端を除く内側の位置に設けた
第２主磁極の進行方向の幅Ｗａより狭くなるように形成
してあり、前記副磁極は、前記第１主磁極と隣り合わせ
に配置した第１副磁極の進行方向の幅Ｗｄが、前記第２
主磁極の第１副磁極と反対側に配置した第２副磁極の進
行方向の幅Ｗｂより広くなるように形成してあり、前記
第２主磁極同志の中心間の距離を極ピッチＰとし、前記
第1主磁極と前記第２主磁極の中心間の距離をＰ’とす
るとき、Ｐ’＝１．０３×Ｐの関係を有したものであ
る。請求項２の本発明は、請求項1記載のリニアモータ
において、前記主磁極の極数が偶数である時、前記第１
主磁極の進行方向の幅を、前記第２主磁極の進行方向の
幅の０．４５〜０．５５としたものである。請求項３の
本発明は、請求項1記載のリニアモータにおいて、前記
主磁極の極数が奇数である時、前記第１主磁極の進行方
向の幅を、第２主磁極の進行方向の幅の０．７５〜０．
８５としたものである。
【０００５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図に基づ
いて説明する。図１は本発明の実施例を示すリニアモー
タの平断面図である。なお、本発明の構成要素が従来技
術と同じものについてはその説明を省略し、異なる点の
み説明する。図において、２Ｃは第１主磁極、２Ｄは第
１副磁極、２Ａは第２主磁極、２Ｂは第２副磁極であ
る。本発明の特徴は以下のとおりである。すなわち、界
磁極を構成する一方の主磁極は、ヨーク１の両端位置に
配設した第１主磁極２Ｃの進行方向の幅Ｗｃが、ヨーク
１の両端を除く位置に設けた第２主磁極２Ａの進行方向
の幅Ｗａより狭くなるように形成してあり、他方の副磁
極は、第１主磁極２Ｃと隣り合わせに配置した第１副磁
極２Ｄの進行方向の幅Ｗｄが、第２主磁極２Ａの第１副
磁極２Ｄと反対側に配置した第２副磁極２Ｂの進行方向
の幅Ｗｂより広くなるように形成してあり、第２主磁極
２Ａ同志の中心間の距離を極ピッチＰとし、第1主磁極
２Ｃと第２主磁極２Ａの中心間の距離をＰ’とすると
き、Ｐ’＝１．０３×Ｐの関係を有した点である。
いて説明する。図１は本発明の実施例を示すリニアモー
タの平断面図である。なお、本発明の構成要素が従来技
術と同じものについてはその説明を省略し、異なる点の
み説明する。図において、２Ｃは第１主磁極、２Ｄは第
１副磁極、２Ａは第２主磁極、２Ｂは第２副磁極であ
る。本発明の特徴は以下のとおりである。すなわち、界
磁極を構成する一方の主磁極は、ヨーク１の両端位置に
配設した第１主磁極２Ｃの進行方向の幅Ｗｃが、ヨーク
１の両端を除く位置に設けた第２主磁極２Ａの進行方向
の幅Ｗａより狭くなるように形成してあり、他方の副磁
極は、第１主磁極２Ｃと隣り合わせに配置した第１副磁
極２Ｄの進行方向の幅Ｗｄが、第２主磁極２Ａの第１副
磁極２Ｄと反対側に配置した第２副磁極２Ｂの進行方向
の幅Ｗｂより広くなるように形成してあり、第２主磁極
２Ａ同志の中心間の距離を極ピッチＰとし、第1主磁極
２Ｃと第２主磁極２Ａの中心間の距離をＰ’とすると
き、Ｐ’＝１．０３×Ｐの関係を有した点である。
【０００６】次に、本実施例に係るリニアモータの有限
要素法による磁界解析結果について説明する。図２は本
実施例におけるリニアモータの磁束分布を示す模式図で
ある。図では便宜上、リニアモータの進行方向に沿った
軸に対して２分の１にカットしたモデルとなっている。
従来に比べて、第１主磁極２Ｃの幅Ｗｃを第２主磁極２
Ａの幅Ｗａより狭くし、第１副磁極２Ｄの幅Ｗｄを、第
２副磁極２Ｂの幅Ｗｂより広くすると共に、第1主磁極
２Ｃと第２主磁極２Ａの中心間の距離を上式のように限
定すると、図２に示すようにヨーク１の両端部とヨーク
１の進行方向における中心位置での磁束の流れがほぼ同
じになり、リニアモータのストロークにおいて推力変動
がなくなる。
要素法による磁界解析結果について説明する。図２は本
実施例におけるリニアモータの磁束分布を示す模式図で
ある。図では便宜上、リニアモータの進行方向に沿った
軸に対して２分の１にカットしたモデルとなっている。
従来に比べて、第１主磁極２Ｃの幅Ｗｃを第２主磁極２
Ａの幅Ｗａより狭くし、第１副磁極２Ｄの幅Ｗｄを、第
２副磁極２Ｂの幅Ｗｂより広くすると共に、第1主磁極
２Ｃと第２主磁極２Ａの中心間の距離を上式のように限
定すると、図２に示すようにヨーク１の両端部とヨーク
１の進行方向における中心位置での磁束の流れがほぼ同
じになり、リニアモータのストロークにおいて推力変動
がなくなる。
【０００７】したがって、本実施例は、界磁極を構成す
る一方の主磁極として、ヨーク１の両端位置に配設した
第１主磁極２Ｃの進行方向の幅Ｗｃが、ヨーク１の両端
を除く位置に設けた第２主磁極２Ａの進行方向の幅Ｗａ
より狭くなるように形成し、また、他方の副磁極とし
て、第１主磁極２Ｃと隣り合わせに配置した第１副磁極
２Ｄの進行方向の幅Ｗｄが、第２主磁極２Ａの第１副磁
極２Ｄと反対側に配置した第２副磁極２Ｂの進行方向の
幅Ｗｂより広くなるように形成し、さらに第２主磁極２
Ａ同志の中心間の距離を極ピッチＰとし、第1主磁極２
Ｃと第２主磁極２Ａの中心間の距離をＰ’とするとき、
Ｐ’＝１．０３×Ｐの関係を有した構成にしたので、ヨ
ーク両端部における磁束の流れとヨーク中央部における
磁束の流れがほぼ一様となり、ヨーク１の両端部におけ
る端効果の影響により磁界効率が悪化することなく、推
力の変動の発生を極力低減することが可動で高精度なリ
ニアモータを提供することができる。そして、リニアモ
ータの推力の変動を抑制できることから、リニアモータ
を組み込んだ工作機械や半導体装置などにおいては制御
性を向上することができる。
る一方の主磁極として、ヨーク１の両端位置に配設した
第１主磁極２Ｃの進行方向の幅Ｗｃが、ヨーク１の両端
を除く位置に設けた第２主磁極２Ａの進行方向の幅Ｗａ
より狭くなるように形成し、また、他方の副磁極とし
て、第１主磁極２Ｃと隣り合わせに配置した第１副磁極
２Ｄの進行方向の幅Ｗｄが、第２主磁極２Ａの第１副磁
極２Ｄと反対側に配置した第２副磁極２Ｂの進行方向の
幅Ｗｂより広くなるように形成し、さらに第２主磁極２
Ａ同志の中心間の距離を極ピッチＰとし、第1主磁極２
Ｃと第２主磁極２Ａの中心間の距離をＰ’とするとき、
Ｐ’＝１．０３×Ｐの関係を有した構成にしたので、ヨ
ーク両端部における磁束の流れとヨーク中央部における
磁束の流れがほぼ一様となり、ヨーク１の両端部におけ
る端効果の影響により磁界効率が悪化することなく、推
力の変動の発生を極力低減することが可動で高精度なリ
ニアモータを提供することができる。そして、リニアモ
ータの推力の変動を抑制できることから、リニアモータ
を組み込んだ工作機械や半導体装置などにおいては制御
性を向上することができる。
【０００８】なお、上記実施例において、リニアモータ
の推力変動を抑制するために、解析と実験により最適な
主磁極と副磁極の幅の検討を行った。例えば、上記実施
例で示した条件に加え、主磁極の極数を偶数としたとき
に、第１主磁極２Ｃの進行方向の幅を、第２主磁極２Ａ
の進行方向の幅の０．４５〜０．５５とすると、リニア
モータの推力変動を従来比１５％〜２０％減少できるこ
とを確認した。また、主磁極の極数を奇数としたとき
に、第１主磁極２Ｃの進行方向の幅を、第２主磁極２Ａ
の進行方向の幅の０．７５〜０．８５とすると、リニア
モータの推力変動を従来比１２０％〜３０％減少できる
ことを確認した。これにより、リニアモータの推力変動
を一層抑制することができる。
の推力変動を抑制するために、解析と実験により最適な
主磁極と副磁極の幅の検討を行った。例えば、上記実施
例で示した条件に加え、主磁極の極数を偶数としたとき
に、第１主磁極２Ｃの進行方向の幅を、第２主磁極２Ａ
の進行方向の幅の０．４５〜０．５５とすると、リニア
モータの推力変動を従来比１５％〜２０％減少できるこ
とを確認した。また、主磁極の極数を奇数としたとき
に、第１主磁極２Ｃの進行方向の幅を、第２主磁極２Ａ
の進行方向の幅の０．７５〜０．８５とすると、リニア
モータの推力変動を従来比１２０％〜３０％減少できる
ことを確認した。これにより、リニアモータの推力変動
を一層抑制することができる。
【０００９】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、界
磁極を構成する一方の主磁極として、ヨークの両端位置
に配設した第１主磁極の進行方向の幅Ｗｃが、ヨークの
両端を除く位置に設けた第２主磁極の進行方向の幅Ｗａ
より狭くなるように形成し、また、他方の副磁極とし
て、第１主磁極と隣り合わせに配置した第１副磁極の進
行方向の幅Ｗｄが、第２主磁極の第１副磁極と反対側に
配置した第２副磁極の進行方向の幅Ｗｂより広くなるよ
うに形成し、さらに第２主磁極同志の中心間の距離を極
ピッチＰとし、第1主磁極と第２主磁極の中心間の距離
をＰ’とするとき、Ｐ’＝１．０３×Ｐの関係を有した
構成にしたため、ヨーク両端部における磁束の流れとヨ
ーク中央部における磁束の流れがほぼ一様となり、ヨー
クの両端部における端効果の影響により磁界効率が悪化
することなく、推力の変動の発生を極力低減することが
可動で高精度なリニアモータを提供することができる。
そして、リニアモータの推力の変動を抑制できることか
ら、リニアモータを組み込んだ工作機械や半導体装置な
どにおいては制御性を向上することができる。
磁極を構成する一方の主磁極として、ヨークの両端位置
に配設した第１主磁極の進行方向の幅Ｗｃが、ヨークの
両端を除く位置に設けた第２主磁極の進行方向の幅Ｗａ
より狭くなるように形成し、また、他方の副磁極とし
て、第１主磁極と隣り合わせに配置した第１副磁極の進
行方向の幅Ｗｄが、第２主磁極の第１副磁極と反対側に
配置した第２副磁極の進行方向の幅Ｗｂより広くなるよ
うに形成し、さらに第２主磁極同志の中心間の距離を極
ピッチＰとし、第1主磁極と第２主磁極の中心間の距離
をＰ’とするとき、Ｐ’＝１．０３×Ｐの関係を有した
構成にしたため、ヨーク両端部における磁束の流れとヨ
ーク中央部における磁束の流れがほぼ一様となり、ヨー
クの両端部における端効果の影響により磁界効率が悪化
することなく、推力の変動の発生を極力低減することが
可動で高精度なリニアモータを提供することができる。
そして、リニアモータの推力の変動を抑制できることか
ら、リニアモータを組み込んだ工作機械や半導体装置な
どにおいては制御性を向上することができる。
【図１】本発明の実施例を示すリニアモータの平断面図
である。
である。
【図２】本実施例におけるリニアモータの磁束分布を示
す模式図である。
す模式図である。
【図３】従来技術を示すリニアモータの平断面図であ
る。
る。
１ ヨーク
２ 界磁極
２Ａ 第２主磁極
２Ｂ 第２副磁極
２Ｃ 第１主磁極
２Ｄ 第１副磁極
３ 電機子巻線
４ 電機子
Claims (3)
- 【請求項１】互いに平行させた強磁性体で構成してなる
２個一対のヨーク（１）と、前記ヨーク（１）上の進行
方向に沿って、磁極の向きが異なる主磁極と副磁極とか
ら構成されるハルバッハ配列構造を有する界磁極（２）
と、前記界磁極（２）と磁気的空隙を介して対向するよ
うに配置した電機子巻線（３）を有する電機子（４）と
を備え、前記界磁極（２）と前記電機子（４）との何れ
か一方を相対移動する可動子に、他方を固定子とするリ
ニアモータにおいて、 前記主磁極は、前記ヨーク（１）の両端位置に配設した
第１主磁極（２Ｃ）の進行方向の幅Ｗｃが、前記ヨーク
（１）の両端を除く内側の位置に設けた第２主磁極（２
Ａ）の進行方向の幅Ｗａより狭くなるように形成してあ
り、 前記副磁極は、前記第１主磁極（２Ｃ）と隣り合わせに
配置した第１副磁極（２Ｄ）の進行方向の幅Ｗｄが、前
記第２主磁極（２Ａ）の第１副磁極（２Ｄ）と反対側に
配置した第２副磁極（２Ｂ）の進行方向の幅Ｗｂより広
くなるように形成してあり、 前記第２主磁極（２Ａ）同志の中心間の距離を極ピッチ
Ｐとし、前記第1主磁極（２Ｃ）と前記第２主磁極（２
Ａ）の中心間の距離をＰ’とするとき、Ｐ’＝１．０３
×Ｐの関係を有することを特徴とするリニアモータ。 - 【請求項２】 前記主磁極の極数が偶数である時、前記
第１主磁極（２Ｃ）の進行方向の幅を、前記第２主磁極
（２Ａ）の進行方向の幅の０．４５〜０．５５としたこ
とを特徴とする請求項1記載のリニアモータ。 - 【請求項３】 前記主磁極の極数が奇数である時、前記
第１主磁極（２Ｃ）の進行方向の幅を、第２主磁極（２
Ａ）の進行方向の幅の０．７５〜０．８５としたことを
特徴とする請求項1記載のリニアモータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002003461A JP3916048B2 (ja) | 2002-01-10 | 2002-01-10 | リニアモータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002003461A JP3916048B2 (ja) | 2002-01-10 | 2002-01-10 | リニアモータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003209963A true JP2003209963A (ja) | 2003-07-25 |
| JP3916048B2 JP3916048B2 (ja) | 2007-05-16 |
Family
ID=27643045
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002003461A Expired - Fee Related JP3916048B2 (ja) | 2002-01-10 | 2002-01-10 | リニアモータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3916048B2 (ja) |
Cited By (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006067974A1 (ja) * | 2004-12-20 | 2006-06-29 | Kyushu Institute Of Technology | 超電導磁気浮上による非接触搬送装置 |
| JP2006191093A (ja) * | 2004-12-29 | 2006-07-20 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィ装置およびアクチュエータ |
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