JP2004323165A - 基板搬送装置 - Google Patents
基板搬送装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004323165A JP2004323165A JP2003119266A JP2003119266A JP2004323165A JP 2004323165 A JP2004323165 A JP 2004323165A JP 2003119266 A JP2003119266 A JP 2003119266A JP 2003119266 A JP2003119266 A JP 2003119266A JP 2004323165 A JP2004323165 A JP 2004323165A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- arm
- parallel link
- turning
- hand
- rotation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Manipulator (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
【課題】大型液晶基板等をコンパクトな搬送スペースで精度良く搬送し、しかも耐久性に富む基板搬送装置を提供する。
【解決手段】固定部に支持され同心配置された回転駆動軸のうち、回転駆動軸端R3で旋回アーム10を旋回可能に軸支する。旋回アーム10の両端に回転駆動軸R1からの入力により変形可能な平行リンクと中間平行リンクを介して第1アーム本体11を、回転駆動軸R2からの入力により変形可能な平行リンクと中間平行リンクを介して第2アーム本体21を軸支する。旋回アーム10内の平行リンクのいずれかの変形に伴い旋回部材113,213を介してアーム本体11,21を旋回させる。このときアーム本体11,21内に、中間平行リンクから伝達された回転により変形可能な第2平行リンクを収容する。第2平行リンクの出力側にハンド12,22を設ける。
【選択図】 図1
【解決手段】固定部に支持され同心配置された回転駆動軸のうち、回転駆動軸端R3で旋回アーム10を旋回可能に軸支する。旋回アーム10の両端に回転駆動軸R1からの入力により変形可能な平行リンクと中間平行リンクを介して第1アーム本体11を、回転駆動軸R2からの入力により変形可能な平行リンクと中間平行リンクを介して第2アーム本体21を軸支する。旋回アーム10内の平行リンクのいずれかの変形に伴い旋回部材113,213を介してアーム本体11,21を旋回させる。このときアーム本体11,21内に、中間平行リンクから伝達された回転により変形可能な第2平行リンクを収容する。第2平行リンクの出力側にハンド12,22を設ける。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は基板搬送装置に係り、特に高真空、高温状態下において、大型液晶基板等をコンパクトな搬送スペースで効率よく搬送できるようにした基板搬送装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
現在、半導体、液晶基板製品の製造工程において、真空雰囲気、高温下でのプロセスが重要な位置を占めており、そのなかでも真空雰囲気での基板等のワーク搬送が装置構成においてきわめて重要となっている。
【0003】
液晶基板の製造分野においては、ワークサイズをより大きくすることで生産量の増大しを図り、コスト低減することが重要であるとともに、より大型の基板のニーズが高まっている。このような基板の大型化に伴い、真空内の搬送機器形態もそれに対応させ、高精度、高効率化を図る必要がある。たとえば1000mm□以下の液晶基板等の製造では、2本のアームを連係動作させ、所定のシーケンスで同時に2枚の基板を搬送可能としたツインアーム構造の搬送装置が提案されている(たとえば特許文献1、特許文献2参照。)これらの装置では、ツインアームをそれぞれ、ゴムベルトやスチールワイヤ、チェーンを回転軸に装着されたプーリを介して所定のアーム回転を実現する用いてベルト駆動方式が用いられている。
【0004】
【特許文献1】
特許第2580489号公報。
【特許文献2】
特開平10−163296号公報。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、2000mm×2000mm□程度の大型基板を搬送するような場合、ワークサイズの大型化にあわせてアーム旋回範囲を確保できる占有面積に拡大しなければならないという根本的な問題に加え、搬送距離が長くなることによるアーム駆動機構の剛性不足によってアームにたわみが生じたり、搬送軌跡が蛇行するという問題も生じるおそれがある。
【0006】
また、上述の搬送装置では、ゴムベルトでは高真空状態を阻害するアウトガスが発生する。スチールワイヤ等は重量があるため、アーム全体の重量が増してたわみを生じやすくなる。ベルトやワイヤがプーリに巻回された際に繰り返し折り曲げられるため、早期に疲労破壊が生じるおそれがある。さらに、所定直径比で回転軸回転角を制御するため、大直径のプーリを要する場合もあり、機構の小型が難しい。加えて、基板等を高温処理条件で処理する場合、ベルトやワイヤが早期に変形、劣化してしまうため、耐久性の点でも問題がある。
【0007】
そこで、本発明の目的は、上述した問題を解消し、高温、高真空状態下で使用される基板搬送装置において、大型の基板を、コンパクトなスペースで精度良く搬送でき、しかも耐久性に富む基板搬送装置を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は固定部に支持され同心配置された3本の回転駆動軸のうちの第1の回転駆動軸端に旋回可能に軸支され、第2の回転駆動軸からの入力により変形可能な第1平行リンクと第1中間平行リンクを介して第1アーム本体を軸支するとともに、第3の回転駆動軸からの入力により変形可能な他の第1平行リンクと他の中間平行リンクを介して第2アーム本体を軸支する旋回アームと、前記第1平行リンクの変形に伴い旋回し、部材上に設けられたリニアガイド上を直線走行するスライダの移動に伴って前記第1アーム本体を旋回させる第1の旋回部材と、前記他の第1平行リンクの変形に伴い旋回し、部材上に設けられたリニアガイド上を直線走行するスライダの移動に伴って前記第2アーム本体を旋回させる第2の旋回部材と、前記中間平行リンクから伝達された回転により変形可能な第2平行リンクを収容し、該第2平行リンクの出力側にハンドが設けられ、前記第1の旋回部材により旋回する際に、前記ハンドの搬送方向が保持されるようにした第1のアーム本体と、前記他の中間平行リンクから伝達された回転により変形可能な第2平行リンクを収容し、該第2平行リンクの出力側にハンドが設けられ、前記第2の旋回部材により旋回する際に、前記ハンドの搬送方向が保持されるようにした第2のアーム本体とを備えたことを特徴とするものである。
【0009】
このとき、前記旋回アームの旋回時に、一方のアーム本体の回転駆動軸を固定して前記第1平行リンクと中間平行リンクとを変形させることで、前記旋回アームの旋回角θに対して、該他のアーム本体を旋回させる前記旋回部材に旋回角2θが付与されるリンク機構を備えることが好ましい。
【0010】
また、前記旋回アーム内に収容された第1平行リンクと中間平行リンクの変形が、共有回転支軸を介して第1アーム本体または第2アーム本体内に収容された第2平行リンクへ伝達され、前記ハンドの搬送方向が保持されるようにすることが好ましい。
【0011】
前記旋回アーム内に前記第1平行リンクと第1中間平行リンク、及び他の第1平行リンクと他の中間平行リンクを収容し、前記第1のアーム本体内及び第2のアーム本体内にそれぞれの第2平行リンクを収容して、アームの旋回に係わるリンク機構を各アームを構成する箱状部材内に納めることが好ましい。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の基板搬送装置の一実施の形態について、添付図面を参照して説明する。
[共通駆動部]
図1は、基板搬送装置の各部の機構構成を説明するために示した正面断面図である。基板搬送装置1は、固定部2に基底プレート3を介して支持され、アーム全体が真空雰囲気4内に位置するように設置されている。基底プレート3には、中心軸Oを中心として同心配置され、各軸が独立して回転駆動可能な3本の回転駆動軸R1,R2,R3が軸受部を介して固着されている。
【0013】
これらの回転駆動軸R1,R2,R3は、中実回転駆動軸R3と、この中実回転駆動軸R3を玉軸受(図示せず)で回転可能に支持するともに、独立して回転駆動可能な中空筒状回転駆動軸R2と、中空筒状回転駆動軸R2を玉軸受(図示せず)で回転可能に支持するとともに、独立して回転駆動可能な中空筒状回転駆動軸R1とから構成され、図示しない回転制御部により回転角、回転角速度、回転方向が高精度に制御される。
【0014】
これらの回転駆動軸のうち、最外周に位置し、基底プレート3に支持された中空筒状回転軸R1の上端には旋回アーム10が固着されている。この旋回アーム10は、図2,図4の平面図に示したような折れ角が鈍角のV字形をなし、中空筒状回転軸R1の回転駆動に伴い、中心軸Oを中心に旋回する。旋回アーム10の両端には第1アーム本体11及び第2アーム本体21が中実回転軸111S,211Sを介して連結されており、後に詳述するように、第1アーム本体11、第2アーム本体21は、それぞれ独立して旋回アーム10の旋回角θに連動して中実回転軸111S,211S回りに旋回角2θで旋回でき、各アーム本体11,21の自由端側に連結されたハンド12,22のフォーク13,23上に載置された基板Pを所定方向に直線状に搬送できる(図7,図8参照:図8ではハンド22による搬送動作を示している)。なお、以下の説明において、旋回アーム10内部に組み込まれたリンク機構について、第1アーム本体11及び第2アーム本体21を駆動する構成部材を区別するために、それぞれを1XX,2XXとし、回転支軸、連結節点については添え字1,2を付して説明する。
【0015】
[旋回アームの構成]
旋回アーム10は、図2に示したようなステンレス製の中空箱状部材で、その内部には第1アーム本体11、第2アーム本体21を旋回させる中実回転軸111S,211Sを所定角度だけ回動させるとともに、各第1アーム本体11、第2アーム本体21の自由端に連結されたハンドの方向を保持させる同期クランク105,205を所定角度だけ回動させるリンク機構が収容されている。
以下、旋回アーム10内に収容された各部材により構成された第1平行リンク、中間平行リンク、及びこれらリンク機構の出力側となる中実回転軸、中空回転軸、同期クランクについて説明する。
【0016】
(第1平行リンクの構成)
中空筒状回転軸R1の内空部には玉軸受(図示せず)で支持された中空筒状回転軸R2が配置されている。中空筒状回転軸R2の上端には、図2に示したよう、駆動入力クランク101が固着され、中空筒状回転軸R2の内空部に玉軸受(図示せず)を介して支持された中実回転軸R3の軸中間部には駆動入力クランク201が固着されている。これら駆動入力クランク101、駆動入力クランク201の自由端には、図2に示したように、それぞれのクランクの回動に伴って変形する第1平行リンク110,210を構成する長アーム102,202が連結節点A1,A2を介して回動可能に連結され、さらに長アーム102,202の他端の連結節点B1,B2には回転支軸C1,C2周りに回動可能な両腕クランク103,203が連結されており、これにより回転駆動軸中心軸O、回転支軸Cを固定辺とする第1平行リンク110(OA1B1C1),210(OA2B2C2)が形成されている。
【0017】
(中間平行リンクの構成)
さらに、図3で旋回アームの一方の側を代表して説明するが、両腕クランク103,203の他端の連結節点D1,D2を介して短アーム104,204が連結され、短アーム104,204の他端は、上述したハンド22の方向を保持する同期クランク105,205の自由端に連結節点E1,E2を介して連結されている。これにより回転支軸F1,F2、回転支軸C1,C2を固定辺とする中間平行リンク100(F1E1D1C1),200(F2E2D2C2)が形成されている。この中間平行リンク100,200は、図2,3に示したように、第1平行リンク110,210と両腕クランク103,203を共通部材としているため、駆動入力クランク101,201から入力された回転駆動力により、第1平行リンク110,210、中間平行リンク100,200が変形する。
【0018】
(中実回転軸、中空回転軸及び同期クランクの構成)
回転支軸F1,F2は、部材構成上、同軸配置され独立して回動可能な中実回転軸111S,211Sと中空筒状回転軸125S,225Sとからなるが、そのうち中空筒状回転軸125S,225Sの上下端にはそれぞれ同期クランク(105,125),(205,225)が一体的に形成されている。これら同期クランクは図1,図3,図5(b)に示したように、同形で同一方向を向いて自由端に他のリンクを連結するように形成されている。一方、中実回転軸111S,211Sは下端にアーム旋回クランク111,211が形成されており、上端は第1アーム本体11、第2アーム本体21のケーシング上端を貫通してアーム本体に固定され、アーム旋回クランク111,211の回転角に応じて第1アーム本体11、第2アーム本体21を旋回させることができる。
【0019】
[ツインアーム(第1アーム本体,第2アーム本体)の構成]
本発明のツインアーム(第1アーム本体11,第2アーム本体21を総称して呼ぶ。)は、図5両図に示したように、旋回動作時の干渉を避けるために、その取り付け高さ位置が異なり、各部材が鏡対称となる同一機能部材から構成されている。また、旋回アーム10と同様のステンレス製の中空箱状部材で、その内部には各アーム本体11,21の自由端側に連結されたハンド12,22のフォーク13,23上に載置された基板Pを所定方向に直線状に搬送するための第2平行リングが収容されている。以下、第1アーム本体11、第2アーム本体21に所定の旋回角を付与する旋回部材、ハンド12,22の搬送方向を保持するために第2平行リンクの構成について説明する。
【0020】
(旋回部材の構成)
ここで、第1アーム本体11、第2アーム本体21を旋回するための旋回部材について、第2アーム本体21を例に図3,図4,図6を参照して説明する。第2アーム本体21は上述したように、中実回転軸211Sの回動により旋回アーム10に対して所定角をなすように旋回する。この中実回転軸211Sの回動は、図4,図6に示したように、中実回転軸211S下端に一体的に形成され、第2アーム本体21の下方から突出したアーム旋回レバー211の旋回動作によって実現する。このアーム旋回レバー211は一端がリニアガイド214を介して連結されたL字形クランク213の回転支軸C2周りの回動に伴って旋回する。すなわち、レバー211の自由端は、L字形クランク213の側面に取り付けられたリニアガイド214のレール215に沿ってスライド可能なスライダ216に連結節点G2を介して連結されている。
【0021】
L字形クランク213を含む旋回部材は、図1、図4,図6に示したように、回転支軸C2の下端にL字形クランク213が一体的に形成される一方、回転支軸C2の上端に両腕クランク203が一体的に形成された部材である。このL字形クランク213の回動は第1平行リンク210の変形に伴って両腕クランク203が回転支軸C2周りに回動するのに伴って実現する。動作の詳細は後述する。
【0022】
(第2平行リンクの構成)
次に、第2平行リンク220の構成について、、第2アーム本体21を例に図3,図5(b),図7を参照して説明する。旋回アーム10内に収容された中間平行リンク200の一辺を構成する下側の同期クランク205を回転可能に支持する中空回転軸225Sは第2アーム本体21内まで延在し、中空回転軸225Sの上端に同期クランク205と同形の同期クランク225が同一方向を向いて固着されている。同期クランク225の自由端には図5(b),図7に示したように、長アーム221が連結節点H2を介して連結され、長アーム221の他端には連結節点I2を介してハンド保持クランク222が連結されている。ハンド保持クランク222の回転支軸J2側は、図1に示したように、第2アーム本体21先端で下方に突出し、ハンド22の基部が取付ボス24を介して固着されている。これにより、第2アーム本体21内において、旋回アーム10内に収容された中間平行リンク200の一辺F2E2と同一旋回動作をする一辺F2H2を有する第2平行リンク220(F2H2I2J2)が形成される。なお、図5(a)に示したように、第1アーム本体11内にも第2アーム本体21内と同様の構成部材が配置され、同様の第2平行リンク120が形成されている。
【0023】
[リンク機構の連係]
上述した第1平行リンク、中間平行リンク、第2平行リンクの連係について、第2アーム本体21を旋回させる場合を例に、図6を参照して説明する。図6では説明のために、模式的に線図で示した第1平行リンク210、中間平行リンク200、第2平行リンク220、及び二等辺三角形リンクのリンク機構図と、L字形クランク213と、リニアガイド214を介して連結されたレバー211とを重ねて示している。図中、回転支軸C2,F2は旋回アーム内の不動点で、そのうち中間平行リンク200の回転支軸F2と、第2平行リンク220の同期クランク225を旋回させる回転支軸F2とは共通回転軸である中空回転軸225Sからなる。なお、線図の表示において、図の明瞭化のために、実際は上下位置で重なる中間平行リンク200のリンクF2E2と、第2平行リンク220のリンクF2H2とをずらして示している。また、中間平行リンク200のリンクC2F2とアーム旋回レバー211のレバー長F2G2とはC2F2=F2G2に設定され、底辺C2G2となる二等辺三角形△F2C2G2のリンクが構成されている。このように構成されている3個の平行リンクは、第1平行リンク210の駆動入力クランク201の回動により、第1平行リンク210が変形し、第1平行リンク210のリンクB2C2と一体部材(両腕クランク203)である中間平行リンク200のリンクC2D2が同角度だけ回動し、中間平行リンク200を変形させる。その際、両腕クランク203の回動に伴い、回転支軸C2の下端に固着されているL字形クランク213が回転支軸C2回りに旋回する。この旋回動作に伴い、リニアガイド214に沿ってスライド可能なアーム旋回レバー211の自由端(連結節点G2)は、L字形クランク213の旋回方向に応じて二等辺三角形の底辺C2G2の長さを変化させるようにスライドする。このとき後述するように、アーム旋回レバー211の旋回に伴って回転支軸211Sが所定角度だけ回動し、その上端に固着された第2アーム本体21がその回動角だけ旋回する。このように本発明では、中空箱状部材内に収容されている平行リンク機構の出力を、第2アーム本体の形状に代表される中空箱状部材の旋回を実現することができる。これにより、駆動部分を箱状部材内に収容させることができるので、アーム動作に伴うダスト等の発生を最小限に抑えることが可能となる。
【0024】
一方、中間平行リンク200のリンクF2E2と第2平行リンク220のリンクF2H2とは、中空筒状回転軸225Sの底部と頂部とに一体的に形成された同形の同期クランク205,225によって構成されている。したがって、第2平行リンク220のリンクF2H2は、中間平行リンク200のリンクF2E2と同角度だけ旋回し、第2平行リンク220を変形させることができる。
【0025】
[旋回アームとツインアームの同期旋回動作]
ここで、本発明の基板搬送装置のツインアーム(第1アーム本体,第2アーム本体)の一方を旋回アーム10の旋回と同期をとって旋回させた状態について、図8を参照して説明する。図8(a)は、基板搬送装置の初期状態を示した平面図である。同図に示した仮想円Kは各アーム本体11,21を完全に屈曲させて液晶基板を保持した状態で旋回アーム10を旋回させたときの占有平面を示しており、本実施の形態では、液晶基板Pの隅角部が通過する軌跡平面内に屈曲したアーム本体11,21とハンド22とが収まるように設定されている。この状態から図8(b)に旋回アーム10をθ方向に旋回させる際、旋回アーム10に回転支軸F(中実回転軸111S)を介して連結された第1アーム本体11の中空筒状回転駆動軸R2を旋回アーム10の中空筒状回転駆動軸R1と同期回転させて相対移動を生じないようにするとともに、中実回転駆動軸R3を固定することで、旋回アーム10の旋回角βに対して、旋回アーム10内部で変形する第1平行リンク210によって、アーム本体21内のリンク機構及びL字形クランク213によってアーム旋回レバー211に旋回角2βが付与され、第2アーム本体は2βの旋回角で外方へ振り出される。さらに上述した第1平行リンク210、中間平行リンク200、第2平行リンク220の連係動作により、ハンド22は図8(b)〜(c)に示したように、旋回アーム10、第2アーム本体220の旋回時にその伸長方向を保持して直進する。その結果、たとえば旋回アーム10が90°旋回した状態で第2アーム本体21は、当初の旋回アーム10とのなす角から180°旋回した図8(c)位置まで展開させることができる。
【0026】
図9,図10は、旋回アーム10とツインアームの同期旋回動作、ハンド22の搬送方向保持動作を説明するために、リンク線図を重ねて示したアーム動作状態図である。図9(a)は、図8(a)の初期状態における第2アーム本体21の回転支軸部分を拡大して示した動作状態説明図である。このとき旋回アーム10と第2アーム本体21とのなす角は、2αであるとする。なお、以下の説明において、連結節点、回転支軸の符号の添字2は省略する。この状態から同図(b)に示したように、旋回アーム10が回転中心軸Oに関して旋回角θ=θ1だけ旋回するときにL字形クランク213が回転支軸C周りにθ1だけ旋回する。これにより、アーム旋回レバー211の自由端(連結節点G)がリニアガイド214に沿って外方にスライドし、回転支軸C、F及び連結節点Gとからなる二等辺三角形(△FCG)の底辺を挟む角がそれぞれθ1だけ減少し、二等辺三角形は徐々に扁平になる。これに伴い旋回アーム10と第2アーム本体21とのなす角(<OCJ)は2θ1だけ狭まる。すなわち第2アーム本体21は回転支軸F周りに旋回角ω=2θ1だけ旋回することになる。同様に旋回アーム10がθ=αだけ旋回したときに、△FCGは完全につぶれて点Fが直線CG上に位置する。そのとき第2アーム本体21もω=2α旋回した結果、同図(c)に示したように旋回アーム10と一直線状をなすように上下位置で重なる。この状態からさらに図10(c)〜(e)まで旋回アーム10が中心軸Oに関して旋回していくと、さらに反対側に形成された二等辺三角形(△FCG)の頂角を減じながら、L字形クランク213がアーム旋回レバー211の下側に入り込むように上下位置で重なっていく。その結果、図10(d),(e)に示したように旋回アーム10は旋回角θ=θ2→βだけ旋回し、そのとき第2アーム本体21のハンド保持クランク222はω=2θ2→2βだけ旋回し、初期状態位置から最遠位置に達する。
【0027】
[アーム本体の旋回動作とハンドの直線移動の同期]
旋回アーム10と、第2アーム本体21とは上述したように、同期をとって旋回動作が行われるが、旋回アーム10の旋回に伴う第2アーム本体21の旋回時にハンド22は常に搬送方向を向くように直線移動する。このハンド22の直線動作について、再度図9,図10を参照して説明する。初期状態(図9(a))において、図5に示したように、中間平行リンク200のリンクCD,FEと、第2平行リンク220のリンクFH,JIとは平行関係にあり、以後、図9〜図10に示したように、中間平行リンク200の変形に追従して第2平行リンク220も変形していく。この結果、ハンド22(図7参照)を保持するハンド保持クランク222は常に同一方向を直線移動することができる。
【0028】
なお、以上で説明したアーム本体の長さ、アームの旋回により達成される搬送動作、距離、取り付けられるハンド形状、寸法は、搬送予定の液晶基板の大きさ及び搬送距離で決定される。また、各軸受は玉軸受などのダストフリーの転動体を採用することで転がり抵抗を最小限にでき、優れた位置決め特性が確保できる。さらに、その用途、仕様に応じて上下動機構、ツインアームの搬送シーケンスは、適宜選択、付加、削除することができることはいうまでもない。
【0029】
【発明の効果】
以上に述べたように本発明によれば、大型液晶基板を搬送するためのツインアームの運転を、十分に剛性を確保されたリンク機構及びリニアガイドを採用して実現したため、高精度で迅速な基板搬送が可能となり、またゴムベルト等を採用した搬送装置に対してきわめて低いアウトガス特性を達成でき、高温、高真空下での運転が可能となるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の基板搬送装置の一実施の形態を示した正面断面図。
【図2】図1に示した旋回アーム内部を示した平面図。
【図3】第1平行リンクと中間平行リンクとを拡大して示した部分拡大平面図。
【図4】旋回アームと旋回部材のL字形クランクとの位置関係を示した平面図。
【図5】第1アーム本体及び第2アーム本体内の第2平行リンクを示した平面図。
【図6】第1平行リンクと中間平行リンク及び第2平行リンクの連係を模式的に示したリンク構成図。
【図7】第2アーム本体と、第2平行リンクに連結されたハンドとを示した平面図。
【図8】基板搬送装置による各アームの旋回状態およびハンドの直進動作状態を示した状態説明図。
【図9】各アームの旋回状態、ハンドの直線移動状態および旋回部材の動作状態を示した状態説明図(その1)。
【図10】各アームの旋回状態、ハンドの直線移動状態および旋回部材の動作状態を示した状態説明図(その2)。
【符号の説明】
1 基板搬送装置
2 固定部
10 旋回アーム
11 第1アーム本体
12,22 ハンド
21 第2アーム本体
100,200 中間平行リンク
101,201 駆動入力クランク
102,202 長アーム
103,203 両腕クランク
104,204 短アーム
105 125,205,225 同期クランク
125S,225S 中空回転軸
111,211 アーム旋回レバー
111S,211S 中実回転軸
113,213 L字形クランク
114,214 リニアガイド
115,215 レール
116,216 スライダ
121,221 長アーム
122,222 ハンド保持クランク
110,210 第1平行リンク
120,220 第2平行リンク
回転駆動軸 R1,R2,R3
【発明の属する技術分野】
本発明は基板搬送装置に係り、特に高真空、高温状態下において、大型液晶基板等をコンパクトな搬送スペースで効率よく搬送できるようにした基板搬送装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
現在、半導体、液晶基板製品の製造工程において、真空雰囲気、高温下でのプロセスが重要な位置を占めており、そのなかでも真空雰囲気での基板等のワーク搬送が装置構成においてきわめて重要となっている。
【0003】
液晶基板の製造分野においては、ワークサイズをより大きくすることで生産量の増大しを図り、コスト低減することが重要であるとともに、より大型の基板のニーズが高まっている。このような基板の大型化に伴い、真空内の搬送機器形態もそれに対応させ、高精度、高効率化を図る必要がある。たとえば1000mm□以下の液晶基板等の製造では、2本のアームを連係動作させ、所定のシーケンスで同時に2枚の基板を搬送可能としたツインアーム構造の搬送装置が提案されている(たとえば特許文献1、特許文献2参照。)これらの装置では、ツインアームをそれぞれ、ゴムベルトやスチールワイヤ、チェーンを回転軸に装着されたプーリを介して所定のアーム回転を実現する用いてベルト駆動方式が用いられている。
【0004】
【特許文献1】
特許第2580489号公報。
【特許文献2】
特開平10−163296号公報。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、2000mm×2000mm□程度の大型基板を搬送するような場合、ワークサイズの大型化にあわせてアーム旋回範囲を確保できる占有面積に拡大しなければならないという根本的な問題に加え、搬送距離が長くなることによるアーム駆動機構の剛性不足によってアームにたわみが生じたり、搬送軌跡が蛇行するという問題も生じるおそれがある。
【0006】
また、上述の搬送装置では、ゴムベルトでは高真空状態を阻害するアウトガスが発生する。スチールワイヤ等は重量があるため、アーム全体の重量が増してたわみを生じやすくなる。ベルトやワイヤがプーリに巻回された際に繰り返し折り曲げられるため、早期に疲労破壊が生じるおそれがある。さらに、所定直径比で回転軸回転角を制御するため、大直径のプーリを要する場合もあり、機構の小型が難しい。加えて、基板等を高温処理条件で処理する場合、ベルトやワイヤが早期に変形、劣化してしまうため、耐久性の点でも問題がある。
【0007】
そこで、本発明の目的は、上述した問題を解消し、高温、高真空状態下で使用される基板搬送装置において、大型の基板を、コンパクトなスペースで精度良く搬送でき、しかも耐久性に富む基板搬送装置を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は固定部に支持され同心配置された3本の回転駆動軸のうちの第1の回転駆動軸端に旋回可能に軸支され、第2の回転駆動軸からの入力により変形可能な第1平行リンクと第1中間平行リンクを介して第1アーム本体を軸支するとともに、第3の回転駆動軸からの入力により変形可能な他の第1平行リンクと他の中間平行リンクを介して第2アーム本体を軸支する旋回アームと、前記第1平行リンクの変形に伴い旋回し、部材上に設けられたリニアガイド上を直線走行するスライダの移動に伴って前記第1アーム本体を旋回させる第1の旋回部材と、前記他の第1平行リンクの変形に伴い旋回し、部材上に設けられたリニアガイド上を直線走行するスライダの移動に伴って前記第2アーム本体を旋回させる第2の旋回部材と、前記中間平行リンクから伝達された回転により変形可能な第2平行リンクを収容し、該第2平行リンクの出力側にハンドが設けられ、前記第1の旋回部材により旋回する際に、前記ハンドの搬送方向が保持されるようにした第1のアーム本体と、前記他の中間平行リンクから伝達された回転により変形可能な第2平行リンクを収容し、該第2平行リンクの出力側にハンドが設けられ、前記第2の旋回部材により旋回する際に、前記ハンドの搬送方向が保持されるようにした第2のアーム本体とを備えたことを特徴とするものである。
【0009】
このとき、前記旋回アームの旋回時に、一方のアーム本体の回転駆動軸を固定して前記第1平行リンクと中間平行リンクとを変形させることで、前記旋回アームの旋回角θに対して、該他のアーム本体を旋回させる前記旋回部材に旋回角2θが付与されるリンク機構を備えることが好ましい。
【0010】
また、前記旋回アーム内に収容された第1平行リンクと中間平行リンクの変形が、共有回転支軸を介して第1アーム本体または第2アーム本体内に収容された第2平行リンクへ伝達され、前記ハンドの搬送方向が保持されるようにすることが好ましい。
【0011】
前記旋回アーム内に前記第1平行リンクと第1中間平行リンク、及び他の第1平行リンクと他の中間平行リンクを収容し、前記第1のアーム本体内及び第2のアーム本体内にそれぞれの第2平行リンクを収容して、アームの旋回に係わるリンク機構を各アームを構成する箱状部材内に納めることが好ましい。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の基板搬送装置の一実施の形態について、添付図面を参照して説明する。
[共通駆動部]
図1は、基板搬送装置の各部の機構構成を説明するために示した正面断面図である。基板搬送装置1は、固定部2に基底プレート3を介して支持され、アーム全体が真空雰囲気4内に位置するように設置されている。基底プレート3には、中心軸Oを中心として同心配置され、各軸が独立して回転駆動可能な3本の回転駆動軸R1,R2,R3が軸受部を介して固着されている。
【0013】
これらの回転駆動軸R1,R2,R3は、中実回転駆動軸R3と、この中実回転駆動軸R3を玉軸受(図示せず)で回転可能に支持するともに、独立して回転駆動可能な中空筒状回転駆動軸R2と、中空筒状回転駆動軸R2を玉軸受(図示せず)で回転可能に支持するとともに、独立して回転駆動可能な中空筒状回転駆動軸R1とから構成され、図示しない回転制御部により回転角、回転角速度、回転方向が高精度に制御される。
【0014】
これらの回転駆動軸のうち、最外周に位置し、基底プレート3に支持された中空筒状回転軸R1の上端には旋回アーム10が固着されている。この旋回アーム10は、図2,図4の平面図に示したような折れ角が鈍角のV字形をなし、中空筒状回転軸R1の回転駆動に伴い、中心軸Oを中心に旋回する。旋回アーム10の両端には第1アーム本体11及び第2アーム本体21が中実回転軸111S,211Sを介して連結されており、後に詳述するように、第1アーム本体11、第2アーム本体21は、それぞれ独立して旋回アーム10の旋回角θに連動して中実回転軸111S,211S回りに旋回角2θで旋回でき、各アーム本体11,21の自由端側に連結されたハンド12,22のフォーク13,23上に載置された基板Pを所定方向に直線状に搬送できる(図7,図8参照:図8ではハンド22による搬送動作を示している)。なお、以下の説明において、旋回アーム10内部に組み込まれたリンク機構について、第1アーム本体11及び第2アーム本体21を駆動する構成部材を区別するために、それぞれを1XX,2XXとし、回転支軸、連結節点については添え字1,2を付して説明する。
【0015】
[旋回アームの構成]
旋回アーム10は、図2に示したようなステンレス製の中空箱状部材で、その内部には第1アーム本体11、第2アーム本体21を旋回させる中実回転軸111S,211Sを所定角度だけ回動させるとともに、各第1アーム本体11、第2アーム本体21の自由端に連結されたハンドの方向を保持させる同期クランク105,205を所定角度だけ回動させるリンク機構が収容されている。
以下、旋回アーム10内に収容された各部材により構成された第1平行リンク、中間平行リンク、及びこれらリンク機構の出力側となる中実回転軸、中空回転軸、同期クランクについて説明する。
【0016】
(第1平行リンクの構成)
中空筒状回転軸R1の内空部には玉軸受(図示せず)で支持された中空筒状回転軸R2が配置されている。中空筒状回転軸R2の上端には、図2に示したよう、駆動入力クランク101が固着され、中空筒状回転軸R2の内空部に玉軸受(図示せず)を介して支持された中実回転軸R3の軸中間部には駆動入力クランク201が固着されている。これら駆動入力クランク101、駆動入力クランク201の自由端には、図2に示したように、それぞれのクランクの回動に伴って変形する第1平行リンク110,210を構成する長アーム102,202が連結節点A1,A2を介して回動可能に連結され、さらに長アーム102,202の他端の連結節点B1,B2には回転支軸C1,C2周りに回動可能な両腕クランク103,203が連結されており、これにより回転駆動軸中心軸O、回転支軸Cを固定辺とする第1平行リンク110(OA1B1C1),210(OA2B2C2)が形成されている。
【0017】
(中間平行リンクの構成)
さらに、図3で旋回アームの一方の側を代表して説明するが、両腕クランク103,203の他端の連結節点D1,D2を介して短アーム104,204が連結され、短アーム104,204の他端は、上述したハンド22の方向を保持する同期クランク105,205の自由端に連結節点E1,E2を介して連結されている。これにより回転支軸F1,F2、回転支軸C1,C2を固定辺とする中間平行リンク100(F1E1D1C1),200(F2E2D2C2)が形成されている。この中間平行リンク100,200は、図2,3に示したように、第1平行リンク110,210と両腕クランク103,203を共通部材としているため、駆動入力クランク101,201から入力された回転駆動力により、第1平行リンク110,210、中間平行リンク100,200が変形する。
【0018】
(中実回転軸、中空回転軸及び同期クランクの構成)
回転支軸F1,F2は、部材構成上、同軸配置され独立して回動可能な中実回転軸111S,211Sと中空筒状回転軸125S,225Sとからなるが、そのうち中空筒状回転軸125S,225Sの上下端にはそれぞれ同期クランク(105,125),(205,225)が一体的に形成されている。これら同期クランクは図1,図3,図5(b)に示したように、同形で同一方向を向いて自由端に他のリンクを連結するように形成されている。一方、中実回転軸111S,211Sは下端にアーム旋回クランク111,211が形成されており、上端は第1アーム本体11、第2アーム本体21のケーシング上端を貫通してアーム本体に固定され、アーム旋回クランク111,211の回転角に応じて第1アーム本体11、第2アーム本体21を旋回させることができる。
【0019】
[ツインアーム(第1アーム本体,第2アーム本体)の構成]
本発明のツインアーム(第1アーム本体11,第2アーム本体21を総称して呼ぶ。)は、図5両図に示したように、旋回動作時の干渉を避けるために、その取り付け高さ位置が異なり、各部材が鏡対称となる同一機能部材から構成されている。また、旋回アーム10と同様のステンレス製の中空箱状部材で、その内部には各アーム本体11,21の自由端側に連結されたハンド12,22のフォーク13,23上に載置された基板Pを所定方向に直線状に搬送するための第2平行リングが収容されている。以下、第1アーム本体11、第2アーム本体21に所定の旋回角を付与する旋回部材、ハンド12,22の搬送方向を保持するために第2平行リンクの構成について説明する。
【0020】
(旋回部材の構成)
ここで、第1アーム本体11、第2アーム本体21を旋回するための旋回部材について、第2アーム本体21を例に図3,図4,図6を参照して説明する。第2アーム本体21は上述したように、中実回転軸211Sの回動により旋回アーム10に対して所定角をなすように旋回する。この中実回転軸211Sの回動は、図4,図6に示したように、中実回転軸211S下端に一体的に形成され、第2アーム本体21の下方から突出したアーム旋回レバー211の旋回動作によって実現する。このアーム旋回レバー211は一端がリニアガイド214を介して連結されたL字形クランク213の回転支軸C2周りの回動に伴って旋回する。すなわち、レバー211の自由端は、L字形クランク213の側面に取り付けられたリニアガイド214のレール215に沿ってスライド可能なスライダ216に連結節点G2を介して連結されている。
【0021】
L字形クランク213を含む旋回部材は、図1、図4,図6に示したように、回転支軸C2の下端にL字形クランク213が一体的に形成される一方、回転支軸C2の上端に両腕クランク203が一体的に形成された部材である。このL字形クランク213の回動は第1平行リンク210の変形に伴って両腕クランク203が回転支軸C2周りに回動するのに伴って実現する。動作の詳細は後述する。
【0022】
(第2平行リンクの構成)
次に、第2平行リンク220の構成について、、第2アーム本体21を例に図3,図5(b),図7を参照して説明する。旋回アーム10内に収容された中間平行リンク200の一辺を構成する下側の同期クランク205を回転可能に支持する中空回転軸225Sは第2アーム本体21内まで延在し、中空回転軸225Sの上端に同期クランク205と同形の同期クランク225が同一方向を向いて固着されている。同期クランク225の自由端には図5(b),図7に示したように、長アーム221が連結節点H2を介して連結され、長アーム221の他端には連結節点I2を介してハンド保持クランク222が連結されている。ハンド保持クランク222の回転支軸J2側は、図1に示したように、第2アーム本体21先端で下方に突出し、ハンド22の基部が取付ボス24を介して固着されている。これにより、第2アーム本体21内において、旋回アーム10内に収容された中間平行リンク200の一辺F2E2と同一旋回動作をする一辺F2H2を有する第2平行リンク220(F2H2I2J2)が形成される。なお、図5(a)に示したように、第1アーム本体11内にも第2アーム本体21内と同様の構成部材が配置され、同様の第2平行リンク120が形成されている。
【0023】
[リンク機構の連係]
上述した第1平行リンク、中間平行リンク、第2平行リンクの連係について、第2アーム本体21を旋回させる場合を例に、図6を参照して説明する。図6では説明のために、模式的に線図で示した第1平行リンク210、中間平行リンク200、第2平行リンク220、及び二等辺三角形リンクのリンク機構図と、L字形クランク213と、リニアガイド214を介して連結されたレバー211とを重ねて示している。図中、回転支軸C2,F2は旋回アーム内の不動点で、そのうち中間平行リンク200の回転支軸F2と、第2平行リンク220の同期クランク225を旋回させる回転支軸F2とは共通回転軸である中空回転軸225Sからなる。なお、線図の表示において、図の明瞭化のために、実際は上下位置で重なる中間平行リンク200のリンクF2E2と、第2平行リンク220のリンクF2H2とをずらして示している。また、中間平行リンク200のリンクC2F2とアーム旋回レバー211のレバー長F2G2とはC2F2=F2G2に設定され、底辺C2G2となる二等辺三角形△F2C2G2のリンクが構成されている。このように構成されている3個の平行リンクは、第1平行リンク210の駆動入力クランク201の回動により、第1平行リンク210が変形し、第1平行リンク210のリンクB2C2と一体部材(両腕クランク203)である中間平行リンク200のリンクC2D2が同角度だけ回動し、中間平行リンク200を変形させる。その際、両腕クランク203の回動に伴い、回転支軸C2の下端に固着されているL字形クランク213が回転支軸C2回りに旋回する。この旋回動作に伴い、リニアガイド214に沿ってスライド可能なアーム旋回レバー211の自由端(連結節点G2)は、L字形クランク213の旋回方向に応じて二等辺三角形の底辺C2G2の長さを変化させるようにスライドする。このとき後述するように、アーム旋回レバー211の旋回に伴って回転支軸211Sが所定角度だけ回動し、その上端に固着された第2アーム本体21がその回動角だけ旋回する。このように本発明では、中空箱状部材内に収容されている平行リンク機構の出力を、第2アーム本体の形状に代表される中空箱状部材の旋回を実現することができる。これにより、駆動部分を箱状部材内に収容させることができるので、アーム動作に伴うダスト等の発生を最小限に抑えることが可能となる。
【0024】
一方、中間平行リンク200のリンクF2E2と第2平行リンク220のリンクF2H2とは、中空筒状回転軸225Sの底部と頂部とに一体的に形成された同形の同期クランク205,225によって構成されている。したがって、第2平行リンク220のリンクF2H2は、中間平行リンク200のリンクF2E2と同角度だけ旋回し、第2平行リンク220を変形させることができる。
【0025】
[旋回アームとツインアームの同期旋回動作]
ここで、本発明の基板搬送装置のツインアーム(第1アーム本体,第2アーム本体)の一方を旋回アーム10の旋回と同期をとって旋回させた状態について、図8を参照して説明する。図8(a)は、基板搬送装置の初期状態を示した平面図である。同図に示した仮想円Kは各アーム本体11,21を完全に屈曲させて液晶基板を保持した状態で旋回アーム10を旋回させたときの占有平面を示しており、本実施の形態では、液晶基板Pの隅角部が通過する軌跡平面内に屈曲したアーム本体11,21とハンド22とが収まるように設定されている。この状態から図8(b)に旋回アーム10をθ方向に旋回させる際、旋回アーム10に回転支軸F(中実回転軸111S)を介して連結された第1アーム本体11の中空筒状回転駆動軸R2を旋回アーム10の中空筒状回転駆動軸R1と同期回転させて相対移動を生じないようにするとともに、中実回転駆動軸R3を固定することで、旋回アーム10の旋回角βに対して、旋回アーム10内部で変形する第1平行リンク210によって、アーム本体21内のリンク機構及びL字形クランク213によってアーム旋回レバー211に旋回角2βが付与され、第2アーム本体は2βの旋回角で外方へ振り出される。さらに上述した第1平行リンク210、中間平行リンク200、第2平行リンク220の連係動作により、ハンド22は図8(b)〜(c)に示したように、旋回アーム10、第2アーム本体220の旋回時にその伸長方向を保持して直進する。その結果、たとえば旋回アーム10が90°旋回した状態で第2アーム本体21は、当初の旋回アーム10とのなす角から180°旋回した図8(c)位置まで展開させることができる。
【0026】
図9,図10は、旋回アーム10とツインアームの同期旋回動作、ハンド22の搬送方向保持動作を説明するために、リンク線図を重ねて示したアーム動作状態図である。図9(a)は、図8(a)の初期状態における第2アーム本体21の回転支軸部分を拡大して示した動作状態説明図である。このとき旋回アーム10と第2アーム本体21とのなす角は、2αであるとする。なお、以下の説明において、連結節点、回転支軸の符号の添字2は省略する。この状態から同図(b)に示したように、旋回アーム10が回転中心軸Oに関して旋回角θ=θ1だけ旋回するときにL字形クランク213が回転支軸C周りにθ1だけ旋回する。これにより、アーム旋回レバー211の自由端(連結節点G)がリニアガイド214に沿って外方にスライドし、回転支軸C、F及び連結節点Gとからなる二等辺三角形(△FCG)の底辺を挟む角がそれぞれθ1だけ減少し、二等辺三角形は徐々に扁平になる。これに伴い旋回アーム10と第2アーム本体21とのなす角(<OCJ)は2θ1だけ狭まる。すなわち第2アーム本体21は回転支軸F周りに旋回角ω=2θ1だけ旋回することになる。同様に旋回アーム10がθ=αだけ旋回したときに、△FCGは完全につぶれて点Fが直線CG上に位置する。そのとき第2アーム本体21もω=2α旋回した結果、同図(c)に示したように旋回アーム10と一直線状をなすように上下位置で重なる。この状態からさらに図10(c)〜(e)まで旋回アーム10が中心軸Oに関して旋回していくと、さらに反対側に形成された二等辺三角形(△FCG)の頂角を減じながら、L字形クランク213がアーム旋回レバー211の下側に入り込むように上下位置で重なっていく。その結果、図10(d),(e)に示したように旋回アーム10は旋回角θ=θ2→βだけ旋回し、そのとき第2アーム本体21のハンド保持クランク222はω=2θ2→2βだけ旋回し、初期状態位置から最遠位置に達する。
【0027】
[アーム本体の旋回動作とハンドの直線移動の同期]
旋回アーム10と、第2アーム本体21とは上述したように、同期をとって旋回動作が行われるが、旋回アーム10の旋回に伴う第2アーム本体21の旋回時にハンド22は常に搬送方向を向くように直線移動する。このハンド22の直線動作について、再度図9,図10を参照して説明する。初期状態(図9(a))において、図5に示したように、中間平行リンク200のリンクCD,FEと、第2平行リンク220のリンクFH,JIとは平行関係にあり、以後、図9〜図10に示したように、中間平行リンク200の変形に追従して第2平行リンク220も変形していく。この結果、ハンド22(図7参照)を保持するハンド保持クランク222は常に同一方向を直線移動することができる。
【0028】
なお、以上で説明したアーム本体の長さ、アームの旋回により達成される搬送動作、距離、取り付けられるハンド形状、寸法は、搬送予定の液晶基板の大きさ及び搬送距離で決定される。また、各軸受は玉軸受などのダストフリーの転動体を採用することで転がり抵抗を最小限にでき、優れた位置決め特性が確保できる。さらに、その用途、仕様に応じて上下動機構、ツインアームの搬送シーケンスは、適宜選択、付加、削除することができることはいうまでもない。
【0029】
【発明の効果】
以上に述べたように本発明によれば、大型液晶基板を搬送するためのツインアームの運転を、十分に剛性を確保されたリンク機構及びリニアガイドを採用して実現したため、高精度で迅速な基板搬送が可能となり、またゴムベルト等を採用した搬送装置に対してきわめて低いアウトガス特性を達成でき、高温、高真空下での運転が可能となるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の基板搬送装置の一実施の形態を示した正面断面図。
【図2】図1に示した旋回アーム内部を示した平面図。
【図3】第1平行リンクと中間平行リンクとを拡大して示した部分拡大平面図。
【図4】旋回アームと旋回部材のL字形クランクとの位置関係を示した平面図。
【図5】第1アーム本体及び第2アーム本体内の第2平行リンクを示した平面図。
【図6】第1平行リンクと中間平行リンク及び第2平行リンクの連係を模式的に示したリンク構成図。
【図7】第2アーム本体と、第2平行リンクに連結されたハンドとを示した平面図。
【図8】基板搬送装置による各アームの旋回状態およびハンドの直進動作状態を示した状態説明図。
【図9】各アームの旋回状態、ハンドの直線移動状態および旋回部材の動作状態を示した状態説明図(その1)。
【図10】各アームの旋回状態、ハンドの直線移動状態および旋回部材の動作状態を示した状態説明図(その2)。
【符号の説明】
1 基板搬送装置
2 固定部
10 旋回アーム
11 第1アーム本体
12,22 ハンド
21 第2アーム本体
100,200 中間平行リンク
101,201 駆動入力クランク
102,202 長アーム
103,203 両腕クランク
104,204 短アーム
105 125,205,225 同期クランク
125S,225S 中空回転軸
111,211 アーム旋回レバー
111S,211S 中実回転軸
113,213 L字形クランク
114,214 リニアガイド
115,215 レール
116,216 スライダ
121,221 長アーム
122,222 ハンド保持クランク
110,210 第1平行リンク
120,220 第2平行リンク
回転駆動軸 R1,R2,R3
Claims (4)
- 固定部に支持され同心配置された3本の回転駆動軸のうちの第1の回転駆動軸端に旋回可能に軸支され、第2の回転駆動軸からの入力により変形可能な第1平行リンクと第1中間平行リンクを介して第1アーム本体を軸支するとともに、第3の回転駆動軸からの入力により変形可能な他の第1平行リンクと他の中間平行リンクを介して第2アーム本体を軸支する旋回アームと、
前記第1平行リンクの変形に伴い旋回し、部材上に設けられたリニアガイド上を直線走行するスライダの移動に伴って前記第1アーム本体を旋回させる第1の旋回部材と、
前記他の第1平行リンクの変形に伴い旋回し、部材上に設けられたリニアガイド上を直線走行するスライダの移動に伴って前記第2アーム本体を旋回させる第2の旋回部材と、
前記中間平行リンクから伝達された回転により変形可能な第2平行リンクを有し、該第2平行リンクの出力側にハンドが設けられ、前記第1の旋回部材により旋回する際に、前記ハンドの搬送方向が保持されるようにした第1のアーム本体と、
前記他の中間平行リンクから伝達された回転により変形可能な第2平行リンクを有し、該第2平行リンクの出力側にハンドが設けられ、前記第2の旋回部材により旋回する際に、前記ハンドの搬送方向が保持されるようにした第2のアーム本体とを
備えたことを特徴とする基板搬送装置。 - 前記旋回アームの旋回時に、一方のアーム本体の回転駆動軸を固定して前記第1平行リンクと中間平行リンクとを変形させることで、前記旋回アームの旋回角θに対して、該アーム本体を旋回させる前記旋回部材に旋回角2θが付与されるリンク機構を備えたことを特徴とする請求項1記載の基板搬送装置。
- 前記旋回アーム内に収容された第1平行リンクと中間平行リンクの変形が、共有回転支軸を介して第1アーム本体または第2アーム本体内に収容された第2平行リンクへ伝達され、前記ハンドの搬送方向が保持されるようにしたことを特徴とする請求項1記載の基板搬送装置。
- 前記旋回アーム内に前記第1平行リンクと第1中間平行リンク、及び他の第1平行リンクと他の中間平行リンクが収容され、前記第1のアーム本体内及び第2のアーム本体内にそれぞれの第2平行リンクが収容されたことを特徴とする請求項1記載の基板搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003119266A JP2004323165A (ja) | 2003-04-24 | 2003-04-24 | 基板搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003119266A JP2004323165A (ja) | 2003-04-24 | 2003-04-24 | 基板搬送装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004323165A true JP2004323165A (ja) | 2004-11-18 |
Family
ID=33498533
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003119266A Pending JP2004323165A (ja) | 2003-04-24 | 2003-04-24 | 基板搬送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004323165A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011224752A (ja) * | 2010-04-22 | 2011-11-10 | Honda Motor Co Ltd | 脚式移動ロボット |
JP2012115985A (ja) * | 2007-05-15 | 2012-06-21 | Ulvac Japan Ltd | 搬送装置及びこれを用いた真空処理装置 |
WO2018021268A1 (ja) * | 2016-07-28 | 2018-02-01 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボット |
JP2018137453A (ja) * | 2007-05-08 | 2018-08-30 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 機械的スイッチ機構を利用する複数の可動アームを有する基板搬送装置 |
US11801598B2 (en) | 2007-05-08 | 2023-10-31 | Brooks Automation Us, Llc | Substrate transport apparatus with multiple movable arms utilizing a mechanical switch mechanism |
-
2003
- 2003-04-24 JP JP2003119266A patent/JP2004323165A/ja active Pending
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018137453A (ja) * | 2007-05-08 | 2018-08-30 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 機械的スイッチ機構を利用する複数の可動アームを有する基板搬送装置 |
JP7179470B2 (ja) | 2007-05-08 | 2022-11-29 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 機械的スイッチ機構を利用する複数の可動アームを有する基板搬送装置 |
JP7179470B6 (ja) | 2007-05-08 | 2022-12-16 | アゼンタ・インコーポレーテッド | 機械的スイッチ機構を利用する複数の可動アームを有する基板搬送装置 |
US11801598B2 (en) | 2007-05-08 | 2023-10-31 | Brooks Automation Us, Llc | Substrate transport apparatus with multiple movable arms utilizing a mechanical switch mechanism |
JP2012115985A (ja) * | 2007-05-15 | 2012-06-21 | Ulvac Japan Ltd | 搬送装置及びこれを用いた真空処理装置 |
JP2011224752A (ja) * | 2010-04-22 | 2011-11-10 | Honda Motor Co Ltd | 脚式移動ロボット |
WO2018021268A1 (ja) * | 2016-07-28 | 2018-02-01 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボット |
JP2018015837A (ja) * | 2016-07-28 | 2018-02-01 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボット |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20110135437A1 (en) | Horizontal multi-joint robot and transportation apparatus including the same | |
JP4750231B2 (ja) | ワークピース処理システム | |
JP3722598B2 (ja) | 2アーム方式の搬送用ロボット装置 | |
JP2008135630A (ja) | 基板搬送装置 | |
JP4022461B2 (ja) | 搬送アーム | |
JPH11188670A (ja) | 2アーム方式の搬送用ロボット装置 | |
JP5339874B2 (ja) | ロボット装置及びその制御方法 | |
JP2000072248A (ja) | 基板搬送装置 | |
KR20010062622A (ko) | 반송 아암 | |
WO2015020071A1 (ja) | 産業用ロボット | |
KR100995498B1 (ko) | 반송 기구, 반송 장치 및 진공 처리 장치 | |
US7814811B2 (en) | Articulated robot | |
JP2004323165A (ja) | 基板搬送装置 | |
KR101071606B1 (ko) | 반송 장치 | |
JPH10163296A (ja) | 基板搬送装置 | |
JP3804780B2 (ja) | ロボットアーム及びロボット | |
JP4284118B2 (ja) | 基板搬送装置 | |
JP2001185596A (ja) | 搬送アーム | |
JP4757404B2 (ja) | 搬送アーム | |
JP3719354B2 (ja) | 搬送装置 | |
JP4199432B2 (ja) | ロボット装置及び処理装置 | |
JP2001157974A (ja) | ダブルアーム型基板搬送ロボット | |
JP4549153B2 (ja) | 基板搬送装置 | |
JP5463174B2 (ja) | 関節装置及び基板搬送装置 | |
JP2002200583A (ja) | 搬送アーム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060418 |
|
A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20090227 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20090303 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20090630 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |