JP4589198B2 - ワーク搬送装置とそれを備えた画像形成装置並びにワーク搬送方法 - Google Patents
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Description
まず最初に、レーザー露光装置100について説明する。図1で示すように、このレーザー露光装置100は、6本の脚部104に支持された矩形厚板状の設置台102を備えている。設置台102の上面には、長手方向(搬送方向)に沿って2本のガイドレール106が配設されており、これら2本のガイドレール106上には、ガイド部108を介して矩形平板状のステージ110が設けられている。
次に、以上のような構成のレーザー露光装置100の作用について説明する。なお、レーザー露光装置100により画像露光を行う基板材料(ワーク)200としては、プリント配線基板や液晶表示素子等のパターンを形成(画像露光)する材料としての基板や、ガラスプレート等の表面に感光性エポキシ樹脂等のフォトレジストを塗布、又はドライフィルムの場合はラミネートしたものなどが挙げられる。
次に、以上のようなレーザー露光装置100等の画像形成装置において使用される固定治具10について詳細に説明する。この固定治具10は、図4(A)で示すように、中央に開口部12が穿設された額縁状に形成され、基板材料200の周縁部を除く描画領域が、その開口部12から露出可能になっている。
次に、以上のような固定治具10を備えたレーザー露光装置100へ基板材料200を搬入し、かつレーザー露光装置100から露光済みの基板材料200を搬出する基板搬送装置30について説明する。
次に、第1吸着ユニット50及び第2吸着ユニット52に設けられている吸着装置54、56について説明する。なお、説明の便宜上、吸着装置54について説明するが、吸着装置56についても同様である。図8(B)で示すように、吸着装置54は、取付板51に複数個取り付けられている。
次に、以上のような構成の固定治具10、基板搬送装置30及び吸着装置54、56の一連の作用について説明する。まず、最初に、第1走行体40と第2走行体42との連結を解除する。すなわち、被連結部材62側において、操作部68を回してストッパー76を係合部72の上面から退避させ、連結部材64側の把手70を把持して回動部66を上方に回動し、係合部72を溝部74内から取り外す。この状態は、センサーの検出結果がコントローラー130の表示部128に表示されることによって確認できる。
次に、固定治具10の変形例について説明する。図21で示すように、この固定治具10の各縁端部には、ステージ110上で最も外側に穿設されている孔部110Aが略1列分だけ露出するような切欠部22(検出手段)が形成されている。このような構成にすると、固定治具10の位置が許容範囲以上ずれてしまった場合には、最も外側の孔部110A及び溝部(小孔)110Bからのエアーの吸引力(負圧力)が変化して、基板材料200に対する吸着不良が発生するので、それによって、固定治具10の位置ずれが容易に認識(検出)できる。
12 開口部
14 押さえ部
16 剛性部材
18 弾性部材
20 易剥離部材
22 切欠部(検出手段)
24 溝部(検出手段)
26 位置決め部材
28 切欠部
30 基板搬送装置(ワーク搬送装置)
32 ローダー(搬入部)
34 アンローダー(搬出部)
40 第1走行体
42 第2走行体
50 第1吸着ユニット
52 第2吸着ユニット
54 吸着装置
54A 第1吸着装置
54B 第2吸着装置
56 吸着装置
56A 第1吸着装置
56B 第2吸着装置
84 吸盤
86 吸盤
95 第1コイルばね
98 第2コイルばね(緩衝機構)
100 レーザー露光装置(画像形成装置)
110 ステージ
112 ボールねじ(移動機構)
114 モーター(移動機構)
118 CCDカメラ(測定部)
120 露光ヘッド(露光部)
130 コントローラー
132 モード切替スイッチ(切替手段)
200 基板材料(ワーク)
Claims (9)
- 搬入部に載置されたワークを複数の吸着装置で吸着し、ステージへ搬送する第1吸着ユニットと、
前記ステージ上のワークを複数の吸着装置で吸着し、搬出部へ搬送する第2吸着ユニットと、
前記ステージ上にセットされ、前記ワークの周縁部を密閉するとともに、該ワークの周縁部を除く領域を露出させる開口部が形成された固定治具と、
を備えたワーク搬送装置であって、
前記第1吸着ユニット及び前記第2吸着ユニットは、
前記固定治具を吸着するために縁端部側に配置された第1吸着装置と、
前記開口部から露出している前記ワークを吸着するために中心部側に配置された第2吸着装置と、
を有することを特徴とするワーク搬送装置。 - 前記固定治具に、前記第1吸着装置による吸着位置がずれたことを検出できる検出手段を形成したことを特徴とする請求項1に記載のワーク搬送装置。
- 少なくとも前記第1吸着装置に、緩衝機構を備えたことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のワーク搬送装置。
- 請求項1乃至請求項3の何れか1項に記載のワーク搬送装置と、
前記ステージを所定の搬送経路に沿って移動させる移動機構と、
前記移動機構によって移動させるステージ上のワークのアライメントマークを検出する測定部と、
前記ステージ上のワークの前記周縁部を除く領域を、前記測定部の検出結果によりアライメント処理された画像情報に基づいて変調された光ビームにより露光し、該領域に画像を形成する露光部と、
を有することを特徴とする画像形成装置。 - 前記固定治具を吸着するモードと吸着しないモードへ切り替える切替手段を有することを特徴とする請求項4に記載の画像形成装置。
- 搬入部に載置されたワークを複数の吸着装置で吸着し、ステージへ搬送する第1吸着ユニットと、
前記ステージ上のワークを複数の吸着装置で吸着し、搬出部へ搬送する第2吸着ユニットと、
前記ステージ上にセットされ、前記ワークの周縁部を密閉するとともに、該ワークの周縁部を除く領域を露出させる開口部が形成された固定治具と、
を備えたワーク搬送方法であって、
前記第1吸着ユニット又は前記第2吸着ユニットの縁端部側に配置された第1吸着装置で、前記固定治具を吸着し、前記第1吸着ユニット又は前記第2吸着ユニットの中心部側に配置された第2吸着装置で、前記開口部から露出している前記ワークを吸着し、該ワーク及び前記固定治具を前記ステージへ載置又は前記ステージから除去することを特徴とするワーク搬送方法。 - 前記第2吸着ユニットの第1吸着装置によってステージ上の固定治具を吸着するとともに、前記第1吸着ユニットの第2吸着装置によって搬入部上のワークを吸着し、その後、第1吸着ユニット及び第2吸着ユニットが搬出部側へ移動して、前記第1吸着ユニットの第2吸着装置が吸着を解除することにより、前記ワークをステージ上に載置し、次いで、第1吸着ユニット及び第2吸着ユニットが搬入部側へ移動して、前記第2吸着ユニットの第1吸着装置が吸着を解除することにより、前記固定治具をステージ上に載置し、該固定治具によって前記ワークの周縁部を密閉することを特徴とする請求項6に記載のワーク搬送方法。
- 前記第1吸着ユニットの第1吸着装置によってステージ上の固定治具を吸着した後、第1吸着ユニット及び第2吸着ユニットが搬入部側へ移動し、前記第1吸着ユニットの第2吸着装置によって搬入部上のワークを吸着し、その後、第1吸着ユニット及び第2吸着ユニットが搬出部側へ移動して、前記第1吸着ユニットの第2吸着装置が吸着を解除することにより、前記ワークをステージ上に載置するとともに、前記第1吸着ユニットの第1吸着装置が吸着を解除することにより、前記固定治具をステージ上に載置し、該固定治具によって前記ワークの周縁部を密閉することを特徴とする請求項6に記載のワーク搬送方法。
- 前記固定治具は、ワークの位置決め部材により前記ステージ上に位置決め載置され、その後、前記第1吸着ユニット又は前記第2吸着ユニットの第1吸着装置によって吸着されることを特徴とする請求項6乃至請求項8の何れか1項に記載のワーク搬送方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005236146A JP4589198B2 (ja) | 2005-08-16 | 2005-08-16 | ワーク搬送装置とそれを備えた画像形成装置並びにワーク搬送方法 |
KR1020087006250A KR20080034518A (ko) | 2005-08-16 | 2006-08-03 | 공작물 반송 장치, 그것을 구비한 화상 형성 장치 및공작물 반송 방법 |
PCT/JP2006/315414 WO2007020809A1 (ja) | 2005-08-16 | 2006-08-03 | ワーク搬送装置とそれを備えた画像形成装置並びにワーク搬送方法 |
CNA2006800297755A CN101243361A (zh) | 2005-08-16 | 2006-08-03 | 工件输送装置和具备其的图像形成装置及工件输送方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005236146A JP4589198B2 (ja) | 2005-08-16 | 2005-08-16 | ワーク搬送装置とそれを備えた画像形成装置並びにワーク搬送方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007052137A JP2007052137A (ja) | 2007-03-01 |
JP4589198B2 true JP4589198B2 (ja) | 2010-12-01 |
Family
ID=37757472
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005236146A Active JP4589198B2 (ja) | 2005-08-16 | 2005-08-16 | ワーク搬送装置とそれを備えた画像形成装置並びにワーク搬送方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4589198B2 (ja) |
KR (1) | KR20080034518A (ja) |
CN (1) | CN101243361A (ja) |
WO (1) | WO2007020809A1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20170102431A (ko) | 2016-03-01 | 2017-09-11 | 우시오덴키 가부시키가이샤 | 프린트 기판용 노광 장치 |
KR20180011710A (ko) | 2016-07-25 | 2018-02-02 | 우시오덴키 가부시키가이샤 | 워크 스테이지 및 노광 장치 |
Families Citing this family (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2452320B (en) * | 2007-09-03 | 2012-04-11 | Dek Int Gmbh | Workpiece processing system and method |
CN102530301A (zh) * | 2010-12-08 | 2012-07-04 | 上海通彩自动化设备有限公司 | 精箔卷料半自动包装生产线 |
CN102514933A (zh) * | 2011-12-01 | 2012-06-27 | 珠海全宝电子科技有限公司 | 一种金属基板自动收放板*** |
JP2014184998A (ja) * | 2013-03-22 | 2014-10-02 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 板状被搬送物の受渡方法、受渡装置およびパターン形成装置 |
CN103879747B (zh) * | 2014-03-12 | 2017-01-04 | 黟县越驰科技电子有限公司 | 磁体成型设备的取料装置 |
CN104261126B (zh) * | 2014-08-28 | 2016-05-04 | 昆山威创精密机械有限公司 | 智能搬运装置 |
CN104355078A (zh) * | 2014-11-18 | 2015-02-18 | 苏州禾盛新型材料股份有限公司 | Pcm板材自动检测堆码装置 |
CN104607800A (zh) * | 2014-12-27 | 2015-05-13 | 东莞市博世机电设备有限公司 | 一种多功能打标机 |
CN104551386B (zh) * | 2014-12-27 | 2017-02-22 | 东莞市光博士激光科技股份有限公司 | 一种图案激光高效处理*** |
CN107777355B (zh) * | 2016-07-14 | 2019-06-28 | 南通迅达橡塑制造有限公司 | 一种塑料板抓取输送机构 |
CN108466838A (zh) * | 2018-05-28 | 2018-08-31 | 珠海格力智能装备有限公司 | 夹具 |
TWI709190B (zh) * | 2019-06-14 | 2020-11-01 | 財團法人國家實驗研究院 | 應用於曝光機之結構及其曝光方法 |
CN110487513B (zh) * | 2019-08-22 | 2023-11-03 | 福州中科光芯科技有限公司 | Bar条检测用机构及其工作方法 |
CN110764373A (zh) * | 2019-11-24 | 2020-02-07 | 湖南凯通电子有限公司 | 一种电路板曝光机 |
JP6789368B2 (ja) * | 2019-12-25 | 2020-11-25 | 株式会社アドテックエンジニアリング | プリント基板用露光装置 |
JP7446687B2 (ja) * | 2020-07-22 | 2024-03-11 | 株式会社オーク製作所 | ダイレクト露光装置 |
CN113816115B (zh) * | 2021-09-01 | 2023-02-10 | 青岛捷泰塑业新材料有限公司 | 一种epe板材自动送料装置 |
CN114454554B (zh) * | 2022-03-08 | 2023-10-24 | 佛山市俊联纸品有限公司 | 一种纸箱的生产设备 |
CN114924469A (zh) * | 2022-05-30 | 2022-08-19 | 中国电子科技集团公司第二十九研究所 | 多层共烧陶瓷电路基板阻焊层曝光对位装置及对位方法 |
CN116078683B (zh) * | 2022-11-21 | 2023-11-07 | 浙江柳市线路板有限公司 | 一种线路板检测设备 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0611839A (ja) * | 1992-06-26 | 1994-01-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プリント配線板用露光装置 |
JP3246018B2 (ja) * | 1992-12-04 | 2002-01-15 | 神鋼電機株式会社 | 薄板積層装置 |
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JP3895483B2 (ja) * | 1998-10-19 | 2007-03-22 | ヤマザキマザック株式会社 | ワーク吸着搬送装置 |
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-
2005
- 2005-08-16 JP JP2005236146A patent/JP4589198B2/ja active Active
-
2006
- 2006-08-03 WO PCT/JP2006/315414 patent/WO2007020809A1/ja active Application Filing
- 2006-08-03 CN CNA2006800297755A patent/CN101243361A/zh active Pending
- 2006-08-03 KR KR1020087006250A patent/KR20080034518A/ko not_active Application Discontinuation
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR20170102431A (ko) | 2016-03-01 | 2017-09-11 | 우시오덴키 가부시키가이샤 | 프린트 기판용 노광 장치 |
KR20180011710A (ko) | 2016-07-25 | 2018-02-02 | 우시오덴키 가부시키가이샤 | 워크 스테이지 및 노광 장치 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20080034518A (ko) | 2008-04-21 |
WO2007020809A1 (ja) | 2007-02-22 |
CN101243361A (zh) | 2008-08-13 |
JP2007052137A (ja) | 2007-03-01 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20070203 |
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A621 | Written request for application examination |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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