KR20070057168A - 얼라인먼트부의 교정 방법, 얼라인먼트 교정가능한 묘화장치, 및 반송 장치 - Google Patents

얼라인먼트부의 교정 방법, 얼라인먼트 교정가능한 묘화장치, 및 반송 장치 Download PDF

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Abstract

긴 가요성 기록 매체를 다루는 장치에 사용된 얼라인먼트부 교정 시스템은 얼라인먼트부, 교정 부재 및 상대 이동 기구를 가진다. 얼라인먼트부는 주사용 반송부에 설정된 반송 경로상에서 일정한 반송 방향으로 가요성 기록 매체가 반송되면서 묘화가 묘화 유닛으로 행해질 때, 얼라인먼트가 행해지고 반송 경로상에 설정된 영역의 위치에서 검출을 행할 수 있도록 배치된다. 교정 부재는 반송 경로보다 얼라인먼트부로 더 향하는 위치에 배치된다. 상대 이동 기구는 얼라인먼트부가 교정 부재를 검출하는 상태에 세트되도록 얼라인먼트부 및 교정 부재를 상대적 이동시킨다.
긴 가요성 기록 매체, 묘화, 얼라인먼트부, 교정 부재, 상대 이동 기구

Description

얼라인먼트부의 교정 방법, 얼라인먼트 교정가능한 묘화 장치, 및 반송 장치{METHOD OF CALIBRATING ALIGNMENT SECTION, IMAGE-DRAWING DEVICE WITH CALIBRATED ALIGNMENT SECTION, AND CONVEYING DEVICE}
본 발명은 얼라인먼트부의 교정 방법, 얼라인먼트 교정가능한 묘화 장치, 및 반송 장치에 관한 것이다.
일반적으로 사용되는 묘화 장치의 예는 프린트 기판(플렉시블 기판) 노광 장치, 레이저 포토플로터 및 레이저 프린터와 같은 노광 장치를 포함한다. 이 장치는 광빔에 의해 기록 매체를 주사하여 기록 매체에 소망하는 이미지를 묘화하는 주사식의 노광 장치이다.
이 노광 장치에서는, 예컨대, 프린트 기판 노광 장치의 경우에, 묘화는 기록 매체인 프린트 배선 기판용의 기판재에 레이저광을 주사하여 수행된다. 여기서 사용되는 프린트 배선 기판용의 기판재는 절연층에 도체 박막을 형성하고, 포토레지스트로 이 도체 박막을 피복함으로써 구성된다.
프린트 기판 노광 장치는 이러한 기판재에 대하여 화상 데이터를 기초로 변조된 레이저광을 주사한다. 이것에 의해, 바람직한 기판 패턴은 포토레지스트층에 노광된다.
이와같이 노광 처리된 프린트 배선 기판용의 기판재는 프린트 기판 노광 장치로부터 제거되고, 포토 에칭 처리됨으로써 프린트 기판으로 완성된다.
이와 같이 사용되는 종래의 프린트 기판 노광 장치에서, 긴 스트립상의 기록 매체(플렉시블 기판)는 롤 시트의 형태인 기록 매체를 송출하는 로더와 기록 매체를 회수하기 위한 언로더 사이에서 스트레칭된다. 이 스트레칭된 기록 매체의 부분은 고정 수단에 의해 묘화 테이블의 묘화면상에 위치 고정되고, 이 상태에서 묘화 테이블은 슬라이딩 수단에 의해 고정밀도로 슬라이딩될 수 있다. 게다가, 레이저광을 주사시키는 주사 광학계는 로더와 언로더 사이에서 스트레칭된 기록 매체 바로 위에 배치된다.
기록 매체의 스트레칭된 부분이 고정 수단에 의해 묘화면상에 고정되어 있는 묘화 테이블이 슬라이딩 수단에 의해 고정밀도로 반송되면서, 주사 광학계는 묘화 테이블과 함께 고정밀도로 슬라이딩된 매체에 대하여 이미지 데이터를 기초로 변조된 주사 레이저광에 의해 묘화를 행한다.
이 종래의 프린트 기판 노광 장치에서는, 제 1 묘화 처리가 완성된 후, 묘화 처리를 다시 개시하기 위해서, 묘화 테이블의 고정 수단이 해제되고, 기록 매체는 로더의 클램핑 롤러 쌍에 의해 고정됨과 아울러 언로더의 구동 롤러 쌍에 의해 고정되어, 로더와 언로더 사이에서 스트레칭된 기록 매체는 고정 상태에 있게 된다. 그 후, 묘화 테이블은 슬라이딩 수단에 의해 로더를 향해 이동된다. 그 다음, 기록 매체는 묘화 테이블의 고정 수단에 의해 묘화 테이블의 묘화면에 고정된다.
그 결과, 로더의 클램핑 롤러 쌍은 해제되고 기록 매체는 드로잉 아웃되어, 슬랙(slack)이 로더의 한 쌍의 드로잉 아웃 롤러로 인해 일어난다. 이후, 묘화 테이블이 슬라이딩 수단에 의해 언로더를 향해 이동되면서, 묘화 테이블의 묘화면에 고정된 기록 매체는 주사 광학계에 의해 주사되고 기록 매체는 언로드의 구동 롤러 쌍에 의해 언로더내로 수집되어 다음 묘화 처리를 종료한다. 상술한 동작은 다음 묘화 처리가 행해질 때, 필요한 횟수로 반복된다. 예컨대, 일본 특허 공개 출원 제2000-235267호 참조.
이러한 종래의 프린트 기판(플렉시블 기판) 노광 장치에는 얼라인먼트를 조정하여 소정의 패턴이 긴 스트립상 기록 매체에 고정밀도로 묘화될 수 있도록 하기 위한 얼라인먼트 수단이 통상 구비되어 있다. 그 얼라인먼트 수단에서는 얼라인먼트 마크가 제공된 다른 위치를 갖는 긴 스트립상 기록 매체의 각 타입에 대해서, 얼라인먼트 수단의 위치 교정은 긴 스트립상 기록 매체의 묘화 위치와 대응하여 묘화 테이블상에 배치된 교정 스케일을 사용하여 행해져야만 한다.
그러나, 상술한 종래의 프린트 기판(플렉시블 기판) 노광 장치에서, 묘화 처리는 스트립상 기록 매체가 스패닝되고 긴 스트립상 기록 매체와 레이저광을 주사시키는 주사 광학계 사이에 장해물이 없는 상태에서 항상 행해진다. 그러므로, 긴 스트립상 기록 매체를 위한 반송 경로는 묘화 테이블에 배치된 교정 스케일에 구비되어야만 한다.
그러므로, 긴 스트립상 기록 매체가 반송 경로상에 설치된 상태에서, 얼라인먼트 수단의 위치 교정을 행하기 위한 교정 스케일이 긴 스트립상 가요성 기록 매체 아래에 숨겨진다. 따라서, 단일체의 긴 스트립상 가요성 기록 매체에서 얼라인 먼트 마크 위치가 다른 복수 타입의 기판에 대하여 묘화 처리를 행할 때, 얼라인먼트 수단의 위치 교정은 얼라인먼트 마크가 제공된 위치가 다른 타입의 긴 스트립상 기록 매체마다 교정 스케일을 사용하여 행해질 수 없다.
따라서, 상술한 종래의 프린트 기판(플렉시블 기판) 노광 장치에서의 이슈는 얼라인먼트 마크가 제공된 위치가 다른 타입의 긴 스트립상 기록 매체마다 교정 스케일을 사용함으로써 얼라인먼트 수단의 위치를 교정하여 고정밀도로 얼라인먼트 조정을 행하더라도 묘화 처리이다.
본 발명의 제 1 양상은 얼라인먼트부의 교정 방법이다. 상기 방법은 복수 타입의 얼라인먼트 마크 위치를 포함하는 하나의 긴 가요성 기록 매체가 반송되면서 얼라인먼트가 얼라인먼트부에 의해 조정되고 묘화가 행해지는 상태에서, 가요성 기록 매체상의 얼라인먼트 마크 위치가 다른 위치로 될 시에, 묘화 유닛의 반송 경로상에 가요성 기록 매체를 제지시키는 단계를 포함한다. 또한, 상기 방법은 교정 부재 및 얼라인먼트부를 상대 이동시켜 교정 부재 및 얼라인먼트부를 서로 대응시키는 단계를 포함한다. 또한, 상기 방법은 교정 부재를 사용하여 얼라인먼트부의 기준 위치의 데이터를 교정하는 단계를 포함한다.
상술한 얼라인먼트부의 교정 방법에 따르면, 단일체의 긴 바디로 형성되고 얼라인먼트 마크가 제공된 다른 위치를 갖는 복수 타입을 포함하는 가요성 기록 매체에 노광 처리를 행하는 도중에 있기 때문에, 긴 가요성 기록 매체가 주사용 반송부의 반송 경로로부터 제거될 경우에도, 얼라인먼트 마크가 제공된 위치가 다른 타입마다 교정 부재를 사용하여 얼라인먼트부의 위치가 교정된 후, 얼라인먼트 조정이 고정밀도로 행해지고 묘화 처리가 행해질 수 있다.
본 발명의 제 2 양상은 얼라인먼트 교정가능한 묘화 장치이다. 상기 묘화 장치는 긴 가요성 기록 매체를 주사용 반송부에 설정된 반송 경로상에서 일정한 반송 방향으로 반송하면서, 묘화 유닛으로 묘화를 행하고, 상기 묘화 장치는 얼라인먼트가 행해지고 긴 가요성 기록 매체가 반송되는 주사용 반송부의 반송 경로상에 설정된 영역의 위치에서 검출을 행할 수 있도록 배치된 얼라인먼트부; 반송 경로보다 얼라인먼트부로 더 향하는 위치에 배치된 교정 부재; 및 얼라인먼트부가 교정 부재를 검출하는 상태에 세트되도록 얼라인먼트부 및 교정 부재를 상대 이동시키는 상대 이동 기구를 갖는다.
상술한 구조에 따르면, 단일체의 긴 바디로 형성되고 얼라인먼트 마크가 제공된 다른 위치를 갖는 복수 타입을 포함하는 가요성 기록 매체에 노광 처리를 행하는 도중에 있기 때문에, 긴 가요성 기록 매체가 주사용 반송부의 반송 경로로부터 제거될 경우에도, 얼라인먼트부, 및 반송 경로보다 얼라인먼트부로 더 향하는 위치에 배치된 교정 부재를 서로 대응시키는 상대 이동 기구에 의해 얼라인먼트부의 위치가 교정된 후, 얼라인먼트 조정이 고정밀도로 행해지고 묘화 처리가 행해질 수 있다.
본 발명의 제 3 양상은 얼라인먼트부의 교정 방법이다. 이 교정 방법은 긴 가요성 기록 매체의 반송 장치에서의 얼라인먼트부의 교정 방법이고, 가요성 기록 매체가 반송 경로에 세트된 상태에서, 얼라인먼트부, 및 반송 경로보다 얼라인먼트부로 더 향하는 위치에 배치된 교정 부재를 상대 이동시켜 얼라인먼트부 및 교정 부재의 위치를 서로 대응시키는 단계; 및 교정 부재를 사용하여 얼라인먼트부의 위치 교정을 행하는 단계를 포함한다.
본 발명의 제 4 양상은 반송 장치이다. 이 반송 장치는 긴 가요성 기록 매체의 반송 장치이고, 일정한 반송 방향으로 가요성 기록 매체를 반송하는 반송부; 얼라인먼트가 행해지고 가요성 기록 매체가 반송부에 의해 반송되는 반송 경로에 설정된 영역의 위치에서 검출을 행할 수 있도록 배치된 얼라인먼트부; 반송 경로보다 얼라인먼트부로 더 향하는 위치에 배치된 교정 부재; 및 얼라인먼트부가 교정 부재를 검출하는 상태에 세트되도록 얼라인먼트부 및 교정 부재를 상대 이동시키는 상대 이동 기구를 갖는다.
도 1은 본 발명의 실시예에 관한 묘화 장치의 주요부의 개략적 구조를 도시하는 사시도이며;
도 2는 본 발명의 실시예에 관한 묘화 장치의 주요부의 개략적 구조를 도시하는 정면도이며;
도 3은 본 발명의 실시예에 관한 묘화 장치의 검출용 유닛이 구비된 주사용 반송부가 얼라인먼트 카메라 교정용의 위치로 이동된 상태를 도시하는 주요부의 개략 구조도이며;
도 4는 본 발명의 실시예에 관한 묘화 장치의 검출용 유닛이 구비된 주사용 반송부가 빔 위치 검출용의 위치로 이동된 상태를 도시하는 주요부의 개략 구조도 이며;
도 5는 본 발명의 실시예에 관한 묘화 장치의 검출용 유닛이 구비된 주사용 반송부가 노광면 파워 교정용의 위치로 이동된 상태를 도시하는 주요부의 개략 구조도이며;
도 6은 본 발명의 실시예에 관한 묘화 장치에서 노광 처리부의 반송 경로 부분에 무한 벨트용의 가이드가 구비된 구조 예를 도시하는 주요부의 개략 확대 구성도이고;
도 7은 본 발명의 실시예에 관한 묘화 장치에 노광 처리되는 플렉시블 프린트 배선 기판재의 예를 도시하는 주요부의 평면도이다.
본 발명의 묘화 장치에 관한 실시예는 도 1 내지 도 7을 참조하여 설명될 것이다.
본 발명의 실시예에 관한 묘화 장치는 제어 유닛이 자동 제어되어, 긴 스트립상의 시트로 형성된 가요성 기록 매체인 플렉시블 프린트 배선 기판재를 주사 방향으로 이동시키면서, 제어 유닛에서 화상 데이터로부터 생성된 변조 신호를 기초로 광원으로부터 출사된 멀티빔을 공간적으로 변조하여, 플렉시블 프린트 배선 기판재상에 공간 변조된 멀티빔을 조사함으로써 노광 처리를 행하는 플렉시블 프린트 배선 기판 노광 장치로 구성된다.
도 1에 도시된 바와 같이, 이 묘화 장치에서는 플로어 베이스(10)의 중앙부에 노광 처리부(12)가 배치된다. 노광 처리부(12)의 일측부(도 1에서 좌측부)에 비 노광 기록 매체 공급부(14)가 배치된다. 노광 처리부(12)의 타측부(도 1에서 우측부)에 노광 기록 매체 수집부(16)가 배치된다.
노광 처리부(12)에는 플로어 베이스(10)상에 배치된 제진 기능을 갖는 장치 스탠드(18)의 평면상에 리니어 이동 기구(20)를 통해 기판 반송부(22)가 장착된다.
리니어 이동 기구(20)는 제진 기능을 갖는 장치 스탠드(18)의 상평면부 및 기판 반송부(22)가 장착된 이동 테이블(21) 사이에 리니어 모터 또는 다른 공급 수단이 장착되어 구성된다.
리니어 이동 기구(20)가 예컨대 리니어 모터로 구성될 때, 도시되지 않은 로드상의 고정자부(자석부)는 제진 기능을 갖는 장치 스탠드(18)에 반송 방향을 따라 구비된다. 이동 테이블(21)의 하면 측에 배치된 코일부(도시되지 않음)가 구비된다. 리니어 모터는 고정자부의 자계 및 코일부로의 통전에 의해 발생되는 자계의 작용에 의한 구동력으로 반송 방향으로 이동 테이블(21)을 이동시킨다.
리니어 모터는 기판 반송부(22)의 반송 동작에서의 정속성, 위치 정밀도, 시동 또는 정지시의 토크 변동 등을 전기적인 제어에 의해 고정밀도로 구동 제어할 수 있다.
플렉시블 프린트 배선 기판재(28)의 반송 방향으로 상류 또는 하류에 전체 기판 반송부(22)를 이동시키는 리니어 이동 기구(20)에 의해, 기판 반송부(22)는 도 1 및 도 2에 도시된 노광 처리 위치에서 도 3에 도시된 얼라인먼트 카메라 교정용의 위치, 또는 도 4에 도시된 빔 위치 검출용의 위치 또는 도 5에 도시된 노광면 파워 교정용의 위치로 이동할 수 있다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 기판 반송부(22)는 이하와 같이 구성된다. 기판 두께 조정용 Z 스테이지(24)는 이동 테이블(21)상에 설치된다. 검출용 유닛이 구비된 주사용 반송부(26)는 기판 두께 조정용 Z 스테이지상에 설치된다.
기록 매체 노광면의 높이부를 조정하기 위해서, 기판 두께 교정용 Z 스테이지(24)는 경사면을 사용한 미세 이동 조정 기구로 높이 방향(Z축 방향)으로, 검출용 유닛이 구비된 주사용 전체 반송부(26)를 평행하게 이동시킬 수 있도록 구성된다.
도 2에 도시된 바와 같이, 긴 스트립상 가요성 기록 매체인 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)를 반송하기 위해서, 검출용 유닛이 구비된 주사용 반송부(26)에 벨트 반송 기구가 장착된다. 이 벨트 반송 기구는 반송 방향 상류측에 배치된 닙 롤러 쌍(30), 반송 방향 하류측에 배치된 닙 구동 롤러 쌍(32), 및 그 사이에 트레인된 무한 벨트(33)로 구성된다.
닙 구동 롤러 쌍(32)은 무한 벨트(33)를 통해 구동 롤러(32A)의 외주면을 회전 접촉하는 복수(여기서는 2개)의 닙 롤러(32B)로 구성된다. 구동 롤러(32A) 및 닙 롤러(32B) 사이에는 무한 벨트(33)를 통해 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)가 니핑된다. 구동 롤러(32A)를 회전시킴으로써 무한 벨트(33) 및 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)가 미끄러짐 발생 없이 반송된다.
구동 모터(34)에서 출력되어 감속 기구(36)에서 감속된 소정 회전수의 회전 구동력은 벨트 전송 기구에 의해 구동 롤러(32A)로 전달된다. 이와 같이, 닙 구동 롤러 쌍(32)은 소정 주사 속도로 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)를 반송한다.
검출용 유닛이 구비된 주사용 반송부(26)에 배치된 닙 롤러 쌍(30)은 두 롤러가 무한 벨트(33)를 통해 서로 회전 접촉되어 구성된다. 그러므로, 닙 롤러 쌍(30)의 닙 롤러와 회전하는 닙 롤러 쌍(30) 사이에서 무한 벨트(33)를 통해 니핑된 상태로 유지된 플렉시블 프린트 배선 기판재(28) 때문에, 무한 벨트(33) 및 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)가 송출된다.
예컨대, 도 6에 도시된 바와 같이, 다수의 원형 관통 구멍인 흡착용 구멍(33A)은 균일하게 분배되도록 무한 벨트(33)에 형성되어 있다.
검출용 유닛이 구비된 주사용 반송부(26)에는 흡인 박스(35)가 구비된다. 흡인 박스(35)는 흡인 수단을 구성하고, 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)를 위치시키기 위한 반송 경로를 따라 배치된 무한 벨트(33)의 상부 스트레칭부의 반대측에 인접한다.
흡인 박스(35)는 후술되는 얼라인먼트 유닛(46)과 노광 헤드 유닛(48) 바로 아래의 위치인 얼라인먼트를 향하는 영역과 노광 영역을 포함하는 소정 범위에 걸쳐 배치된다.
흡인 수단을 구성하는 흡인 박스(35)는 덮개 없이 직사각형 상자상으로 형성된다. 무한 벨트(33)의 상부 스트레칭부의 반대측에 인접하여 배치된 흡인 박스(35) 때문에, 무한 벨트(33) 및 흡인 박스(35)로 둘러싸여진 흡인용 반 밀폐 공간이 형성된다.
흡인 수단에서는 블로어(37)로부터 인출된 흡인 튜브의 선단부(도시되지 않음)가 흡인 박스(35)에 연결된다. 흡인 수단을 구조하는 블로어(37)는 무한 벨 트(33) 및 흡인 박스(35)로 둘러싸여진 반 밀폐 공간 내에 있는 공기를 흡기하고, 무한 벨트(33)의 흡착용 구멍(33A)으로부터 공기를 흡기한다. 이 작용에 의해, 무한 벨트(33)의 표면에 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)를 흡착하는 동작을 행하는 것이 가능하다.
이와 같이 구성된 검출용 유닛이 구비된 주사용 반송부(26)에서, 블로어(37)를 구동하여 무한 벨트(33) 및 흡인 박스(35)로 둘러싸여진 반 밀폐 공간 내의 공기를 흡기함으로써 무한 벨트(33)의 각 흡착용 구멍(33A)으로부터 흡기되는 부압에 의해, 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)의 부분에 있어서의 닙 롤러 쌍(30)에서 노광 처리부(12)의 반송 경로로 반송된 부분이 무한 벨트(33)에 흡착된다. 이 상태에서, 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)가 무한 벨트(33)와 일체적으로 반송되어 닙 구동 롤러 쌍(32)에서 반출된다.
이와 같이 닙 롤러 쌍(30)에서 닙 구동 롤러 쌍(32)으로 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)가 반송되는 동안, 무한 벨트(32)에 흡착된 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)의 상태가 유지되고, 일정한 반송 방향으로 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)가 연속적으로 반송된다. 따라서, 검출용 유닛이 구비된 주사용 반송부(26)에서는 무한 벨트(33)상에 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)가 위치되고, 무한 벨트(33)가 연속적으로 구동되면서 노광 처리가 행해질 수 있다. 그러므로, 노광 처리를 계속 행하는 동작은 항상 가능하다. 이것은 노광 처리의 생산성 증가와 관련된다.
게다가, 검출용 유닛이 구비된 주사용 반송부(26)에서는 무한 벨트에 밀착하 면서, 고평면성을 갖는 무한 벨트(33)를 따라 움직이도록 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)가 만들어진다. 그러므로, 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)를 레이저 노광하는 노광 헤드 유닛(48)으로부터의 초점 거리는 일정하게 유지될 수 있다.
특히, 무한 벨트(33)가 패브릭 벨트가 아닌 금속 벨트로 구성된 경우에, 무한 벨트에 큰 장력이 가해질 때, 훨씬 큰 고평면성을 얻을 수 있도록 무한 벨트(33)가 구성되면, 무한 벨트(33)상에 흡착된 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)의 평면성도 증가한다. 그러므로, 노광 헤드 유닛(48)으로부터의 초점 거리는 보다 고정밀도로 일정하게 유지된다.
플렉시블 프린트 배선 기판재(28)가 무한 벨트(33)를 따라 이동되게 하고 연속적인 평면을 설정한 반송 경로상에서 연속해서 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)를 노광하는 구성에 의하면, 예컨대, 2차원 공간 변조 요소(DMD)에 의해 2차원 패턴을 조사하는 소위 평면 노광 처리를 행하는 경우에, 노광 영역이 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)를 공급하는 방향으로 그 폭을 가지지만, 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)의 평면성이 높다. 그러므로, 초점 거리가 노광 영역 내의 기판 공급 방향으로 변하지 않도록 할 수 있고, 좋은 화상이 얻어질 수 있다.
게다가, 검출용 유닛이 구비된 주사용 반송부(26)의 반송 경로상에서는 무한 벨트(33)에 흡착되는 플렉시블 프린트 배선 기판재(28) 때문에, 좋은 평면성이 보장될 수 있다. 그러므로, 반송 방향으로 인장되는 장력이 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)에 가해지지 않고, 장력 때문에 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)가 신축변형되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 이와 같이 구성된 검출용 유닛이 구비된 주사용 반송부(26)에서는 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)가 장력에 의해 탄성적으로 신축 변형된 상태에서 노광 처리된 후 가해진 장력이 개방되어 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)가 원래의 형상으로 복귀된 때 노광된 화상이 오프셋되는 것(소위 노광 위치 오프셋)을 방지할 수 있다.
이 묘화 장치에서, 블로어(37)의 배기가 정밀 공조기(39)를 통과하여 먼지가 그곳으로부터 제거된 후, 묘화 장치가 설치된 클린룸에서 재순환된다. 이 때문에, 일단부가 블로어(37)의 배기 출구에 연결된 배기 파이프(41)의 타단부가 정밀 공조기(39)의 흡기구 측에 연결된다.
이러한 구성에 의하면, 무한 벨트(33)에 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)를 흡인하기 위해서 흡인 박스(35)로부터 블로어(37)가 흡인한 공기는 배기 파이프(41)를 통과하여 정밀 공조기(39)에서 회생된다. 도시되지 않았지만, 소위 HEPA 필터에 의해 정밀 공조기(39)는 블로어(37)로부터 공급된 공기나 묘화 장치의 하우징 내부로부터 흡기된 공기를 정화하고, 클린룸 내에서 그것을 순환시킨다.
블로어(37)로부터 공급된 대량의 공기가 클린룸의 외부로 배기될 때, 신선하고 청정 공기를 클린룸 내로 공급하는 공조 능력이 커져야 하고 비용이 증가한다. 그러나, 상술한 구조에서는 그 문제가 방지될 수 있고, 또한, 클린룸 내로 블로어(37)의 배기가스가 그대로 배기되면 블로어(37)로부터의 먼지가 클린룸을 오염시키는 것을 방지할 수 있다.
게다가, 검출용 유닛이 구비된 주사용 반송부(26)의 반송 경로에는 닙 롤러 쌍(30)의 상류측에 가이드 롤러(38)가 배치되고, 닙 구동 롤러 쌍(32)의 하류측에 가이드 롤러(40)가 배치된다.
도 2에 도시된 바와 같이, 검출용 유닛이 구비된 주사용 반송부(26)에서의 닙 롤러 쌍(30)의 외측, 검출용 유닛이 구비된 주사용 반송부(26) 내에 설정된 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)의 노광을 위한 반송 경로에 대한 반송 방향 상류측의 연장선상의 소정 위치(예컨대, 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)에 형성된 포토그래프 얼라인먼트 마크(M)의 평면과 동일한 평면, 검출용 유닛이 구비된 주사용 반송부(26) 내에 노광을 위한 반송 경로)에 교정 부재인 교정 스케일(42)이 배치된다.
게다가, 검출용 유닛이 구비된 주사용 반송부(26)에서의 닙 구동 롤러 쌍(32)의 외측, 검출용 유닛이 구비된 주사용 반송부(26) 내에 설정된 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)의 노광용 반송 경로의 반송 방향 하류측의 연장선상의 소정 위치(예컨대, 검출용 유닛이 구비된 주사용 반송부(26) 내에 노광용 반송 경로에 노광 영역의 노광의 평면과 동일한 평면)에 빔 위치 검출 장치(44) 및 노광면 파워 교정 장치(45)가 배치된다.
즉, 묘화 장치에서는 얼라인먼트부인 얼라인먼트 유닛의 카메라부(52)는 검출용 유닛이 구비된 주사용 반송부(26)에 대하여 상대적으로 이동한다. 검출용 유닛이 구비된 주사용 반송부(26)에 설정된 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)의 노광용 반송 경로상에 있어서의 얼라인먼트가 행해진 영역의 위치에 카메라부(52)가 세트된다. 검출용 유닛이 구비된 주사용 반송부(26)에 구비된 교정 부재인 교정 스케일(42)의 위치에 카메라부(52)가 세트된다.
묘화 장치에서는 카메라부(52) 및 노광용 반송 경로상에서 얼라인먼트가 행해진 영역이 서로 대응하고 카메라부(52) 및 교정 부재인 교정 스케일(42)이 서로 대응하도록 상대 이동을 행할 수 있는 상대 이동 기구가 사용되면 어떤 형태에 의해 상대 이동을 이루는 것을 충족한다. 예컨대, 도 1 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 카메라부(52)를 고정하고 상대 이동 기구인 리니어 이동 기구(30)에 의해 검출용 유닛이 구비된 주사용 반송부(26)를 이동시키는 구성이 가능하다. 또는, 검출용 유닛이 구비된 주사용 반송부(26)를 고정해서 얼라인먼트를 행하는 영역의 위치 및 교정 스케일의 위치를 부동으로 하고, 얼라인먼트 마크(M) 포토그래프 위치 및 교정 스케일(42) 포토그래프 위치 사이에서 상대 이동 기구(도시되지 않음)에 의해 카메라부(52)를 이동시킬 수 있는 구성이 사용될 수 있다.
게다가, 묘화 장치에서는 노광 헤드 유닛(48)의 각 헤드 어셈블리(54) 및 빔 위치 검출 장치(44)가 서로 대응하고 각 헤드 어셈블리(54) 및 노광면 파워 측정 장치(45)가 서로 대응하도록 상대 이동이 가능하면 어느 타입의 상대 이동 기구를 사용하고, 또한, 어느 타입의 형태에 의해 상대 이동을 이루는 것을 충족한다. 예컨대, 도 1 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 노광 헤드 유닛(48)의 각 헤드 어셈블리(54)를 고정해서 빔 위치 검출 장치(44)를 노광 위치로 이동시키고 노광면 파워 교정 장치(45)가 설치된 주사용 반송부(26)를 노광 위치로 이동시키는 구성이 가능하다. 또는, 빔 위치 검출 장치(44) 및 노광면 파워 교정 장치(45)가 설치된 주사용 반송부(26)를 고정하여 부동으로 하고, 노광 헤드 유닛(48)의 각 헤드 어셈블리(54)를 이동시키는 구성이 사용될 수 있다.
즉, 묘화 장치에서, 기판 반송부(22)를 이동시키는 상대 이동 기구 역할을 하는 리니어 이동 기구(20)는 각 소정 위치로 교정 스케일(42), 빔 위치 검출 장치(44), 및 노광면 파워 교정 장치(45)를 이동시키는 수단을 구성한다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 노광 처리부(12)에는 상기 기판 반송부(22)에서 반송 방향 상류측에 얼라인먼트부인 얼라인먼트 유닛이 배치되고, 반송 방향 하류측에 묘화 유닛 역할을 하는 노광 헤드 유닛(48)이 배치된다.
얼라인먼트부인 얼라인먼트 유닛(46)은 도시되지 않지만, 묘화 장치 등의 하우징과 같은 고정 구조에 베이스부(50)를 장착하여 설치된다. 평행한 레일 쌍(도시되지 않음)이 베이스부(50)에 구비된다. 볼 스크루 기구에 의해 이동된 카메라 베이스를 통해 복수(본 실시예에서 4개)의 카메라부(52)가 레일부에 장착되어, 카메라부(52)는 렌즈부의 광축이 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)의 횡단 방향으로 원하는 위치를 맞추도록 이동할 수 있다.
도시되지 않지만, 각 카메라부(52)에서, 카메라 본체의 하면에 렌즈부가 구비되고, 렌즈부의 돌출 선단부에 링상 플래쉬 광원(LED 플래쉬 광원)이 장착된다. 카메라부(52)에서, 플래쉬 광원으로부터의 광이 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)로 조사되며, 그 반사광은 렌즈부를 통해 카메라 본체에서 촬상되어 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)의 단부 또는 마크(M){도 7에 도시됨} 등이 검출된다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 묘화 유닛 역할을 하고 노광 처리부(12)에 배치되는 노광 헤드 유닛(48)은 도시되지 않지만, 반송되고 있는 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)의 횡단 방향 양단부의 외측에 직립한 지주에 장착되도록 설치 된다.
묘화 유닛 역할을 하는 노광 헤드 유닛(48)은 레이저 노광 장치로서 구성된다. m행 및 n열(본 실시예에서, 2행 4열로 합계 8개)의 대략 매트릭스 형태로 복수의 헤드 어셈블리(54)가 배치된다. 복수 헤드 어셈블리(54)의 행이 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)의 횡단 방향(반송 방향에 직교하는 방향이고, 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)의 반송 방향인 주사 방향에 직교하는 방향에 대응함)을 따라 이동하도록 배치된다.
도 1에 도시된 바와 같이, 묘화 장치 본체 내에 광원 유닛(56)이 배치된다. 도시되지 않지만, 광원 유닛(56)은 복수의 레이저(반도체 레이저) 광원을 수용한다. 각 레이저 광원으로부터 출사되는 광빔은 광섬유에 의해 각각 대응하는 헤드 어셈블리(54)로 도입된다.
각 헤드 어셈블리(54)는 공간 광 변조기인 디지털 마이크로미러 디바이스(DMD){도시되지 않음}에 의해 그곳에 도입된 광빔이 변조된 후에, 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)상으로 자동 초점 기구에 의해 광빔이 초점이 맞춰지고 2차원 패턴을 조사하도록[예컨대, 헤드 어셈블리(54)는 소위 평면 노광 처리를 행함] 구성된다.
각 헤드 어셈블리(54)의 디지털 마이크로미러 디바이스(DMD)는 제어 유닛(58)의 이미지 처리부에서 이미지 데이터를 기초로 도트 단위로 제어되고, 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)에 도트 패턴을 노광한다.
묘화 유닛 역할을 하는 노광 헤드 유닛(48) 일정한 속도로 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)를 반송하면서, 소정 타이밍으로 각 헤드 어셈블리(54)로부터 조사되는 복수의 광빔을 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)로 조사하여 노광 처리를 행한다. 노광 시에, 초점이 자동 초점 기구에 의해 교정된 후, 각 헤드 어셈블리(54)는 노광을 행한다. 그러므로, 이 시점에 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)의 높이 위치에서 다소의 변화가 있지만, 적절한 노광 처리가 행해질 수 있다.
도시되지 않지만, 노광 헤드 유닛(48)에서, 하나의 헤드 어셈블리(54)에 의해 노광된 노광 영역은 주사 방향에 대하여 소정의 경사각으로 경사지고 단변이 주사 방향을 따라 이동하는 직사각형 영역이다. 주사 방향으로 반송된 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)상에 각 헤드 어셈블리(54)에 의해 스트립상의 노광된 영역을 형성한다.
노광 헤드 유닛(48)은 주사 방향에 대하여 소정의 경사각으로 경사진 노광 영역에 노광을 행한다. 그러므로, 노광된 2차원으로 배열된 도트 패턴은 주사 방향에 대하여 경사져 있기 때문에, 주사 방향으로 얼라인먼트된 각 도트는 주사 방향을 교차하는 방향으로 라인업된 도트 사이를 통과해서, 도트 사이의 실질적 피치가 좁아지므로 고해상도화가 달성될 수 있다.
게다가, 묘화 장치에서, 오프셋이 노광 헤드 유닛(48) 및 반송되는 플렉시블 프린트 배선 기판재(28) 사이의 상대적 위치 관계에서 일어날 때, 카메라부(52)는 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)에 구비된 마크(M) 등을 촬영하며, 플렉시블 프린트 배선 기판재(28) 및 노광 헤드 유닛(48)의 위치에서 오프셋의 양을 검출하고, 노광 헤드 유닛(48)에 의해 노광 처리를 보정하여, 적절한 노광 처리가 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)에 대하여 행해질 수 있다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 묘화 장치에서는 노광 처리부(12)에 설정된 반송 경로상에서 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)를 반송하면서, 계속 노광 처리를 행하기 위해서, 노광 처리부(12)의 반송 경로의 상류측에 연결된 비노광 기록 매체 공급부(14)가 구비되고, 노광 처리부(12)의 반송 경로의 하류측에 연결된 노광된 기록 매체 수집부(16)가 구비된다.
비노광 기록 매체 공급부(14)는 비노광 긴 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)가 롤상으로 감겨진 공급 릴(60) 및 구동 유닛(64)에 장착된 스페이서 테이프 테이크업 릴(62)로 구성된다.
비노광 기록 매체 공급부(14)는 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)가 무한 벨트(33)를 따라 세트되고 평면적으로 밀착되어 반송될 수 있게 하는 장력 설정 수단인 댄서 롤러 기구를 통해 노광 처리부(12)의 기록 매체 반송 경로의 입구에 공급 릴(60)로부터 인출된 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)를 반송하도록 구성된다.
도시되지 않지만, 공급 릴(60) 및 노광 처리부(12)의 기록 매체 반송 경로의 입구 사이에 반송 속도의 차이를 조정하는 제 1 댄서 롤러 기구가 구비될 수 있고, 장력 설정 수단인 제 2 댄서 롤러 기구는 클린 롤러를 통해 배치될 수 있다.
댄서 롤러 기구는 예컨대, 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)가 비노광 기록 매체 공급부(14)의 출구 측 롤러(66) 및 노광 처리부(12)의 입구 가이드 롤러(38) 사이의 U자상으로 슬랙된 부분에서 댄서 롤러(68)를 회전시키도록 배치되어 구성된다. 이 댄서 롤러 기구는 공기에 의해 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)를 흡인하 도록 구성된 소위 공기 댄서로 대체될 수 있다. 또한, 장력 설정 수단인 제 2 댄서 롤러 기구는 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)가 무한 벨트(33)를 평면적으로 밀착시키는데 필요한 상대적으로 약한 장력을 가하도록 구성된다.
이와 같이 구성된 비노광 기록 매체 공급부(14)는 공급 릴(60)을 회전시켜 구동시키는 구동 유닛(64)에 의해 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)를 인출하고 무한 벨트(33) 및 노광 처리부(12)의 닙 롤러 쌍(30) 사이에서, 댄서 롤러 기구을 통해 그것을 반입하고, 반송 경로상의 무한 벨트(33)상에서 슬라이딩되지 않도록 연속적으로 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)를 공급한다.
공급 릴(60)에서, 스페이서 테이프(61)는 감겨진 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)의 층 사이에 니핑되어 감겨져서, 층은 서로 직접 접촉하지 않는다. 그러므로, 비노광 기록 매체 공급부(14)에서, 스페이서 테이프 테이크업 릴(62)은 구동 유닛(64)에 의해 회전 구동되어 반출되는 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)와 함께 연장되어 있는 스페이서 테이프(61)가 스페이서 테이프 테이크업 릴(62)에 테이크업된다.
노광된 기록 매체 수집부(16)는 노광된 긴 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)를 테이크업한 테이크업 릴(70) 및 스페이서 테이프 공급 릴(72)이 구동 유닛(74)에 장착되어 구성된다.
노광된 기록 매체 수집부(16)에서, 노광 처리부(12)로부터 반출된 노광된 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)는 장력 설정 수단 역할을 하고 노광 처리부(12)의 기록 매체 반송 경로의 출구에 연결된 댄서 롤러 기구을 통해 테이크업 릴(70)에 테이크업된다.
댄서 롤러 기구는 예컨대, 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)가 노광 처리부(12)의 출구 가이드 롤러(40)의 반송 방향 하류측에 배치된 홀딩 롤러(76) 및 노광된 기록 매체 수집부(16)의 입구 측 롤러(78) 사이에 U자상으로 슬랙된 부분에서 댄서 롤러(68)를 회전시키도록 배치되어 구성된다.
노광 기록 매체 수집부(16)에서, 입구 측 롤러(78) 및 테이크업 릴(70) 사이에 닙 롤러 쌍(80)이 배치된다. 테이크업 릴(70)에 의해 테이크업되도록 당겨진 노광된 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)에 의해 작용하는 장력은 닙 롤러 쌍(80)에서 흡수되고, 장력은 노광된 기록 매체 수집부(16)의 반송 경로 상류측에 배치된 댄서 롤러 기구로 전달되지 않는다.
이와 같이 구성된 노광된 기록 매체 수집부(16)는 테이크업 릴(70)을 회전시키고 구동시키는 구동 유닛(74)에 의해 댄서 롤러 기구를 통해 노광 처리부(12)로부터 송출된 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)가 계속 테이크업되어 수집되도록 구성된다.
노광된 기록 매체 수집부(16)에서, 테이크업 릴(70)에 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)를 테이크업할 시에, 스페이스 테이프(61)는 감긴면 사이에 니핑되어 감겨져서 공급 릴(60)에 감긴 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)의 층이 서로 직접 접촉하지 않는다. 따라서, 노광 기록 매체 수집부(16)에서, 스페이서 테이프 공급 릴(72)로부터 스페이서 테이프(61)를 인출하기 위해 구동 유닛(74)으로 스페이서 테이프 공급 릴(72)이 회전되어, 반송된 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)를 따라 이동하면서 스페이서 테이프(61)가 감길 수 있다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상술한 구성의 묘화 장치에서, 노광 처리부(12)의 노광용 반송 경로의 닙 구동 롤러 쌍(32) 및 닙 롤러 쌍(30) 사이에 벨트 반송 기구가 구비된다.
노광 처리부(12)의 노광용 반송 경로에서, 통합적으로 무한 벨트(33) 표면에 흡인된 상태에서, 구동되는 블로어(37), 무한 벨트(33) 및 무한 벨트(33)의 흡착용 구멍(33A)에서 흡인되는 흡인 박스(35)에 의해 둘러싼 반 밀폐 공간 내의 공기의 이동에 의해, 이 벨트 반송 기구의 무한 벨트(33)에 반송된 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)의 부분이 닙 구동 롤러 쌍(32)의 회전 구동력에 의해 소정 속도로 주 운동 방향(주 주사 방향)으로 반송되는 동안 노광 헤드 유닛(48)에 의해 노광 처리가 행해진다.
노광 처리부(12)에서 노광 처리가 행해질 때, 노광용 반송 경로에 얼라인먼트 유닛(46) 아래에 대응하는 위치 및 노광 헤드 유닛(48) 아래에 대응하는 위치에서 무한 벨트(33)로 평면적으로 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)가 지지된다. 노광 처리부(12)의 노광용 반송 경로에 스트레칭된 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)가 반송 방향 상류측에 배치된 댄서 롤러 기구 및 반송 방향 하류측에 배치된 댄서 롤러 기구에 의해 소정 장력의 작용으로 무한 벨트(33)에 느슨하지 않고 안정적으로 유지된다.
따라서, 노광 헤드 유닛(48)의 각 헤드 어셈블리(54)에 의해 노광 처리부(12)는 무한 벨트(33)에 평면적으로 유지된 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)의 표면에 2차원 패턴으로 정확하게 노광 처리를 행할 수 있다.
게다가, 노광 처리부(12)에서, 주 운동 방향으로 일정한 속도로 반송된 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)에 노광 헤드 유닛(48)에 의해 계속 노광 처리가 행해질 수 있다. 그러므로, 노광 헤드 유닛(48) 바로 아래에 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)를 반복적으로 동작시키는 동작을 제거할 수 있고, 노광 처리를 신속하고 간소화된 방법으로 행함으로 동작의 효율를 개선할 수 있다.
또한, 묘화 장치에서, 마크(M)의 위치 데이터 또는 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)를 촬상하는 얼라인먼트 유닛(46)에 의해 얻어진 단부를 기초로, 제어 유닛(58)은 노광 헤드 유닛(48)에 의해 노광 처리시를 위한 노광 기점 및 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)의 횡단 방향으로 도트의 이동 부분에 관한 보정 계수를 결정한다. 이후, 보정 계수를 기초로, 노광 헤드 유닛(48)의 각 헤드 어셈블리(54)로 2차원 묘화 패턴 또는 화상 기록 기점 등과 같은 요인을 보정하고 노광 처리를 행하도록 제어 유닛(58)이 제어를 행해서, 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)에 노광된 화상의 부분이 적절한 위치로 보정된다.
묘화 장치의 노광 처리부(12)에서, 얼라인먼트 유닛(46) 바로 아래에 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)의 검출 대상인 부분 및 노광 헤드 유닛(48) 바로 아래에 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)의 검출 대상인 부분, 양측은 동일한 장력을 받고 주 동작 방향(주 주사 방향)에서 동일한 속도로 반송된다. 그러므로, 얼라인먼트 유닛(46)의 검출 결과가 에러 없이 노광 헤드 유닛(48)에 사용될 수 있기 때문에, 노광 처리의 정밀도는 훨씬 더 개선될 수 있다.
이후, 묘화 장치에 사용된 얼라인먼트 유닛(46)의 교정 처리가 설명될 것이다. 묘화 장치에서, 플렉시블 프린트 배선 기판재(28) 및 노광 헤드 유닛(48) 사이에 상대적 위치 관계를 정확하게 조정하도록 얼라인먼트 유닛(46)으로 얼라인먼트가 행해진다.
묘화 장치의 얼라인먼트 처리에서, 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)의 크기 데이터가 입력된 크기 데이터를 기초로 입력 영역(도시되지 않음)에 입력될 때, 얼라인먼트 유닛(46)의 카메라부(52)의 위치가 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)의 횡단 방향 위치를 맞추도록 이동되어 조정된다.
묘화 장치에서, 주 주사 방향으로 이동하는 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)의 길이 방향으로 소정 범위가 각 카메라부(52)에 의해 촬영되며, 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)에 노광 위치 검출에 앞서 형성된 마크(M)가 검출되며, 마크(M)가 각 카메라부(52)의 기준 위치와 비교되고 노광용 보정 데이터가 발생된다. 이 보정 데이터를 기초로, 예컨대, 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)의 노광 기점이 노광 헤드 유닛(48)의 노광 빔 조명 위치에 도달할 시에 목표 됨으로써, 펄스 카운터(도시되지 않음)를 사용하여 노광 처리 동작이 행해진다.
게다가, 묘화 장치에서, 적절한 얼라인먼트를 위한 목표를 정하기 위해서, 얼라인먼트용 카메라부(52)의 위치 교정이 행해진다. 이 얼라인먼트용 카메라부(52)의 위치 교정에서, 교정 스케일(42)을 사용하여 위치 교정이 행해진다.
이 때문에, 묘화 장치에서, 리니어 이동 기구(20)가 구동되어, 전체 기판 반송부(22){이동 테이블(21), 기판 두께 교정용 Z 스테이지(24), 닙 롤러 쌍(30) 및 닙 구동 롤러 쌍(32)을 제공하고 교정 스케일(42)을 제공하는 주사용 반송부(26)}이 도 2에 도시된 노광 대기 위치에서 도 2의 오른쪽을 향하여 이동되고 도 3에 도시된 얼라인먼트 카메라 교정용 위치에 설치된다.
예컨대, 묘화 장치에서, 교정 스케일(42)이 설치되고 기판 반송부(22)에 배치된 주사용 반송부(26)가 기판 반송부(22)를 이동하는 리니어 이동 기구(20)에 의해 이동되어, 교정 스케일(42)은 카메라부(52)와 일치한다.
도 3에 도시된 얼라인먼트 카메라 교정용 위치에서, 그곳에 대응하는 각 카메라부(52) 및 교정 스케일(42)은 서로 마주한 상태에 있다. 이 상태에서, 지정된 얼라인먼트 마크(M)의 횡단 위치 정보를 기초로, 얼라인먼트용 카메라부(52)는 기재의 횡단 방향으로 이동된다.
묘화 장치는 교정 스케일이 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)의 반송 경로보다 더 카메라부(52) 측으로 배치되도록 구성된다. 그러므로, 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)가 검출용 유닛이 구비된 주사용 반송부(26)의 반송 경로에 반송된 상태에서 얼라인먼트용 카메라부(52)의 위치 교정이 행해질 수 있다. 예컨대, 묘화 장치에서, 검출용 유닛이 구비된 주사용 반송부(26)의 반송 경로에서 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)를 제거하지 않고 얼라인먼트용 카메라부(52)의 위치 교정이 행해질 수 있다.
묘화 장치에서, 교정 스케일(42)이 얼라인먼트를 위해 카메라부(42)에 의해 촬영되고 교정 스케일(42) 및 카메라부(52) 사이에 위치 관계가 교정 스케일(42)의 패턴이 촬영된 위치에서 교정된다.
묘화 장치에서, 얼라인먼트 카메라 교정 동작이 완성된 후에, 리니어 이동 기구(20)가 구동되고 전체 기판 반송부(22)이 도 3에 도시된 얼라인먼트 카메라 교정용 위치에서 도 2에 도시된 노광 대기 위치로 복귀된다.
이후, 묘화 장치에서 사용되고 각 헤드 어셈블리(54)의 노광 위치 및 노광 영역 내에 파워 분배와 관련된 교정 수단의 설명이 주어질 것이다.
묘화 장치에서, 먼저 각 헤드 어셈블리(54)의 빔 위치를 측정하기 위해서, 검출용 유닛이 구비된 주사용 반송부(26)가 도 2에 도시된 노광 대기 위치에서 각 헤드 어셈블리(54) 및 거기에 대응하는 빔 위치 검출 장치(44)가 서로 마주해 있는 도 4에 도시된 빔 위치 검출 위치에 도면의 왼쪽을 향하여 이동된다.
묘화 장치에서, 상술한 카메라부(52)에 교정 스케일(42)을 이동할 시에 동일한 방법으로, 기판 반송부(22)의 검출용 유닛이 구비된 주사용 반송부(26)에 설치된 빔 위치 검출 장치(44)가 기판 반송부(22)를 이동하는 리니어 이동 기구(20)에 의해 각 헤드 어셈블리(54)와 일치하도록 이동된다.
그리고, 각 헤드 어셈블리(54)의 빔 위치는 빔 위치 검출 장치(44)에 의해 측정되고, 헤드 어셈블리(54)의 노광 위치가 교정된다.
그 다음, 묘화 장치에서, 각 어셈블리(54)의 노광 영역 내에 파워 분배를 측정하기 위해서, 검출용 유닛이 구비된 주사용 반송부(26)는 도 4에 도시된 빔 위치 검출 위치에서 헤드 어셈블리(54) 및 거기에 대응하는 노광면 파워 측정 장치(45)가 서로에 마주한 노광면 파워 교정 위치의 도면의 왼쪽을 향하여 이동된다.
묘화 장치에서, 상술한 카메라부(52)로 교정 스케일(42)을 이동할 시에 동일 한 방법으로 기판 반송부(22)의 검출용 유닛이 구비된 주사용 반송부(26)에 설치된 노광면 파워 교정 장치(45)는 기판 반송부(22)를 이동하는 리니어 이동 기구(20)에 의해 각 헤드 어셈블리(54)와 일치하도록 이동된다.
그리고, 각 헤드 어셈블리(54)의 노광 영역 내에 전력 분배는 대응하는 노광면 전력 측정 장치(45)에 의해 측정되며, 모든 노광 영역에서 파워가 교정되고 적절한 2차원 패턴의 묘화가 행해질 수 있다.
묘화 장치는 빔 위치 검출 장치(44) 및 노광면 파워 측정 장치(45)가 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)의 반송 경로보다 노광 헤드 유닛(48)을 더 향해 배치되도록 구성된다. 그러므로, 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)가 검출용 유닛이 구비된 주사용 반송부(26)의 반송경로로 반송되는 상태에서도, 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)가 각 헤드 어셈블리(54) 및 빔 위치 검출 장치(44) 또는 노광면 전력 측정 장치(45) 사이에 삽입되지 않는다. 그러므로, 각 헤드 어셈블리(54)의 노광 위치의 교정 및 각 헤드 어셈블리(54)의 모든 노광 영역에 파워 교정은 행해질 수 있다. 즉, 묘화 장치에서, 각 헤드 어셈블리(54)의 노광 위치 교정 및 각 헤드 어셈블리(54)의 모든 노광 영역에 파워 교정은 검출용 유닛이 구비된 주사용 반송부(26)의 반송 경로에서 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)를 제거하지 않고 행해질 수 있다.
게다가, 묘화 장치에서, 각 헤드 어셈블리(54)의 노광 위치를 교정하는 동작 및 모든 노광 영역에서 파워를 교정하는 동작이 완성된 후에, 리니어 이동 기구(20)가 구동되고 전체 기판 반송부(22)이 도 5에 도시된 노광면 파워 교정 위치 로부터 도 2에 도시된 노광 대기 위치로 복귀된다.
묘화 장치에서, 상술한 바와 같이 얼라인먼트 카메라 교정 동작 또는 노광 위치를 교정하는 동작 또는 모든 노광 영역에 파워를 교정하는 동작을 행할 시에, 검출용 유닛이 구비된 주사용 반송부(26)의 반송 경로에 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)가 이동하지 않도록 제한되어야만 한다. 그러므로, 묘화 장치에서, 검출용 유닛이 구비된 주사용 반송부(26)가 이동될 시에, 흡인 수단의 블로어(37)가 구동되며 흡인 박스(35)에 의해 동봉된 반 밀폐 공간 내의 공기가 흡인되고 제동 걸린 무한 벨트(33)의 흡착용 구멍(33A)에서 공기가 흡인된다. 이 동작 때문에, 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)가 정지된 무한 벨트(33)의 표면에 흡인되는 상태에서 설치되고, 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)는 검출용 유닛이 구비된 주사용 반송부(26)의 반송 경로에 움직이지 않는 상태로 유지된다. 또는 묘화 장치가 구성되어서 검출용 유닛이 구비된 주사용 반송부(26)가 이동될 시에, 검출용 유닛이 구비된 주사용 반송부(26)의 반송 방향 업스트림측에 닙 롤러 쌍(30)이 제동되며 닙 롤러 쌍(30) 사이에 낀 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)가 제한되며, 검출용 유닛이 구비된 주사용 반송부(26)의 반송 방향 하류측에 닙 구동 롤러 쌍(32)이 제동되고 닙 롤러 쌍(30) 사이에 낀 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)가 제한된다.
그 다음, 공급 릴(60)에 롤상으로 시리즈로 연결되고 감긴 긴 스트립상의 가요성 기록 매체인 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)가 다른 얼라인먼트 마크 위치를 갖는 복수의 타입을 포함할 때, 묘화 장치에서 처리 동작의 디스크립션이 주어질 것이다.
플렉시블 프린트 배선 기판재(28)에 형성된 얼라인먼트 마크의 위치가 다른 위치에 있는 다른 타입의 묘화 처리를 시작하기 전 각 단계에서의 각 시간에, 하나의 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)가 이와 같이 다른 얼라인먼트 마크 위치를 가지는 복수의 타입을 포함할 때, 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)에 형성된 다른 얼라인먼트 마크(M) 위치에 각 카메라부(52)가 대응하도록 만들기 위해서, 묘화 장치는 상술한 바와 같이 교정 스케일(42)을 사용하여 얼라인먼트용 카베라부(52)의 위치 교정을 행한다.
즉, 묘화 장치에서, 공급 릴(60)에 감긴 하나의 롤의 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)에 대한 노광 처리의 도중에 있기 때문에 검출용 유닛이 구비된 주사용 반송부(26)의 반송 경로에서 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)가 제거될 수 없는 경우에서도, 교정 스케일(42)은 얼라인먼트용 카메라부(52)의 촬영 위치로 이동될 수 있다. 그러므로, 하나의 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)가 얼라인먼트 마크(M) 위치가 다른 복수 타입을 포함하는 경우에서도, 각 다른 타입을 위해, 얼라인먼트용 카메라부(52)의 위치 교정이 행해지며 카메라부(52)의 참조 위치의 데이터가 교정되고 얼라인먼트가 고정밀도로 조정되고 노광 처리가 각 헤드 어셈블리(54)에서 행해질 수 있다.
묘화 장치에서, 빔 위치 검출 장치(44) 또는 노광면 파워 측정 장치(45)가 검출용 유닛이 구비된 주사용 반송부(26)의 반송 경로에서 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)를 제거하지 않고 각 헤드 어셈블리(54)의 노광 영역으로 이동될 수 있다. 그러므로 얼라인먼트 마크(M) 위치가 다른 복수의 타입이 플렉시블 프린트 배 선 기판재(28)에서 포함되는 경우에서도, 적절한 빔 위치 교정 및 노광면 파워 교정이 행해지고 노광 처리가 각 헤드 어셈블리(54)에서 행해질 수 있다.
게다가, 교정 스케일을 이동하는 기구를 사용하여 노광 빔 위치 측정 수단이 노광 헤드로 상대적 이동될 수 있다. 그러므로, 빔 위치의 교정은 하나의 롤의 노광의 도중에서도 행해질 수 있다.
그 다음, 상술한 바와 같이 구성된 묘화 장치의 작용 및 동작의 디스크립션이 주어질 것이다.
묘화 장치에서 노광 처리를 시작하기 전에, 상술한 얼라인먼트 카메라부(52)를 교정하기 위한 처리 및 노광 위치 교정 및 각 헤드 어셈블리(54)의 노광 영역 내의 파워 배분이 행해진다. 얼라인먼트 카메라부(52)를 교정하기 위한 처리 및 노광 위치를 교정하기 위한 처리 및 각 헤드 어셈블리(54)의 노광 영역 내의 파워 배분이 어느 때나 실행될 수 있다.
그 다음, 묘화 장치에서, 노광 처리가 행해지는 대상인 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)가 노광 처리부(12)를 통해 비노광 기록 매체 공급부(14)에서 지나가고 노광된 기록 매체 수집부(16)에 도달한 반송 경로상에 세트된다. 이 때문에, 기록 매체인 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)가 공급 릴(60)에서 테이크아웃되고 노광 처리부(12)에 반송 경로를 따라 지나치고 리딩 단부는 테이크업 릴(70)에 고정된다.
그 후, 묘화 장치에, 공급 릴(60)측에 출구 측 롤러(66) 및 노광 처리부(12)측에 입구 가이드 롤러(30) 사이에 있는 반송 경로부에 세트된 플렉시블 프린트 배 선 기판재(28)의 부분에서, 이 부분이 가장 슬랙인 상태인 슬랙이 소정의 양(느슨함의 최상위 제한값)으로 되고 댄서 롤러(68)가 슬랙 부분에 설치되는 것을 검출할 때까지, 공급 릴(60)이 회전된다. 그 후, 슬랙이 슬랙 양의 하위 제한값(플렉시블 프린트 배선 기판재(28)가 최저 슬랙인 상태)이 된 것이 검출될 때, 슬랙이 슬랙 양의 상위 제한값이 된 것을 검출할 때까지, 공급 릴(60)을 회전하고 구동하도록 조정이 행해진다.
그 다음, 묘화 장치에서, 노광 처리부(12)의 반송 경로 출구 측 홀딩 롤러(76) 및 노광된 기록 매체 수집부(16)의 입구 측 롤러(78) 사이의 부분에, 이 부분이 가장 작은 슬랙 상태인 슬랙이 소정의 양(느슨함의 최하위 제한값)으로 되고 댄서 롤러(68)가 슬랙 부분에 정해진 것이 검출될 때까지, 닙 구동 구동 롤러 쌍(32)이 회전되고 구동된다. 따라서, 슬랙이 슬랙 양의 상위 제한값(플렉시블 프린트 배선 기판재(28)가 가장 슬랙인 상태)이 된 것이 검출될 때, 슬랙이 슬랙 양의 하위 제한값이 된 것이 검출될 때까지, 테이크업 릴(70)을 회전하고 구동하도록 조정이 행해진다.
이어서, 묘화 장치에서, 닙 구동 롤러 쌍(32)이 회전되며 구동되고, 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)가 반송되면서, 소정 간격으로 얼라인먼트 카메라부(52)에 의해 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)의 표면이 촬영된다. 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)에 구비된 노광 시작부의 마크(M)가 촬영될 때(감지될 때), 닙 구동 롤러 쌍(32)이 대기 상태에서 정지되고 설치된다.
그 다음, 묘화 장치에서, 닙 구동 롤러 쌍(32)이 회전되고, 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)가 소정의 양으로 반송될 때, 얼라인먼트 카메라부(52)는 이전의 작업 처리에서 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)에 구비된 단위 노광 영역(L)의 얼라인먼트 마크(M)를 촬영하고 단위 노광 영역(L)의 마크(M)의 위치를 측정한다. 도 8에 도시된 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)의 공급 방향으로 단위 노광 영역(L) 내에 둘 이상의 장소[단위 노광 영역(L)의 주변에서 넷 이상의 장소]에서 단위 노광 영역(L)의 마크(M)의 위치 측정이 바람직하게 행해진다. 그러나, 기판이 신장/수축 변형될 수 없는 경우에, 두 장소[단위 노광 영역(L)의 상 및 바닥 또는 왼쪽 및 오른쪽에]가 충족된다.
이후, 단위 노광 영역(L)의 마크(M) 위치 측정이 완성될 때, 단위 노광 영역(L)의 마크(M) 위치의 측정값에서 제어 유닛(58)은 노광 데이터의 변형 처리를 행하여서, 노광된 이미지가 신장/수축 변형된 상태에 대응한다. 이 시점에, 제어 유닛(58)이 화상 기록 위치 보정(노광 시작 타이밍 수정)을 또한 포함하는 처리를 행할 수 있다.
제어 유닛(58)이 노광 데이터의 변형 처리를 행하는 동안, 제어 유닛(58)은 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)를 계속 공급하는 제어를 행하고, 다음 단위 노광 영역(L)의 얼라인먼트 마크(M) 위치 측정을 행한다.
이후, 제어 유닛(58)이 노광 데이터의 변형 처리를 완성하고 단위 노광 영역(L)의 선단이 노광 헤드 유닛(48)의 위치로 공급될 때, 제어 유닛(58)은 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)에 각 헤드 어셈블리(54)에 의해 노광을 개시시킨다. 이 단위 노광 영역(L)의 트레일링 단부가 노광 헤드 유닛(48)을 지나 소정 위치에 도 달할 때, 제어 유닛(58)은 단위 노광 영역(L)의 노광을 정지시킨다.
플렉시블 프린트 배선 기판재(28)의 단위 노광 영역(L)이 노광 헤드 유닛(48)에 의해 노광된 노광 영역을 통과할 시에, 이 노광 처리가 행해진다. 제어 유닛(58)에서 변형 처리의 대상인 노광 데이터를 기초로 DMD에 레이저광, 및 DMD의 마이크로미러가 광학 시스템에 의해 설치된 광학 경로를 따라 지나가고 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)에 결상된 상태에 있을 때 반사된 레이저광을 조사하는 각 헤드 어셈블리(54)에 의해 노광 처리가 행해진다.
묘화 장치는 상술한 노광 처리를 연속적으로 행하고 단위 노광 영역(L)이 앞서 지정된 많은 시간에 노광될 때, 닙 구동 롤러 쌍(32)을 정지시켜 노광 처리를 종료한다.
상술한 바와 같이, 묘화 장치에서, 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)는 닙 롤러 쌍(30) 및 닙 구동 롤러 쌍(32) 사이에 스팬되는 벨트 반송 기구의 무한 벨트(33)를 따라 위치되어 이동하도록 연장된다. 균일한 속도로 회전되는 닙 구동 롤러 쌍(32) 때문에, 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)가 무한 벨트(33)와 일체적으로 연속 공급된다. 따라서, 무한 벨트(33)를 통해 닙 롤러 쌍(30) 및 닙 구동 롤러 쌍(32) 사이에 스팬된 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)의 스트레칭부에 헤드 어셈블리(54)에 의해 레이저 노광이 연속적으로 행해지고 묘화가 이루어진다. 따라서, 왕로에서 기록 매체에 얼라인먼트 조정을 위한 처리가 행해지고 복귀로에서 노광 처리가 행해지는 구조와 비교하여, 묘화 장치는 노광 처리를 계속 행할 수 있으므로 생산성을 개선할 수 있다.
이후, 상술한 묘화 장치에서 노광 처리부(12)의 반송 경로에 무한 벨트(33)에 대해 제공된 가이드의 구성 예는 도 6에 의해 설명될 것이다.
도 6에 도시된 노광 처리부(12)에서, 하부 지지 수단 역할을 하는 회전 접촉 롤러(84)가 반송 경로상의 헤드 어셈블리(54)에 의한 전체 노광 처리부에 대응된 무한 벨트(33) 바로 아래에 대응하는 부분에 배치된다.
무한 벨트(33)의 하면에 접촉하는 동안, 회전 접촉 롤러(84)가 회전하고 아래로부터 지지되도록 무한 벨트(33)를 가이드한다. 도 6에 도시된 바와 같이, 회전 접촉 롤러(84)는 헤드 어셈블리(54)에 의해 노광된 각 노광 처리부를 샌드위치하도록 반송 방향 상류측 및 하류측에 배치되고, 카메라부(52)에 의해 촬영된 포토그래프 영역을 샌드위치하도록 반송 방향 상류측 및 하류측에 배치된다. 이와 같이 회전 접촉 롤러(84)를 배치함으로써, 공기가 흡인 박스(35)로부터 흡인될 때, 무한 벨트(33)가 흡인 박스(35) 측으로 당겨지도록 이동하는 것을 억제할 수 있다.
여기서, 도 6에 도시된 노광 처리부(12)는 회전 접촉 롤러(84) 대신에, 이 구조가 도시되지 않았지만, 다수의 흡착용 구멍이 형성된 흡착 스테이지의 평면이 무한 벨트(33)의 반대측과 슬라이딩하게 접촉하여 가이드하도록 구성될 수 있다. 그 구성의 경우에, 흡착 스테이지에 형성된 다수의 흡착용 구멍과 통하는 무한 벨트(33)의 흡착용 구멍(33A)에서 흡인 작용으로 인해 무한 벨트(33)의 표면에 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)가 흡인된다.
도 6에 도시된 구성에서, 각 노광 처리 및 포토그래프 영역에 대응하는 부분에 대해 분리된 흡인 박스(35)가 구비된다.
이와 같이 회전 접촉 롤러(84)를 제공함으로써, 반송 경로상의 무한 벨트(33)에 의해 지지되어 반송되는 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)가 무한 벨트(33)의 반대측에서 회전 접촉 롤러(84)에 의해 간접 지지되어 가이드되면서, 각 헤드 어셈블리(54)에 의해 노광 처리의 대상이 되어 평면 상태가 유지된다. 그 구성의 경우, 노광 처리 시에, 평면성이 고정밀도로 유지될 수 있고, 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)의 평면을 외부 장애 때문에 변화하는 것을 방지할 수 있다. 그러므로, 노광 처리가 더 안정된 품질로 행해질 수 있다.
게다가, 2개의 회전 접촉 롤러(84)가 노광 위치 부근에서 무한 벨트(33)의 반대면에 배치되고 이 회전 접촉 롤러(84) 사이 영역이 흡인 박스(35)에 의해 흡인될 때, 흡인 때문에 무한 벨트(33)의 오목부를 적게 유지할 수 있으며 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)가 평평하게 유지되고 좋은 노광면이 얻어진다. 더욱이, 얼라인먼트 위치 부근의 무한 벨트(33)에 있어서도 유사한 구조를 사용하여 적절하게 얼라인먼트 처리가 행해질 수 있다.
도시되진 않았지만, 카메라부(52) 바로 아래 위치 및 노광 헤드 유닛(48) 바로 아래 위치에, 하부 지지 수단으로서 배치된 회전 접촉 롤러(84)를 제공하는 것에 더하여, 단일 또는 복수의 가이드 롤러가 무한 벨트(33)의 반대측에 임의의 위치를 회전하며 접촉하여 평면 상태를 유지하도록 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)를 가이드하면서 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)를 평면적으로 반송하는 구성이 사용될 수 있다.
게다가, 본 실시예에 관한 묘화 장치에서, 무한 벨트(33)에 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)를 흡인하기 위한 구성[즉, 흡인 박스(35), 무한 벨트(33)에 형성된 흡착용 구멍(33A), 블로어(37) 등]이 제거되고 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)를 무한 벨트(33)의 표면을 따라 움직이도록 한 상태에서 무한 벨트(33)를 구동하면서, 노광이 행해지더라도, 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)가 평면성이 높은 무한 벨트(33)를 따라 움직이기 때문에 헤드 어셈블리(54)로부터 초점 거리가 일정하게 유지될 수 있다.
게다가, 본 실시예에 관한 묘화 장치에서, 장력 설정 수단인 댄서 롤러 기구이 제거되더라도, 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)가 무한 벨트(33)의 표면에 흡인되어 반송되면, 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)에 장력이 가해지지 않더라도, 좋은 평면성이 보장될 수 있다. 이 구성의 경우에, 장력 설정 수단에 의해 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)에 장력이 가해지지 않았기 때문에, 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)의 신장 및 수축에 의해 기인한 노광 위치 오프셋이 작아지도록 할 수 있고 수정 처리가 간단해질 수 있다.
본 실시예에서, DMD는 레이저 노광 장치로서 구성된 노광 헤드 유닛(48)의 헤드 어셈블리(54)에 사용된 공간 광변조기로서 사용되고, 도트 패턴은 점등 시간을 일정하게 하여 DMD를 온/오프함으로써 발생된다. 그러나, 온시각비(듀티) 제어에 의한 펄스 폴 변조가 행해질 수 있다. 게다가, 도트 패턴은 극히 단시간이 되는 점등 시간으로 점등 횟수에 의해 발생될 수 있다.
게다가, 본 실시예에서, 공간 광 변조기로써 DMD를 가지는 헤드 어셈블리(54)의 디스크립션이 주어진다. 그러나, 그 반사형 공간 광 변조기가 아닌, 예컨 대, MEMS(Micro electro Mechanical System)형 공간 광 변조기(SLM) 또는 투과형 공간 광 변조기(LCD)와 같은 MEMS형이 아닌 공간 광 변조기, 전기 광학 효과에 따라 전송 광을 변조하는 광학 요소(PLZT 요소), 액정 광 셔터(FLC)와 같은 액정 셔터 어레이 등이 DMD 대신에 사용될 수 있다. 게다가, 복수 격자 광 밸브(GLV)가 2차원 형태로 얼라인먼트된 구성이 사용될 수 있다. 반사 타입 공간 광 변조기(GLV) 및 투과형 공간 광 변조기(LCD)를 사용하는 구성에서, 상술한 레이저보다 광원으로 램프 등을 사용할 수 있다.
게다가, 본 실시예에서 광원으로서, 복수 멀티플렉스 레이저 광원을 갖는 섬유 어레이 광원, 하나의 발광점을 갖는 단일 반도체 레이저에서 발생된 단일 광섬유 방출 레이저광을 갖는 어레이 섬유 광원인 섬유 어레이 광원 및 복수의 발광점이 2차원(예컨대, LD 어레이, 유기 EL 어레이 등)으로 얼라인먼트된 광원이 사용될 수 있다.
묘화 장치에서, 2차원 패턴을 조사하여 노광 처리를 행하는 헤드 어셈블리가 아닌, 예컨대, 리니어적으로 노광 처리를 행하는 폴리곤미러 등을 사용한 레이저 노광 장치를 사용하는 것이 가능하다.
노광에 의해 정보가 직접 기록되는 광자 모드 감광 재료 또는 노광에 의해 발생된 열에 의해 정보가 기록되는 히트 모드 감광 재료 중 어느 하나가 묘화 장치에 사용될 수 있다. 광자 모드 감광 재료가 사용되는 경우에, GaN 반도체 레이저, 파장 변환 고체 상태 레이저 등이 레이저 장치로 사용된다. 게다가, 히트 모드 감광 재료가 사용되는 경우에, AlGaAs 반도체 레이저(적외선 레이저) 또는 고체 상태 레이저가 레이저 장치로 사용된다.
게다가, 상술한 실시예에서, 닙 롤러 쌍(30) 및 닙 구동 롤러 쌍(32) 사이에 스트레칭된 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)는 장력 설정 수단 역할을 하고 닙 롤러 쌍(30)의 반송 방향 상류측에 배치된 댄서 롤러 기구, 및 장력 설정 수단 역할을 하고 닙 구동 롤러 쌍(32)의 반송 방향 하류측에 배치된 댄서 롤러 기구에 의해 일정한 장력으로 스트레칭된다. 그러나, 다른 속도로 하나의 닙 구동 쌍 및 또 다른 닙 구동 쌍을 회전하고 구동하여 일정한 장력을 가하도록, 또는 미리 정해진 제동력에 의해 하나의 닙 롤러 쌍을 제동하고 다른 닙 구동 롤러 쌍을 반송해서 일정한 장력을 가하도록 여기 사용된 장력 설정 수단이 구성될 수 있다.
긴 스트립상 가요성 기록 매체 역할을 하는 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)의 묘화 처리가 아닌, 디스플레이용 기재의 묘화 처리를 행하는 장치로서 묘화 장치가 구성될 수 있다.
게다가, 본 발명이 상기 디스크립션에 제한되지 않고, 물론 본 발명의 요점으로부터 벗어나지 않은 범위 내에서 다양한 구조를 가정할 수 있다.
본 발명의 얼라인먼트 교정가능한 묘화 장치에서, 주사용 반송부에 교정 부재가 장착될 수 있어 표면은 주사용 반송부의 반송 경로의 실질적 연장된 평면과 일치한다.
이 구성에 의하면, 본 발명의 상술한 제 2 양상의 동작과 효과에 더하여, 얼라인먼트부는 주사용 반송부의 반송 경로에 있는 긴 가요성 기록 매체를 검출함으로써 동일한 상태 하에 교정 부재를 검출할 수 있다. 그러므로, 초점 조정 등과 같 은 성가신 처리가 배제될 수 있다.
본 발명의 얼라인먼트 교정가능한 묘화 장치에서, 주사용 반송부 및 그곳에 장착된 교정 부재를 일체적으로 이동하도록 상대 이동 기구가 구성될 수 있다.
본 발명의 얼라인먼트 교정가능한 묘화 장치에서, 상대 이동 기구가 주사용 반송부을 이동할 때, 주사용 반송부의 반송 경로에 있는 긴 가요성 기록 매체를 제지하기 위해 제지 기구가 구비될 수 있다.
본 발명의 얼라인먼트 교정가능한 묘화 장치에서, 얼라인먼트부가 구성되어 긴 가요성 기록 매체의 횡단 방향으로 이동할 수 있도록 카메라부가 베이스부에 장착된다.
본 발명의 얼라인먼트 교정가능한 묘화 장치에서, 제어 유닛이 자동 제어되어 동작하도록 얼라인먼트부가 구성될 수 있다.
본 발명의 얼라인먼트 교정가능한 묘화 장치에서, 레이저 노광 장치로 묘화 유닛이 구성될 수 있다.
본 발명의 얼라인먼트 교정가능한 묘화 장치에서, 공간 광 변조기로 광빔을 변조하고 2차원 패턴의 노광 처리 행하도록 묘화 유닛이 구성될 수 있다.
본 발명의 얼라인먼트 교정가능한 묘화 장치에서, 주사용 반송부에 빔 위치 검출 장치 및 노광면 전력 측정 장치가 장착될 수 있어, 표면이 주사용 반송부의 반송 경로의 대략 연장면과 일치한다.
이 구성에 의하면, 본 발명의 상술한 제 2 양상의 동작과 효과에 더하여, 빔 위치 검출 장치 및 노광면 파워 측정 장치를 사용하여, 주사용 반송부의 반송 경로 에 있는 긴 가요성 기록 매체에 묘화 유닛에 의해 묘화가 행해진 동일한 상태하에, 노광 처리를 행하는 묘화 장치의 노광 위치 교정 및 모든 노광 영역에 파워 교정이 행해질 수 있다.
본 발명의 얼라인먼트 교정가능한 묘화 장치에서, 제어 유닛이 자동 제어되어 동작하도록 묘화 장치가 구성될 수 있다.
본 발명의 얼라인먼트부의 교정 방법에서, 교정 부재 및 반송 경로를 구성한 반송부을 일체적으로 구성함으로 상대 이동이 행해질 수 있다.
본 발명의 얼라인먼트부의 교정 방법에서, 교정 부재면의 위치가 얼라인먼트시에 가요성 기록 매체의 위치와 일치하도록 함으로써 상대 이동이 행해질 수 있다.
본 발명의 얼라인먼트부의 교정 방법에서, 반송 경로에 가요성 기록 매체를 제지한 상태에서 상대 이동이 행해질 수 있다.
상술한 얼라인먼트부의 교정 상술한 방법에 의하면, 긴 가요성 기록 매체가 반송 경로에 있더라도, 교정 부재를 사용하여 얼라인먼트부의 위치가 교정될 수 있다.
본 발명의 반송 장치에서, 교정 부재를 배치할 수 있어서, 표면이 얼라인먼트가 행해진 영역에 반송 경로의 대략 연장면과 일치하도록 교정 부재가 배치될 수 있다.
본 발명의 반송 장치는 교정 부재가 반송부에 장착되도록 구성되고, 상대 이동 기구는 교정 부재 및 반송부를 일체적으로 이동하도록 구성된다.
본 발명의 반송 장치에서, 상대 이동 기구가 반송부를 이동시킬 때, 반송부에 가요성 기록 매체를 제지하기 위해 제지 수단이 구비된다.
이 구성에 의하면, 긴 가요성 기록 매체가 반송 경로에 있더라도, 교정 부재를 사용하여 얼라인먼트부의 위치가 교정될 수 있다.
본 발명의 얼라인먼트부의 교정 방법, 얼라인먼트 교정가능한 묘화 장치, 및 반송 장치에 의하면, 단일체의 긴 바디로 형성되고 얼라인먼트 마크가 구비된 다른 위치를 갖는 복수의 타입을 포함하는 가요성 기록 매체는 얼라인먼트 마크가 구비된 다른 위치를 갖는 각 타입에 대해 교정 스케일을 사용하여 얼라인먼트부의 위치를 교정하면서, 고정밀도로 얼라인먼트 조정을 행함으로써 연속적으로 묘화 처리될 수 있다.

Claims (19)

  1. 복수 타입의 얼라인먼트 마크 위치를 포함하는 하나의 긴 가요성 기록 매체가 반송되면서, 얼라인먼트가 얼라인먼트부에 의해 조정되고 묘화가 행해지는 상태에서, 긴 가요성 기록 매체상의 얼라인먼트 마크 위치가 다른 위치로 될 시에, 묘화 유닛의 반송 경로상에 가요성 기록 매체를 제지시키는 단계;
    교정 부재 및 얼라인먼트부를 상대 이동시켜 교정 부재 및 얼라인먼트부를 서로 대응시키는 단계; 및
    상기 교정 부재를 사용하여 얼라인먼트부의 기준 위치의 데이터를 교정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 얼라인먼트부의 교정 방법.
  2. 가요성 기록 매체의 얼라인먼트가 행해지고 반송 경로상에 설정되어 검출을 행하도록 배치된 얼라인먼트부;
    상기 반송 경로보다 얼라인먼트부로 더 향하는 위치에 배치된 교정 부재; 및
    상기 얼라인먼트부가 교정 부재를 검출하는 상태에 세트되도록 얼라인먼트부 및 교정 부재를 상대 이동시키는 기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 얼라인먼트 교정가능한 묘화 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    표면이 주사용 반송부의 반송 경로의 대략 연장면과 일치하도록 교정 부재가 주사용 반송부에 장착된 것을 특징으로 하는 얼라인먼트 교정가능한 묘화 장치.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 상대 이동 기구는 주사용 반송부 및 이에 장착된 교정 부재를 일체적으로 이동시키도록 구성된 것을 특징으로 하는 얼라인먼트 교정가능한 묘화 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 상대 이동 기구가 주사용 반송부를 이동시킬 때, 주사용 반송부의 반송 경로상에 있는 긴 가요성 기록 매체를 제지시키기 위한 제지 기구가 구비된 것을 특징으로 하는 얼라인먼트 교정가능한 묘화 장치.
  6. 제 2 항에 있어서,
    상기 얼라인먼트부는 카메라부가 긴 가요성 기록 매체의 횡단 방향으로 이동할 수 있도록 베이스부에 장착되어 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 얼라인먼트 교정가능한 묘화 장치.
  7. 제 2 항에 있어서,
    상기 얼라인먼트부는 제어 유닛이 자동 제어되어 동작하도록 구성된 것을 특징으로 하는 얼라인먼트 교정가능한 묘화 장치.
  8. 제 2 항에 있어서,
    묘화 유닛은 레이저 노광 장치로 구성된 것을 특징으로 하는 얼라인먼트 교정가능한 묘화 장치.
  9. 제 2 항에 있어서,
    묘화 유닛은 공간 광 변조기에 의해 광빔을 변조하여 2차원 패턴의 노광 처리를 행하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 얼라인먼트 교정가능한 묘화 장치.
  10. 제 8 항에 있어서,
    표면이 주사용 반송부의 반송 경로의 대략 연장면과 일치하도록 빔 위치 검출 장치 및 노광면 파워 측정 장치가 주사용 반송부에 설치된 것을 특징으로 하는 얼라인먼트 교정가능한 묘화 장치.
  11. 제 2 항에 있어서,
    묘화 유닛은 제어 유닛으로 자동 제어되어 동작하도록 구성된 것을 특징으로 하는 얼라인먼트 교정가능한 묘화 장치.
  12. 긴 가요성 기록 매체의 반송 장치에서의 얼라인먼트부의 교정 방법으로서:
    가요성 기록 매체가 반송 경로에 세트된 상태에서, 얼라인먼트부, 및 반송 경로보다 얼라인먼트부로 더 향하는 위치에 배치된 교정 부재를 상대 이동시켜 얼라인먼트부 및 교정 부재를 서로 대응시키는 단계; 및
    교정 부재를 사용하여 얼라인먼트부의 위치 교정을 행하는 단계를 포함하는 얼라인먼트부의 교정 방법.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 상대 이동은 교정 부재 및 반송 경로를 구성하는 반송부를 일체적으로 이동시킴으로써 행해지는 것을 특징으로 하는 얼라인먼트부의 교정 방법.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 상대 이동은 교정 부재면의 위치를 얼라인먼트시에 긴 가요성 기록 매체의 위치와 일치시킴으로써 행해지는 것을 특징으로 하는 얼라인먼트부의 교정 방법.
  15. 제 13 항에 있어서,
    상기 상대 이동은 긴 가요성 기록 매체를 반송 경로상에 제지시킨 상태에서 행해지는 것을 특징으로 하는 얼라인먼트부의 교정 방법.
  16. 긴 가요성 기록 매체의 반송 장치로서:
    일정한 반송 방향으로 긴 가요성 기록 매체를 반송하는 반송부;
    얼라인먼트가 행해지고 긴 가요성 기록 매체가 반송부에 의해 반송되는 반송 경로에 설정된 영역의 위치에서 검출을 행할 수 있도록 배치된 얼라인먼트부;
    상기 반송 경로보다 얼라인먼트부로 더 향하는 위치에 배치된 교정 부재; 및
    상기 얼라인먼트부가 교정 부재를 검출하는 상태에 세트되도록 얼라인먼트부 및 교정 부재를 상대 이동시키는 상대 이동 기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 반송 장치.
  17. 제 16 항에 있어서,
    상기 교정 부재는 얼라인먼트가 행해진 영역에서의 반송 경로의 대략 연장 면상에 표면이 일치하도록 배치된 것을 특징으로 하는 반송 장치.
  18. 제 16 항에 있어서,
    상기 교정 부재는 반송부에 설치되고, 상기 상대 이동 기구는 교정 부재 및 반송부를 일체적으로 이동시키도록 구성된 것을 특징으로 하는 반송 장치.
  19. 제 18 항에 있어서,
    상기 상대 이동 기구가 반송부를 이동시킬 때, 긴 가요성 기록 매체를 반송부에 제지시키기 위한 제지 기구가 구비된 것을 특징으로 하는 반송 장치.
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