JP4482616B1

JP4482616B1 - 試験装置および試験方法

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Publication number: JP4482616B1
Application number: JP2009534009A
Authority: JP
Inventors: 敏之清川; 俊和大川
Original assignee: Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp
Priority date: 2009-08-07
Filing date: 2009-08-07
Publication date: 2010-06-16
Anticipated expiration: 2029-08-07
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Abstract

被試験デバイスを試験する複数のテストユニットと、複数のテストユニットのそれぞれを内部に収容する複数の収容部と、複数の収容部のそれぞれに設けられ、複数のテストユニットのそれぞれを外部に対して開放または閉鎖する複数の開閉部と、複数の開閉部の開放の可否を独立に制御する制御部とを備える。制御部は、電力の供給が遮断されているテストユニットを外部に対して開放することを許可してよい。制御部は、複数のテストユニットのいずれかが予め定められた動作を実行している期間および期間の前後の所定期間の少なくとも一方の期間中、他のテストユニットを外部に対して開放することを禁止してよい。
【選択図】図７

Description

本発明は、試験装置および試験方法に関する。

複数のテストユニットを備えた電子部品試験装置において、一部のテストユニットをバイパスする移送経路を設けることで、電子試験装置のシステム全体を停止することなく、一部のテストユニットのメンテナンス作業を実施することが望まれている。特許文献１〜６には、一部のテストユニットをバイパスしたり、試験スケジュールを変更したりすることにより、上記目的を達成できることが開示されている。

国際公開第２００６／００９２８２号国際公開第２００６／００９２５３号特開２００３−１９７７１１号公報特開平０２−０３７７３８号公報特開２００４−１６３１９４号公報特許第３６０５５４４号公報

複数のテストユニットのうち一部のテストユニットのメンテナンス作業等を実施する場合に、作業者が誤って、試験を実施している他のテストユニットのメンテナンス作業を開始すると、試験中の電子部品を破損する可能性がある。また、他のテストユニットが試験を実施している時に、一部のテストユニットのメンテナンス作業等を実施すると、メンテナンス作業時における機械的な振動が他の試験装置の試験に影響を与える可能性がある。

上記課題を解決すべく、本発明の第１態様として、被試験デバイスを試験する複数のテストユニットと、複数のテストユニットのそれぞれを内部に収容する複数の収容部と、複数の収容部のそれぞれに設けられ、複数のテストユニットのそれぞれを外部に対して開放または閉鎖する複数の開閉部と、複数の開閉部の開放の可否を独立に制御する制御部とを備える試験装置が提供される。

上記試験装置において、制御部は、電力の供給が遮断されているテストユニットを外部に対して開放することを許可してよい。上記試験装置において、制御部は、複数のテストユニットのいずれかが予め定められた動作を実行している期間および上記期間の前後の所定期間の少なくとも一方の期間中、他のテストユニットを外部に対して開放することを禁止してよい。上記試験装置において、予め定められた動作は、被試験デバイスの電気的特性を試験するテストヘッドと、被試験デバイスおよびテストヘッドとの間に介在して、被試験デバイスおよびテストヘッドを電気的に接続するプローブカードとを接触させる動作であってよい。

上記試験装置において、複数の開閉部のいずれかが、対応するテストユニットを外部に対して開放している場合であって、複数のテストユニットのいずれかが予め定められた動作を実行しようとする場合に警告を発する、警告部を更に備えてよい。上記試験装置において、制御部は、複数の開閉部のいずれかが、対応するテストユニットを外部に対して開放している場合であって、複数のテストユニットのいずれかが予め定められた動作を実行しようとする場合に、予め定められた動作の実行を禁止してよい。上記試験装置において、複数のテストユニットのうち外部に対して開放させるテストユニットをユーザに選択させる第１の選択部と、複数のテストユニットのうち外部に対して開放させるテストユニットをユーザに再度選択させる第２の選択部とをさらに備えてよく、制御部は、第１の選択部で選択されたテストユニットと第２の選択部で選択されたテストユニットとが一致した場合に、第１の選択部で選択されたテストユニットを外部に対して開放することを許可してよい。

上記試験装置において、複数のテストユニットのうち外部に対して開放させるテストユニットをユーザに選択させる第１の選択部と、複数のテストユニットのうち外部に対して開放させるテストユニットをユーザに再度選択させる第２の選択部とをさらに備えてよく、制御部は、第１の選択部で選択されたテストユニットと第２の選択部で選択されたテストユニットとが一致した場合に、第１の選択部で選択されたテストユニットに対する電力の供給を遮断してよい。上記試験装置において、複数のテストユニットを内部に収容する筐体と、筐体を区画して複数の収容部を形成する仕切部材とをさらに備えてよい。上記試験装置において、複数の収容部のそれぞれは、独立に動作する温度調整部を有してよい。

上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではない。また、これら特徴群のサブコンビネーションも発明となり得る。

試験装置１００の正面図の一例を示す。試験装置１００の部分縦断面図の一例を示す。試験装置１００の部分水平断面図の一例を示す。アライメントユニット４００および試験ユニット１７０の部分縦断面図の一例を示す。テストヘッド２００の断面図の一例を示す。試験装置１００の背面図の一例を示す。制御システム５００のシステム構成の一例を示す。

１００試験装置、１０１ウエハ、１１０ＥＦＥＭ（ＥｑｕｉｐｍｅｎｔＦｒｏｎｔＥｎｄＭｏｄｕｌｅ）、１１２シグナルランプ、１１４ＥＭＯ（ＥＭｅｒｇｅｎｃｙＯｆｆ）、１１５レール、１１６ロボットアーム、１１７コラム、１１８プリアライナ、１２０操作部、１２２ディスプレイ、１２４アーム、１２６入力装置、１３０ロードユニット、１３２ロードテーブル、１３４ロードゲート、１４０チラーユニット、１５０ＦＯＵＰ（ＦｒｏｎｔＯｐｅｎｉｎｇＵｎｉｆｉｅｄＰｏｄ）、１６０メインフレーム、１７０試験ユニット、１７１筐体、１７２収容室、１７３開口、１７４吸気ファン、１７５排気ファン、１７６温度調整ユニット、１７７空調用仕切部材、１７８筐体仕切部材、１８０動力ユニット、１８２ランプ、１８４動力切替スイッチ、１８６モード切替スイッチ、１９０背面扉、１９２メンテナンスカバー、１９３ガイドレール、１９６施錠部、１９８警告表示部、２００テストヘッド、２０１筐体、２０２コンタクタ、２１０ピンエレクトロニクス、２２０マザーボード、２２２アングルコネクタ、２２６アングルコネクタ、２２４中継コネクタ、２２８小基板、２３０フラットケーブル、２４０支持基板、２５０三次元アクチュエータ、２６０コンタクタ基板、２７０サブ基板、２８０コンタクタハウジング、３００プローブカード、４００アライメントユニット、４０１筐体、４０２レール、４２２レール、４１０アライメントステージ、４２０ステージキャリア、４３０マイクロスコープ、４４０ハンガフック、４５０ウエハトレイ、５００制御システム、５０２テスト制御部、５０４電力制御部、５０６開閉制御部、５１０施錠制御部

以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は請求の範囲に係る発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。

図１は、試験装置１００の正面図の一例を概略的に示す。試験装置１００は、ＥＦＥＭ１１０、操作部１２０、ロードユニット１３０、チラーユニット１４０および動力ユニット１８０を備える。また、試験装置１００は、複数の試験ユニットを内部に収容する筐体１７１を備える。試験装置１００は、例えば、半導体ウエハに形成されたチップの電気的特性を試験して、被試験デバイスの良否を判断する。半導体ウエハおよびチップは、被試験デバイスの一例であってよい。

ＥＦＥＭ１１０は、試験対象となる半導体ウエハ等の基板を試験装置１００の内部で搬送する機構を内蔵する。ＥＦＥＭ１１０は、被試験デバイスを搬送する搬送部の一例であってよい。本実施形態において、ＥＦＥＭ１１０は試験装置１００のなかで最も寸法が大きいので、ＥＦＥＭ１１０前面の高い位置に、試験装置１００の動作状態を示すシグナルランプ１１２と、試験装置１００を非常停止させる場合に操作するＥＭＯ１１４とが配される。

操作部１２０は、ＥＦＥＭ１１０に支持される。操作部１２０は、ディスプレイ１２２、アーム１２４および入力装置１２６を有する。アーム１２４は、一端をＥＦＥＭ１１０に結合され、他端においてディスプレイ１２２および入力装置１２６を移動自在に支持する。

ディスプレイ１２２は、例えば液晶表示装置、タッチパネルディスプレイを含み、試験装置１００の動作状態、入力装置１２６からの入力内容のエコーバック、ユーザーに対する警告等を表示する。ディスプレイ１２２は、警告部の一例であってよい。

入力装置１２６は、例えばキーボード、マウス、トラックボール、ジョグタイヤル、タッチパネルディスプレイを含み、試験装置１００の設定、操作等に関する指示を受け付ける。入力装置１２６は、試験装置１００のメンテナンスを開始する旨の指示、メンテナンス箇所に関する指示を受け付けてもよい。入力装置１２６は、第１の選択部または第２の選択部の一例であってよい。なお、これらの指示は、通信回線を介して他のコンピュータから試験装置１００に入力されてもよい。

ロードユニット１３０は、ロードテーブル１３２およびロードゲート１３４を有する。ロードテーブル１３２には、試験対象となる半導体ウエハを収容した容器が載せられる。ロードゲート１３４は、試験装置１００に半導体ウエハを搬入または搬出する場合に開閉する。これにより、試験装置１００内部の清浄度を低下させることなく、外部から半導体ウエハをロードできる。

チラーユニット１４０は、試験装置１００における試験により温度が上昇したウエハを、搬出前に冷却してよい。チラーユニット１４０への半導体ウエハの搬入および搬出には、例えばＥＦＥＭ１１０を利用できる。チラーユニット１４０は冷却水の温度を調整して、試験装置１００内部の温度制御を担う空調設備に冷却水を供給してよい。チラーユニット１４０はＥＦＥＭ１１０に隣接して配されてもよく、ロードユニット１３０と、試験を実行するテストヘッドとの間に配されてもよい。動力ユニット１８０は、試験装置１００の各部に対して電力を供給する。

図２は、試験装置１００の部分縦断面図の一例を概略的に示す。図１と共通の要素には同じ参照番号を付して重複する説明を省く。試験装置１００は、ＥＦＥＭ１１０、ロードユニット１３０、メインフレーム１６０、試験ユニット１７０およびアライメントユニット４００を備える。なお、図２においては、チラーユニット１４０の図示を省略した。

本実施形態においては、ロードユニット１３０、ＥＦＥＭ１１０およびメインフレーム１６０が、前面（図中の左側）から背面（図中の右側）に向かって順次隣接して配される。また、試験ユニット１７０およびアライメントユニット４００は、メインフレーム１６０の上に、この順に配される。ロードユニット１３０およびＥＦＥＭ１１０と、アライメントユニット４００およびＥＦＥＭ１１０とは、それぞれ内部で気密に連通しており、これらの内部は高い清浄度を保たれる。試験ユニット１７０とアライメントユニット４００とは、内部で互いに連通している。

図２において、ロードユニット１３０のロードテーブル１３２には、ＦＯＵＰ１５０が載せられている。ＦＯＵＰ１５０は、試験対象となるウエハ１０１を複数格納する。また、試験終了後のウエハ１０１を回収する場合にも、ＦＯＵＰ１５０にウエハ１０１が収納される。

ＥＦＥＭ１１０は、ロボットアーム１１６を内蔵する。ロボットアーム１１６は、レール１１５に沿って走行するコラム１１７に搭載され、ロードユニット１３０およびアライメントユニット４００の間でウエハを搬送する。ロボットアーム１１６は、ロードゲート１３４を通して、ＦＯＵＰ１５０からウエハ１０１を１枚ずつ取り出して、アライメントユニット４００に搬送する。

メインフレーム１６０は、試験装置１００全体の動作を制御する。例えば、メインフレーム１６０は操作部１２０に接続され、操作部１２０の入力装置１２６が受け付けた入力を試験装置１００の各部に反映させる。また、メインフレーム１６０は試験装置１００の動作状態を反映させた表示内容を生成して、操作部１２０のディスプレイ１２２に表示させる。

メインフレーム１６０は、試験装置１００の各部の動作を制御するシステムを有してよい。例えば、メインフレーム１６０は、試験ユニット１７０の動作を制御する制御システム５００を有してよい。制御システム５００は、例えば試験プログラムを記憶して、試験プログラムに従って試験ユニット１７０の動作を制御する。

メインフレーム１６０は、ロードユニット１３０、ＥＦＥＭ１１０、試験ユニット１７０およびアライメントユニット４００の動作を同期させ、ウエハ１０１を相互に受け渡させ、ウエハ１０１の試験を実行させてよい。メインフレーム１６０は、ＥＭＯ１１４が操作された場合、メインフレーム１６０は、試験装置１００各部の動作を直ちに停止させる。

試験ユニット１７０は、被試験デバイスを試験する。試験ユニット１７０は、テストヘッド２００と、プローブカード３００とを有する。本実施形態において、試験装置１００は、複数の試験ユニット１７０を備える。また、試験装置１００は、複数の試験ユニット１７０を内部に収容する筐体１７１を備え、筐体１７１は、複数の収容室１７２を有する。複数の収容室１７２は、試験ユニット１７０のそれぞれを内部に収容する。試験ユニット１７０は、テストユニットの一例であってよい。収容室１７２は、収容部の一例であってよい。

本実施形態において、複数の収容室１７２のそれぞれには、開口１７３、背面扉１９０およびメンテナンスカバー１９２が設けられる。また、メンテナンスカバー１９２の外側には、プローブカード３００を引き出した場合にプローブカード３００を支持するガイドレール１９３が設けられる。開口１７３は、筐体１７１の収容室１７２の底部に該当する部分に設けられており、開口１７３を介して収容室１７２とアライメントユニット４００とが連通している。

背面扉１９０およびメンテナンスカバー１９２は、筐体１７１の収容室１７２の背面側の部分に設けられており、複数の試験ユニット１７０のそれぞれを外部に対して開放または閉鎖できる。背面扉１９０はテストヘッド２００のメンテナンスが容易な位置に配され、メンテナンスカバー１９２はプローブカード３００のメンテナンスが容易な位置に配されている。

プローブカード３００は、開口１７３の周囲に支持されているが、メンテナンスカバー１９２を開けて、背面のメンテナンスカバー１９２から外部に引き出すことができる。背面扉１９０およびメンテナンスカバー１９２は、開閉部の一例であってよい。

収容室１７２のそれぞれは、内部に、吸気ファン１７４と、排気ファン１７５と、温度調整ユニット１７６と、空調用仕切部材１７７とを有する。吸気ファン１７４は、温度調整ユニット１７６を介して、収容室１７２の内部に気体を流入させる。排気ファン１７５は、温度調整ユニット１７６を介して、収容室１７２の内部の気体を収容室１７２の外部に流出させる。

温度調整ユニット１７６は、吸気ファン１７４に吸い込まれる気体または排気ファンから排出された気体の温度を調整する。温度調整ユニット１７６は、冷却装置および加熱装置の少なくとも一方を有してよい。温度調整ユニットは、チラーユニット１４０で製造された冷却水を用いた熱交換器であってよい。

収容室１７２の内部には空調用仕切部材１７７が配されているので、吸気ファン１７４から吸い込まれた気体は、収容室１７２の内部を循環して、排気ファン１７５から排出される。吸気ファン１７４およぶ排気ファン１７５は、試験装置１００の高さ方向（以下、ｚ方向と称する場合がある。）に配されてよく、空調用仕切部材１７７の高さは、吸気ファン１７４の高さと排気ファン１７５の高さとの間に設定されてよい。また、空調用仕切部材１７７は、テストヘッド２００の上方に配されてよい。これにより、テストヘッド２００の温度を効率よく調整できる。

吸気ファン１７４、排気ファン１７５および温度調整ユニット１７６は、収容室１７２のそれぞれに配されてよい。異なる収容室１７２に配された吸気ファン１７４、排気ファン１７５および温度調整ユニット１７６は、独立に動作してよい。これにより、それぞれの収容室１７２の温度を独立に制御できる。

なお、温度調整ユニット１７６は、複数の収容室１７２で共用してよい。この場合であっても、それぞれの収容室１７２に配された吸気ファン１７４および排気ファン１７５を制御することで、それぞれの収容室１７２の温度を独立に制御できる。吸気ファン１７４、排気ファン１７５および温度調整ユニット１７６は、温度調整部の一例であってよい。

テストヘッド２００は、ウエハ１０１と電気的に接続され、ウエハ１０１の電気的特性を試験する。テストヘッド２００は、被試験デバイスに対して、温度条件が異なる複数の種類の試験を実施してよい。テストヘッド２００は、複数のピンエレクトロニクス２１０を格納する。ピンエレクトロニクス２１０には、試験の対象および試験の内容に応じて求められる電気回路が実装される。本実施形態において、テストヘッド２００は、下面に装着されたコンタクタ２０２を介して、プローブカード３００と電気的に接続される。

プローブカード３００は、試験装置１００において試験を実行する場合に、テストヘッド２００とウエハ１０１との間に介在して、テストヘッド２００およびウエハ１０１を電気的に接続する配線基板ユニットであってよい。ウエハ１０１に対して試験を実行する場合は、プローブカード３００により、テストヘッド２００とウエハ１０１との間に電気的な信号経路が形成される。プローブカード３００を交換することにより、レイアウトの異なるウエハ１０１に試験装置１００を対応させることができる。

アライメントユニット４００は、アライメントステージ４１０を有する。アライメントステージ４１０は、ウエハトレイ４５０およびウエハ１０１を搭載してレールに沿って走行する。また、アライメントステージ４１０は、ｚ方向に伸縮して、搭載したウエハ１０１を上昇または降下させることができる。これにより、プローブカード３００に対してウエハ１０１を位置合わせした後、ウエハ１０１を上方のプローブカード３００に押し付けることができる。

図３は、試験装置１００の部分水平断面図の一例を概略的に示す。図１および図２と共通の要素には同じ参照番号を付して重複する説明を省く。試験装置１００は、４基のロードユニット１３０と、４基の試験ユニット１７０とを備える。また、ロードユニット１３０の各々には、ＦＯＵＰ１５０が装填される。ＥＦＥＭ１１０およびアライメントユニット４００は１基ずつ配される。また、アライメントユニット４００は、単一のアライメントステージ４１０を備える。なお、試験ユニット１７０は当該断面の上方に位置することから、図３において試験ユニット１７０を点線で示す。また、図３においては、動力ユニット１８０の図示を省略した。

ＥＦＥＭ１１０において、ロボットアーム１１６を支持するコラム１１７は、レール１１５に沿って、ＥＦＥＭ１１０の略全幅にわたって移動する。従って、ロボットアーム１１６は、４基のロードユニット１３０および４基の試験ユニット１７０の全てにウエハ１０１を搬送できる。

ＥＦＥＭ１１０の内部において、チラーユニット１４０と反対側の端部には、プリアライナ１１８が配される。プリアライナ１１８は、ロボットアーム１１６に対するウエハ１０１の搭載位置を、テストヘッド２００が要求する精度よりは低いが相当に高い精度で調整する。これにより、ロボットアーム１１６がウエハトレイ４５０にウエハ１０１を搭載する場合の初期位置精度が向上され、プローブカード３００に対する位置合わせに要する時間が短縮される。また、試験装置１００のスループットを向上させることができる。

アライメントユニット４００は、レール４０２、レール４２２、ステージキャリア４２０、アライメントステージ４１０およびマイクロスコープ４３０を有する。レール４０２は、筐体４０１底面の略全幅にわたって配される。ステージキャリア４２０は、レール４０２に沿って、筐体４０１の幅方向（以下、ｘ方向と称する場合がある。）に移動する。これにより、アライメントステージ４１０は、ウエハトレイ４５０およびウエハ１０１を搭載してレール４０２に沿って走行する。

ステージキャリア４２０は、筐体４０１のレール４０２に直行するレール４２２を上面に有する。これにより、アライメントステージ４１０は、レール４２２の上を筐体４０１の奥行き方向（以下、ｙ方向と称する場合がある。）に移動する。

マイクロスコープ４３０の一部は、テストヘッド２００の各々に対応して、プローブカード３００の各々の直近に配される。これらのマイクロスコープ４３０は、筐体４０１の天井面に、下方に向かって配される。

また、一対のマイクロスコープ４３０が、アライメントステージ４１０と共にステージキャリア４２０に搭載され、アライメントステージ４１０と共に移動する。一対のマイクロスコープ４３０は、上方に向かって配される。一対のマイクロスコープ４３０は、ｘ方向に離間して配されてよい。

これらのマイクロスコープ４３０を用いることにより、プローブカード３００に対してアライメントステージ４１０上のウエハ１０１を位置合わせすることができる。即ち、アライメントステージ４１０上の上に搭載された段階では、ウエハ１０１の位置は、プリアライメントの精度で位置決めされている。そこで、例えば、下方を向いたマイクロスコープ４３０でウエハ１０１の縁部を検出することにより、ウエハ１０１の位置を正確に検出することができる。

一方、筐体４０１に配されたマイクロスコープのプローブカード３００に対する相対位置は既知である。これにより、ウエハ１０１の位置とプローブカード３００の位置との差分を検出して、それが補償されるようにアライメントステージ４１０を移動させて、ウエハ１０１およびプローブカード３００を位置合わせすることができる。なお、ウエハ１０１の検出は、縁部の検出に限られるわけではない。例えば、ディスプレイ１２２にマイクロスコープ４３０の映像を表示して、手動で位置合わせしてもよい。

図４は、アライメントユニット４００および試験ユニット１７０部分縦断面図の一例を概略的に示す。図１から図３と共通の要素には同じ参照番号を付して重複する説明を省く。なお、図４においては、メインフレーム１６０の図示を省略した。筐体１７１の内部には、筐体１７１を区画して複数の収容室１７２を形成する筐体仕切部材１７８が配される。筐体仕切部材１７８は、仕切部材の一例であってよい。アライメントユニット４００は、筐体４０１、アライメントステージ４１０およびハンガフック４４０を備える。

筐体４０１は、複数のテストヘッド２００、例えば４基のテストヘッド２００に応じた幅を有する。筐体４０１は、上面の開口１７３を介して、それぞれの収容室１７２と連通している。筐体４０１の上面には、テストヘッド２００の各々に対応して４枚のプローブカード３００が装着される。更に、筐体４０１内部の天井面には、テストヘッド２００の各々に対応する位置に、開閉するハンガフック４４０がそれぞれ配される。

アライメントステージ４１０は、筐体４０１の底面に配されたレール４０２に沿って、いずれのテストヘッド２００の下方にも移動できる。また、アライメントステージ４１０はｚ方向に伸縮して、搭載したウエハトレイ４５０等を上昇または降下させることができる。

ハンガフック４４０は、閉じた状態ではウエハトレイ４５０を懸下して、ウエハトレイ４５０をプローブカード３００の直下に保持する。これにより、アライメントユニット４００は、テストヘッド２００およびプローブカード３００の各々の直下に、それぞれウエハトレイ４５０を待機させる。ハンガフック４４０が開くと、ウエハトレイ４５０は開放される。

上記のアライメントユニット４００においては、ハンガフック４４０に保持されたウエハトレイ４５０は、下方から上昇してきたアライメントステージ４１０の上に、いったん搭載される。次に、ハンガフック４４０を開いた状態でアライメントステージ４１０を降下させることにより、ウエハトレイ４５０をハンガフック４４０から開放することができる。

続いて、アライメントステージ４１０の降下により上面を開放されたウエハトレイ４５０に、ＥＦＥＭ１１０のロボットアーム１１６がウエハ１０１を搭載する。こうして、アライメントステージ４１０は、ウエハトレイ４５０に載せられた状態でウエハ１０１を搭載できる。

次に、アライメントステージ４１０は、プローブカード３００に対してウエハ１０１を位置合わせしつつ、ウエハトレイ４５０を上昇させて、プローブカード３００の下面に押し付ける。この状態で、プローブカード３００、ウエハ１０１およびウエハトレイ４５０を一体化させる。

例えば、プローブカード３００とウエハトレイ４５０とがウエハ１０１を挟み込んだ状態で、プローブカード３００とウエハトレイ４５０との間を低圧にすることで、プローブカード３００、ウエハ１０１およびウエハトレイ４５０を一体化させることができる。他の方法としては、ウエハ１０１を挟み込んだプローブカード３００とウエハトレイ４５０とを外部から挟みこむ固定治具を用いてもよい。

その後、アライメントステージ４１０は、ウエハ１０１およびウエハトレイ４５０を残して移動する。プローブカード３００、ウエハ１０１およびウエハトレイ４５０は一体化しているので、アライメントステージ４１０がなくてもウエハ１０１およびウエハトレイ４５０は落下しない。

これにより、ウエハ１０１を、テストヘッド２００に対して装填できる。また、上記テストヘッド２００がウエハ１０１の試験を実施している間、アライメントステージ４１０は、他のテストヘッド２００に対して他のウエハ１０１を搬送することができる。なお、試験を終えたウエハ１０１を回収する場合は、上記一連の操作を逆の順序で実行すればよい。これにより、ロボットアーム１１６によりウエハ１０１を搬出できる。このとき、ウエハトレイ４５０は、テストヘッド２００の直下で待機する。

図４の例では、図中、右端の試験ユニット１７０においては、テストヘッド２００の直下で、ウエハトレイ４５０およびウエハ１０１が、プローブカード３００と一体化されている。このとき、ハンガフック４４０は閉じているが、ウエハトレイ４５０には接していない。また、右から２番目の試験ユニット１７０においては、テストヘッド２００の直下で、アライメントステージ４１０が、搭載したウエハトレイ４５０およびウエハ１０１を押し上げて、プローブカード３００の下面に密着させている。他の試験ユニット１７０においては、ハンガフック４４０がウエハトレイ４５０を保持して待機している。

このように、アライメントユニット４００においては、４基の試験ユニット１７０の各々に対応してウエハトレイ４５０が装備される。これにより、試験ユニット１７０の各々が個別にウエハ１０１を試験できる。なお、複数の試験ユニット１７０は、互いに同じ種類の試験を実行してもよいし、互いに異なる種類の試験を実行してもよい。また、後者の場合、時間のかかる試験を複数の試験ユニット１７０に担わせることにより、試験装置１００のスループットを向上させることもできる。

このように、試験装置１００においては、単一のアライメントステージ４１０およびロボットアーム１１６を、複数の試験ユニット１７０の間で共用する。これにより、アライメントステージ４１０およびロボットアーム１１６の利用効率を向上させることができる。

図５は、テストヘッド２００の断面図である。図１から図４と共通の要素には同じ参照番号を付して重複する説明を省く。テストヘッド２００は、筐体２０１、コンタクタ２０２、ピンエレクトロニクス２１０、マザーボード２２０およびフラットケーブル２３０を備える。

筐体２０１の内部には、複数の中継コネクタ２２４を有するマザーボード２２０が水平に配される。中継コネクタ２２４は、マザーボード２２０の上面側および下面側にそれぞれレセプタクルを有して、マザーボード２２０を貫通する信号経路を形成する。

マザーボード２２０の上面において、中継コネクタ２２４の各々には、アングルコネクタ２２２を介してピンエレクトロニクス２１０が装着される。このような構造により、試験対象の仕様および試験内容に応じてピンエレクトロニクス２１０を交換することができる。複数のピンエレクトロニクス２１０は、互いに同じ仕様であってもよく、互いに異なる仕様であってもよい。また、一部の中継コネクタ２２４に、ピンエレクトロニクス２１０が装着されなくてもよい。

マザーボード２２０の下面において、中継コネクタ２２４の各々には、アングルコネクタ２２６を介して小基板２２８が接続される。小基板２２８には、フラットケーブル２３０の一端が接続される。これにより、筐体２０１内部のピンエレクトロニクス２１０と、コンタクタ２０２とを、フラットケーブル２３０を介して接続できる。

筐体２０１の下面には、コンタクタ２０２が装着される。コンタクタ２０２は、支持基板２４０、三次元アクチュエータ２５０、コンタクタ基板２６０、サブ基板２７０およびコンタクタハウジング２８０を有する。

支持基板２４０は、上面を筐体２０１に対して固定されると共に、下面において、三次元アクチュエータ２５０の上端を支持する。三次元アクチュエータ２５０の下端は、コンタクタ基板２６０を支持する。更に、コンタクタ基板２６０の下面には、サブ基板２７０およびコンタクタハウジング２８０が固定される。

三次元アクチュエータ２５０は、支持基板２４０の下面に沿って水平方向に移動し得ると共に、垂直方向にも伸縮する。これにより、コンタクタ基板２６０を、三次元的に移動させることができる。コンタクタ基板２６０が移動した場合、コンタクタ基板２６０と共に、サブ基板２７０およびコンタクタハウジング２８０も移動する。

なお、フラットケーブル２３０の下端は、コンタクタハウジング２８０に保持された端子、例えばスプリングピンに結合される。これにより、ピンエレクトロニクス２１０は、テストヘッド２００の最下面まで電気的に接続される。また、ここでは一例としてスプリングピンを挙げたが、容量結合、光接続等、スプリングピンを用いない接続を含む構造も採り得る。

図６は、試験装置１００の背面図の一例を概略的に示す。図１から図５と共通の要素には同じ参照番号を付して重複する説明を省く。動力ユニット１８０は、複数の試験ユニット１７０のそれぞれに対応して、ランプ１８２、動力切替スイッチ１８４およびモード切替スイッチ１８６を有する。試験装置１００は、複数の収容室１７２のそれぞれに対応して、背面扉１９０、メンテナンスカバー１９２、ガイドレール１９３、施錠部１９６および警告表示部１９８を備える。

メインフレーム１６０は、制御システム５００を有する。制御システム５００は、複数の試験ユニット１７０の動作を制御すると共に、背面扉１９０およびメンテナンスカバー１９２の開放の可否を、収容室１７２ごとにまたは試験ユニット１７０ごとに、独立に制御する。これにより、試験ユニット１７０を外部に対して開放させるか否かを、試験ユニット１７０ごとに独立して制御できるので、外部に対して開放させることを禁止されている試験ユニット１７０に対応する背面扉１９０またはメンテナンスカバー１９２が、誤って開けられることを防止できる。

例えば、制御システム５００は、複数の試験ユニット１７０のうち、電力の供給が遮断されている試験ユニット１７０を外部に対して開放することを許可する。即ち、制御システム５００は、被試験デバイスを試験する複数の試験ユニット１７０のいずれかを外部に対して開放するか否かを判断する段階と、複数の試験ユニット１７０のうち、外部に対して開放すると判断された試験ユニット１７０を、外部に対して開放することを許可する段階とを実行してよい。これにより、試験中の試験ユニット１７０が外部に対して開放され、試験中のウエハ１０１が損傷を受けることを抑制できる。

他の例としては、制御システム５００は、複数の試験ユニット１７０のいずれかが予め定められた動作を実行している期間および上記期間の前後の所定期間の、少なくとも一方の期間中、他の試験ユニット１７０を外部に対して開放することを禁止してよい。即ち、制御システム５００は、複数の試験ユニット１７０のいずれかを外部に対して開放するか否かを判断する段階において、上記判断の対象となっている試験ユニット１７０以外の試験ユニット１７０が予め定められた動作を実行している期間中あるいは上記期間の前後一定期間中には、判断の対象となっている試験ユニット１７０を外部に対して開放することを禁止すると判断してよい。また、制御システム５００は、いずれかの収容室１７２の背面扉１９０またはメンテナンスカバー１９２が、上記収容室１７２の内部に収容されている試験ユニット１７０を外部に対して開放している場合であって、他の試験ユニット１７０が予め定められた動作を実行しようとする場合に、当該動作の実行を禁止してよい。

予め定められた動作としては、テストヘッド２００とプローブカード３００とを接触させる工程、ウエハ１０１とプローブカード３００とを位置合わせする工程のように、機械的な振動または電圧の変動に対して敏感な工程を例示できる。これにより、例えば、ある試験ユニット１７０が機械的な振動または電圧の変動に対して敏感な工程を実施している時に、他の試験ユニット１７０においてメンテナンスが開始され、機械的な振動または電圧の変動が生じることを防止できる。制御システム５００は、上記行為を禁止することが好ましい工程の種類および上記行為を禁止することが好ましい期間に関する情報を予め記憶していてもよく、操作部１２０または通信回線等を介して、外部から入力を受け付けてもよい。

ランプ１８２は、対応する試験ユニット１７０に対する電力の供給状態を表示する。例えば、対応する試験ユニット１７０に電力が供給されている場合にはランプ１８２が点灯し、上記電力の供給が遮断されている場合にはランプ１８２が消灯する。動力切替スイッチ１８４は、対応する試験ユニット１７０の電源のＯＮまたはＯＦＦを切り替える。

モード切替スイッチ１８６は、対応する試験ユニット１７０の運転状態を切り替える。ユーザは、モード切替スイッチ１８６により、複数の試験ユニット１７０のうち、外部に対して開放させる試験ユニット１７０を選択できる。モード切替スイッチ１８６は、通常運転モードとメンテナンスモードとを切り替えてよい。モード切替スイッチ１８６は、対応する試験ユニット１７０に対する電力の供給が遮断されていない場合には、メンテナンスモードに切り替えることができないように設定されてよい。

モード切替スイッチ１８６の種類は特に限定されるものではないが、例えば、シリンダー錠と鍵とを有するキースイッチであってよい。また、上記キースイッチのシリンダー鍵として、施錠時には鍵が抜けないシリンダー錠を用いて、モード切替スイッチ１８６によりメンテナンスモードが選択されていなければ鍵が抜けないように設定してもよい。

モード切替スイッチ１８６は、第１の選択部または第２の選択部の一例であってよい。ユーザは、モード切替スイッチ１８６により運転状態を切り替える代わりに、操作部１２０から外部に対して開放させようと考えている試験ユニット１７０の番号を入力してもよい。この場合、操作部１２０も第１の選択部の一例であってよい。

施錠部１９６は、対応する背面扉１９０およびメンテナンスカバー１９２を施錠する。施錠部１９６の種類は特に限定されるものではないが、シリンダー錠のように機械的に鍵の開閉を操作するものであってもよく、電子ロックのように電気的に鍵の開閉を操作するものであってもよい。施錠部１９６として機械的に鍵の開閉を操作するものを用いる場合には、同じ試験ユニット１７０に対応するモード切替スイッチ１８６の鍵と施錠部１９６の鍵とは同一であってよい。

一実施形態においては、施錠部１９６が、制御システム５００から、対応する背面扉１９０およびメンテナンスカバー１９２が設けられている収容室１７２の内部に収容されている試験ユニット１７０（以下、対応する試験ユニット１７０と称する場合がある。）を外部に対して開放することを許可する旨の通知を受けた場合に、背面扉１９０およびメンテナンスカバー１９２の施錠を解除できるように設定してよい。この場合、施錠部１９６が制御システム５００から上記通知を受け取っていない場合には、ユーザが開錠操作を実行しても、背面扉１９０およびメンテナンスカバー１９２の施錠を解除することはできない。

例えば、施錠部１９６は、対応する試験ユニット１７０の運転状態がメンテナンスモードに切り替えられている場合に、制御システム５００から上記通知を受け取ってよい。即ち、制御システム５００は、モード切替スイッチ１８６で選択された試験ユニット１７０と、施錠部１９６で選択された試験ユニット１７０とが一致した場合に、モード切替スイッチ１８６で選択された試験ユニット１７０を外部に対して開放することを許可する。これにより、ユーザは、対応する背面扉１９０およびメンテナンスカバー１９２を開けて、試験ユニット１７０のピンエレクトロニクス２１０、プローブカード３００を交換したり、その他のメンテナンスを実施したりすることができる。

この場合、ユーザは、複数の試験ユニット１７０のうち、外部に対して開放させる試験ユニット１７０を再度選択する必要がある。これにより、ユーザが誤って、意図しない試験ユニット１７０を外部に開放することを防止できる。施錠部１９６は、第１の選択部または第２の選択部の一例であってよい。

上記の例では、第１の選択部で選択された試験ユニット１７０と、第２の選択部で選択された試験ユニット１７０とが一致した場合に、選択された試験ユニット１７０を外部に対して開放する場合について説明した。即ち、制御システム５００は、複数の試験ユニットのうち、外部に対して開放させる試験ユニットをユーザに選択させる第１の選択段階と、複数の試験ユニットのうち、外部に対して開放させる試験ユニットをユーザに再度選択させる第２の選択段階とをさらに有して、第１の選択段階で選択された試験ユニットおよび第２の選択段階で選択された試験ユニットとが一致した場合に、第１の選択段階で選択された試験ユニットを外部に対して開放すると判断する試験方法を実行する場合について説明した。

しかし、選択された試験ユニット１７０が一致した場合の動作はこれに限定されない。例えば、選択された試験ユニット１７０が一致した場合に、選択された試験ユニット１７０に対する電力の供給を遮断してもよい。即ち、制御システム５００は、複数の試験ユニットのうち、外部に対して開放させる試験ユニットをユーザに選択させる第１の選択段階と、複数の試験ユニットのうち、外部に対して開放させる試験ユニットをユーザに再度選択させる第２の選択段階と、第１の選択段階で選択された試験ユニットおよび第２の選択段階で選択された試験ユニットが一致した場合に、第１の選択段階で選択された試験ユニットに対する電力の供給を遮断する段階とを有する試験方法を実行してもよい。

警告表示部１９８は、いずれかの収容室１７２の背面扉１９０またはメンテナンスカバー１９２が、上記収容室１７２の内部に収容されている試験ユニット１７０を外部に対して開放している場合であって、他の試験ユニット１７０が予め定められた動作を実行しようとする場合に、ユーザに対して警告を発する。警告表示部１９８は、例えば、他の試験ユニット１７０が上記動作を実行しようとしている旨を表示してよい。警告表示部１９８は、警告部の一例であってよい。警告部の他の例としては、上記の場合において、音声でユーザに注意喚起するスピーカであってもよい。

予め定められた動作としては、テストヘッド２００とプローブカード３００とを接触させる工程、ウエハ１０１とプローブカード３００とを位置合わせする工程のように、機械的な振動または電圧の変動に対して敏感な工程を例示できる。これにより、他の試験ユニット１７０が予め定められた動作を実行している間、当該動作に影響を与える動作を禁止すべき旨をユーザに伝えることができる。当該動作に影響を与える動作としては、対応する背面扉１９０およびメンテナンスカバー１９２を開ける作業、試験ユニット１７０のピンエレクトロニクス２１０、プローブカード３００を交換する作業、またはその他のメンテナンス作業のように、試験ユニット１７０に機械的な振動または電圧の変動を与えるような動作を例示できる。

また、上記警告が発せられた場合に、ユーザが上記警告を確認するまで、当該動作を保留してよい。そして、ユーザが操作部１２０を操作して、上記警告を確認した旨の指示を入力した場合、または、ユーザがメンテナンス等を中止して、背面扉１９０またはメンテナンスカバー１９２を元に戻して、施錠部１９６を施錠した場合には、上記動作を開始してもよい。

図７は、制御システム５００のシステム構成の一例を概略的に示す。制御システム５００は、テスト制御部５０２と、電力制御部５０４と、開閉制御部５０６および施錠制御部５１０とを有する。

テスト制御部５０２は、テストヘッド２００、電力制御部５０４および開閉制御部５０６と接続される。テスト制御部５０２は、開閉制御部５０６から、施錠部１９６が施錠されているか否かに関する情報と、開閉制御部５０６が操作部１２０から受け取った情報とを受け取る。

テスト制御部５０２は、試験プログラムを記憶してよい。テスト制御部５０２は、当該工程を実行している期間および当該工程の前後の所定期間の間は、他の試験ユニット１７０を外部に対して開放することを禁止することが好ましい工程（以下、開放禁止工程と称する場合がある。）の種類および上記所定期間に関する情報（以下、開放禁止工程に関する情報と称する場合がある。）とを記憶してよい。テスト制御部５０２は、試験プログラムおよび開放禁止工程に関する情報を予め記憶しておいてもよく、通信回線、記憶媒体等を介して、適宜、外部から受け取ってもよい。

テスト制御部５０２は、開閉制御部５０６から受け取った情報と、試験プログラムおよび開放禁止工程に関する情報とに基づいて、テストヘッド２００の動作を制御する。例えば、試験プログラムを参照して、次の工程が開放禁止工程に該当する場合には、施錠部１９６の施錠が確認されるまでは、当該工程の実施を保留してよい。

テスト制御部５０２は、電力制御部５０４および開閉制御部５０６に対して、試験の状況に関する情報を通知する。例えば、テスト制御部５０２は、現在の工程が開放禁止工程に該当する旨または次の工程が開放禁止工程に該当する旨を通知する。

電力制御部５０４は、テストヘッド２００、動力切替スイッチ１８４、テスト制御部５０２および開閉制御部５０６と接続される。電力制御部５０４は、動力切替スイッチ１８４から、対応する試験ユニット１７０の発停に関する情報を受け取る。電力制御部５０４は、テスト制御部５０２から、試験の状況に関する情報を受け取る。電力制御部５０４は、開閉制御部５０６から、電力の供給を遮断すべき試験ユニット１７０の情報を受け取る。

電力制御部５０４は、受け取った情報に基づき、適切なテストヘッド２００に対する電力の供給を遮断する。例えば、電力制御部５０４は、開閉制御部５０６から受け取った電力の供給を遮断すべき試験ユニット１７０について、動力切替スイッチ１８４から受けとっと情報とテスト制御部５０２から受け取った情報とを参照して、電力の供給を遮断してよいか否かを判断する。そして、電力制御部５０４は、電力の供給を遮断してよい状態になるまで、電力の供給を遮断することを保留する。また、電力制御部５０４は、開閉制御部５０６に対して、各テストヘッド２００に対する電力の供給状態に関する情報を通知する。

開閉制御部５０６は、モード切替スイッチ１８６、施錠制御部５１０、操作部１２０、テスト制御部５０２および電力制御部５０４と接続される。開閉制御部５０６は、モード切替スイッチ１８６から、対応する試験ユニット１７０の運転状態に関する情報を受け取る。開閉制御部５０６は、施錠制御部５１０から施錠部１９６が施錠されているか否かに関する情報を受け取る。開閉制御部５０６は、操作部１２０から、ユーザの入力に関する情報を受け取る。開閉制御部５０６は、テスト制御部５０２から、試験の状況に関する情報を受け取る。開閉制御部５０６は、電力制御部５０４から、各テストヘッド２００に対する電力の供給状態に関する情報を受け取る。

開閉制御部５０６は、受け取った情報に基づいて、各試験ユニット１７０ごとに対応する施錠部１９６の施錠を解除してよいか否かを判断する。即ち、各試験ユニット１７０ごとに、外部に対する開放の可否を判断する。あるいは、書く試験ユニット１７０ごとに電力の供給を遮断してよいか否かを判断する。また、いずれかの施錠部１９６が開錠されている場合には、対応する警告表示部１９８に警告を発するか否かを判断する。

一実施態様において、開閉制御部５０６は、モード切替スイッチ１８６から、対応する試験ユニット１７０の運転状況がメンテナンスモードに切り替わる旨の通知を受け取る。この状態で、開閉制御部５０６が、施錠制御部５１０から対応する試験ユニット１７０の開錠の可否について問い合わせを受け取った場合には、開閉制御部５０６は、モード切替スイッチ１８６に対応する試験ユニット１７０と、施錠制御部５１０に対応する試験ユニット１７０とが同一であるか否かを判断する。両者が一致した場合、開閉制御部５０６は、施錠制御部５１０に対して、当該試験ユニット１７０の開錠の許可を通知する。

別の実施態様において、開閉制御部５０６は、施錠制御部５１０から対応する試験ユニット１７０が選択された旨の通知を受け取る。この状態で、開閉制御部５０６が、モード切替スイッチ１８６から、対応する試験ユニット１７０の運転状況がメンテナンスモードに切り替わる旨の通知を受け取った場合には、開閉制御部５０６は、モード切替スイッチ１８６に対応する試験ユニット１７０と、施錠制御部５１０に対応する試験ユニット１７０とが同一であるか否かを判断する。両者が一致した場合、開閉制御部５０６は、電力制御部５０４に対して、当該試験ユニット１７０に対する電力の供給を遮断すべき旨を通知する。

開閉制御部５０６は、上記判断結果をテスト制御部５０２、電力制御部５０４および施錠制御部５１０に通知する。開閉制御部５０６は、施錠部１９６の施錠状況、試験の進行状況などを操作部１２０に通知する。また、必要に応じて、警告表示部１９８に対して警告を通知する。

施錠制御部５１０は、施錠部１９６および開閉制御部５０６と接続される。施錠制御部５１０は、施錠部１９６の施錠状況を把握することにより、施錠部１９６が選択されているか否かを判断してよい。施錠制御部５１０は、第１の選択部または第２の選択部の一例であってよい。

施錠制御部５１０は、施錠部１９６から開錠の可否に関する問い合わせを受け取る。施錠制御部５１０は、開閉制御部５０６から開錠の可否に関する情報を受け取る。施錠制御部５１０は、開閉制御部５０６から開錠を許可する旨の情報を受け取っている状態で、施錠部１９６からは開錠の可否に関する問い合わせを受け取った場合には、施錠部１９６を開錠する。施錠制御部５１０は、開閉制御部５０６から開錠を許可する旨の情報を受け取っていない場合には、施錠部１９６から開錠の可否に関する問い合わせを受け取ったとしても、施錠部１９６を開錠させない。

以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加え得ることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、請求の範囲の記載から明らかである。

請求の範囲、明細書、および図面において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップおよび段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。

Claims

被試験デバイスを試験する、複数のテストユニットと、
前記複数のテストユニットを内部に収容する、筐体と、
前記複数のテストユニットのそれぞれを内部に収容する、複数の収容部と、
前記筐体を区画して前記複数の収容部を形成する、仕切部材と、
前記複数の収容部のそれぞれに設けられ、前記複数のテストユニットのそれぞれを外部に対して開放または閉鎖する、複数の開閉部と、
前記複数の開閉部の開放の可否を独立に制御する、制御部と、
を備え、
前記制御部は、前記複数のテストユニットのいずれかが機械的な振動または電圧の変動に対して敏感な動作を実行している期間および前記期間の前後の所定期間の少なくとも一方の期間中、他のテストユニットを外部に対して開放することを禁止する、
試験装置。
前記制御部は、前記複数のテストユニットのうち、電力の供給が遮断されているテストユニットを外部に対して開放することを許可する、
請求項１に記載の試験装置。
前記制御部は、前記複数の開閉部のいずれかが対応するテストユニットを外部に対して開放している場合に、前記複数のテストユニットのいずれかが機械的な振動または電圧の変動に対して敏感な動作を実行することを禁止する、
請求項１または請求項２に記載の試験装置。
前記複数の開閉部のいずれかが、対応するテストユニットを外部に対して開放している場合であって、前記複数のテストユニットのいずれかが前記機械的な振動または電圧の変動に対して敏感な動作を実行しようとする場合に警告を発する、警告部を更に備える、
請求項１から請求項３までの何れか一項に記載の試験装置。
前記複数のテストユニットのそれぞれは、前記被試験デバイスを試験するテストヘッドと、前記被試験デバイスおよび前記テストヘッドを電気的に接続するプローブカードとを有する、
請求項１から請求項４までの何れか一項に記載の試験装置。
前記機械的な振動または電圧の変動に対して敏感な動作は、前記テストヘッドと、前記プローブカードとを接触させる動作である、
請求項５に記載の試験装置。
前記プローブカードが、前記筐体に装着される、
請求項５または請求項６に記載の試験装置。
前記複数のテストユニットのそれぞれは、前記被試験デバイスと前記プローブカードとが一体化された状態で、前記被試験デバイスを試験する、
請求項５から請求項７までの何れか一項に記載の試験装置。
前記複数のテストユニットのうち、外部に対して開放させるテストユニットをユーザに選択させる、第１の選択部と、
前記複数のテストユニットのうち、外部に対して開放させるテストユニットをユーザに再度選択させる、第２の選択部と、
をさらに備え、
前記制御部は、前記第１の選択部で選択されたテストユニットと、前記第２の選択部で選択されたテストユニットとが一致した場合に、前記第１の選択部で選択されたテストユニットを外部に対して開放することを許可する、
請求項１から請求項８までの何れか一項に記載の試験装置。
前記複数のテストユニットのうち、外部に対して開放させるテストユニットをユーザに選択させる、第１の選択部と、
前記複数のテストユニットのうち、外部に対して開放させるテストユニットをユーザに再度選択させる、第２の選択部と、
をさらに備え、
前記制御部は、前記第１の選択部で選択されたテストユニットと、前記第２の選択部で選択されたテストユニットとが一致した場合に、前記第１の選択部で選択されたテストユニットに対する電力の供給を遮断する、
請求項１から請求項９までの何れか一項に記載の試験装置。
複数のテストユニットのそれぞれに対応する、複数の前記第１の選択部と、
複数のテストユニットのそれぞれに対応する、複数の前記第２の選択部と、
を備え、
前記複数の第１の選択部と前記複数の第２の選択部とは、キースイッチであり、
対応する前記複数の第１の選択部と前記複数の第２の選択部との間では、同一の鍵が使用される、
請求項９または請求項１０に記載の試験装置。
前記複数のテストユニットのうちの少なくとも２つのテストユニットに対して、前記被試験デバイスを搬送するアライメントステージをさらに備える、
請求項１から請求項１１までの何れか一項に記載の試験装置。
前記複数の収容部のそれぞれは、独立に動作する温度調整部を有する、
請求項１から請求項１２までの何れか一項に記載の試験装置。
筐体の内部を仕切部材によって区画することで形成された複数の収容室のそれぞれに収容され、被試験デバイスを試験する複数のテストユニットのいずれかを外部に対して開放するか否かを判断する段階と、
前記複数のテストユニットのうち、外部に対して開放すると判断されたテストユニットを外部に対して開放することを許可する段階と、
を備え、
前記外部に対して開放するか否かを判断する段階は、前記複数のテストユニットのいずれかが機械的な振動または電圧の変動に対して敏感な動作を実行している期間および前記期間の前後の所定期間の少なくとも一方の期間中、前記少なくとも一つのテストユニットを外部に対して開放しないと判断する段階を有する、
試験方法。
前記複数のテストユニットのうち、外部に対して開放させる前記テストユニットをユーザに選択させる、第１の選択段階と、
前記複数のテストユニットのうち、外部に対して開放させる前記テストユニットをユーザに再度選択させる、第２の選択段階と、
をさらに備え、
前記外部に対して開放するか否かを判断する段階は、前記第１の選択段階で選択された前記テストユニットと、前記第２の選択段階で選択された前記テストユニットとが一致した場合に、前記第１の選択段階で選択された前記テストユニットを外部に対して開放すると判断する段階を有する、
請求項１４に記載の試験方法。
前記複数のテストユニットのうち、外部に対して開放させる前記テストユニットをユーザに選択させる、第１の選択段階と、
前記複数のテストユニットのうち、外部に対して開放させる前記テストユニットをユーザに再度選択させる、第２の選択段階と、
前記第１の選択段階で選択された前記テストユニットと、前記第２の選択段階で選択された前記テストユニットとが一致した場合に、前記第１の選択段階で選択された前記テストユニットに対する電力の供給を遮断する段階と、
をさらに備える、
請求項１４または請求項１５に記載の試験方法。