KR100732016B1 - 유리 기판의 박판화 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
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- 세워진 유리 기판의 양쪽 각각에 위치하고, 길이 방향으로 형성되는 다수개의 제1 분사구를 갖는 제1 튜브와, 그 내부에 상기 제1 튜브를 수용하면서 상기 제1 분사구의 길이 방향과 동일한 방향으로 그 일측에 연속적으로 형성되는 제2 분사구를 갖는 제2 튜브를 포함하는 에어 분사부; 및세워진 유리 기판의 양쪽 상부 각각에 위치하고, 상기 유리 기판의 상부로부터 하부로 흘러내리도록 케미컬을 제공하는 케미컬 제공부를 포함하고,상기 케미컬 제공부를 통하여 상기 유리 기판의 양쪽에서 케미컬을 제공하고, 상기 에어 분사부를 통하여 상기 유리 기판의 양쪽에서 에어를 제공함으로써 상기 유리 기판에 부착되는 반응 부산물을 제거하면서 상기 유리 기판의 두께를 감소시키는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 박판화 장치.
- 제1 항에 있어서, 상기 에어 분사부는 상기 유리 기판의 상부로부터 하부로 수직 운동 및/또는 상기 유리 기판의 좌,우로 수평 운동하는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 박판화 장치.
- 제1 항에 있어서, 상기 케미컬은 불화불염(NH4HF2)을 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 박판화 장치.
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2007
- 2007-03-22 KR KR1020070028195A patent/KR100732016B1/ko active IP Right Grant
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