JP4499038B2 - 薄板状基板の搬送装置、及びその搬送制御方法 - Google Patents
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Description
エンドエフェクタにより持上げ保持して、高速で搬送し所定の位置に配置するには、薄板状基板の所定の基準位置を正しく保持していることが重要となる。保持する位置がずれていると、薄板状基板を正しい位置に配置できないだけでなく、搬送時のガラス板の移動経路及び撓み量を正確に認識することができなくなるので、薄板状基板がカセットや他の機構に接触して破損するおそれもでてくる。
前記水平支持台部を上下方向に昇降させる昇降駆動手段と、前記水平支持台部に載置され、前記薄板状基板を持ち上げ移送する水平回動アームを有しており、該水平回動アームを駆動して、前記一対の直立支持体の間から前記板状基板を取り出し又は戻すようアクセス可能であるロボットと、を備えることを特徴とする。
正確に保持して目的の位置に正確かつ安全に搬送することが可能となる。
(a)前記回動アーム又は前記エンドエフェクタのアクセス位置の位置情報に基づいて、横方向移動量、鉛直方向の移動量、及び前記回動アーム及び前記エンドエフェクタの駆動データを算出する工程と、
(b)算出した前記横方向及び垂直方向の移動量に応じてロボットを移送し、前記駆動データに基づいて回動アーム及びエンドエフェクタを駆動する工程と、
(c)前記回動アーム及びエンドエフェクタを伸長したときの撓み量データを所定の記憶手段から読み出す工程と、
(d)前記撓み量データに基づいて該撓み量を補正する補正データを算出する工程と、
(e)前記補正データに基づいて、前記鉛直方向の移動量を調整して前記撓み量を補正するように鉛直方向の移動量を制御する工程と、
を備えることを特徴とする。
11 移動台
12 塔(直立支持体)
13 水平支持台部
14 搬送ロボット
16 回動アーム
17 エンドエフェクタ
27 昇降用モータ
30 チルト機構(傾斜調整手段)
40 基台部
41 移動台
42 レール
50 ステージ
60 処理装置
77 上下駆動手段
80 排気管
81a〜81f 回動軸
82a〜82e 排気ダクト
110 位置確認センサ
一定の清浄環境下で可動するものである。従って、本願発明にかかる搬送装置は、塵埃の発生を抑える等、清浄環境下で動作するための所定の要件を備えた搬送装置であり、通常のクレーン装置、倉庫等における昇降機等の搬送装置とはその性質をまったく異にするものである。
図1及び図3を用いて、基台部40の構造及び基台部に固定される一対の塔12のX軸方向への移動について説明する。基台部40には、3本のレール42の上に摺動移動可能な移動台41が設けられ、その上に一対の塔12が固定されている。移動台41上にはモータ19が固定されており、モータ19に取り付けたピニオンとレール42に取り付けたラックにより、X軸方向に駆動される。モータ19,ラック及びピニオンはいずれのレール42に取り付けても良いが、中央のレール42の取り付けるのが好ましい。
一対の塔12は、少なくとも、ロボット14を設置した水平支持台部13を支持する機能と、水平支持台部13を上下方向(Z軸方向)へ昇降駆動させる機能とを有している。上下方向への駆動は、上下方向の正確な移動を確保するガイド部と、昇降駆動部とにより行なわれる。図4A及び図4Bを用いて具体的な機構の例を説明する。
転させる。
図5は、塔12に設けられる昇降機構の他の実施例を示す搬送装置の側面図である。この昇降機構では、エネルギーを最小に抑えるために、エアバランスシリンダ34を具えている。塔12の下部に設けたモータ29と塔頂近くに設けたスプロケット32との間に、リング状のチェーン33がかけられている。チェーン33の左にはエアバランスシリンダ34が配置されている。リニアガイド24に案内されて移動する水平支持台部13とエアバランスシリンダ34のチャックとは、チェーン33に結合され、ロボット14の乗った水平支持台部13の重量に見合ったエア圧力がシリンダ34にかけられている。水平支持台部13は、最低高さ位置Lから最大高さHまで移動可能である。
図6に、ロボット14とそのエンドエフェクタ17の作動範囲を示す。2式の回動アーム16及びそれらの先端に取り付けたエンドエフェクタ17は、1対の塔12の右側部分においては、ほぼ220度に開いた扇型の範囲内に設置された処理装置60にアクセス可能である。また、一対の塔12の左側に関しては、ロボット14が回転することにより、一対の塔12の間を通してエンドエフェクタ17がステージ上のカセット51及び52にアクセスすることが可能となる。2つのエンドエフェクタ17を同時に作動させれば、薄板の搬送速度を2倍にあげることができる。
図3に示すように、水平支持台部13には、チルト機構(傾斜調整手段)30を備えており、ロボット14は傾斜調整手段を介して水平支持台部13に設置される。傾斜調整機構により、角度「T」の範囲で、ロボット14の傾斜角度を調整可能である。図7A〜図7Cは、傾斜調整手段30の一実施例を示す側面図である。
ロボット14が固定されているので、傾斜台31の角度変化に応じてロボット14の水平方向の傾斜が変化する。
図8に他の実施態様にかかる傾斜調整手段を示す。この例では、ヒンジ部72に回動可能に連結された傾斜台71の角度が、カム73を駆動することにより変化する構造となっている。
本発明の搬送装置は、大型の薄板状基板を搬送する。従って、ロボット14も大型となり、回動アームも重くなる。回動アームを伸ばすと、ロボット中心から4000mm以上エンドエフェクタ中心を延ばす事が可能である。従って、回動アームの自重及び薄板状基板の重さで、回動アームが撓みエンドエフェクタの先端が本来の位置より下方に下がる。そのため、薄板状基板をカセット等の内部の所定の位置から正確に取り出し、正確な位置に載置することが困難となる場合がでてくる。従って、正確にかつ安全に薄板状基板を搬送するためには、撓み量を補正することが望ましい。
半径を算出する作業を各測定点のすべてについて行なう等の方法があり、この処理を実行することにより、折れ線グラフに近似する曲線が得られる。これにより図10Bに示すような滑らかな曲線Cが得られ、この曲線に沿って、Z軸方向の駆動を行なうことにより、滑らかな補正処理動作を実行することが可能となる。
図11は、本発明の一実施形態にかかる搬送制御手段の機能ブロック図である。移送制御部120は、薄板状基板にアクセスし、薄板状基板を目的の位置に搬送するために、水平方向移動(X軸方向)、上下方向の移動(Z軸方向)、ロボット14の傾斜角、及びロボット14の回転及び回動アーム16の動作を制御する。Z軸方向の移動は、昇降駆動手段121により行われ、X軸方向の移動は水平移動手段130により行われる。これらにより、ロボット14全体が所定の位置に搬送される。
図2と図4と図13の形状の搬送装置を次の仕様で製造し、実際に稼動させ、動作確認を行った。尚、図13は、ロボット14による薄板状基板の搬送位置を示すための平面図である。ロボット14は図5に示す通り、220°の角度に搬送可能であるが、4方向にも処理装置を設けて動作確認を行った。
水平支持台部13を一つ設けた例のみ示したが、水平支持台部13を複数設け、各々の水平支持台部にロボットを載置することも可能である。
さらに、本発明の搬送装置に、次のような保持位置確認手段を設けることも可能である。まず、図13に示すように、搬送装置の所定の位置に薄板状基板を検知可能な位置確認センサ110を設ける。エンドエフェクタにより薄板状基板を吸着保持すると、保持した薄板状基板の隣接する2辺が位置確認センサ110の上を通過するような所定の円弧に沿って薄板状基板を移送する。このときのセンサの検知タイミング及び予めわかっている薄板状基板の大きさ及び形状により、エンドエフェクタにより薄板状基板が正しく吸着保持されているか否かを判別することが可能である。
図13に示すように、ロボット14は、カセット51から取り出したガラス板を少なくともカセット51と反対方向の180度内にあるいずれの処理室60に搬送することができる。図13では、その一例として、3方向に処理室60を設けた例を示している。ロボット14は、カセット51からガラス板を取り出すと、ガラス板の少なくとも1辺が必ず位置確認センサ110の光路を遮蔽する所定の経路に従い移送される。図15〜図21は、所定の基準位置において、エンドエフェクタによりガラス板を保持してロボット14を水平方向に回転動作させた場合のガラス板の各種検知状態を示している。これらの図では、ロボットの旋回中心を原点とするX−Y平面で示し、初期位置O(r,0)はX軸上にある。
図15は、予め設定した基準位置において、エンドエフェクタがガラス板を保持している場合に、位置確認センサ110によるガラス板の各辺を検知する角度と位置(以下、この位置を「教示位置」と称する)を示している。ガラス板を所定の基準位置に保持して、初期位置にまでエンドエフェクタを移動させた後、ロボット14を回動させて初期位置からガラス板の周縁部を検出する位置までの角度θQ1を測定する。この結果を教示角度θQ1として記憶手段に記憶する。この情報に基づいて算出手段により教示位置Q1(XQ1,YQ1)を算出する。この教示位置Q1(XQ1,YQ1)を算出する算出式は次のようになる。ただし、rはロボットの旋回中心からセンサの光軸までの距離である。
図16を用いて、X軸方向のずれ量の算出方法を説明する。図中、実線はガラス板の現実の保持位置を示し、破線は教示位置を示している。図16では、ガラス板は教示位置からX軸の正方向にずれてエンドエフェクタ上に載置されている。センサを相対的に回動させて、初期位置からガラス板と光軸とが交差する位置P1(XP1,YP1)までのロボットの作動角度(以下測定角度θP1と称する)を測定する。前述の教示角度同様に、測定によるガラス板の位置は、P1(XP1,YP1)は次のように算出される。
図17を用いて、X軸方向のずれ量の算出方法を説明する。図中、実線はガラス板の現実の保持位置を示し、破線は教示位置を示している。図17では、ガラス板は教示位置からY軸の正方向にずれてエンドエフェクタ上に載置されている。X軸方向にずれた場合と同様にP1を含む周縁の一辺と直交する一辺上の点P2(XP2,YP2)までのロボットの測定角度θP2を測定する。このP2(XP2,YP2)によりY軸方向のずれ量は次のように算出される。
図18を用いて、回転方向にずれがある場合のずれ量の算出方法を説明する。図16,図17と同様に、実線はガラス板の現実の保持位置を示し、破線は教示位置を示している。図17では、実線で示すガラス板は教示位置にあるガラス板と比べてX及びY軸方向に平行移動及び回転方向にずれがある場合を示している。この回転方向のずれ量を算出する方法は、前述のようにガラス板の周縁の一辺上の点P1、P2に加えて、P2と同じ辺上にあるP3(XP3,YP3)を検知するまでの測定角度θP3を測定してP1、P2と同様に座標を算出する。
図16に示すようにガラス板がX軸方向にずれている場合、破線で示すガラス板は教示位置に対して、実線で示す測定位置は図中右側へΔXだけずれている。本願発明の搬送装置では、予め教示したガラス板を載置する位置から、図中左側へΔXだけずらして載置することで、ずれを修正することができる。
前述と同様にエンドエフェクタがガラス板を予め設定した基準位置で保持している場合に、各位置確認センサ110によるガラス板の各辺を検知する角度と位置を示している。ガラス板を所定の基準位置に保持して、初期位置にまでエンドエフェクタを移動させた後
、ロボット14を回動させて初期位置からガラス板の周縁部を検出する位置までの角度θQ1θV1を測定する。
前述したとおり、本発明は、清浄環境下で稼動する薄板状基板の搬送装置である。従って、搬送動作の際には、塵埃の排出を防止する方策が望まれる。まず、一義的には、できる限り塵埃を発生させないことが重要である。しかし、可動部分を有する以上、部品の摺動等により塵埃の発生をゼロにすることはできない。そこで、搬送装置の各発塵部分から塵埃を取り出して外部に排出する構成とすることが好ましい。
また、上記説明では、Y軸方向の水平搬送装置については説明していない。しかし、本発明の搬送装置は、大型の薄板(2m×2mガラス板等)を搬送するため搬送先である複数のカセット間距離や複数の処理装置間の距離が長い場合が多く、そのため水平移動機構を設ける事が好ましい。ロボット14の水平移動機構の具体的な例としては、水平な平行レールとラックアンドピニオン方式、索道方式、ポールねじレール方式、レール自走方式、空気浮上方式、磁気浮上方式など公知の重量物駆動方法を採用することができる。この水平移動機構の駆動源としては、サーボモータ、ステッピングモータ、リニアモータ、などを用いることができる。
Claims (21)
- 所定の清浄環境下に設置され、大型の薄板状基板を所定の取り出し位置から他の処理位置に搬送する薄板状基板の搬送装置であって、
離間して直立する1対の直立支持体と、
前記一対の直立支持体により昇降可能に方持ち支持された少なくとも一つの水平支持台部と、
前記水平支持台部を上下方向に昇降させる昇降駆動手段と、
前記水平支持台部に載置され、前記薄板状基板を持ち上げ移送する水平回動アームを有しており、該水平回動アームを駆動して、前記一対の直立支持体の間から前記板状基板を取り出し又は戻すようアクセス可能であるロボットと、
を備えることを特徴とする搬送装置。 - 前記水平支持台部は、該水平支持台部に載置される前記ロボットの水平面に対する角度を変化させる傾斜調整手段を備えることを特徴とする請求項1記載の搬送装置。
- 前記薄板状基板を持ち上げ移送する前記回動アームの先端に設けられたエンドエフェクタの撓み量と前記回動アームの鉛直方向の撓み量とを補正する撓み補正手段を備えることを特徴とする請求項2に記載の搬送装置。
- 前記撓み補正手段は、前記エンドエフェクタにより前記薄板状基板を持ち上げた状態での前記両撓み量を補正することを特徴とする請求項3に記載の搬送装置。
- 前記撓み補正手段は、前記アーム上又は前記エンドエフェクタ上に設けられた基準点の移動に伴う複数の測定点の鉛直方向の撓み量を記憶する撓み記憶手段を備え、前記基準点が前記測定点に移動する毎に前記撓み記憶手段から現在位置に対応する撓み量を読出して、該撓み量を補正することを特徴とする請求項4に記載の搬送装置。
- 前記撓み記憶手段は、自重のみによる撓み量と、前記薄板状基板を保持しているときの撓み量の双方を記憶しており、自重のみの場合と前記薄板状基板を保持している場合とで補正量を変更することを特徴とする請求項5に記載の搬送装置。
- 前記撓み補正手段は、前記昇降駆動手段を制御する補正制御手段を備え、前記昇降駆動手段を制御して前記撓み量に応じて前記水平支持台部を上昇させまたは下降させることにより前記撓み量を補正することを特徴とする請求項3から6のいずれか1項に記載の搬送装置。
- 前記補正手段は、前記傾斜調整手段を制御する補正制御手段を備え、前記調整手段により前記水平支持台部に載置された前記ロボットを傾斜させることにより、前記エンドエフェクタ及び前記回動アームの位置を上昇または下降させて、前記撓み量を補正することを特徴とする請求項3から6のいずれか1項に記載の搬送装置。
- 前記補正手段は、前記昇降駆動手段及び前記傾斜手段を制御する補正制御手段を備え、前記撓みに応じて、前記水平支持台部を昇降し、及び/または前記傾斜調整手段を傾斜させることにより、前記撓み量を補正することを特徴とする請求項3から6のいずれか1項に記載の搬送装置。
- さらに、前記エンドエフェクタにより保持した前記薄板状基板の通過を検知する保持位置センサと、前記保持位置センサの検出信号に基づいて所定の基準位置と保持位置のずれ量を算出する算出手段とを備える保持位置確認手段と、前記算出したずれ量に基づき、保持位置のずれ量を補正するずれ補正手段とを備えることを特徴とする請求項請求項1から6のいずれか1項に記載の搬送装置。
- 前記保持位置確認手段は、所定の基準位置からのX軸方向へのずれ、Y軸方向へのずれ、さらに回転方向へのずれ量を算出し、前記ずれ補正手段は算出したずれ量を打ち消す方向に前記エンドエフェクタを移動させてずれ量を補正することを特徴とする請求項10に記載の搬送装置。
- さらに、前記一対の直立支持台部を水平に移動させる移動手段を備えることを特徴とする請求項1から6のいずれか1項に記載の搬送装置。
- 離間して設けられた前記一対の直立支持体を平行に維持した状態で、該一対の直立支持体の頂部を結合し固定する梁部を備えることを特徴とする請求項1から6のいずれか1項に記載の搬送装置。
- 離間して直立する1対の直立支持体と、前記一対の直立支持体により昇降可能に片持ち支持された少なくとも一つの水平支持台部と、前記水平支持台部を上下方向に昇降させる昇降駆動手段と、水平支持台部に載置され、前記板状基板を持ち上げ移送する水平回動アーム及びエンドエフェクタを有しており、該水平回動アームを駆動して、前記一対の直立支持体の間から前記板状基板を取り出し又は戻すようアクセス可能であるロボットとを備え、所定の清浄環境下に設置され、大型の板状基板を所定の取り出し位置から他の処理位置に搬送する搬送装置の搬送制御方法であって、
(a)前記回動アーム又は前記エンドエフェクタのアクセス位置の位置情報に基づいて、横方向移動量、鉛直方向の移動量、及び前記回動アーム及び前記エンドエフェクタの駆動データを算出する工程と、
(b)算出した前記横方向及び垂直方向の移動量に応じてロボットを移送し、前記駆動データに基づいて回動アーム及びエンドエフェクタを駆動する工程と、
(c)前記回動アーム及びエンドエフェクタを伸長したときの撓み量データを所定の記憶手段から読み出す工程と、
(d)前記撓み量データに基づいて該撓み量を補正する補正データを算出する工程と、
(e)前記補正データに基づいて、前記鉛直方向の移動量を調整して前記撓み量を補正するように鉛直方向の移動量を制御する工程と、
を備えることを特徴とする搬送装置の搬送制御方法。 - 前記工程(e)に代えて、
(f)前記補正データに基づいて、前記水平支持台部の水平面に対する角度を変化させて前記ロボットの傾斜角度を調整することにより、前記撓み量を補正する工程を備えることを特徴とする請求項14に記載の搬送装置の搬送制御方法。 - 前記工程(e)に代えて、
(g)前記補正データに基づいて、前記鉛直方向の移動量及び前記ロボットの傾斜角度を調整することにより、前記撓み量を補正する工程を備えることを特徴とする請求項14に記載の搬送装置の搬送制御方法。 - 前記工程(c)においては、複数の移動地点の撓み量を読出して、前記工程(d)において、移動地点毎の補正データを算出することを特徴とする請求項14から16のいずれか1項に記載の搬送装置の搬送制御方法。
- 前記工程(c)は、前記記憶手段から、薄板状基板を保持しているか否かに応じた撓み量を読み出す工程であることを特徴とする請求項17に記載の搬送装置の搬送制御方法。
- 前記工程(c)において、前記記憶手段から、予め算出されて記憶されている前記撓み量に応じた補正データを読出し、前記工程(d)による前記補正データを算出することなく、読出した前記補正データに基づいて前記工程(e)の処理を実行することを特徴とする請求項14から16のいずれか1項に記載の搬送装置の搬送制御方法。
- さらに、
(h)前記エンドエフェクタにより保持した前記薄板状基板の保持位置を確認する工程と、
(i)前記保持位置と所定の基準保持位置とを比較し、そのずれ量を算出する工程と、
(j)算出した前記ずれ量分を補正するよう動作制御する工程と、
を備えることを特徴とする請求項14から19のいずれか1項に記載の搬送装置の搬送制御方法。 - 前記工程(i)は、所定の基準保持位置からのX軸方向へのずれ、Y軸方向へのずれ、さらに回転方向へのずれ量を算出する工程を含み、
前記工程(j)は、前記工程(i)において算出した各方向のずれを補正するよう動作制御する工程を備えることを特徴とする請求項20に記載の搬送装置の搬送制御方法。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106737065A (zh) * | 2017-01-05 | 2017-05-31 | 张家港市铭斯特光电科技有限公司 | 一种玻璃生产线 |
CN108818588A (zh) * | 2018-07-17 | 2018-11-16 | 芜湖超源力工业设计有限公司 | 一种双侧式夹取装置 |
Families Citing this family (49)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007054939A (ja) * | 2005-08-26 | 2007-03-08 | Mitsubishi Electric Corp | 産業用ロボット及びその輸送方法 |
US20080019806A1 (en) * | 2006-07-24 | 2008-01-24 | Nyi Oo Myo | Small footprint modular processing system |
CN101205017B (zh) * | 2006-12-20 | 2011-09-28 | 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 | 一种超薄玻璃洁净搬运机器人 |
WO2008120466A1 (ja) * | 2007-03-26 | 2008-10-09 | Nidec Sankyo Corporation | 産業用ロボット及びその運搬方法 |
US7946800B2 (en) | 2007-04-06 | 2011-05-24 | Brooks Automation, Inc. | Substrate transport apparatus with multiple independently movable articulated arms |
US8267636B2 (en) | 2007-05-08 | 2012-09-18 | Brooks Automation, Inc. | Substrate transport apparatus |
JP2009012877A (ja) * | 2007-06-29 | 2009-01-22 | Ihi Corp | 浮上搬送装置 |
JP2010023195A (ja) * | 2008-07-22 | 2010-02-04 | Nidec Sankyo Corp | 産業用ロボット |
DE102008062153A1 (de) | 2008-12-17 | 2010-12-30 | Grenzebach Maschinenbau Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Schnelltransport von Glasplatten |
TWI418810B (zh) * | 2010-03-26 | 2013-12-11 | Hon Tech Inc | 多層式電子元件檢測機 |
JP5818345B2 (ja) * | 2011-04-27 | 2015-11-18 | 日本電産サンキョー株式会社 | 回転機構、産業用ロボットおよび回転体の原点位置復帰方法 |
KR101829397B1 (ko) | 2011-09-16 | 2018-02-19 | 퍼시몬 테크놀로지스 코포레이션 | 낮은 가변성을 가진 로봇 |
JP2013074112A (ja) * | 2011-09-28 | 2013-04-22 | Yaskawa Electric Corp | ハンドおよび基板搬送装置 |
CN102514971A (zh) * | 2011-12-08 | 2012-06-27 | 深圳市鑫联达包装机械有限公司 | 一种能够连续传送纸张的传输***及其传输方法 |
JP5614417B2 (ja) * | 2012-01-05 | 2014-10-29 | 株式会社安川電機 | 搬送システム |
TWM431163U (en) * | 2012-01-31 | 2012-06-11 | Shengjia Prec Co Ltd | Glass substrate transportation device |
CN102730401B (zh) * | 2012-06-26 | 2014-04-02 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 基板中转装置及基板搬运*** |
JP5927724B2 (ja) * | 2012-09-06 | 2016-06-01 | 本田技研工業株式会社 | 移動装置 |
CN103663166A (zh) * | 2013-12-11 | 2014-03-26 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 自动化物料搬运***及其天车*** |
WO2015112538A1 (en) | 2014-01-21 | 2015-07-30 | Persimmon Technologies, Corp. | Substrate transport vacuum platform |
CN104440950B (zh) * | 2014-11-17 | 2016-03-16 | 上海华力微电子有限公司 | 一种炉管用传片机械手的保护装置及保护方法 |
CN104495357B (zh) * | 2014-12-12 | 2017-01-04 | 南通富士通微电子股份有限公司 | 一种光刻板搬移装置 |
CN104690736B (zh) * | 2015-02-12 | 2017-03-08 | 成都天马微电子有限公司 | 机械手臂及其检测***和检测方法 |
JP6491515B2 (ja) | 2015-03-31 | 2019-03-27 | キヤノン株式会社 | 自動組立装置及び自動組立方法 |
CN104925473B (zh) * | 2015-05-29 | 2017-03-01 | 光驰科技(上海)有限公司 | 一种解决基板搬送小车通用性的控制方法 |
JP6629012B2 (ja) * | 2015-08-31 | 2020-01-15 | 豊田鉄工株式会社 | 加熱炉用のワーク搬送装置 |
CN105417066B (zh) * | 2015-11-09 | 2017-12-01 | 合肥欣奕华智能机器有限公司 | 基板位置偏移检测及校正装置和基板搬运*** |
CN105583815B (zh) * | 2016-03-17 | 2017-12-08 | 北京新智远恒计量校准技术有限公司 | 一种混凝土试样试验检测机器人 |
SG11201810030TA (en) * | 2016-05-20 | 2018-12-28 | Murata Machinery Ltd | Transport vehicle and transport method |
CN106216859B (zh) * | 2016-08-17 | 2018-02-27 | 江苏大学 | 一种激光间接冲击成形柔性加载的快速取用装置及其方法 |
JP6723131B2 (ja) | 2016-09-29 | 2020-07-15 | 株式会社Screenホールディングス | 基板搬送装置および基板搬送方法 |
JP6700149B2 (ja) | 2016-09-29 | 2020-05-27 | 株式会社Screenホールディングス | 姿勢変更装置 |
CN106516739B (zh) * | 2016-10-26 | 2019-04-16 | 福耀集团(福建)机械制造有限公司 | 一种基于机器人视觉的玻璃移载*** |
US10651067B2 (en) | 2017-01-26 | 2020-05-12 | Brooks Automation, Inc. | Method and apparatus for substrate transport apparatus position compensation |
CN107458108B (zh) * | 2017-08-25 | 2023-04-18 | 浙江正润机械有限公司 | 摆动旋转机构和纸板移送纠偏机械手 |
JP7321095B2 (ja) * | 2017-10-11 | 2023-08-04 | ローツェ株式会社 | ポッドオープナー |
CN107934458B (zh) * | 2017-10-13 | 2019-09-10 | 弗埃斯工业技术(苏州)有限公司 | 薄板料件位置调整机构 |
CN109879052A (zh) * | 2017-12-06 | 2019-06-14 | 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 | 一种单放纠偏机器人及其纠偏方法 |
JP7181013B2 (ja) * | 2018-06-20 | 2022-11-30 | Juki株式会社 | 電子部品実装装置及び電子部品実装方法 |
CN109454640A (zh) * | 2018-11-14 | 2019-03-12 | 惠科股份有限公司 | 一种缩短交换片时长的方法 |
US11767181B2 (en) * | 2019-03-14 | 2023-09-26 | Mujin, Inc. | Robotic system with handling mechanism and method of operation thereof |
JP7299808B2 (ja) * | 2019-09-19 | 2023-06-28 | 川崎重工業株式会社 | 傾き調整装置、及びそれを備えるロボット |
JP7133757B2 (ja) * | 2019-11-05 | 2022-09-09 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | ロボットの制御方法 |
CN110865620B (zh) * | 2019-11-27 | 2022-01-25 | 郑州旭飞光电科技有限公司 | 一种基板玻璃在线抽检***、方法及包装*** |
CN111660311B (zh) * | 2020-06-16 | 2022-05-10 | 扬州大学 | 一种智能化种蛋分拣入箱机器人及其操作方法 |
JP7446169B2 (ja) * | 2020-06-26 | 2024-03-08 | キヤノントッキ株式会社 | 基板搬送装置、基板処理システム、基板搬送方法、電子デバイスの製造方法、プログラム及び記憶媒体 |
CN112171697A (zh) * | 2020-09-03 | 2021-01-05 | 中联重科股份有限公司 | 机械手装置和走台板装配*** |
CN112660828B (zh) * | 2020-12-29 | 2022-03-08 | 飞马智科信息技术股份有限公司 | 一种取代Map传感器的液晶面板检测控制方法 |
CN114380053A (zh) * | 2022-03-08 | 2022-04-22 | 哈尔滨工业大学 | 玻璃搬运机器人 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0592228A (ja) * | 1991-09-30 | 1993-04-16 | Kurimoto Ltd | 鍛造プレスの自動搬送装置 |
JP2000183128A (ja) * | 1998-12-17 | 2000-06-30 | Komatsu Ltd | ワーク搬送装置の制御装置 |
JP2002093882A (ja) * | 2000-09-20 | 2002-03-29 | Olympus Optical Co Ltd | 基板搬送装置及び基板検査システム |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59107882A (ja) * | 1982-12-09 | 1984-06-22 | 三菱電機株式会社 | ロボツトの制御装置 |
JPH0517225Y2 (ja) * | 1986-12-27 | 1993-05-10 | ||
JPH09155783A (ja) * | 1995-12-06 | 1997-06-17 | Shin Meiwa Ind Co Ltd | 昇降装置及び昇降装置を備えたロボット |
JPH11188669A (ja) * | 1997-12-25 | 1999-07-13 | Mitsubishi Electric Corp | 搬送装置 |
TW473418B (en) * | 1998-12-10 | 2002-01-21 | Komatsu Mfg Co Ltd | Work carrier device and attitude holding method of work carrier device controller for work carrying apparatus |
JP4540201B2 (ja) | 2000-09-13 | 2010-09-08 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | ZnO系酸化物半導体層を有する半導体装置の製法 |
JP4182521B2 (ja) * | 2001-12-04 | 2008-11-19 | ローツェ株式会社 | 容器の一時的搬入、留置、搬出用装置 |
-
2003
- 2003-12-02 AU AU2003304270A patent/AU2003304270A1/en not_active Abandoned
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- 2004-07-05 TW TW093120144A patent/TW200521056A/zh unknown
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0592228A (ja) * | 1991-09-30 | 1993-04-16 | Kurimoto Ltd | 鍛造プレスの自動搬送装置 |
JP2000183128A (ja) * | 1998-12-17 | 2000-06-30 | Komatsu Ltd | ワーク搬送装置の制御装置 |
JP2002093882A (ja) * | 2000-09-20 | 2002-03-29 | Olympus Optical Co Ltd | 基板搬送装置及び基板検査システム |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106737065A (zh) * | 2017-01-05 | 2017-05-31 | 张家港市铭斯特光电科技有限公司 | 一种玻璃生产线 |
CN106737065B (zh) * | 2017-01-05 | 2019-03-15 | 张家港市铭斯特光电科技有限公司 | 一种玻璃生产线 |
CN108818588A (zh) * | 2018-07-17 | 2018-11-16 | 芜湖超源力工业设计有限公司 | 一种双侧式夹取装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN1816907A (zh) | 2006-08-09 |
WO2005002804A1 (ja) | 2005-01-13 |
CN100407395C (zh) | 2008-07-30 |
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TWI348447B (ja) | 2011-09-11 |
TW200521056A (en) | 2005-07-01 |
KR101106401B1 (ko) | 2012-01-17 |
AU2003304270A1 (en) | 2005-01-21 |
TW200502070A (en) | 2005-01-16 |
KR20060118394A (ko) | 2006-11-23 |
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