JP4490101B2 - 液体によって対象を処理する方法および装置 - Google Patents
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Description
本発明は、たとえば回路基板産業における基板のような、対象を液体によって処理する方法および装置に関する。
本発明の課題は、この種の対象の液体供給が個別かつ所望に可能となる、冒頭で挙げた種類の方法および装置を提供することである。本発明に基づく方法および装置は、できるだけ簡単に抑えられる。
図1には、本発明に基づく装置11がノズルパイプ12と共に側面で示されている。ノズルパイプ12は、右と左に液体供給部を有しており、それがノズルパイプ12を貫通している。ノズルパイプ12は、図4に概略的に示される栓により開放および閉鎖可能である。ノズルパイプ12の栓27は、圧縮空気により操作することができる。
Claims (14)
- 対象、特に回路基板産業における基板(29)、を液体で処理する方法であって、
−対象(29)は表面に層を有しており、前記層は液体の作用を受けてパターンを形成しながら部分的に除去され、
−複数のノズル(24)が、液体を放出するために設けられており、かつ少なくとも1つの液体配管(12)と接続されており、
−液体配管(12)は、液体タンクと接続されているものにおいて、
−液体配管(12)は、開放可能かつ閉鎖可能であって、
−各ノズル(24)に直接、弁(17)が設けられ、
−弁(17)は、個々に開放または閉鎖するように作動制御可能であって、
−対象(29)は移動路(B)に沿ってノズル(24)に対して移動され、
−弁(17)および/または液体配管(12)の開放と閉鎖によって、移動路の上方に予め定められた、あるいは予め定めることのできる面分配(26)を有する所定の液体放出が発生され、
−対象(29)の通過方向において移動路(B)に沿って前方のノズル(24)の内の1つまたは少数のノズルのみが液体が放出し、通過方向において徐々に多数のノズルが、比較的大きな面を覆うように、液体を放出する、
ことを特徴とする方法。 - 液体配管(12)は、縦長であって、複数のノズル(24)を互いに間隔をもって有しており、かつそれぞれ栓(27)により開放可能かつ閉鎖可能であって、複数の液体配管(12)が互いに対して平行かつ互いに相前後して移動路(B)の上方に面を覆うように配置されており、かつ特に個々に作動制御可能であることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 液体配管(12)は、移動路(B)に対して互いに相前後して固定位置に配置されており、かつ対象(29)が移動路(B)に沿って移動されることを特徴とする請求項1または2に記載の方法。
- 移動路(B)の上方で液体放出の所定の面分配(26)を得るために、ノズル(24)の弁(17)が作動制御されることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の方法。
- 面分配(26)を得るために、ノズル(24)の弁(17)のみが作動制御されることを特徴とする請求項4に記載の方法。
- 面分配(26)を得るために、対象(29)の通過中に第1の段階においてノズル(24)が弁(17)によって予め調節され、第2の段階において液体配管(12)がサイクリックに開放および閉鎖されることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の方法。
- 液体放出の所定の面分配(26)を得るために、対象(29)の側方および/または前方と後方の外側領域において、中央の領域におけるよりも少ない液体が供給され、液体供給が量的および時間的に少ないことを特徴とする請求項1から6のいずれか1項に記載の方法。
- ノズル(24)は、その方位において移動ないし変化され、ノズル(24)は個々に、あるいはグループで変化され、特にグループが液体配管(12)に従って分割されることを特徴とする請求項1から7のいずれか1項に記載の方法。
- 特に請求項1から8のいずれか1項に記載の方法を実施するために、対象、特に回路基板産業における基板(29)を液体で処理する装置であって、
−対象(29)は、表面に層を有しており、前記層は液体の作用を受けてパターンを形成しながら部分的に除去され、
−複数のノズル(24)が、液体を放出するために設けられており、かつ少なくとも1つの液体配管(12)と接続されており、
−液体配管(12)は、液体タンクと接続されているものにおいて、
−液体配管(12)は、開放可能かつ閉鎖可能であって、
−各ノズル(24)に直接弁(17)が設けられており、
−弁(17)は、開放または閉鎖するために個々に作動制御可能であって、
−対象(29)は、移動路(B)に沿ってノズル(24)に対して移動され、
−弁(17)および/または液体配管(12)は、移動路(B)の上方に予め定められた面分配(26)を有する所定の液体放出を発生させるために、開放可能かつ閉鎖可能であり、
−対象(29)の通過方向において移動路(B)に沿って前方のノズル(24)の内の1つまたは少数のノズルのみが液体が放出し、通過方向において徐々に多数のノズルが、比較的大きな面を覆うように、液体を放出するようにされている、
ことを特徴とする、対象を処理する装置。 - 液体配管(12)は、縦長であって、複数のノズル(24)を互いに間隔をもって有しており、かつ栓(27)により開放可能かつ閉鎖可能であって、複数の液体配管(12)が互いに対して平行かつ互いに相前後して移動路(B)の上方に面を覆うように配置されており、かつ特に個々に作動制御可能であることを特徴とする請求項9に記載の装置。
- 液体配管(12)は、移動路(B)に対して相前後して固定位置に配置されており、対象(29)が移送路、特にローラトラック上で、液体配管(12)の下方で移動可能であることを特徴とする請求項9または10に記載の装置。
- ノズル(24)の弁(17)は、移動路(B)の上方に液体放出の所定の面分配(29)を得るために、特に個々に、作動制御可能であることを特徴とする請求項9から11のいずれか1項に記載の装置。
- ノズル(24)は、液体配管(12)に、その液体配管に対してわずかな距離で配置されており、ノズル(24)と液体配管(12)との間に弁(17)が配置されていることを特徴とする請求項9から12のいずれか1項に記載の装置。
- ノズル(24)は、その方位において移動可能ないし変化可能であって、ノズル(24)は個々にまたはグループで変化可能であって、特にグループが液体配管(12)に従って分割されていることを特徴とする請求項9から13のいずれか1項に記載の装置。
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