JP7109630B2 - ウエハ検査システム - Google Patents
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Description
15 テストヘッド
17 フランジ
27 整備用台車
29 台車基部
30 リフト機構
31 テストヘッドケース
35 水平位置調整ステージ
37 スライドレール
38 ストッパ機構
41 ガイドレール
43 ガイド部
43b ローラ
Claims (1)
- メインボードを収容するテストヘッドを内部に有する検査室が多段に配置されるウエハ検査装置と、
前記ウエハ検査装置の外側に配置された支持機構と、を備え、
前記検査室は開口部を有し、
前記開口部を介して前記検査室から前記テストヘッドが引き出され、
前記支持機構は、引き出された前記テストヘッドを支持し、
前記支持機構に支持された前記テストヘッドの消耗した前記メインボードが取り外されて、新しいメインボードが前記テストヘッドへ取り付けられることを特徴とするウエハ検査システム。
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-
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- 2021-06-23 JP JP2021104433A patent/JP7109630B2/ja active Active
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