JPH06132380A - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置Info
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- JPH06132380A JPH06132380A JP5200735A JP20073593A JPH06132380A JP H06132380 A JPH06132380 A JP H06132380A JP 5200735 A JP5200735 A JP 5200735A JP 20073593 A JP20073593 A JP 20073593A JP H06132380 A JPH06132380 A JP H06132380A
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
- H01L21/68707—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a robot blade, or gripped by a gripper for conveyance
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
- B25J9/10—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements
- B25J9/106—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements with articulated links
- B25J9/1065—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements with articulated links with parallelograms
- B25J9/107—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements with articulated links with parallelograms of the froglegs type
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- Y10T74/20—Control lever and linkage systems
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明はリンク機構を有する搬送装置に関
し、小型軽量化を図り、パーティクル発生を防止するこ
とを目的とする。 【構成】 第1及び第2のアーム24a,24b,25
a,25bが第1の回動軸26a,26bにより連結さ
れた一組のリンクを左右に配設されて、一端が駆動軸2
3a,23bに取り付けられ、他端が第2の回動軸28
a,28bにより搬送台27に取り付けられる。この場
合、駆動軸23a,23bがそれぞれ傾斜された状態で
設けられ、同一のリンクにおける第1及び第2の回動軸
26a,26b,28a,28bが平行に、すなわち同
一のリンクの駆動部23a,23bと同様に傾斜されて
取り付けられる。
し、小型軽量化を図り、パーティクル発生を防止するこ
とを目的とする。 【構成】 第1及び第2のアーム24a,24b,25
a,25bが第1の回動軸26a,26bにより連結さ
れた一組のリンクを左右に配設されて、一端が駆動軸2
3a,23bに取り付けられ、他端が第2の回動軸28
a,28bにより搬送台27に取り付けられる。この場
合、駆動軸23a,23bがそれぞれ傾斜された状態で
設けられ、同一のリンクにおける第1及び第2の回動軸
26a,26b,28a,28bが平行に、すなわち同
一のリンクの駆動部23a,23bと同様に傾斜されて
取り付けられる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、リンク機構を有する搬
送装置に関する。
送装置に関する。
【0002】近年、例えば半導体製造で使用される搬送
装置におけるウエハの搬送では、パーティクルを付着さ
せることなく搬送しなければならず、特に半導体の高集
積化に伴い、付着するパーティクルの個数や大きさの許
容値が厳しくなってきている。このため、パーティクル
発生を防止すると共に、小型軽量化を図ることが要求さ
れている。
装置におけるウエハの搬送では、パーティクルを付着さ
せることなく搬送しなければならず、特に半導体の高集
積化に伴い、付着するパーティクルの個数や大きさの許
容値が厳しくなってきている。このため、パーティクル
発生を防止すると共に、小型軽量化を図ることが要求さ
れている。
【0003】
【従来の技術】図11に、従来の搬送装置の構成図を示
す。図11(A)は主要部分の平面図であり、図11
(B)はその側面図である。
す。図11(A)は主要部分の平面図であり、図11
(B)はその側面図である。
【0004】図11(A),(B)の搬送装置は、駆動
部11の水平上面に2本の駆動軸12a,12bが設け
られており、該駆動軸12a,12bにはそれぞれ第1
のアーム13a,13bの一端が取り付けられる。
部11の水平上面に2本の駆動軸12a,12bが設け
られており、該駆動軸12a,12bにはそれぞれ第1
のアーム13a,13bの一端が取り付けられる。
【0005】第1のアーム12a,12bの他端では、
第1の回動軸14a,14bによりそれぞれ第2のアー
ム15a,15bの一端と連結される。また、第2のア
ーム15a,15bの他端にはそれぞれ互いに噛合する
歯車16a,16bが固着されており、それぞれ水平な
搬送台17に第2の回動軸18a,18bにより連結さ
れる。
第1の回動軸14a,14bによりそれぞれ第2のアー
ム15a,15bの一端と連結される。また、第2のア
ーム15a,15bの他端にはそれぞれ互いに噛合する
歯車16a,16bが固着されており、それぞれ水平な
搬送台17に第2の回動軸18a,18bにより連結さ
れる。
【0006】このような搬送装置は、駆動部11により
駆動軸12a,12bを回動させると、四本アームのリ
ンク機構(第1のリンク13a,13b及び第2のリン
ク15a,15b)により搬送台17を矢印方向に移動
させるものである。
駆動軸12a,12bを回動させると、四本アームのリ
ンク機構(第1のリンク13a,13b及び第2のリン
ク15a,15b)により搬送台17を矢印方向に移動
させるものである。
【0007】この場合、歯車16a,16bは、第1の
アーム13a,13bの回転角度を一致させるものであ
る。すなわち、2本の駆動軸12a,12b,及び2本
の第2の回動軸18a,18bが平行に取り付けられる
ことから、左右の第1及び第2のアーム13a,13
b,15a,15bの回転角度を一致させるためのもの
である。
アーム13a,13bの回転角度を一致させるものであ
る。すなわち、2本の駆動軸12a,12b,及び2本
の第2の回動軸18a,18bが平行に取り付けられる
ことから、左右の第1及び第2のアーム13a,13
b,15a,15bの回転角度を一致させるためのもの
である。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかし、歯車16a,
16bは上述の理由から必要なものであるが、歯車16
a,16bの噛み合い部分よりパーティクルが発生し、
ウエハを搬送する場合に付着するという問題がある。
16bは上述の理由から必要なものであるが、歯車16
a,16bの噛み合い部分よりパーティクルが発生し、
ウエハを搬送する場合に付着するという問題がある。
【0009】また、歯車16a,16bは搬送台17に
位置することから、該搬送台17が重く、大きくなると
共に、これにより支える第1及び第2のアーム13a,
13b,15a,15bを太くして剛性を高める必要が
あり、その結果移動空間を大きく確保しなければならな
いという問題がある。
位置することから、該搬送台17が重く、大きくなると
共に、これにより支える第1及び第2のアーム13a,
13b,15a,15bを太くして剛性を高める必要が
あり、その結果移動空間を大きく確保しなければならな
いという問題がある。
【0010】そこで、本発明は上記課題に鑑みなされた
もので、小型軽量を図り、パーティクル発生を防止する
搬送装置を提供することを目的とする。
もので、小型軽量を図り、パーティクル発生を防止する
搬送装置を提供することを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】上記課題は、2本の支持
部材が第1の回動軸により連結された一組のリンクを左
右に配設し、該二組のリンクの一端を対応するそれぞれ
の駆動軸に取り付けると共に、他端を第2の回動軸を介
して搬送台に取り付け、駆動部により該駆動軸を回動さ
せて該搬送台を移動させる搬送装置において、前記それ
ぞれの駆動軸が傾斜されて設けられ、前記第1及び第2
の回動軸が前記リンクごとに、対応する該駆動軸に平行
して取り付けられることにより解決される。
部材が第1の回動軸により連結された一組のリンクを左
右に配設し、該二組のリンクの一端を対応するそれぞれ
の駆動軸に取り付けると共に、他端を第2の回動軸を介
して搬送台に取り付け、駆動部により該駆動軸を回動さ
せて該搬送台を移動させる搬送装置において、前記それ
ぞれの駆動軸が傾斜されて設けられ、前記第1及び第2
の回動軸が前記リンクごとに、対応する該駆動軸に平行
して取り付けられることにより解決される。
【0012】
【作用】上述のように、駆動軸がそれぞれ傾斜された状
態で設けられ、同一のリンクにおける第1及び第2の回
動軸が平行に、すなわち同一のリンクの駆動軸と同様に
傾斜されて取り付けられる。
態で設けられ、同一のリンクにおける第1及び第2の回
動軸が平行に、すなわち同一のリンクの駆動軸と同様に
傾斜されて取り付けられる。
【0013】これにより、左右のリンクは常に同一の回
転角度が維持される。すなわち、歯車を使用せずに回転
角度が一致されることから、従来歯車より発生するパー
ティクルを排除することが可能となる。
転角度が維持される。すなわち、歯車を使用せずに回転
角度が一致されることから、従来歯車より発生するパー
ティクルを排除することが可能となる。
【0014】また、搬送台に歯車を取り付けないことか
ら軽量となり、これに伴って移動空間の縮小を図ること
が可能となる。
ら軽量となり、これに伴って移動空間の縮小を図ること
が可能となる。
【0015】
【実施例】図1に本発明の第1実施例の構成図を示す。
図1(A)は搬送装置の主要部分の平面図であり、図1
(B)はその正面図である。
図1(A)は搬送装置の主要部分の平面図であり、図1
(B)はその正面図である。
【0016】図1(A),(B)において、搬送装置2
1は、駆動部22上面に、山形に傾斜部22a,22b
が形成されており、この傾斜部22a,22bに駆動軸
23a,23bが設けられる。
1は、駆動部22上面に、山形に傾斜部22a,22b
が形成されており、この傾斜部22a,22bに駆動軸
23a,23bが設けられる。
【0017】一方、支持部材である第1のアーム24a
と第2のアーム25aが第1の回動軸26aにより連結
されて一組のリンクが形成され、また、第1のアーム2
4bと第2のアーム25bが第1の回動軸26bにより
連結されて一組のリンクが形成される。この二組のリン
クの一端がそれぞれ対応する駆動軸23a,23bに取
り付けられて左右に配設される。
と第2のアーム25aが第1の回動軸26aにより連結
されて一組のリンクが形成され、また、第1のアーム2
4bと第2のアーム25bが第1の回動軸26bにより
連結されて一組のリンクが形成される。この二組のリン
クの一端がそれぞれ対応する駆動軸23a,23bに取
り付けられて左右に配設される。
【0018】一方、搬送台27は、その左右において駆
動部22の傾斜部22a,22bと同じ傾斜角の傾斜面
27a,27bが形成されており、この傾斜面27a,
27bにより第2のアーム25a,25b(リンク)の
他端が第2の回動軸28a,28bに取り付けられる。
すなわち、それぞれのリンクの駆動軸23a,23bに
対して、同一のリンクで第1及び第2の回動軸26a,
26b,28a,28bが平行に取り付けられる。
動部22の傾斜部22a,22bと同じ傾斜角の傾斜面
27a,27bが形成されており、この傾斜面27a,
27bにより第2のアーム25a,25b(リンク)の
他端が第2の回動軸28a,28bに取り付けられる。
すなわち、それぞれのリンクの駆動軸23a,23bに
対して、同一のリンクで第1及び第2の回動軸26a,
26b,28a,28bが平行に取り付けられる。
【0019】ここで、図2に、図1の動作を説明するた
めの図を示す。図2(A),(B)は図1(A),
(B)にそれぞれ対応する。
めの図を示す。図2(A),(B)は図1(A),
(B)にそれぞれ対応する。
【0020】図2(A),(B)における搬送装置21
は、駆動部22により駆動軸23a,23bを互いに逆
方向に回動させることにより、二組のリンクによって搬
送台27が矢印A方向に移動するものである。
は、駆動部22により駆動軸23a,23bを互いに逆
方向に回動させることにより、二組のリンクによって搬
送台27が矢印A方向に移動するものである。
【0021】この場合、駆動軸23a,23b,第1及
び第2の回動軸26a,26b,28a,28bは傾斜
されていることから、搬送台27の停止位置が固定され
る。
び第2の回動軸26a,26b,28a,28bは傾斜
されていることから、搬送台27の停止位置が固定され
る。
【0022】すなわち、図中の矢印Fのような力が搬送
台27に加わった時、FはFaとFbに分解できる。F
aは第2の回動軸28bを中心に搬送台27を動かそう
とする力であるが、Fbは第2の回動軸28aを中心に
搬送台27を動かそうとする力である。従って、搬送台
27を動かそうとする力が一致しないため、搬送台27
は停止位置で固定される。
台27に加わった時、FはFaとFbに分解できる。F
aは第2の回動軸28bを中心に搬送台27を動かそう
とする力であるが、Fbは第2の回動軸28aを中心に
搬送台27を動かそうとする力である。従って、搬送台
27を動かそうとする力が一致しないため、搬送台27
は停止位置で固定される。
【0023】すなわち、歯車を設けることなく、歯車と
同様の働きをさせることができるものである。
同様の働きをさせることができるものである。
【0024】これにより、パーティクルの発生を防止す
ることができると共に、搬送台27が軽量化され、第1
及び第2のアーム24a,24b,25a,25bの剛
性を向上させることができ、移動空間の範囲を縮小させ
ることができるものである。
ることができると共に、搬送台27が軽量化され、第1
及び第2のアーム24a,24b,25a,25bの剛
性を向上させることができ、移動空間の範囲を縮小させ
ることができるものである。
【0025】次に、図3に本発明の第1実施例の一適用
例の構成図を示し、図4に図3の平面図を示す。なお、
図1と同一の構成部分には同一の符号を付す。
例の構成図を示し、図4に図3の平面図を示す。なお、
図1と同一の構成部分には同一の符号を付す。
【0026】図3及び図4に示す搬送装置31は、真空
中でウエハを搬送する場合に使用されるもので、真空チ
ャンバ32により真空側と大気側に分離される。
中でウエハを搬送する場合に使用されるもので、真空チ
ャンバ32により真空側と大気側に分離される。
【0027】真空チャンバ32には円形状のフランジ3
3が取り付けられ、フランジ33に多軸機構の磁性流体
シール34が取り付けられて真空側を、例えば10-8to
rrの真空度で真空状態とされる。
3が取り付けられ、フランジ33に多軸機構の磁性流体
シール34が取り付けられて真空側を、例えば10-8to
rrの真空度で真空状態とされる。
【0028】磁性流体シール34は外周部34aがフラ
ンジ33に固定され、内周部34bにはプーリ35が取
り付けられている。そして、真空チャンバ32に取り付
けられている旋回用ステッピングモータ36によりタイ
ミングベルト37を介して、該内周部34bを旋回させ
る。
ンジ33に固定され、内周部34bにはプーリ35が取
り付けられている。そして、真空チャンバ32に取り付
けられている旋回用ステッピングモータ36によりタイ
ミングベルト37を介して、該内周部34bを旋回させ
る。
【0029】一方、大気側では、アーム駆動用ステッピ
ングモータ38に取り付けられた減速機39(例えば、
減速比1:50)の回動軸がカップリング40を介して
第1のギア41aを回動させると共に、第1のギア41
aにより第2のギア41bを回動させる。これらにより
駆動部22を構成する。この第1及び第2のギア41
a,41bは、後述する駆動軸23a,23bの回転角
度を一致させるもので、バックラッシュのないものが使
用される。
ングモータ38に取り付けられた減速機39(例えば、
減速比1:50)の回動軸がカップリング40を介して
第1のギア41aを回動させると共に、第1のギア41
aにより第2のギア41bを回動させる。これらにより
駆動部22を構成する。この第1及び第2のギア41
a,41bは、後述する駆動軸23a,23bの回転角
度を一致させるもので、バックラッシュのないものが使
用される。
【0030】第1のギア41aにはユニバーサルジョイ
ント42aを介して駆動軸23aが磁性流体シール34
の内周部34bを貫通して真空側に延出する。また、第
2のギア41bにはユニバーサルジョイント42bを介
して駆動軸23bが磁性流体シール34の内周部34b
を貫通して真空側に延出する。なお、ユニバーサルジョ
イント42a,42bはバックラッシュのないものが用
いられる。
ント42aを介して駆動軸23aが磁性流体シール34
の内周部34bを貫通して真空側に延出する。また、第
2のギア41bにはユニバーサルジョイント42bを介
して駆動軸23bが磁性流体シール34の内周部34b
を貫通して真空側に延出する。なお、ユニバーサルジョ
イント42a,42bはバックラッシュのないものが用
いられる。
【0031】この場合の駆動軸23a,23bは、垂直
方向に対して傾斜角5度で設けられる。
方向に対して傾斜角5度で設けられる。
【0032】一方、真空側では、磁性流体シール34の
内周部34bより延出する駆動軸23a,23bは、第
1のアーム24a,24bの一端に取り付けられる。こ
こで、図4に示すように、第1のアーム24a,24b
の他端は第1の回動軸26a,26bにより第2のアー
ム25a,25bに連結され、第2のアーム25a,2
5bの他端は搬送台27の各傾斜面27a,27bに第
2の回動軸28a,28bに連結されることは図1と同
様である。この場合、第1及び第2の回動軸26a,2
6b,28a,28bは、駆動軸23a,23bと平行
であって、垂直方向に5度傾斜されて取り付けられる。
そして、搬送台27には、ハンド43が取り付けられ、
ハンド43にウエハ(図示せず)が搭載されて搬送され
る。
内周部34bより延出する駆動軸23a,23bは、第
1のアーム24a,24bの一端に取り付けられる。こ
こで、図4に示すように、第1のアーム24a,24b
の他端は第1の回動軸26a,26bにより第2のアー
ム25a,25bに連結され、第2のアーム25a,2
5bの他端は搬送台27の各傾斜面27a,27bに第
2の回動軸28a,28bに連結されることは図1と同
様である。この場合、第1及び第2の回動軸26a,2
6b,28a,28bは、駆動軸23a,23bと平行
であって、垂直方向に5度傾斜されて取り付けられる。
そして、搬送台27には、ハンド43が取り付けられ、
ハンド43にウエハ(図示せず)が搭載されて搬送され
る。
【0033】このような搬送装置31は、アーム駆動用
ステッピングモータ38を回転させることにより、第1
及び第2のギア41a,41b,ユニバーサルジョイン
ト42a,42bを介して駆動軸23a,23bを回動
させることでハンド43を矢印方向に移動させるもので
ある。例えば、駆動軸23a,23bを180°回転さ
せると、第1及び第2のアーム24a,24b,25
a,25bは図4に示すように伸び切った状態となる。
ステッピングモータ38を回転させることにより、第1
及び第2のギア41a,41b,ユニバーサルジョイン
ト42a,42bを介して駆動軸23a,23bを回動
させることでハンド43を矢印方向に移動させるもので
ある。例えば、駆動軸23a,23bを180°回転さ
せると、第1及び第2のアーム24a,24b,25
a,25bは図4に示すように伸び切った状態となる。
【0034】ここで、駆動軸23a,23bと第1の回
動軸26a,26bとの軸間距離は、第1及び第2の回
動軸26a,26b,28a,28b間の軸間距離と同
一又は短かく配置される。この場合の第1のアーム24
a,24bは第2のアーム25a,25bと同一又は短
かく形成される。これは、第1及び第2のアーム24
a,24b,25a,25bが縮んだ状態のときに、第
2の回動軸28a,28bの位置が第1の回動軸26
a,26bより第1のアーム24a,24b側に位置す
ると、次の動作で第2の回動軸28a,28bが何れの
方向に移動するかが判明できなくなることを防止するた
めである。
動軸26a,26bとの軸間距離は、第1及び第2の回
動軸26a,26b,28a,28b間の軸間距離と同
一又は短かく配置される。この場合の第1のアーム24
a,24bは第2のアーム25a,25bと同一又は短
かく形成される。これは、第1及び第2のアーム24
a,24b,25a,25bが縮んだ状態のときに、第
2の回動軸28a,28bの位置が第1の回動軸26
a,26bより第1のアーム24a,24b側に位置す
ると、次の動作で第2の回動軸28a,28bが何れの
方向に移動するかが判明できなくなることを防止するた
めである。
【0035】次に、図5に、本発明の第2実施例の構成
図を示す。図5における搬送装置51は、2本の支持部
材であるアーム52a,52bを中間回動軸53で連結
して一組のリンクを構成し、これを側部回動軸54a,
54bにより、例えば三組連結する。駆動部22の傾斜
部22a,22bに支持された駆動軸23a,23bに
取り付けられたアーム24a、24bは、側部回動軸5
4a、54bを介して三組構成のリンクの一方の端部に
取り付けられている。また、搬送台27の傾斜面27
a,27bに支持された第2の回動軸28a,28bに
取り付けられたアーム25a、25bは、側部回動軸5
4a、54bを介して三組構成のリンクの他方の端部に
取り付けられている。このようにして、パンタグラフ方
式の搬送装置が構成される。
図を示す。図5における搬送装置51は、2本の支持部
材であるアーム52a,52bを中間回動軸53で連結
して一組のリンクを構成し、これを側部回動軸54a,
54bにより、例えば三組連結する。駆動部22の傾斜
部22a,22bに支持された駆動軸23a,23bに
取り付けられたアーム24a、24bは、側部回動軸5
4a、54bを介して三組構成のリンクの一方の端部に
取り付けられている。また、搬送台27の傾斜面27
a,27bに支持された第2の回動軸28a,28bに
取り付けられたアーム25a、25bは、側部回動軸5
4a、54bを介して三組構成のリンクの他方の端部に
取り付けられている。このようにして、パンタグラフ方
式の搬送装置が構成される。
【0036】この場合、中間回動軸53は垂直方向に設
けられ、各側部回動軸54a,54bは、駆動軸23
a,23b及び第2の回動軸28a,28bと平行に、
中間回動軸53に対して傾斜されて取り付けられたもの
である。
けられ、各側部回動軸54a,54bは、駆動軸23
a,23b及び第2の回動軸28a,28bと平行に、
中間回動軸53に対して傾斜されて取り付けられたもの
である。
【0037】この第2実施例では、パンタグラフ方式で
あっても、第1実施例と同様に歯車を不要とすることが
できるものである。
あっても、第1実施例と同様に歯車を不要とすることが
できるものである。
【0038】次に、本発明の第3実施例を説明する。
【0039】前述の第1及び第2の実施例において、図
3に示すアーム24a、24b、25a、25bからな
るリンクを駆動部22に対し、図の上側のみならず、図
の下側でも伸縮動作させる必要があるときには、例えば
駆動部22を180°回転させ、アームが図の下側に向
くようにする必要がある。しかしながら、この回転動作
には時間がかかり、搬送のスループットが上がらない。
また、回転動作を実現するためには、ギヤなどを用いる
必要があり、摺動面からの発塵がある。
3に示すアーム24a、24b、25a、25bからな
るリンクを駆動部22に対し、図の上側のみならず、図
の下側でも伸縮動作させる必要があるときには、例えば
駆動部22を180°回転させ、アームが図の下側に向
くようにする必要がある。しかしながら、この回転動作
には時間がかかり、搬送のスループットが上がらない。
また、回転動作を実現するためには、ギヤなどを用いる
必要があり、摺動面からの発塵がある。
【0040】第3実施例は、塵の影響なくまたリンクを
180°回転させることなく、リンクの伸縮方向の切り
替えを円滑に行えるようにした搬送装置である。
180°回転させることなく、リンクの伸縮方向の切り
替えを円滑に行えるようにした搬送装置である。
【0041】図6は、本発明の第3実施例による搬送装
置の構成図を示す。図6(A)はこの搬送装置の主要部
分の平面図であり、図6(B)はその側面図である。図
示するように、搬送装置は駆動部61を有し、その水平
上面に2本の駆動軸63a、63bが設けられている。
駆動軸63a、63bにはそれぞれ、第1のアーム64
a、64bの一端が取り付けられている。駆動部61は
また、コイル62を有する。このコイル62にはアーム
の伸縮方向に応じた方向(aからb又はbからa方向)
に、図示しない回路から電流が与えられる。
置の構成図を示す。図6(A)はこの搬送装置の主要部
分の平面図であり、図6(B)はその側面図である。図
示するように、搬送装置は駆動部61を有し、その水平
上面に2本の駆動軸63a、63bが設けられている。
駆動軸63a、63bにはそれぞれ、第1のアーム64
a、64bの一端が取り付けられている。駆動部61は
また、コイル62を有する。このコイル62にはアーム
の伸縮方向に応じた方向(aからb又はbからa方向)
に、図示しない回路から電流が与えられる。
【0042】第1のアーム64a、64bの他端は、回
動軸69a、69bにより第2のアーム65a、65b
の一端と連結される。第2のアーム65a、65bの他
端は回動軸66a、66bにより試料搬送台67に連結
される。試料搬送台67上には、ウエハ68が載置され
ている。搬送台67のほぼ中央から下向きにロッド70
が形成されており、その先端に永久磁石71が取り付け
られている。アーム64aと65b、及びアーム64b
と65bとが図6に示すように重なっている状態(縮ん
だ状態)で、永久磁石71はコイル62と対抗してい
る。コイル62と永久磁石71とはリニアモータを構成
する。
動軸69a、69bにより第2のアーム65a、65b
の一端と連結される。第2のアーム65a、65bの他
端は回動軸66a、66bにより試料搬送台67に連結
される。試料搬送台67上には、ウエハ68が載置され
ている。搬送台67のほぼ中央から下向きにロッド70
が形成されており、その先端に永久磁石71が取り付け
られている。アーム64aと65b、及びアーム64b
と65bとが図6に示すように重なっている状態(縮ん
だ状態)で、永久磁石71はコイル62と対抗してい
る。コイル62と永久磁石71とはリニアモータを構成
する。
【0043】なお、アーム64aと65aで一組のリン
クが構成され、アーム64bと65bでもう一組のリン
クが構成される。また各アーム64a、64b、65
a、65bの長さは同一であり、かつ駆動軸63a、6
3bと回動軸69a、69bとの軸間距離は、回動軸6
9a、69bと回動軸66a、66bとの軸間距離に等
しい。
クが構成され、アーム64bと65bでもう一組のリン
クが構成される。また各アーム64a、64b、65
a、65bの長さは同一であり、かつ駆動軸63a、6
3bと回動軸69a、69bとの軸間距離は、回動軸6
9a、69bと回動軸66a、66bとの軸間距離に等
しい。
【0044】図6(B)に示すように、アーム64a、
65a、64b、65bが縮んだ状態では、軸63aと
66aとは同一直線上にあり、また軸64bと66bと
は同一直線上にある。この状態では、軸63a及び63
bを回転させても、試料搬送台67の位置は変化しな
い。
65a、64b、65bが縮んだ状態では、軸63aと
66aとは同一直線上にあり、また軸64bと66bと
は同一直線上にある。この状態では、軸63a及び63
bを回転させても、試料搬送台67の位置は変化しな
い。
【0045】ここで、図6(A)に示すように、軸66
aと66bとは第1のアーム64aと64bに対し、換
言すれば軸63aと63bに対し僅かながら搬送方向に
移動可能である。この移動可能な範囲を図6(A)のL
で示す。この移動可能な範囲Lを実現するために、軸6
9aと69bは搬送方向に僅かにガタつくように遊びを
もって設けられている。
aと66bとは第1のアーム64aと64bに対し、換
言すれば軸63aと63bに対し僅かながら搬送方向に
移動可能である。この移動可能な範囲を図6(A)のL
で示す。この移動可能な範囲Lを実現するために、軸6
9aと69bは搬送方向に僅かにガタつくように遊びを
もって設けられている。
【0046】いま、コイル62にaからb方向に電流を
流した場合、搬送台67に取り付けられた永久磁石71
に力Fが生じる。その結果、軸66aと66bが力Fの
作用する方向に微少ながらずれる。この状態で軸63a
と63bとを、図6(A)の矢印e方向に回転させる
と、試料搬送台67は矢印cの方向に動く。また、試料
搬送台67を矢印dの方向に動かす場合は、コイル62
に流れる電流を逆方向(bからa方向)にする。その結
果、図6(A)に示す力Fとは反対方向の力が作用し
て、軸66aと66bとがその力の作用する方向に微少
ならがずれる。この状態で軸63aと63bとを、図6
(A)の矢印f方向に回転させると、試料搬送台67は
矢印dの方向に動く。
流した場合、搬送台67に取り付けられた永久磁石71
に力Fが生じる。その結果、軸66aと66bが力Fの
作用する方向に微少ながらずれる。この状態で軸63a
と63bとを、図6(A)の矢印e方向に回転させる
と、試料搬送台67は矢印cの方向に動く。また、試料
搬送台67を矢印dの方向に動かす場合は、コイル62
に流れる電流を逆方向(bからa方向)にする。その結
果、図6(A)に示す力Fとは反対方向の力が作用し
て、軸66aと66bとがその力の作用する方向に微少
ならがずれる。この状態で軸63aと63bとを、図6
(A)の矢印f方向に回転させると、試料搬送台67は
矢印dの方向に動く。
【0047】以上説明したように、第3実施例によれ
ば、同一の軸間距離を有するアームを用いて、簡単な構
成で確実に所望の方向へリンクを伸縮させることができ
る。
ば、同一の軸間距離を有するアームを用いて、簡単な構
成で確実に所望の方向へリンクを伸縮させることができ
る。
【0048】図7は、本発明の第3実施例を適用したウ
エハ搬送装置の構成を示す側面図である。図7中、図6
に示す構成要素と同一のものには同一の参照番号を付
す。図3に示す搬送装置と同様に、真空中でウエハを搬
送する装置である。真空チャンバ72は大気側から分離
され、10-8torrの真空度で保たれている。真空チャン
バ72内に、図6に示した搬送装置が収容されている。
エハ搬送装置の構成を示す側面図である。図7中、図6
に示す構成要素と同一のものには同一の参照番号を付
す。図3に示す搬送装置と同様に、真空中でウエハを搬
送する装置である。真空チャンバ72は大気側から分離
され、10-8torrの真空度で保たれている。真空チャン
バ72内に、図6に示した搬送装置が収容されている。
【0049】一方、大気側では、アーム駆動用ステッピ
ングモータ77に取り付けられた減速機76(例えば、
減速比1:50)の回動軸が第1のギア75aを回動さ
せると共に、第1のギア75aにより第2のギア75b
を回動させる。これらにより駆動部61を構成する。こ
の第1及び第2のギア75a,75bは、駆動軸63
a,63bの回転角度を一致させるもので、バックラッ
シュのないものが使用される。
ングモータ77に取り付けられた減速機76(例えば、
減速比1:50)の回動軸が第1のギア75aを回動さ
せると共に、第1のギア75aにより第2のギア75b
を回動させる。これらにより駆動部61を構成する。こ
の第1及び第2のギア75a,75bは、駆動軸63
a,63bの回転角度を一致させるもので、バックラッ
シュのないものが使用される。
【0050】第1のギア75aに取り付けられる駆動軸
63aは、軸受・シール74aの内周部を貫通して真空
側に延出する。また、第2のギア75bに取り付けられ
るは駆動軸63b、軸受・シール74bの内周部を貫通
して真空側に延出する。この場合の駆動軸63a,63
bは、垂直に設けられている。
63aは、軸受・シール74aの内周部を貫通して真空
側に延出する。また、第2のギア75bに取り付けられ
るは駆動軸63b、軸受・シール74bの内周部を貫通
して真空側に延出する。この場合の駆動軸63a,63
bは、垂直に設けられている。
【0051】一方、真空側では、軸受・シール74a、
74bより延出する駆動軸63a,63bは、第1のア
ーム64a,64bの一端に取り付けられる。第1のア
ーム64a,64bの他端は第1の回動軸69a,69
bにより第2のアーム65a,65bに連結され、第2
のアーム65a,65bの他端は回動軸66a、66b
を介して搬送台67に連結される。なお、図7の構成で
は、永久磁石71は搬送台67に直接固定されている。
74bより延出する駆動軸63a,63bは、第1のア
ーム64a,64bの一端に取り付けられる。第1のア
ーム64a,64bの他端は第1の回動軸69a,69
bにより第2のアーム65a,65bに連結され、第2
のアーム65a,65bの他端は回動軸66a、66b
を介して搬送台67に連結される。なお、図7の構成で
は、永久磁石71は搬送台67に直接固定されている。
【0052】コイル62内には、磁力を高めるために、
鉄片73が設けられている。図7の構成では、コイル6
2はアーム64a及び65aと64b及び65bとの間
に位置している。
鉄片73が設けられている。図7の構成では、コイル6
2はアーム64a及び65aと64b及び65bとの間
に位置している。
【0053】図7に示す搬送装置は、アーム駆動用ステ
ッピングモータ77を回転させることにより、第1及び
第2のギア75a,75bを介して駆動軸63a,63
bを回動させることで搬送台67を図6の矢印c又はd
方向に移動させるものである。
ッピングモータ77を回転させることにより、第1及び
第2のギア75a,75bを介して駆動軸63a,63
bを回動させることで搬送台67を図6の矢印c又はd
方向に移動させるものである。
【0054】図8は、図6に示す搬送装置の変形例であ
る。図8中、図6に示す構成要素と同一のものには同一
の構成要素を付す。図8に示す搬送装置では、コイル6
2を搬送台67に取り付け、永久磁石71を駆動部61
に取り付けた構成である。永久磁石71は駆動部61の
上面から突出している突出部61aに支持されている。
コイル62のリード線は回動軸66a、66b内を通
り、外部に引き出される。図8に示す搬送装置も、コイ
ル62に流れる電流の方向を変えることで、アームの伸
縮を、図6(A)に示すc又はd方向に変えることがで
きる。
る。図8中、図6に示す構成要素と同一のものには同一
の構成要素を付す。図8に示す搬送装置では、コイル6
2を搬送台67に取り付け、永久磁石71を駆動部61
に取り付けた構成である。永久磁石71は駆動部61の
上面から突出している突出部61aに支持されている。
コイル62のリード線は回動軸66a、66b内を通
り、外部に引き出される。図8に示す搬送装置も、コイ
ル62に流れる電流の方向を変えることで、アームの伸
縮を、図6(A)に示すc又はd方向に変えることがで
きる。
【0055】なお、図6、7及び8に示す構成におい
て、永久磁石71に代えてアルミニウムなどの二次導体
を用いてもよい。コイル62に電流を流すことで二次導
体に渦電流が発生し、永久磁石71と同様の作用をす
る。
て、永久磁石71に代えてアルミニウムなどの二次導体
を用いてもよい。コイル62に電流を流すことで二次導
体に渦電流が発生し、永久磁石71と同様の作用をす
る。
【0056】また、図6又は図8に示す構成を用いて図
5に示すようなパンタグラフ方式の搬送装置を構成する
こともできる。これを、第4実施例として、図9に示
す。図9において、前述した図に示す構成要素と同一の
ものには同一の参照番号を付す。
5に示すようなパンタグラフ方式の搬送装置を構成する
こともできる。これを、第4実施例として、図9に示
す。図9において、前述した図に示す構成要素と同一の
ものには同一の参照番号を付す。
【0057】駆動部62に支持された駆動軸63a,6
3bに取り付けられたアーム64a、64bは、側部回
動軸54a、54bを介して三組構成のリンクの一方の
端部に取り付けられている。また、搬送台67に支持さ
れた回動軸66a,66bに取り付けられたアーム65
a、65bは、側部回動軸54a、54bを介して三組
構成のリンクの他方の端部に取り付けられている。この
ようにして、パンタグラフ方式の搬送装置が構成され
る。リンクは駆動部62の両側で伸縮可能である。な
お、図9の構成では、回動軸54a、54bは他の軸と
同様に垂直に設けられている。
3bに取り付けられたアーム64a、64bは、側部回
動軸54a、54bを介して三組構成のリンクの一方の
端部に取り付けられている。また、搬送台67に支持さ
れた回動軸66a,66bに取り付けられたアーム65
a、65bは、側部回動軸54a、54bを介して三組
構成のリンクの他方の端部に取り付けられている。この
ようにして、パンタグラフ方式の搬送装置が構成され
る。リンクは駆動部62の両側で伸縮可能である。な
お、図9の構成では、回動軸54a、54bは他の軸と
同様に垂直に設けられている。
【0058】なお、第1実施例と第3実施例を組み合わ
せて搬送装置を構成することもできる。この構成を図1
0に、第5実施例として示す。図10中、前述の図に示
す構成要素と同一のものには同一の参照番号を付す。図
10の構成では、駆動部22にコイル62が設けられ、
搬送台27に永久磁石71が取り付けられている。な
お、コイル62と永久磁石71とをそれぞれ搬送台27
と駆動部22に取り付けてもよい。
せて搬送装置を構成することもできる。この構成を図1
0に、第5実施例として示す。図10中、前述の図に示
す構成要素と同一のものには同一の参照番号を付す。図
10の構成では、駆動部22にコイル62が設けられ、
搬送台27に永久磁石71が取り付けられている。な
お、コイル62と永久磁石71とをそれぞれ搬送台27
と駆動部22に取り付けてもよい。
【0059】
【発明の効果】以上説明したように請求項1記載の本発
明によれば、駆動軸を傾斜させて設け、第1及び第2の
回動軸を同一のリンクで対応する駆動軸に平行して取り
付けることにより、搬送台の歯車を不要として装置の小
型軽量化を図ることができると共に、パーティクルの発
生を防止することができるものである。
明によれば、駆動軸を傾斜させて設け、第1及び第2の
回動軸を同一のリンクで対応する駆動軸に平行して取り
付けることにより、搬送台の歯車を不要として装置の小
型軽量化を図ることができると共に、パーティクルの発
生を防止することができるものである。
【0060】また、請求項4記載の発明によれば、リン
クの伸縮方向を決定するために、搬送台に磁気的に発生
した力を作用させることとしたため、簡単な構成で確実
にリンクの伸縮方向を選択することができる。
クの伸縮方向を決定するために、搬送台に磁気的に発生
した力を作用させることとしたため、簡単な構成で確実
にリンクの伸縮方向を選択することができる。
【0061】更に、請求項10記載の発明によれば、上
記請求項1及び4の効果の両方が得られる。
記請求項1及び4の効果の両方が得られる。
【図1】本発明の第1実施例の構成図である。
【図2】図1の動作を説明するための図である。
【図3】本発明の第1実施例を適用した真空搬送装置の
構成図である。
構成図である。
【図4】図3の平面図である。
【図5】本発明の第2実施例の構成図である。
【図6】本発明の第3実施例の構成図である。
【図7】本発明の第3実施例を適用した真空搬送装置の
構成図である。
構成図である。
【図8】本発明の第3実施例の変形例を示す図である。
【図9】本発明の第4実施例の構成図である。
【図10】本発明の第5実施例の構成図である。
【図11】従来の搬送装置の構成図である。
21,31,51 搬送装置 22 駆動部 23a,23b 駆動軸 24a,24b 第1のアーム 25a,25b 第2のアーム 26a,26b 第1の回動軸 27 搬送台 28a,28b 第2の回動軸 53 中間回動軸 54a,54b 側部回動軸
Claims (10)
- 【請求項1】 2本の支持部材(24a,24b,25
a,25b)が第1の回動軸(26a,26b)により
連結された一組のリンクを左右に配設し、該二組のリン
クの一端を対応するそれぞれの駆動軸(23a,23
b)に取り付けると共に、他端を第2の回動軸(28
a,28b)を介して搬送台(27)に取り付け、駆動
部(22)により前記駆動軸(23a,23b)を回動
させて該搬送台(27)を移動させる搬送装置におい
て、 前記それぞれの駆動軸(23a,23b)が傾斜されて
設けられ、前記第1及び第2の回動軸(26a,26
b,28a,28b)が前記リンクごとに、対応する該
駆動軸(23a,23b)に平行して取り付けられるこ
とを特徴とする搬送装置。 - 【請求項2】 前記駆動軸(23a,23b)と前記第
1の回動軸(26a,26b)との軸間距離が、該第1
の回動軸(26a,26b)と前記第2の回動軸(28
a,28b)との軸間距離より短かく又は同一に配置さ
れることを特徴とする請求項1記載の搬送装置。 - 【請求項3】 2本の支持部材(52a,52b)を中
間回動軸(53)により連結した一組のリンクを、側部
回動軸(54a,54b)により所定数組連設し、該側
部回動軸(54a,54b)の一方の末部が搬送台(2
7)に取り付けられると共に、該リンクの末端が対応す
る駆動軸(23a,23b)に取り付けられ、駆動部
(22)により該駆動軸(23a,23b)を回動させ
て該搬送台(27)を移動させる搬送装置において、 前記駆動軸(23a,23b)及び前記側部回動軸(5
4a,54b)が、前記中間回動軸(52)に対して傾
斜されて取り付けられることを特徴とする搬送装置。 - 【請求項4】 2本の支持部材(64a,64b,65
a,65b)が第1の回動軸(63a,63b)により
連結された一組のリンクを左右に配設し、該二組のリン
クの一端を対応するそれぞれの駆動軸(69a,69
b)に取り付けると共に、他端を第2の回動軸(66
a,66b)を介して搬送台(67)に取り付け、駆動
部(61)により前記該駆動軸(63a,63b)を回
動させて該搬送台(27)を移動させる搬送装置におい
て、 前記二組のリンクの伸縮方向を決定するために、前記搬
送台(67)に磁気的に発生した力(F)を作用させる
手段(62、71)を設けたことを特徴とする搬送装
置。 - 【請求項5】 前記手段(62、71)は、前記駆動部
(61)に設けられたコイル(62)と、前記二組のリ
ンクが収縮した状態で前記コイルに対向するように前記
搬送台(67)に設けられた永久磁石(71)とを有す
ることを特徴とする請求項4記載の搬送装置。 - 【請求項6】 前記手段(62、71)は、前記駆動部
(61)に設けられたコイル(62)と、前記二組のリ
ンクが収縮した状態で前記コイルに対向するように前記
搬送台(67)に設けられた二次導体(71)とを有す
ることを特徴とする請求項4記載の搬送装置。 - 【請求項7】 前記手段(62、71)は、前記駆動部
(61)に設けられた永久磁石(71)と、前記二組の
リンクが収縮した状態で前記コイルに対向するように前
記搬送台(67)に設けられたコイル(62)とを有す
ることを特徴とする請求項4記載の搬送装置。 - 【請求項8】 前記手段(62、71)は、前記駆動部
(61)に設けられた二次導体(71)と、前記二組の
リンクが収縮した状態で前記コイルに対向するように前
記搬送台(67)に設けられたコイル(62)とを有す
ることを特徴とする請求項4記載の搬送装置。 - 【請求項9】 2本の支持部材(52a,52b)を中
間回動軸(53)により連結した一組のリンクを、側部
回動軸(54a,54b)により所定数組連設し、該側
部回動軸(54a,54b)の一方の末部が搬送台(6
7)に取り付けられると共に、該リンクの末端が対応す
る駆動軸(63a,63b)に取り付けられ、駆動部
(62)により該駆動軸(63a,63b)を回動させ
て該搬送台(67)を移動させる搬送装置において、 前記所定数のリンクの伸縮方向を決定するために、前記
搬送台(67)に磁気的に発生した力(F)を作用させ
る手段(62、71)を設けたことを特徴とする搬送装
置。 - 【請求項10】 2本の支持部材(24a,24b,2
5a,25b)が第1の回動軸(26a,26b)によ
り連結された一組のリンクを左右に配設し、該二組のリ
ンクの一端を対応するそれぞれの駆動軸(23a,23
b)に取り付けると共に、他端を第2の回動軸(28
a,28b)を介して搬送台(27)に取り付け、駆動
部(22)により前記駆動軸(23a,23b)を回動
させて該搬送台(27)を移動させる搬送装置におい
て、 前記それぞれの駆動軸(23a,23b)が傾斜されて
設けられ、前記第1及び第2の回動軸(26a,26
b,28a,28b)が前記リンクごとに、対応する該
駆動軸(23a,23b)に平行して取り付けら、 前記二組のリンクの伸縮方向を決定するために、前記搬
送台(27)に磁気的に発生した力(F)を作用させる
手段(62、71)を設けたことを特徴とする搬送装
置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5200735A JPH06132380A (ja) | 1992-09-04 | 1993-08-12 | 搬送装置 |
US08/115,769 US5421695A (en) | 1992-09-04 | 1993-09-03 | Transfer apparatus and method |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4-237199 | 1992-09-04 | ||
JP23719992 | 1992-09-04 | ||
JP5200735A JPH06132380A (ja) | 1992-09-04 | 1993-08-12 | 搬送装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06132380A true JPH06132380A (ja) | 1994-05-13 |
Family
ID=26512361
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5200735A Pending JPH06132380A (ja) | 1992-09-04 | 1993-08-12 | 搬送装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5421695A (ja) |
JP (1) | JPH06132380A (ja) |
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- 1993-09-03 US US08/115,769 patent/US5421695A/en not_active Expired - Fee Related
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