JP4533777B2 - シート***置検出方法及び装置並びにそれを用いた描画装置 - Google Patents
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Description
前記シート体が装着された前記ステージを移動させ、該ステージの移動位置を検出するステップと、
検出した前記ステージの移動位置と、前記シート体が前記ステージの正しい位置に位置決めされている場合に、前記シート体とともに前記基準部位が移動して該基準部位の読取位置に到達したときの前記ステージの移動位置を示す基準部位位置データとが一致したときに、一定の時間間隔、又は、前記ステージの移動位置に基づく該ステージの一定の移動間隔で、前記ステージの異なる複数の移動位置での前記基準部位を所定の地点から読み取り、前記基準部位の前記各移動位置に対する読取位置を測定するステップと、
測定された前記各読取位置の平均位置を算出するステップと、
前記移動位置に対する前記平均位置の関係から、前記ステージに対する前記シート体の装着位置を算出するステップと、
からなり、
前記装着位置を算出するステップでは、前記平均位置と前記基準部位位置データとの差を求めることにより、前記ステージに対する前記シート体の装着位置の位置ずれを補正するための補正データを算出することを特徴とする。
前記ステージの移動位置を検出する移動位置検出手段と、
前記シート体が装着された前記ステージの異なる複数の移動位置での前記基準部位を所定の地点から読み取る読取手段と、
前記各移動位置で読み取った前記基準部位の各読取位置の平均位置を算出する平均位置算出手段と、
前記移動位置に対する前記平均位置の関係から、前記ステージに対する前記シート体の装着位置を算出する装着位置算出手段と、
前記シート体が前記ステージの正しい位置に位置決めされている場合に、前記シート体とともに前記基準部位が移動して前記各読取位置に到達したときに前記移動位置検出手段が検出する前記ステージの移動位置を示す基準部位位置データが設定される基準部位位置データメモリと、
前記移動位置検出手段からの前記ステージの移動位置と、前記基準部位位置データメモリからの前記基準部位位置データとが一致したときに、一定の時間間隔、又は、前記ステージの移動位置に基づく該ステージの一定の移動間隔で、前記各移動位置での前記基準部位を読み取るように前記読取手段を制御する読取制御手段と、
を備え、
前記装着位置算出手段は、前記平均位置算出手段が算出した前記平均位置と、前記基準部位位置データメモリからの前記基準部位位置データとの差を求めることにより、前記ステージに対する前記シート体の装着位置の位置ずれを補正するための補正データを算出することを特徴とする。
前記ステージを移動させるステージ移動手段と、
前記ステージの移動位置を検出する移動位置検出手段と、
前記ステージの異なる複数の移動位置における前記シート体の基準部位を所定の地点から読み取る読取手段と、
前記各移動位置で読み取った前記基準部位の各読取位置の平均位置を算出する平均位置算出手段と、
前記移動位置に対する前記平均位置の関係から、前記ステージに対する前記シート体の装着位置を算出する装着位置算出手段と、
前記シート体が前記ステージの正しい位置に位置決めされている場合に、前記シート体とともに前記基準部位が移動して前記各読取位置に到達したときに前記移動位置検出手段が検出する前記ステージの移動位置を示す基準部位位置データが設定される基準部位位置データメモリと、
前記移動位置検出手段からの前記ステージの移動位置と、前記基準部位位置データメモリからの前記基準部位位置データとが一致したときに、一定の時間間隔、又は、前記ステージの移動位置に基づく該ステージの一定の移動間隔で、前記各移動位置での前記基準部位を読み取るように前記読取手段を制御する読取制御手段と、
前記装着位置に基づき、前記シート体に描画する描画データの描画位置を補正する描画位置補正手段と、
前記描画位置の補正された前記描画データに基づき、前記ステージとともに移動する前記シート体に描画を行う描画手段と、
を備え、
前記装着位置算出手段は、前記平均位置算出手段が算出した前記平均位置と、前記基準部位位置データメモリからの前記基準部位位置データとの差を求めることにより、前記ステージに対する前記シート体の装着位置の位置ずれを補正するための補正データを算出し、
前記描画位置補正手段は、前記補正データにより前記描画位置及び/又は前記描画方向を補正することを特徴とする。
18…露光ステージ 22a、22b…CCDカメラ
24a〜24j…露光ヘッド 26…スキャナ
64a、64b…ストロボ 68…ステージコントローラ
70…カメラコントローラ 72…露光ヘッドコントローラ
74…位置検出器 76…トリガ信号生成部
78…マーク位置データメモリ 80…ストロボコントローラ
84…画像データメモリ 86…補正データ算出部
88…描画データ補正部 90…描画データメモリ
F…基板
Claims (7)
- ステージに装着されたシート体の基準部位を読み取り、前記ステージに対する前記シート体の装着位置を検出するシート***置検出方法において、
前記シート体が装着された前記ステージを移動させ、該ステージの移動位置を検出するステップと、
検出した前記ステージの移動位置と、前記シート体が前記ステージの正しい位置に位置決めされている場合に、前記シート体とともに前記基準部位が移動して該基準部位の読取位置に到達したときの前記ステージの移動位置を示す基準部位位置データとが一致したときに、一定の時間間隔、又は、前記ステージの移動位置に基づく該ステージの一定の移動間隔で、前記ステージの異なる複数の移動位置での前記基準部位を所定の地点から読み取り、前記基準部位の前記各移動位置に対する読取位置を測定するステップと、
測定された前記各読取位置の平均位置を算出するステップと、
前記移動位置に対する前記平均位置の関係から、前記ステージに対する前記シート体の装着位置を算出するステップと、
からなり、
前記装着位置を算出するステップでは、前記平均位置と前記基準部位位置データとの差を求めることにより、前記ステージに対する前記シート体の装着位置の位置ずれを補正するための補正データを算出することを特徴とするシート***置検出方法。 - 請求項1記載の方法において、
前記各移動位置毎に前記基準部位に照明光を照射して前記基準部位を読み取ることを特徴とするシート***置検出方法。 - ステージに装着されたシート体の基準部位を読み取り、前記ステージに対する前記シート体の装着位置を検出するシート***置検出装置において、
前記ステージの移動位置を検出する移動位置検出手段と、
前記シート体が装着された前記ステージの異なる複数の移動位置での前記基準部位を所定の地点から読み取る読取手段と、
前記各移動位置で読み取った前記基準部位の各読取位置の平均位置を算出する平均位置算出手段と、
前記移動位置に対する前記平均位置の関係から、前記ステージに対する前記シート体の装着位置を算出する装着位置算出手段と、
前記シート体が前記ステージの正しい位置に位置決めされている場合に、前記シート体とともに前記基準部位が移動して前記各読取位置に到達したときに前記移動位置検出手段が検出する前記ステージの移動位置を示す基準部位位置データが設定される基準部位位置データメモリと、
前記移動位置検出手段からの前記ステージの移動位置と、前記基準部位位置データメモリからの前記基準部位位置データとが一致したときに、一定の時間間隔、又は、前記ステージの移動位置に基づく該ステージの一定の移動間隔で、前記各移動位置での前記基準部位を読み取るように前記読取手段を制御する読取制御手段と、
を備え、
前記装着位置算出手段は、前記平均位置算出手段が算出した前記平均位置と、前記基準部位位置データメモリからの前記基準部位位置データとの差を求めることにより、前記ステージに対する前記シート体の装着位置の位置ずれを補正するための補正データを算出することを特徴とするシート***置検出装置。 - 請求項3記載の装置において、
前記読取手段は、前記基準部位の二次元位置情報を取得する二次元撮像素子からなることを特徴とするシート***置検出装置。 - 請求項4記載の装置において、
前記読取手段は、前記各移動位置毎に前記基準部位に照明光を照射する照明手段を備え、前記二次元撮像素子は、前記照明光が照射された前記基準部位を撮像することを特徴とするシート***置検出装置。 - ステージに装着されたシート体に対して描画を行う描画装置において、
前記ステージを移動させるステージ移動手段と、
前記ステージの移動位置を検出する移動位置検出手段と、
前記ステージの異なる複数の移動位置における前記シート体の基準部位を所定の地点から読み取る読取手段と、
前記各移動位置で読み取った前記基準部位の各読取位置の平均位置を算出する平均位置算出手段と、
前記移動位置に対する前記平均位置の関係から、前記ステージに対する前記シート体の装着位置を算出する装着位置算出手段と、
前記シート体が前記ステージの正しい位置に位置決めされている場合に、前記シート体とともに前記基準部位が移動して前記各読取位置に到達したときに前記移動位置検出手段が検出する前記ステージの移動位置を示す基準部位位置データが設定される基準部位位置データメモリと、
前記移動位置検出手段からの前記ステージの移動位置と、前記基準部位位置データメモリからの前記基準部位位置データとが一致したときに、一定の時間間隔、又は、前記ステージの移動位置に基づく該ステージの一定の移動間隔で、前記各移動位置での前記基準部位を読み取るように前記読取手段を制御する読取制御手段と、
前記装着位置に基づき、前記シート体に描画する描画データの描画位置及び/又は描画方向を補正する描画位置補正手段と、
前記ステージとともに移動する前記シート体に描画を行う描画手段と、
を備え、
前記装着位置算出手段は、前記平均位置算出手段が算出した前記平均位置と、前記基準部位位置データメモリからの前記基準部位位置データとの差を求めることにより、前記ステージに対する前記シート体の装着位置の位置ずれを補正するための補正データを算出し、
前記描画位置補正手段は、前記補正データにより前記描画位置及び/又は前記描画方向を補正することを特徴とする描画装置。 - 請求項6記載の装置において、
前記描画位置補正手段は、前記ステージの位置及び/又は移動方向に対する傾斜角度を補正することで、前記描画データの描画位置及び/又は描画方向を補正することを特徴とする描画装置。
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