JP4354722B2 - クランプ装置及びそれを備えたチルト機能付き鉛直方向駆動位置決め装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、鉛直方向、すなわちZ軸方向の駆動機能と傾き、すなわちチルト機能とを有するチルト機能付き鉛直方向駆動位置決め装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
位置決めステージ等に用いられるZ軸(鉛直)方向の駆動装置として、3つの駆動機構を組み合わせ、それらにより支えられる被支持体、例えば、テーブルあるいは吸着盤等に対し上下方向の並進動作を与えることができるようにしたものが提案されている(例えば、特許文献1)。
【0003】
これは、キネマティッククランプ(いわゆるケルビンクランプ)を用いたものであるが、位置決めのための装置であり、ある大きさ以上の水平あるいは下方向加速度が働くと、上部物体がずれる可能性がある。
【0004】
以下に、このことを図4〜図6を参照して説明する。
【0005】
(1)ケルビンクランプは、図4(a)に示すように、上部テーブル20の下面に軸を介して取り付けられた3個の球22、23、24が、それぞれ下部テーブル21の上面に形成された三角錐(又は円錐)状の凹部25、断面V字状のV溝26、平面27と接触することにより、下部テーブル21の面に対し上部テーブル20の面を相対的に位置決めを行うことができるものである。なお、図4(b)に示すように、3個の球のすべてが下部テーブル21´の上面に形成された3組のV溝26´に接触するように構成される場合もある。
【0006】
(2)このようなケルビンクランプは、図4(a)のもので言えば、V溝26の軸方向の延長線上に凹部25の三角錐の頂点が位置するように構成されている。これにより、一方の面、例えば球が固定されている方の上部テーブル20が熱膨張(あるいは収縮)等で3つの球の間隔が拡がった(狭まった)としても、あるいは下部テーブル21が熱膨張(あるいは収縮)しても、図5に示されるように、三角錐状の凹部25と接している球22を固定点とし、V溝26に接した球23はV溝26の軸方向に移動し、平面と接した球24は三角錐状の凹部25とV溝26の相対位置関係から決まる位置に移動することができる。なお、図4(b)の場合には、3組のV溝26´が一点で交差する配置とされ、図4(a)のものと同じ機能を持つ。
【0007】
(3)凹部、溝を設けた面を下部側とし、各球を固定した面を上部側として、各クランプ部分において下部側が上部側を支えているものとし、下部側に水平加速度が作用したとする。この場合、図6(a)に示されるように、V溝26と球23とによるクランプ部で支える上部側の重量による摩擦力μ・F1 (但し、μは摩擦係数)の作用によって、下部側に作用する水平加速度が小さい場合には上下両側の相対位置は保持される。しかし、下部側に大きな水平加速度αによる水平力F2 が働く場合、その分力F2 ´(V溝26の面方向に沿った分力)が摩擦力μ・F1 を上回ると上部側の位置がずれてしまう。あるいは、図6(b)に示されるように、全体が下方に重力加速度を越える加速度α´で移動する場合は、上部側は下部側に追随できず、離れてしまう。このため、より大きな摩擦力を与えるために上下両側をばね等でつないで付加荷重を与えていた。
【0008】
【特許文献1】
特開平10−79344号(第2頁、図9)
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、Z軸(鉛直)方向の位置決め装置では、3組のZ軸駆動機構を用いて上部側(例えば回転テーブル)を支え、Z軸方向の並進動作に加えて傾き(チルト)動作を与えることが要求される場合がある。これに対し、上下両側の結合を前述したケルビンクランプとすれば、傾きを与えるチルト動作が可能となる。しかし、これら3組のZ軸が水平方向の位置決めテーブル(X−Yテーブル)の上に設置される場合、上記(3)に記述した理由で水平方向の位置決めテーブルが大きな加速度で移動すると、上部側がずれることになる。それを防ぐために上下両側をばね等でつないだ場合、Z軸駆動機構にその分荷重が加わることになり、Z軸駆動機構の容量増大が必要となる。そして、Z軸方向の駆動量(ストローク)が大きくなればなるほどばねによる荷重が増加する。
【0010】
そこで、本発明の課題は、キネマティッククランプ(いわゆるケルビンクランプ)をリジッド化し、鉛直(Z軸)方向の並進及びチルト動作を可能とすると共に水平方向あるいは下方向の加速度が働いても位置のずれを無くすことを可能にするクランプ装置を提供することにある。
【0011】
本発明の他の課題は、上記クランプ装置を備えたチルト機能付き鉛直方向駆動位置決め装置を提供することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、支持部材上に置かれるボールと、該ボールの受け部を下部に有し該受け部を前記ボールの上部に当接させたクランプ軸との組合わせを複数組備え、前記クランプ軸は前記受け部とそこから上方に延びる軸部とから成り、前記支持部材側には前記軸部を揺動可能に上方に突出させた状態で前記ボールと前記クランプ軸との組合わせを保持するためのホルダを固定し、前記受け部と前記ホルダとの間には該受け部を下方に付勢するためのばね部材を介在させたことを特徴とするクランプ装置が提供される。
【0013】
本発明によるクランプ装置においては、前記ボールと前記クランプ軸との組合わせが3組であり、第1の組の第1のボールは第1の支持部材に設けられた角錐または円錐による凹部に収容され、第2の組の第2のボールは第2の支持部材にあらかじめ決められた方向に延在するように設けられたV溝に収容され、第3の組の第3のボールは第3の支持部材の平面上に置かれることを特徴とする。
【0014】
本発明によるクランプ装置はまた、前記ボールと前記クランプ軸との組合わせが3組であり、第1の組の第1のボールは第1の支持部材に設けられた第1のV溝に収容され、第2の組の第2のボールは第2の支持部材に設けられた第2のV溝に収容され、第3の組の第3のボールは第3の支持部材に設けられた第3のV溝に収容され、前記第1〜第3の支持部材は前記第1〜第3のV溝の延長線が一点で交差するように構成されても良い。
【0015】
上記のクランプ装置においては、第1の態様として、前記第1〜第3の組の軸部をそれぞれ同じ上部部材に取り付けると共に、前記第1〜第3の支持部材をそれぞれ独立して上下動可能に構成することにより、前記上部部材が上下方向動作及びチルト動作可能なクランプ装置を提供できる。
【0016】
上記のクランプ装置においてはまた、第2の態様として、前記第1〜第3の組の軸部をそれぞれ同じ上部部材に取り付けると共に、前記第1〜第3の支持部材を1つの共通の支持部材で構成したクランプ装置を提供できる。
【0017】
本発明によればまた、上記の第1の態様によるクランプ装置を備えたチルト機能付き鉛直方向駆動位置決め装置であって、前記第1〜第3の支持部材を上下動させる第1〜第3の駆動機構をベース部材上に備えたことを特徴とするチルト機能付き鉛直方向駆動位置決め装置が提供される。
【0018】
本発明によるチルト機能付き鉛直方向駆動位置決め装置においては、前記第1〜第3の駆動機構としてスライドウェッジ機構を備えたものが提供される。
【0019】
【発明の実施の形態】
図1〜図3を参照して、本発明によるクランプ装置及びこれを用いたチルト機能付き鉛直方向駆動位置決め装置の好ましい実施の形態について説明する。
【0020】
図1は、本発明によるクランプ装置を前述したケルビンクランプを改良して実現する場合の実施の形態を示している。ケルビンクランプを構成する3組のクランプのうち、図1(a)は三角錐等の角錐による凹部(または円錐による凹部でも良い)107aとこれに収容された球13とによる第1の組を示し、図1(b)はV溝108aとこれに収容された球14とによる第2の組を示し、図1(c)は平面とその上に置かれた球15とによる第3の組を示している。球が置かれる部分の構造以外は第1〜第3の組のいずれも同じ構造である。
【0021】
図1(a)に示された第1のクランプ10は、上面に円錐(又は角錐)による凹部(以下、凹部と略称する)107aが形成された第1の支持部材107と、凹部107aに収容された第1の球13と、球13の受け部16−1を下部に有すると共に上方に延びる軸部16−2を有して、受け部16−1を球13の上部に当接させたクランプ軸16と、第1の支持部材107に固定され軸部16−2を揺動可能に上方に突出させた状態で球13とクランプ軸16との組合わせを保持するためのホルダ104と、受け部16−1の上側とホルダ104の内面側との間に介在して受け部16−1を下方に付勢するための皿ばね101とを含む。
【0022】
図1(b)に示された第2のクランプ11は、上面にV溝108aが形成された第2の支持部材108と、V溝108aに収容された第2の球14と、球14の受け部17−1を下部に有すると共に上方に延びる軸部17−2を有して、受け部17−1を球14の上部に当接させたクランプ軸17と、第2の支持部材108に固定され軸部17−2を揺動可能に上方に突出させた状態で球14とクランプ軸17との組合わせを保持するためのホルダ105と、受け部17−1の上側とホルダ105の内面側との間に介在して受け部17−1を下方に付勢するための皿ばね102とを含む。
【0023】
図1(c)に示された第3のクランプ12は、第3の支持部材109と、その上面、つまり平面上に置かれた第3の球15と、球15の受け部18−1を下部に有すると共に上方に延びる軸部18−2を有して、受け部18−1を球15の上部に当接させたクランプ軸18と、第3の支持部材109に固定され軸部18−2を揺動可能に上方に突出させた状態で球15とクランプ軸18との組合わせを保持するためのホルダ106と、受け部18−1の上側とホルダ106の内面側との間に介在して受け部18−1を下方に付勢するための皿ばね103とを含む。
【0024】
受け部16−1〜18−1は、いずれもその下面側に角錐または円錐による凹部を形成してこの凹部に球13〜15を収容するようにされている。また、ホルダ104〜106は、いずれもその上部側に、軸部16−2〜18−2を揺動可能に挿通可能とするために、軸部16−2〜18−2の径より大きめの開口を持つ板部材を持つもので構成され、この板部材が皿ばねを受け部に押し付けるばね押えとして機能し、ホルダに必要な荷重を与える。厳密に言えば、各ホルダに相対運動を与えることができるようにするために、ばね押えの開口は軸部の径と相対運動の移動距離を加えたものより大きくしてチルト動作に伴う相対移動を許容するように構成される。また、皿ばねは要求される荷重を与えるものを装着し、クランプ軸が傾いてもばねの弾性限界を越えないものを使用する。
【0025】
以上のような3組のクランプを一つのクランプ装置として使用する場合、例えば軸部16−2〜18−2を被クランプ部材としての一つの上部部材110に取り付ける。一方、支持部材107〜109についてもこれらを取り付ける下部部材111、112、113を一つの部材で構成する。なお、第2のクランプ11においては第2の支持部材108に形成されたV溝108aの延長線が、第1のクランプ10における第1の支持部材107に形成された凹部107aの頂点に交差するように構成されることは言うまでも無い。勿論、はじめから支持部材107〜109を一つの部材で構成するようにしても良い。そして、支持部材107〜109を一つの部材で構成し、この一つの部材の上面に第1〜第3のV溝をそれらが一点で交差するように形成すると、図4(b)に示されたものと同じ機能を持つクランプ装置を提供できることは言うまでも無い。いずれにしても、これらの構成によるクランプ装置は、第1〜第3のクランプ10〜12がそれぞれ、図4(a)や図4(b)に示したものと同じ機能を持ちながら、下部側と上部側とがリジッド化された構成となることにより、水平方向あるいは下方向の加速度が働いても互いの位置のずれを無くすことが可能となる。
【0026】
一方、図1(a)〜図1(c)に示される3組のクランプ10〜12を用いてチルト機能付き鉛直方向駆動位置決め装置を構成する場合、各組の下部部材111〜113をそれぞれZ軸駆動機構で独立して上下方向に駆動可能に構成すれば良い。
【0027】
Z軸駆動機構には、例えば図2に示すようないわゆるスライドウェッジ方式のものを使用することができる。図2は、第1のクランプ10にZ軸駆動機構40を適用した場合について示しているが、第2、第3のクランプ11、12のいずれにおいてもまったく同じものが使用される。
【0028】
図2において、Z軸駆動機構40は、ベース部材50上において水平方向にスライド可能にされて上面側に傾斜面を持つ水平移動ブロック61と、この水平移動ブロック61の傾斜面に対応する傾斜面を下面側に有して水平移動ブロック61の水平移動により上下動可能にされた垂直移動ブロック62と、水平移動ブロック61を移動させるための駆動源として作用するモータ63と、水平移動ブロック61に対して水平方向に押し付け力を作用させるエアシリンダ64とを含む。
【0029】
水平移動ブロック61は、ベース部材50上に設けられた少なくとも1本の水平方向のガイド部材50−1をスライド可能なスライド部材61−1を下面側に有する。水平移動ブロック61はまた、傾斜面に少なくとも1本のガイド部材61−2が設けられている。一方、垂直移動ブロック62の傾斜面には、ガイド部材61−2をスライド可能なスライド部材62−1が設けられている。ベース部材50上にはまた、垂直移動ブロック62の背面に対応して上方に延びるようにブロック体50−2が設けられてこのブロック体50−2における垂直移動ブロック62側には上下方向に延在する上下方向のガイド部材50−3が設けられている。そして、垂直移動ブロック62の背面にはガイド部材50−3をスライド可能なスライド部材62−2が設けられている。モータ63の出力軸と水平移動ブロック61との間には、出力軸の回転運動を水平方向の運動に変換するためのボールねじ機構65が設けられている。
【0030】
以上のような構造により、モータ63が一方向に回転するとこれが水平方向の運動に変換されて水平移動ブロック61が図2中右方向に水平移動し、その結果、垂直移動ブロック62は上方に移動する。一方、モータ63が反対方向に回転するとこれが水平方向の運動に変換されて水平移動ブロック61が図2中左方向に水平移動し、その結果、垂直移動ブロック62は下方に移動する。
【0031】
なお、エアシリンダ64を使用するのは、以下の理由による。上部部材110及び場合によってはこれに載せられるワーク、その他の荷重により垂直移動ブロック62には垂直方向の力が作用し、水平移動ブロック61にはその水平方向成分が作用する。この水平方向成分をモータ63の出力だけでカバーするには高出力のモータが要求されるので、上記水平方向成分をエアシリンダ64の出力軸64−1を水平移動ブロック61を当接させて受けることでモータ63の出力を小さくできるようにしている。
【0032】
いずれにしても、上記のような構造のZ軸駆動機構40、70、80を組み合わされた3組のクランプ10〜12が図3に示すようにベース部材50上に配置される。勿論、この場合にも第2のクランプ11においては第2の支持部材108に形成されたV溝108aの延長線が、第1のクランプ10における第1の支持部材107に形成された凹部107aの頂点に交差するように構成されることは言うまでも無い。一方、Z軸駆動位置決め装置を図4(b)に示すタイプにする場合には、3組のクランプのすべてを図1(b)に示されるV溝108aを持つものとし、各クランプを独立して上述したZ軸駆動機構により駆動するように構成される。勿論、この場合にも3組のクランプは3つのV溝の延長線が一点で交差するように配置される。いずれにしても、3組のクランプ10〜12における上部部材110は同一部材であり、3組のクランプ10〜12の上下方向の移動量を同じにすれば並進動作となり、移動量に差を持たせることでチルト動作となる。
【0033】
以上のようにして、キネマティッククランプ(いわゆるケルビンクランプ)をリジッド化し、Z軸方向の並進及びチルト動作を可能とすると共に水平方向あるいは下方向の加速度が働いても位置のずれを無くすことのできるチルト機能付きZ軸駆動位置決め装置を提供できる。上述したZ軸駆動機構は一例にすぎず、スライドウェッジ方式のものに限らず、単なるエアシリンダあるいはボールねじ等の周知の駆動機構で実現されても良い。
【0034】
また、場合によっては上部側と下部側の位置関係を上下逆にするような構造にしても良い。
【0035】
なお、上記のような3軸による鉛直方向駆動位置決め装置をX−YステージのX軸テーブルあるいはY軸テーブルに設けることでX−Y−Zの3軸方向に移動可能なステージ装置を構成することができる。この場合、ベース部材50がX軸テーブルあるいはY軸テーブルとなる。
【0036】
【発明の効果】
本発明によれば、キネマティッククランプ、いわゆるケルビンクランプにおける上部側と下部側とをリジッド化し、Z軸方向の並進及びチルト動作を可能とすると共に水平方向あるいは下方向の加速度が働いても位置のずれを無くすことのできるクランプ装置を提供することができる。
【0037】
本発明によればまた、上記の効果を持つクランプ装置を備えたチルト機能付き鉛直方向駆動位置決め装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明によるクランプ装置を構成する3組のクランプを説明するための断面図である。
【図2】図1の各組のクランプにZ軸駆動機構を組み合わせて鉛直方向駆動位置決め装置を構成する場合の構造を1つのクランプについて示した側面図である。
【図3】図2に示されたクランプとZ軸駆動機構の組合わせを用いて鉛直方向駆動位置決め装置を構成する場合の各組の配置図を示した平面図である。
【図4】従来のケルビンクランプの2つの例を説明するための図である。
【図5】従来のケルビンクランプにおいて支持部材の熱膨張に基づくずれを吸収する作用を説明するための図である。
【図6】従来のケルビンクランプにおいて水平方向の加速度、下方向の加速度が加わった場合の問題点を説明するための図である。
【符号の説明】
10、11、12 第1、第2、第3のクランプ
13〜15 球
16〜18 クランプ軸
16−1、17−1、18−1 受け部
16−2、17−2、18−2 軸部
40、70、80 Z軸駆動機構
50 ベース部材
50−1、50−3、61−2 ガイド部材
61 水平移動部材
62 垂直移動部材
61−1、62−1、62−2 スライド部材
63 モータ
64 エアシリンダ
65 ボールねじ機構
101、102、103 皿ばね
104〜106 ホルダ
107、108、109 第1、第2、第3の支持部材
110 上部材
111、112、113 下部材
Claims (7)
- 支持部材上に置かれるボールと、該ボールの受け部を下部に有し該受け部を前記ボールの上部に当接させたクランプ軸との組合わせを複数組備え、前記クランプ軸は前記受け部とそこから上方に延びる軸部とから成り、前記支持部材側には前記軸部を揺動可能に上方に突出させた状態で前記ボールと前記クランプ軸との組合わせを保持するためのホルダを固定し、前記受け部と前記ホルダとの間には該受け部を下方に付勢するためのばね部材を介在させたことを特徴とするクランプ装置。
- 請求項1に記載のクランプ装置において、前記ボールと前記クランプ軸との組合わせが3組であり、第1の組の第1のボールは第1の支持部材に設けられた角錐または円錐による凹部に収容され、第2の組の第2のボールは第2の支持部材にあらかじめ決められた方向に延在するように設けられたV溝に収容され、第3の組の第3のボールは第3の支持部材の平面上に置かれることを特徴とするクランプ装置。
- 請求項1に記載のクランプ装置において、前記ボールと前記クランプ軸との組合わせが3組であり、第1の組の第1のボールは第1の支持部材に設けられた第1のV溝に収容され、第2の組の第2のボールは第2の支持部材に設けられた第2のV溝に収容され、第3の組の第3のボールは第3の支持部材に設けられた第3のV溝に収容され、前記第1〜第3の支持部材は前記第1〜第3のV溝の延長線が一点で交差するように構成されることを特徴とするクランプ装置。
- 請求項2または3に記載のクランプ装置において、前記第1〜第3の組の軸部をそれぞれ同じ上部部材に取り付けると共に、前記第1〜第3の支持部材をそれぞれ独立して上下動可能に構成することにより、前記上部部材を上下方向動作及びチルト動作可能にしたことを特徴とするクランプ装置。
- 請求項2または3に記載のクランプ装置において、前記第1〜第3の組の軸部をそれぞれ同じ上部部材に取り付けると共に、前記第1〜第3の支持部材を1つの共通の支持部材で構成したことを特徴とするクランプ装置。
- 請求項4に記載のクランプ装置を備えたチルト機能付き鉛直方向駆動位置決め装置であって、前記第1〜第3の支持部材を上下動させる第1〜第3の駆動機構をベース部材上に備えたことを特徴とするチルト機能付き鉛直方向駆動位置決め装置。
- 請求項6に記載のチルト機能付き鉛直方向駆動位置決め装置において、前記第1〜第3の駆動機構としてスライドウェッジ機構を備えることを特徴とするチルト機能付き鉛直方向駆動位置決め装置。
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