JP4373531B2 - 差動平衡信号伝送基板 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、差動信号を高速に伝送する素子間を接続する差動平衡信号伝送基板に関する。
【0002】
【従来の技術】
AV機器間や、パソコンと周辺機器の間で、静止画または動画や音声等のデータを高速で転送する技術の1つに、シリアルインタフェースのIEEE1394がある。このデータ伝送には、差動平衡信号伝送方式が用いられる。これは、1つの信号から、非反転信号と反転信号との2相の信号を発生し、2本の信号線を用いて伝送する方式である。
【0003】
差動平衡信号伝送方式を用いて機器間を接続する場合は、同軸ケーブルを用いなくても外部からのコモンモード・ノイズを防ぐことが可能であり、通常、ツイストペアと呼ばれるケーブルが用いられる。これは、2本の線をより合わせることにより信号線にノイズが乗りにくなるとともに、伝送線として一定のインピーダンスのケーブルとして扱うことができるという利点がある。
【0004】
従来の差動平衡信号伝送基板は、一般的に、少なくとも一層の配線層を備え、一つの配線層内に少なくとも一対のデータ伝送回路(差動平衡信号線対)を有すると共に、他の配線層に電源用配線や接地用配線を有する構成であった。
【0005】
また、特開平10−303521号公報には、液晶ディスプレイとドライバ用LSIとの間のデータ転送に、終端抵抗と差動インピーダンスとの整合をとり、信号の品質低下やノイズの放射を防ぐため、一対のデータ伝送回路(差動平衡信号線対)のうち、一方の電気信号路と他方の電気信号路とを、複数の配線層における互いに異なる配線層に、段違いに平行に配置した構成が開示されている。
【0006】
すなわち、図13に示すように、絶縁層208の両面に、信号線206と信号線207とが段違いの平行線として配置され、それらを覆うようにコーティング層209が配置されている。コーティング層209は、例えばポリイミドで形成される。この構成において、信号線206と信号線207との間隔を、例えば、水平方向で250μm、厚さ方向で25μmとし、信号線206・207の幅をそれぞれ200μmとすれば、信号線206・207の差動インピーダンスを100Ω近辺にすることができる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
近年のコンピュータの高速化に伴い、半導体チップが高速で動作すると、半導体チップを内蔵するパッケージやそれを実装する回路基板内に配置された配線中においても、信号を高速で伝送させる必要がある。このため、半導体パッケージ内の信号配線や回路基板中の信号配線を、伝送線路として捉えて設計しなければならない。また、半導体パッケージの入出力端子の増加により、パッケージ内に配線する信号線の数が飛躍的に増加している。そのため、配線を高密度に配置しなければならず、おのずと配線の間隔も狭める必要がある。
【0008】
しかしながら、高速信号を伝送する信号配線同士を近接して配置すると、信号配線間に発生する寄生成分、特に配線間容量(浮遊容量)や相互インダクタンスにより、クロストーク等のノイズが問題となる。
【0009】
特に、回路基板中の信号伝送方式として差動平衡信号伝送方式を採用した場合、コモンモード・ノイズの影響を抑制することが可能である反面、差動平衡信号伝送方式以外の方式と比較して、配線の本数が単純には2倍となる。これにより、隣接する配線同士をさらに高密度に配置しなければならず、クロストークなどのノイズの問題はさらに深刻となる。
【0010】
さらに、IEEE1394の規格を満たすためには、2本の信号線間の差動モードインピーダンスだけでなくコモンモードインピーダンスも所定の範囲に収まることが必要である。例えば、差動モードインピーダンスは(110±6)Ω、コモンモードインピーダンスは(33±6)Ωと、規定されている。そのため、接地用配線と信号線との物理的な配置を制御することが必要となる。
【0011】
本発明は、上記の問題に鑑み、接地用配線や電源用配線と、信号線との物理的な配置を考慮することにより、クロストークなどのノイズを抑制すると共に、インピーダンスを所定の範囲に制御することが可能な差動平衡信号伝送基板を提供することを目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明の第1の差動平衡信号伝送基板は、絶縁体層と、前記絶縁体層上に設けられた少なくとも一層の配線層とを備えると共に、第1の信号線の電圧と第2の信号線の電圧との和が常に一定である差動平衡信号線対を同一の配線層内に2対以上有し、前記差動平衡信号線対同士の間に、接地用配線および電源用配線の少なくとも一方が設けられたことを特徴とする。
【0013】
この構成によれば、同一の配線層内で隣接する差動平衡信号線対同士の間に、接地用配線および電源用配線の少なくとも一方が設けられたことにより、従来のように差動平衡信号線対と接地用配線および電源用配線とが互いに異なる配線層に設けられた構成と比較して、設置する接地用配線および電源用配線の本数を少なくしてもクロストークが小さく抑制された差動平衡信号伝送基板を提供することが可能となる。
【0014】
上記第1の差動平衡信号伝送基板において、差動平衡信号線対同士の間に、接地用配線および電源用配線の対が設けられたことが好ましい。
【0015】
この構成によれば、同一の配線内で隣接する差動平衡信号線対同士の間に、接地用配線および電源用配線の対が設けられたことにより、クロストークが小さく抑制されると共に、電源と接地との間のインピーダンスが小さく抑制された差動平衡信号伝送基板を提供することが可能となる。
【0016】
上記第1の差動平衡信号伝送基板において、さらに、接地用配線と電源用配線との間隙に、前記絶縁体層の比誘電率よりも大きな比誘電率の誘電体が充填されたことが好ましい。
【0017】
この構成によれば、接地用配線と電源用配線との間の対向容量が増加するので、電源と接地との間のインピーダンスがさらに小さく抑制される。
【0018】
上記第1の差動平衡信号伝送基板において、さらに、接地用配線と電源用配線との間隔が、前記差動平衡信号線対と、前記電源用配線および接地用配線の対との間隔以下であることが好ましい。
【0019】
この構成によれば、接地用配線と電源用配線との間の対向容量が増加するので、電源系のインピーダンスを小さく抑えることができる。
【0020】
上記第1の差動平衡信号伝送基板において、同一の差動平衡信号線対における第1の信号線と第2の信号線との間隙に、前記絶縁体層の比誘電率よりも大きな比誘電率の誘電体が充填されたことが好ましい。
【0021】
この構成によれば、差動平衡信号線対における第1の信号線と第2の信号線との間のカップリングが強くなるので、同一配線層内の他の差動平衡信号線対に対するクロストーク等の影響をさらに抑制することができる。
【0022】
上記第1の差動平衡信号伝送基板は、絶縁体層の一方の面側に第1の配線層を備えると共に、前記絶縁体層の他方の面側に第2の配線層を備え、前記第1の配線層における前記差動平衡信号線対と、前記第2の配線層における前記差動平衡信号線対とが平行でないことが好ましい。
【0023】
この構成によれば、第1の配線層と第2の配線層との間で配線方向が平行でないことにより、一方の配線層におけるリターン電流が他方の配線層に影響を及ぼすことがないので、インピーダンスを所望の値に決定することが容易となる。
【0024】
さらに、前記第1の配線層における差動平衡信号線対の第1の信号線と、前記第2の配線層における差動平衡信号線対の第1の信号線とが、前記絶縁体層に形成された貫通孔を介して電気的に接続され、前記第1の配線層における差動平衡信号線対の第2の信号線と、前記第2の配線層における差動平衡信号線対の第2の信号線とが、前記絶縁体層に形成された貫通孔を介して電気的に接続され、前記貫通孔を介して接続された前記第1の配線層の差動平衡信号線対と前記第2の配線層の差動平衡信号線対とにおいて、第1の信号線の配線長の和が第2の信号線の配線長の和と等しいことが好ましい。
【0025】
この構成によれば、第1の信号線の配線長と第2の信号線の配線長とが互いに等しいことにより、信号の伝搬遅延差がなくなるので、信号の受信端でのホールド時間を短くすることが可能となる。これにより、高速信号を伝送することが可能な差動平衡信号伝送基板を提供することができる。
【0026】
さらに、前記絶縁体層の一方の面側と他方の面側に形成された前記電源用配線同士および接地用配線同士を接続する前記貫通孔同士の最長距離が、前記差動平衡信号線対を伝送する信号の波長の1/4以下であることが好ましい。
【0027】
この構成によれば、高周波的に安定した低インピーダンスの接地層および電源層を形成することができるため、差動平衡信号線のインピーダンスを高周波領域まで一定に保つことが可能となる。これにより、反射の少ない信号伝送が可能な差動平衡信号伝送基板を提供することができる。
【0028】
また、上記の目的を達成するために、本発明にかかる第2の差動平衡信号伝送基板は、絶縁体層と、前記絶縁体層の両面に形成された少なくとも2層の配線層とを備え、第1の信号線の電圧と第2の信号線の電圧との和が常に一定である差動平衡信号線対のうち、前記第1の信号線を前記絶縁体層の一方の面に形成された第1の配線層内に有し、前記第2の信号線を前記絶縁体層の他方の面に形成された第2の配線層内に有すると共に、前記差動平衡信号線対同士の間に、接地用配線または電源用配線を備えたことを特徴とする。
【0029】
この構成によれば、隣接する差動平衡信号線対同士の間に、接地用配線および電源用配線の少なくとも一方が設けられたことにより、従来のように差動平衡信号線対と接地用配線および電源用配線とが互いに異なる配線層に設けられた構成と比較して、クロストークが小さく抑制された差動平衡信号伝送基板を提供することが可能となる。
【0030】
上記の第2の差動平衡信号伝送基板は、差動平衡信号線対の第1の信号線と第2の信号線とが、前記絶縁体層を挟んで対向する位置に配置されたことが好ましい。
【0031】
この構成によれば、差動平衡信号線対の第1の信号線と第2の信号線とが絶縁体層を挟んで対向するように配置されたことにより、信号が伝送される際に発生する電界のほとんどが絶縁体層中に集中する。これにより、差動平衡信号伝送基板外へ放射される電磁波が抑制されるので、放射ノイズを抑制することができる。
【0032】
また、信号が伝送される際の電流が、差動平衡信号線対の第1の信号線と第2の信号線とのそれぞれにおいて互いに対向する面に集中して流れるため、差動平衡信号線対を同一配線層内に隣接して配置した場合に比べて、電流が流れる断面積が広くなり、抵抗成分が小さくなる。これにより、信号が伝送される際の減衰が小さくなるという利点もある。
【0033】
さらに、前記第1の配線層に、前記第1の信号線を挟むように接地用配線および電源用配線の対が設けられると共に、前記第2の配線層に、前記第2の信号線を挟むように接地用配線および電源用配線の対が設けられたことが好ましい。
【0034】
この構成によれば、他の差動平衡信号線対との間のクロストークが抑制されると共に、リターン電流が、差動平衡信号線対の第1の信号線または第2の信号線に隣接する接地用配線または電源用配線に流れる。これにより、ループ断面積が小さくなり、放射ノイズを抑制することができると共に、外部ノイズの影響も受けにくくなる。
【0035】
さらに、第1の配線層における接地用配線および前記電源用配線の対と、前記第2の配線層における接地用配線および電源用配線の対とが、接地用配線と電源用配線とが前記絶縁体層を挟んで対向するように配置されたことが好ましい。
【0036】
この構成によれば、各配線に流れる電流によるリターン電流が、絶縁体層を挟んで対向する位置に配置された配線に流れるので、各配線に流れる信号に対するループ面積が小さくなる。これにより、放射ノイズを抑制することができる。
【0037】
または、前記絶縁体層における前記接地用配線と前記電源用配線とに挟まれた部分の比誘電率が、前記絶縁体層における他の部分の比誘電率より大きいことが好ましい。
【0038】
この構成によれば、接地用配線と電源用配線とのカップリングが強まるため、電源と接地との間のインピーダンスを抑制することができる。
【0039】
上記の第2の差動平衡信号伝送基板は、前記絶縁体層における前記差動平衡信号線対の第1の信号線と第2の信号線とに挟まれた部分の比誘電率が、前記絶縁体層における他の部分の比誘電率より大きいことが好ましい。
【0040】
この構成によれば、差動平衡信号線対の第1の信号線と第2の信号線とのカップリングが強まるため、インピーダンスを抑制することができる。また、第1の信号線と第2の信号線との間の電界が、絶縁体層における比誘電率の高い部分に集中するため、他の差動平衡信号線対との間のクロストークを抑制することができ、放射ノイズも抑制できる。
【0041】
また、上記の第2の差動平衡信号伝送基板は、差動平衡信号線対の第1の信号線と前記第2の信号線とが前記絶縁体層を挟んで対向しない位置に配置された構成であってもよい。
【0042】
この構成によれば、例えば、絶縁体層の誘電率が大きい場合や、差動平衡信号線対の線幅が広い場合等、前記第1の信号線と前記第2の信号線とが前記絶縁体層を挟んで対向しない位置に配置することにより、差動モードインピーダンスを所望の値に制御することが可能となる。
【0043】
さらに、前記第1の配線層に、前記第1の信号線を挟むように接地用配線および電源用配線の対が設けられると共に、前記第2の配線層に、前記第2の信号線を挟むように接地用配線および電源用配線の対が設けられたことが好ましい。
【0044】
この構成によれば、他の差動平衡信号線対との間のクロストークが抑制されると共に、リターン電流が、差動平衡信号線対の第1の信号線または第2の信号線に隣接する接地用配線または電源用配線に流れる。これにより、ループ断面積が小さくなり、放射ノイズを抑制することができると共に、外部ノイズの影響も受けにくくなる。
【0045】
なお、上記の第1および第2の差動平衡信号伝送基板は、前記接地用配線および前記電源用配線のそれぞれの幅が、前記差動平衡信号線対の第1の信号線および第2の信号線のそれぞれの幅よりも広いことが好ましい。
【0046】
また、上記の第1および第2の差動平衡信号伝送基板は、差動平衡信号線対の第1の信号線および第2の信号線のそれぞれと、同一配線層内で前記第1の信号線および第2の信号線のそれぞれに隣接して形成された接地用配線または電源用配線との間隔が、前記第1の信号線および第2の信号線のそれぞれの幅以下であることが好ましい。
【0047】
また、上記の第1および第2の差動平衡信号伝送基板は、前記差動平衡信号線対の第1の信号線と第2の信号線との間隔が、前記第1の信号線および第2の信号線のそれぞれと、同一配線層内で前記第1の信号線および第2の信号線のそれぞれに隣接して形成された接地用配線または電源用配線との間隔よりも大きいことが好ましい。
【0048】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて詳細に説明する。
【0049】
(参考例)
図1は、参考例における差動平衡信号伝送基板の構成の概略を示す断面図である。なお、本参考例では、1層の配線層を備える差動平衡信号伝送基板を例に挙げて本発明を説明するが、本発明は、2層以上の配線層を備えた差動平衡信号伝送基板としても同様に実施することができることはいうまでもない。
【0050】
本差動平衡信号伝送基板は、図1に示すように、誘電体層101(絶縁体層)の片面に、隣接して形成された一対の+線102aおよび−線102bからなる差動平衡信号線対を有する。また、上記一対の+線102aおよび−線102bの両側に、接地用配線103・103が配置されている。
【0051】
つまり、一組の+線102aおよび−線102bからなる差動平衡信号線対と、この差動平衡信号線対に隣接する、他の一組の+線102aおよび−線102bからなる差動平衡信号線対との間に、接地用配線103が形成されている。
【0052】
このように、本差動平衡信号伝送基板では、差動平衡信号線対と、これに隣接する他の差動平衡信号線対との間に接地用配線が形成されているため、配線を高密度に形成しても、クロストークを抑制することができる。
【0053】
また、差動平衡信号線対の+線102aと−線102bとの間隔が、+線102aおよび−線102bのそれぞれと接地用配線103との間隔よりも大きい構成が、コモンモードインピーダンスより作動モードインピーダンスを大きくすることが可能となるので好ましい。
【0054】
なお、接地用配線103の代わりに電源用配線を用いても同様の効果が得られる。すなわち、隣接する差動平衡信号線対同士の間に、接地用配線と電源用配線とのいずれか一方が配置されていればよく、同様の効果が得られる。
【0055】
(実施の形態2)
図2は、本発明の実施の形態2における差動平衡信号伝送基板の構成の概略を示す断面図である。なお、本実施の形態では、1層の配線層を備える差動平衡信号伝送基板を例に挙げて本発明を説明するが、本発明は、2層以上の配線層を備えた差動平衡信号伝送基板としても同様に実施することができることはいうまでもない。
【0056】
本差動平衡信号伝送基板は、図2に示すように、誘電体層101の片面に、隣接して形成された一対の+線102aおよび−線102bからなる差動平衡信号線対を有する。また、接地用配線103および電源用配線104からなる一組の配線が、上記一対の+線102aおよび−線102bの両側に、それぞれ形成されている。図2に示した例では、+線102aの外側に接地用配線103が配置され、−線102bの外側に電源用配線104が形成されている。
【0057】
つまり、本差動平衡信号伝送基板では、一対の+線102aおよび−線102bからなる差動平衡信号線対と、この差動平衡信号線対に隣接する、他の一対の+線102aおよび−線102bからなる差動平衡信号線対との間に、一組の接地用配線103および電源用配線104が形成されている。
【0058】
このように、本差動平衡信号伝送基板では、差動平衡信号線対と、これに隣接する他の差動平衡信号線対との間に、接地用配線103および電源用配線104が形成されているため、配線を高密度に形成しても、クロストークを抑制することができる。
【0059】
しかも、接地用配線103と電源用配線104とが必ず隣接していることから、それぞれの配線間での対向容量があるため、電源と接地との間のインピーダンスを低く抑えることが可能となる。
【0060】
また、接地用配線103および電源用配線104は、直流電流が流れるため、信号線(+線102a、−線102b)よりも配線幅を広くすれば、電源系配線での電圧の損失を低く抑えることができる。
【0061】
また、隣接する接地用配線103と電源用配線104との間隔を、+線102aと接地用配線103との間隔、または−線102bと電源用配線104との間隔よりも小さくすれば、接地用配線103と電源用配線104との間の容量成分が大きくなるため、電源系のインピーダンスを低くすることが可能である。さらに、接地用配線103と電源用配線104との間隔を、+線102aおよび−線102bの幅よりも小さくすることによっても、インピーダンスを低くすることが可能である。
【0062】
(実施の形態3)
図3は、本発明の第3の実施の形態における差動平衡信号伝送基板の構成の概略を示す断面図である。なお、本実施の形態では、1層の配線層を備える差動平衡信号伝送基板を例に挙げて本発明を説明するが、本発明は、2層以上の配線層を備えた差動平衡信号伝送基板としても同様に実施することができることはいうまでもない。
【0063】
本差動平衡信号伝送基板は、誘電体層101の片面に、隣接して形成された一対の+線102aおよび−線102bからなる差動平衡信号線対を有する。また、接地用配線103および電源用配線104からなる一組の配線が、上記一対の+線102aおよび−線102bの両側に、それぞれ形成されている。図3に示した例では、+線102aの外側に接地用配線103が配置され、−線102bの外側に電源用配線104が形成されている。
【0064】
つまり、本差動平衡信号伝送基板では、一対の+線102aおよび−線102bからなる差動平衡信号線対と、この差動平衡信号線対に隣接する、他の一対の+線102aおよび−線102bからなる差動平衡信号線対との間に、一組の接地用配線103および電源用配線104が形成されている。
【0065】
さらに、接地用配線103、電源用配線104、+線102a、および−線102bの各々の間に、誘電体層101よりも比誘電率の大きい誘電体が充填されることにより、誘電体層107が形成されている。
【0066】
ここで、図4(a)〜(d)を参照しながら、本差動平衡信号伝送基板の製造工程について説明する。
【0067】
まず、図4(a)に示すように、誘電体層101の片側全面に、信号配線用導体105を形成した後、信号配線用導体105上に、レジストパターン106を形成する。なお、レジストパターン106は、接地用配線103、電源用配線104、+線102a、および−線102bを形成すべき部分に形成される。
【0068】
そして、図4(b)に示すように、エッチングにより、接地用配線103、電源用配線104、+線102a、および−線102bを形成する。
【0069】
さらに、図4(c)に示すように、接地用配線103、電源用配線104、+線102a、−線102b、およびこれらの配線の上面に残存するレジストパターン106のすべてを覆うように、誘電体層107の材料となる誘電体を塗布する。
【0070】
次に、図4(d)に示すように、レジストパターン106を除去することにより、本差動平衡信号伝送基板が完成する。
【0071】
このように、配線間に誘電体層107を備えた構造とすることにより、差動平衡信号配線の+線102aと−線102bとの間の容量を向上させることができる。これにより、+線102aと−線102bとの間のカップリングが強くなるため、差動平衡信号配線と、隣接する他の差動平衡信号配線との間の影響を抑制でき、クロストークを抑制することができる。しかも、接地用配線103と電源用配線104との間の容量も向上するため、電源用配線104と接地用配線103との間の対向容量が増し、電源と接地との間のインピーダンスを更に低く抑えることが可能となる。
【0072】
(参考例)
図5は、参考例における差動平衡信号伝送基板の構成の概略を示す断面図である。なお、本参考例では、2層の配線層を備える差動平衡信号伝送基板を例に挙げて説明するが、2層以外の層数の差動平衡信号伝送基板としても同様に実施できることはいうまでもない。
【0073】
本差動平衡信号伝送基板は、図5に示すように、誘電体層101を挟んで対向するように、差動平衡信号線対の+線102aおよび−線102bが形成されている。また、誘電体層101の両面において、+線102aの両側、および−線102bの両側に、接地用配線103・103が形成されている。
【0074】
このように、本差動平衡信号伝送基板では、隣接する他の差動平衡信号線対との間に接地用配線103が形成されているため、配線を高密度に形成しても、クロストークを抑制することができる。
【0075】
しかも、差動平衡信号線対を構成する一対の+線102aおよび−線102bは、誘電体層101を挟んで互いに対向するように配置されている。これにより、信号が伝送される際に発生する電界のほとんどが誘電体層101中に集中するため、差動平衡信号伝送基板の外へ放射される電磁波が抑制される。
【0076】
また、差動平衡信号線対を構成する一対の+線102aおよび−線102bが、誘電体層101を挟んで互いに対向するように配置されたことにより、差動平衡信号線対中の信号が高周波信号を含む場合、信号が伝送される際の電流は、+線102aおよび−線102bにおける互いに対向する面に集中して流れる。これにより、実施の形態1〜3で説明した構成のように差動平衡信号線対の+線102aおよび−線102bを同一面に隣接して配置した構成に比べて、電流が流れる断面積が広くなる。この結果、抵抗成分が小さくなり、信号を伝送する際の減衰が小さくなる。
【0077】
さらに、接地用配線103と差動平衡信号線対の+線102aまたは−線102bとの間隔を、+線102aと−線102bとの間隔よりも小さくすれば、コモンモードインピーダンスを低くすることができる。これにより、信号を送信する半導体素子の出力バッファの負荷を軽減でき、立ち上がり立ち下がり時間の短い信号を伝送することが可能となる。
【0078】
(実施の形態5)
図6は、本発明の第5の実施の形態における差動平衡信号伝送基板の構成の概略を示す断面図である。なお、本実施の形態では、2層の配線層を備える差動平衡信号伝送基板を例に挙げて本発明を説明するが、本発明は、2層以外の層数の差動平衡信号伝送基板としても同様に実施することができることはいうまでもない。
【0079】
本差動平衡信号伝送基板は、図6に示すように、誘電体層101を挟んで対向するように、差動平衡信号線対の+線102aおよび−線102bが形成されている。また、誘電体層101の両面において、+線102aまたは−線102bを挟むように、接地用配線103および電源用配線104が形成されている。
【0080】
このように、本差動平衡信号伝送基板では、隣接する他の差動平衡信号線対との間に接地用配線103または電源用配線104が形成されているため、配線を高密度に形成しても、クロストークを抑制することができる。
【0081】
しかも、差動平衡信号線対を構成する一対の+線102aおよび−線102bは、誘電体層101を挟んで互いに対向するように配置されている。これにより、信号が伝送される際に発生する電界のほとんどが誘電体層101中に集中するため、差動平衡信号伝送基板の外へ放射される電磁波が抑制される。
【0082】
また、差動平衡信号線対を構成する一対の+線102aおよび−線102bが、誘電体層101を挟んで互いに対向するように配置されたことにより、差動平衡信号線対中の信号が高周波信号を含む場合、信号が伝送される際の電流は、+線102aおよび−線102bにおける互いに対向する面に集中して流れる。これにより、実施の形態1〜3で説明した構成のように差動平衡信号線対の+線102aおよび−線102bを同一面に隣接して配置した構成に比べて、電流が流れる断面積が広くなる。この結果、抵抗成分が小さくなり、信号を伝送する際の減衰が小さくなる。
【0083】
さらに、差動平衡信号線対の+線102aおよび−線102bのそれぞれの両側には、接地用配線103と電源用配線104とが必ず配置されているため、信号配線中に流れる信号の負荷を通って信号源に帰ってくるリターン電流が、必ず、隣接する配線中を流れる。これにより、信号配線中を流れる電流と、負荷を通って信号源に帰るリターン電流が形成するループ断面積が小さくなり、放射ノイズを抑制することができ、外部ノイズの影響も受けにくくなる。
【0084】
(実施の形態6)
図7は、本発明の第6の実施の形態における差動平衡信号伝送基板の構成の概略を示す断面図である。なお、本実施の形態では、2層の配線層を備える差動平衡信号伝送基板を例に挙げて本発明を説明するが、本発明は、2層以外の層数の差動平衡信号伝送基板としても同様に実施することができることはいうまでもない。
【0085】
本差動平衡信号伝送基板は、図7に示すように、誘電体層101を挟んで対向するように、差動平衡信号線対の+線102aおよび−線102bが形成されている。また、誘電体層101の両面において、+線102aまたは−線102bを挟むように、接地用配線103および電源用配線104が形成されている。また、接地用配線103と電源用配線104とは、誘電体層101を挟んで対向する位置に配置されている。
【0086】
このように、本差動平衡信号伝送基板では、隣接する他の差動平衡信号線対との間に接地用配線103または電源用配線104が形成されているため、配線を高密度に形成しても、クロストークを抑制することができる。
【0087】
しかも、差動平衡信号線対を構成する一対の+線102aおよび−線102bは、誘電体層101を挟んで互いに対向するように配置されている。これにより、信号が伝送される際に発生する電界のほとんどが誘電体層101中に集中するため、差動平衡信号伝送基板の外へ放射される電磁波が抑制される。
【0088】
また、差動平衡信号線対を構成する一対の+線102aおよび−線102bが、誘電体層101を挟んで互いに対向するように配置されたことにより、差動平衡信号線対中の信号が高周波信号を含む場合、信号が伝送される際の電流は、+線102aおよび−線102bにおける互いに対向する面に集中して流れる。これにより、実施の形態1〜3で説明した構成のように差動平衡信号線対の+線102aおよび−線102bを同一面に隣接して配置した構成に比べて、電流が流れる断面積が広くなる。この結果、抵抗成分が小さくなり、信号を伝送する際の減衰が小さくなる。
【0089】
さらに、差動平衡信号線対の両側には、必ず接地用配線103および電源用配線104が配置され、かつ接地用配線103と電源用配線104とが誘電体層101を挟んで対向する位置に配置されているので、電流が流れる配線の全てにおいて、誘電体層101を挟んで対向する位置にリターン電流が流れるため、各配線に流れる信号に対するループ面積が最小となる。従って、放射ノイズを小さく抑制することができる。
【0090】
(実施の形態7)
図8は、本発明の第7の実施の形態における差動平衡信号伝送基板の構成の概略を示す断面図である。なお、本実施の形態では、2層の配線層を備える差動平衡信号伝送基板を例に挙げて本発明を説明するが、本発明は、2層以外の層数の差動平衡信号伝送基板としても同様に実施することができることはいうまでもない。
【0091】
本差動平衡信号伝送基板は、図8に示すように、誘電体層101を挟んで対向するように、差動平衡信号線対の+線102aおよび−線102bが形成されている。また、誘電体層101の両面において、+線102aまたは−線102bを挟むように、接地用配線103および電源用配線104が形成されている。また、接地用配線103と電源用配線104とは、誘電体層101を挟んで対向する位置に配置されている。さらに、本差動平衡信号伝送基板の誘電体層101は、表面に配線が形成された領域101aと、表面に配線が形成されていない領域101bとが、比誘電率が互いに異なる誘電体によってそれぞれ形成されており、領域101aの比誘電率の方が、領域101bの比誘電率よりも大きい。
【0092】
ここで、図9(a)〜(d)を参照しながら、本差動平衡信号伝送基板の製造工程について説明する。
【0093】
まず、図9(a)に示すように、誘電体層101の両面において、接地用配線103、電源用配線104、+線102a、および−線102bを形成すべき領域以外の領域に、メッキレジスト110を形成する。なお、本実施形態の誘電体層101は、光照射によって高誘電率化する材料によって形成される。このような材料としては、例えば、ジアゾ系化合物を含む樹脂組成物を用いることができる。
【0094】
次に、メッキレジスト110に吸収され、かつ誘電体層101を高誘電率化する波長の光を照射することにより、図9(b)に示すように、誘電体層101におけるメッキレジスト110が表面に形成されていない領域、すなわち領域101aの誘電体を、高誘電率化させる。
【0095】
その後、誘電体層101の表面におけるメッキレジスト110が形成されていない部分に、銅などの金属をメッキによって形成することにより、図9(c)に示すように、接地用配線103、電源用配線104、+線102a、および−線102bを形成する。
【0096】
最後に、メッキレジスト110を除去することにより、図9(d)に示すように、本差動平衡信号伝送基板が完成する。
【0097】
このように形成された本差動平衡信号伝送基板は、誘電体層101を挟んで対向する配線間(領域101a)に、誘電体層101において表面に配線が形成されない領域101bよりも大きい比誘電率の誘電体が配置されているため、差動平衡信号線対の+線102aと−線102bとのカップリングが強まる。これにより、誘電体層101を厚くしても、所望のインピーダンスに制御することが可能である。
【0098】
しかも、差動平衡信号線対の+線102aと−線102bとの間の電界が、誘電体層101における高誘電率の領域101aに集中するため、領域101bの電界が弱くなり、隣接する他の差動平衡信号線対との影響が抑制される。つまり、差動平衡信号線対を高密度に形成してもクロストークを抑制することができ、差動平衡信号伝送基板外への放射ノイズを抑制できる。
【0099】
また、同時に、接地用配線103と電源用配線104とのカップリングも強まるため、電源と接地との間のインピーダンスが低くなるという利点もある。
【0100】
(実施の形態8)
図10は、本発明の第8の実施の形態における差動平衡信号伝送基板の構成の概略を示す断面図である。なお、本実施の形態では、2層の配線層を備える差動平衡信号伝送基板を例に挙げて本発明を説明するが、本発明は、2層以外の層数の差動平衡信号伝送基板としても同様に実施することができることはいうまでもない。
【0101】
本差動平衡信号伝送基板は、図10に示すように、差動平衡信号線対を構成する一対の+線102aおよび−線102bが、誘電体層101を挟んで段違いの平行位置に形成されている。また、誘電体層101の両面において、+線102aまたは−線102bを挟むように、接地用配線103および電源用配線104が形成されている。
【0102】
なお、差動平衡信号線対を構成する一対の+線102aおよび−線102bの位置関係は、誘電体層101の厚さ、誘電体層101の比誘電率、+線102aおよび−線102bの線幅、+線102aまたは−線102bと接地用配線103または電源用配線104との間隔、接地用配線103および電源用配線104の線幅、+線102aおよび−線102bと接地用配線103および電源用配線104との間隙108の比誘電率に基づいて決定される。図には間隙108には空気層のみが存在する例を示したが、実用的にはレジスト層等が形成される。その場合は、レジスト層等の誘電率により差動平衡信号線対の位置関係が決定する。
【0103】
誘電体層101の誘電率が大きく、差動平衡信号線対の+線102aおよび−線102bの幅が広い場合、実施の形態6で説明した構成のように、差動平衡信号線対を構成する一対の+線102aおよび−線102bを、誘電体層101を挟んで対向させて配置すると、差動モードインピーダンスが低くなりすぎることがある。これに対して、本実施形態の構成は、差動平衡信号線対を構成する一対の+線102aおよび−線102bを、誘電体層101を挟んで段違いの平行位置に形成したことにより、差動モードインピーダンスを所望のインピーダンスに制御することが可能である。
【0104】
また、本差動平衡信号伝送基板は、隣接する他の差動平衡信号線対との間に、接地用配線103または電源用配線104が形成されているため、差動平衡信号線対を高密度に配置しても、クロストークを抑制することができる。さらに、差動平衡信号線対の両側に必ず接地用配線103および電源用配線104が配置されているため、信号配線中に流れる信号の負荷を通って信号源に帰ってくるリターン電流が、必ず隣接する配線中を流れる。これにより、ループ断面積が小さくなり、放射ノイズを抑制することができる。
【0105】
(実施の形態9)
図11(a)は、本発明の実施の形態9における差動平衡信号伝送基板の構成の概略を示す斜視図である。図11(b)は、この差動平衡信号伝送基板の平面図である。
【0106】
なお、本実施の形態では、2層の配線層を備える差動平衡信号伝送基板を例に挙げて本発明を説明するが、本発明は、2層以外の層数の差動平衡信号伝送基板としても同様に実施することができることはいうまでもない。
【0107】
本差動平衡信号伝送基板は、誘電体層(図示省略)の一方の面に、2組の差動平衡信号線対、すなわち、一対の+線102a1および−線102b1と、一対の+線102a2および−線102b2とを有する。また、上記誘電体層の他方の面に、同じく2組の差動平衡信号線対として、一対の+線102a3および−線102b3と、一対の+線102a4および−線102b4とを有する。
【0108】
なお、図11(b)から分かるように、+線102a3、−線102b3、+線102a4、および−線102b4は、+線102a1、−線102b1、+線102a2、および−線102b2に対して投影的に直交する方向に配置されている。また、これらの差動平衡信号線対の各組の両側には、一方の側に接地用配線103が、他方の側に電源用配線104が、差動平衡信号線対に平行にそれぞれ配置されている。
【0109】
差動平衡信号線対の+線102a1は、誘電体層(図示省略)に形成されたビアホール内に設けられた導体109を介して、差動平衡信号線対の+線102a3に接続されている。同様にして、−線102b1と−線102b3、+線102a2と+線102a4、−線102b2と−線102b4が、ビアホールを介してそれぞれ接続されている。
【0110】
なお、図11(b)に示すように、各差動平衡信号線対における+線と−線との間隔は均一であり、+線と−線とは互いに等しい幅で形成されている。また、例えば、+線102a1が−線102b1よりも長く、+線102a3が−線102b3よりも短く、+線102a1と−線102b3との一部が、誘電体層を介して重なり合うように配置されたことにより、接続された+線102a1および+線102a3の配線長と、接続された−線102b1および−線102b3の配線長とは互いに等しい。同様に、接続された+線102a2および+線102a4の配線長と、接続された−線102b2および−線102b4の配線長とは互いに等しい。
【0111】
また、誘電体層(図示せず)の両側にそれぞれ配置された接地用配線103同士も、この誘電体層に形成されたビアホールを介して接続されている。同様に、誘電体層(図示せず)の両側にそれぞれ配置された電源用配線104同士も、この誘電体層に形成されたビアホールを介して接続されている。
【0112】
なお、差動平衡信号線対の+線と−線との間隔は、その間隙の比誘電率と、差動平衡信号線対の厚みと、差動平衡信号線対の差動モードインピーダンスとにより決定される。また、差動平衡信号線対と、接地用配線または電源用配線との距離は、その間隙の比誘電率と、差動平衡信号線対、接地用配線、および電源用配線のそれぞれの厚みと、差動平衡信号線対のコモンモードインピーダンスとにより決定される。
【0113】
差動平衡信号伝送を行う際に、差動平衡信号の+線と−線の信号線の間で配線長が異なる場合は、出力端で同時に信号を発信しても受信端では伝送した場所の違いや経路の違いによる配線長の違いにより信号線間にスキューと呼ばれる伝搬遅延差が発生する。つまり、信号の受信端において、差動平衡信号線対の+線および−線の一方に先に信号が伝達してから、+線および−線の両方に信号が伝達するまでの時間が、データが確定するまでに要する時間となる。従って、+線および−線の配線長の違いによる上記の伝搬遅延差が大きいと、データの確定に時間を要する。
【0114】
これに対して、本差動平衡信号伝送基板は、各差動平衡信号線対の+線の配線長と−線の配線長とが等しいことにより、+線と−線との間での信号伝搬遅延差が無い。これにより、信号の受信端でのホールド時間を短くできるので、高速信号の伝送が可能である。
【0115】
また、差動平衡信号線対の+線と−線との間隔を調整することにより、差動モードインピーダンスを制御でき、差動平衡信号線対と接地用配線および電源用配線のそれぞれとの距離を調整することにより、コモンモードインピーダンスを制御できる。これにより、IEEE1394等のシステムにも適応可能である。
【0116】
また、少なくとも2層の配線によって、差動平衡信号線対のあらゆる配線が可能となるため、配線層数を少なく抑制することが可能となる。また、隣接する他の差動平衡信号線対との間に接地用配線または電源用配線が配置されているため、他の差動平衡信号線対とのクロストークを抑制することも可能である。
【0117】
さらに、異なる配線層の電源用配線同士および接地用配線同士を接続するために誘電体層中に形成されたビアホールと、同一誘電体層内で最も近接するビアホールとの最長距離を、信号線中を伝送する信号の波長の1/4とすることで、高周波的に安定した低インピーダンスの接地層および電源層を形成することができる。
【0118】
これは、次のように説明できる。まず、図14に示すように、負荷ZLから特性インピーダンスZ0の伝送線路の長さLだけ離れた点からみた入力インピーダンスZinは、
Zin=Z0×(ZLcosβL+jZ0sinβL)/(Z0cosβL+jZLsinβL)
と表せる。βは2π/λで、λは信号の波長である。
このとき、負荷ZLのインピーダンスが0で、伝送線路の長さがλ/4の場合、入力インピーダンスZinは無限大となる。即ち、本来の接地層からビアで接地用配線を異なる配線層に形成した場合、ビアからの接地用配線の長さが信号の波長の1/4となる領域では、本来の接地としての機能はなく、完全にオープンとなる。
【0119】
従って、異なる配線層に形成された電源用配線同士および接地用配線同士を接続する隣接したビアホール間の最長距離を、信号線中を伝送する信号の波長の1/4とすることで、差動平衡信号線対のインピーダンスを、高周波領域まで一定に保つことが可能となり、反射の少ない信号伝送が可能となる。
【0120】
なお、上記の説明では、誘電体層の両面に形成された配線が投影的に直交する構成を例示したが、本発明はこれに限定されず、第1の方向と第2の方向が垂直な関係である図面を用いて説明したが、誘電体層の両面に形成された配線が平行でなければ、同様の効果が得られる。特に、誘電体層の両面に形成された配線が投影的になす角が45度または60度である構成においても、設計がしやすく、LSI間を最短距離で配線することが可能となるので、好ましい。
【0121】
(実施の形態10)
図12(a)は、本発明の実施の形態10における差動平衡信号伝送基板の構成の概略を示す斜視図である。図12(b)は、この差動平衡信号伝送基板の平面図である。
【0122】
なお、本実施の形態では、2層の配線層を備える差動平衡信号伝送基板を例に挙げて本発明を説明するが、本発明は、2層以外の層数の差動平衡信号伝送基板としても同様に実施することができることはいうまでもない。
【0123】
本差動平衡信号伝送基板は、誘電体層(図示省略)の一方の面に、2組の差動平衡信号線対、すなわち、一対の+線102a1および−線102b1と、一対の+線102a2および−線102b2とを有する。また、上記誘電体層の他方の面に、同じく2組の差動平衡信号線対として、一対の+線102a3および−線102b3と、一対の+線102a4および−線102b4とを有する。
【0124】
なお、図12(b)から分かるように、+線102a3、−線102b3、+線102a4、および−線102b4は、+線102a1、−線102b1、+線102a2、および−線102b2に対して投影的に直交する方向に配置されている。また、これらの差動平衡信号線対の各組の両側には、接地用配線103および電源用配線104の対が、差動平衡信号線対に平行に配置されている。
【0125】
差動平衡信号線対の+線102a1は、誘電体層(図示省略)に形成されたビアホール内に設けられた導体109を介して、差動平衡信号線対の+線102a3に接続されている。同様にして、−線102b1と−線102b3、+線102a2と+線102a4、−線102b2と−線102b4が、ビアホールを介してそれぞれ接続されている。
【0126】
また、誘電体層(図示せず)の両側にそれぞれ配置された接地用配線103同士も、この誘電体層に形成されたビアホールを介して接続されている。同様に、誘電体層(図示せず)の両側にそれぞれ配置された電源用配線104同士も、この誘電体層に形成されたビアホールを介して接続されている。
【0127】
なお、差動平衡信号線対の+線と−線との距離は、その間隙の比誘電率と、差動平衡信号線対の厚みと、差動平衡信号線対の差動モードインピーダンスとにより決定される。また、差動平衡信号線対と、接地用配線または電源用配線との距離は、その間隙の比誘電率と、差動平衡信号線対、接地用配線、および電源用配線のそれぞれの厚みと、差動平衡信号線対のコモンモードインピーダンスとにより決定される。
【0128】
このように形成された本差動平衡信号伝送基板は、+線と−線との間の伝搬遅延差が無く、少なくとも2層の配線層により、コモンモードインピーダンスと差動モードインピーダンスとが決定できる、あらゆる配線を行うことができる。
【0129】
また、差動平衡信号線対の両側に、接地用配線と電源用配線との対が隣接して配置されているため、それぞれの配線間に対向容量が存在し、電源と接地との間のインピーダンスを低く抑えることが可能となる。
【0130】
【発明の効果】
以上に説明したように、本発明によれば、差動平衡信号線対を高密度に配置してもクロストークが抑制され、電源と接地との間のインピーダンスが抑制された差動平衡信号伝送基板を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 参考例にかかる差動平衡信号伝送基板の概略構成を示す断面図である。
【図2】 本発明の実施の形態2にかかる差動平衡信号伝送基板の概略構成を示す断面図
【図3】 本発明の実施の形態3にかかる差動平衡信号伝送基板の概略構成を示す断面図
【図4】 (a)〜(d)は、本発明の実施の形態3にかかる差動平衡信号伝送基板の製造工程の概略を示す断面図
【図5】 参考例にかかる差動平衡信号伝送基板の概略構成を示す断面図
【図6】 本発明の実施の形態5にかかる差動平衡信号伝送基板の概略構成を示す断面図
【図7】 本発明の実施の形態6にかかる差動平衡信号伝送基板の概略構成を示す断面図
【図8】 本発明の実施の形態7にかかる差動平衡信号伝送基板の概略構成を示す断面図
【図9】 (a)〜(d)は、本発明の実施の形態7にかかる差動平衡信号伝送基板の製造工程の概略を示す断面図
【図10】本発明の実施の形態8にかかる差動平衡信号伝送基板の概略構成を示す断面図
【図11】 (a)は、本発明の実施の形態9にかかる差動平衡信号伝送基板の概略構成を示す斜視図、(b)は、この差動平衡信号伝送基板の平面図
【図12】 (a)は、本発明の実施の形態10にかかる差動平衡信号伝送基板の概略構成を示す斜視図、(b)は、この差動平衡信号伝送基板の平面図
【図13】 従来の伝送線路基板の一例の概略構成を示す断面図
【図14】 本発明の実施の形態9にかかる差動平衡信号伝送基板を用いた場合の効果を説明するための図
Claims (16)
- 絶縁体層と、前記絶縁体層上に設けられた少なくとも一層の配線層とを備えると共に、第1の信号線の電圧と第2の信号線の電圧との和が常に一定である差動平衡信号線対を同一の配線層内に2対以上有し、
前記差動平衡信号線対同士の間に、接地用配線および電源用配線の対が設けられたことを特徴とする差動平衡信号伝送基板。 - 前記接地用配線と前記電源用配線との間隙に、前記絶縁体層の比誘電率よりも大きな比誘電率の誘電体が充填された請求項1に記載の差動平衡信号伝送基板。
- 前記接地用配線と前記電源用配線との間隔が、前記差動平衡信号線対と、前記電源用配線および接地用配線の対との間隔以下である請求項1に記載の差動平衡信号伝送基板。
- 同一の差動平衡信号線対における第1の信号線と第2の信号線との間隙に、前記絶縁体層の比誘電率よりも大きな比誘電率の誘電体が充填された請求項1に記載の差動平衡信号伝送基板。
- 前記絶縁体層の一方の面側に第1の配線層を備えると共に、前記絶縁体層の他方の面側に第2の配線層を備え、
前記第1の配線層における前記差動平衡信号線対と、前記第2の配線層における前記差動平衡信号線対とが平行でない請求項1に記載の差動平衡信号伝送基板。 - 前記第1の配線層における差動平衡信号線対の第1の信号線と、前記第2の配線層における差動平衡信号線対の第1の信号線とが、前記絶縁体層に形成された貫通孔を介して電気的に接続され、
前記第1の配線層における差動平衡信号線対の第2の信号線と、前記第2の配線層における差動平衡信号線対の第2の信号線とが、前記絶縁体層に形成された貫通孔を介して電気的に接続され、
前記貫通孔を介して接続された前記第1の配線層の差動平衡信号線対と前記第2の配線層の差動平衡信号線対とにおいて、第1の信号線の配線長の和が第2の信号線の配線長の和と等しい請求項5に記載の差動平衡信号伝送基板。 - 前記絶縁体層の一方の面側と他方の面側に形成された前記電源用配線同士および接地用配線同士を接続する前記貫通孔同士の最長距離が、前記差動平衡信号線対を伝送する信号の波長の1/4以下である請求項5または6に記載の差動平衡信号伝送基板。
- 絶縁体層と、前記絶縁体層の両面に形成された少なくとも2層の配線層とを備え、
第1の信号線の電圧と第2の信号線の電圧との和が常に一定である差動平衡信号線対のうち、前記第1の信号線を前記絶縁体層の一方の面に形成された第1の配線層内に有し、前記第2の信号線を前記絶縁体層の他方の面に形成された第2の配線層内に有すると共に、
前記差動平衡信号線対同士の間に、接地用配線または電源用配線を備え、
前記差動平衡信号線対の第1の信号線と第2の信号線とが、前記絶縁体層を挟んで対向する位置に配置され、
前記第1の配線層に、前記第1の信号線を挟むように接地用配線および電源用配線の対が設けられると共に、前記第2の配線層に、前記第2の信号線を挟むように接地用配線および電源用配線の対が設けられたことを特徴とする差動平衡信号伝送基板。 - 前記第1の配線層における接地用配線および前記電源用配線の対と、前記第2の配線層における接地用配線および電源用配線の対とが、接地用配線と電源用配線とが前記絶縁体層を挟んで対向するように配置された請求項8に記載の差動平衡信号伝送基板。
- 前記絶縁体層における前記接地用配線と前記電源用配線とに挟まれた部分の比誘電率が、前記絶縁体層における他の部分の比誘電率より大きい請求項9に記載の差動平衡信号伝送基板。
- 前記絶縁体層における前記差動平衡信号線対の第1の信号線と第2の信号線とに挟まれた部分の比誘電率が、前記絶縁体層における他の部分の比誘電率より大きい請求項8に記載の差動平衡信号伝送基板。
- 前記第1の信号線と前記第2の信号線とが前記絶縁体層を挟んで対向しない位置に配置された請求項8に記載の差動平衡信号伝送基板。
- 絶縁体層と、前記絶縁体層の両面に形成された少なくとも2層の配線層とを備え、
第1の信号線の電圧と第2の信号線の電圧との和が常に一定である差動平衡信号線対のうち、前記第1の信号線を前記絶縁体層の一方の面に形成された第1の配線層内に有し、前記第2の信号線を前記絶縁体層の他方の面に形成された第2の配線層内に有すると共に、
前記差動平衡信号線対同士の間に、接地用配線または電源用配線を備え、
前記第1の信号線と前記第2の信号線とが前記絶縁体層を挟んで対向しない位置に配置され、
前記第1の配線層に、前記第1の信号線を挟むように接地用配線および電源用配線の対が設けられると共に、前記第2の配線層に、前記第2の信号線を挟むように接地用配線および電源用配線の対が設けられた差動平衡信号伝送基板。 - 前記接地用配線および前記電源用配線のそれぞれの幅が、前記差動平衡信号線対の第1の信号線および第2の信号線のそれぞれの幅よりも広い請求項1ないし13のいずれか一項に記載の差動平衡信号伝送基板。
- 前記差動平衡信号線対の第1の信号線および第2の信号線のそれぞれと、同一配線層内で前記第1の信号線および第2の信号線のそれぞれに隣接して形成された接地用配線または電源用配線との間隔が、前記第1の信号線および第2の信号線のそれぞれの幅以下である請求項1ないし13のいずれか一項に記載の差動平衡信号伝送基板。
- 前記差動平衡信号線対の第1の信号線と第2の信号線との間隔が、前記第1の信号線および第2の信号線のそれぞれと、同一配線層内で前記第1の信号線および第2の信号線のそれぞれに隣接して形成された接地用配線または電源用配線との間隔よりも大きい請求項1ないし13のいずれか一項に記載の差動平衡信号伝送基板。
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