JPH10209241A

JPH10209241A - 基板搬送装置およびそれを備えた基板処理装置

Info

Publication number: JPH10209241A
Application number: JP572097A
Authority: JP
Inventors: Akira Harada; 明原田
Original assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1997-01-16
Filing date: 1997-01-16
Publication date: 1998-08-07

Abstract

(57)【要約】【課題】上下方向の空間を有効に利用することにより
設置面積を低減することができる基板搬送装置およびそ
れを備えた基板処理装置を提供することである。【解決手段】処理領域Ｂは上部処理領域Ｂ１および下
部処理領域Ｂ２を含む。上部処理領域Ｂ１には複数の基
板処理ユニット２０１が複数段に配置され、下部処理領
域Ｂ２にも複数の基板処理ユニット２０２が複数段に配
置される。上部処理領域Ｂ１および下部処理領域Ｂ２に
対応して上部搬送領域および下部搬送領域が配置され
る。上部搬送領域には基板搬送ユニット１０１が設けら
れ、下部搬送領域には基板搬送ユニット１０２が設けら
れる。各基板搬送ユニット１０１，１０２は伸縮昇降機
構４を含む。上部搬送領域と下部搬送領域との間は間仕
切り２５で遮蔽される。搬送領域の一端部側には基板を
上下方向に搬送する昇降装置３００が設けられる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、基板を搬送する基
板搬送装置およびそれを備えた基板処理装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体ウエハ、液晶表示装置用ガラス基
板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用ガラス基
板等の基板に種々の処理を行うために、基板処理装置が
用いられている。例えば、半導体デバイスの製造プロセ
スでは、生産効率を高めるために一連の処理の各々をユ
ニット化し、複数の基板処理ユニットを統合した基板処
理装置が用いられている。このような基板処理装置で
は、一般に、１枚の基板に対して複数の異なる処理が連
続的に行われる。そのため、各基板処理ユニット間で基
板を搬送する基板搬送ユニットが設けられている。

【０００３】図８は基板搬送ユニットを備えた従来の基
板処理装置の一例を示す平面図、図９は図８の基板処理
装置の搬送領域から見た正面図である。

【０００４】図８の基板処理装置は、処理領域Ａ，Ｂお
よび搬送領域Ｃを有する。処理領域Ａに複数の基板処理
ユニット２００が配置され、処理領域Ｂに複数の基板処
理ユニット２０１が配置され、搬送領域Ｃに基板搬送ユ
ニット１００が設けられている。

【０００５】また、処理領域Ａ，Ｂおよび搬送領域Ｃの
一端部側には、基板の搬入および搬出を行うインデクサ
４００が設けられ、搬送領域Ｃの他端部側には、他の基
板処理装置との間で基板の受け渡しを行う基板受渡し部
５００が設けられている。基板受渡し部５００には複数
の基板支持ピン５０１が設けられ、これらの基板支持ピ
ン５０１上に基板が載置される。

【０００６】図９に示すように、処理領域Ｂには複数の
基板処理ユニット２０１が複数段に配置され、各基板処
理ユニット２０１には基板の搬入および搬出を行うため
の開口部２１が設けられている。

【０００７】基板搬送ユニット１００は、基板を保持す
るハンド５１、移動体５２、昇降部５３、ベース部材５
４およびボールねじ５５を含む。ベース部材５４は、Ｙ
軸方向（搬送領域Ｃの長手方向）に移動可能にガイド部
材５６に案内されている。昇降部５３は、鉛直方向に配
置されたボールねじ５５によりＺ軸方向（鉛直軸方向）
に移動可能にベース部材５４に設けられている。

【０００８】移動体５２は、θ軸方向（鉛直軸を中心と
する回転方向）に回転可能に昇降部５３上に設けられて
いる。ハンド５１は、Ｘ軸方向（所定の水平方向）に前
進および後退可能に移動体５２に設けられている。な
お、移動体５２が回転することによりＸ軸方向も回転す
る。

【０００９】上記の構造により、基板搬送ユニット１０
０のハンド５１が、破線で示すように、Ｙ軸方向に移動
し、Ｚ軸方向に昇降するとともに、θ軸方向に回動し、
さらにＸ軸方向に前進および後退することができる。

【００１０】図８において、インデクサ４００の移載ロ
ボット４０２は、矢印Ｕの方向に移動し、カセット４０
１から基板Ｗを取り出して基板搬送ユニット１００に渡
し、逆に、一連の処理が施された基板Ｗを基板搬送ユニ
ット１００から受け取ってカセット４０１に戻す。

【００１１】基板搬送ユニット１００は、搬送領域Ｃ内
で基板ＷをＹ軸方向に搬送するとともに、移載ロボット
４００との間で基板Ｗの受け渡しを行い、基板処理ユニ
ット２００に対して基板Ｗの搬入および搬出を行い、あ
るいは基板受渡し部５００との間で基板Ｗの受け渡しを
行う。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】上記の従来の基板搬送
ユニット１００においては、基板に機構部から発生する
パーティクル（微粒子）が付着しないように、ハンド５
１が昇降部５３の最上部に設けられている。また、昇降
部５３は、モータ（図示せず）およびボールねじ５５に
よる直動機構によりＺ軸方向に駆動される。そのため、
ベース部材５４の下方に昇降部５３のストロークにほぼ
相当する長さだけボールねじ５４等の機構部が突出する
こととなり、ハンド５１による搬送路の下方に所定の高
さのスペースが必要となる。

【００１３】図１０は従来の基板処理装置の基板搬送ユ
ニットによる搬送可能範囲（アクセス可能範囲）を示す
図である。

【００１４】図１０において、Ｒ１は基板搬送ユニット
１００により搬送領域Ｃの側部に対してアクセス（基板
の受け渡し）可能な範囲を示し、Ｒ１ａおよびＲ１ｂは
基板搬送ユニット１００によりそれぞれ搬送領域Ｃの両
端部に対してアクセス可能な範囲を示している。図１０
に示すように、搬送領域Ｃの側部においても両端部にお
いてもベース部材５４よりも下方の領域にはアクセスす
ることができない。

【００１５】そのため、基板処理装置の下部のスペース
に基板処理ユニットを配置することができず、上下方向
の空間を有効に利用することができない。したがって、
基板処理装置の設置面積を低減することができない。

【００１６】本発明の目的は、上下方向の空間を有効に
利用することにより設置面積を低減することができる基
板搬送装置およびそれを備えた基板処理装置を提供する
ことである。

【００１７】

【課題を解決するための手段および発明の効果】第１の
発明に係る基板搬送装置は、上下に配置された複数の搬
送領域にそれぞれ搬送手段が設けられ、各搬送手段が、
基板を保持する基板保持部と、基板保持部を鉛直方向に
移動させる駆動部とを含み、駆動部は上下に伸縮する伸
縮昇降機構からなるものである。

【００１８】第１の発明に係る基板搬送装置において
は、上下に配置された各搬送領域でそれぞれ搬送手段に
より基板が搬送される。特に、各搬送手段が上下に伸縮
する伸縮昇降機構からなる駆動部を含むので、搬送手段
の機構部の一部が搬送領域の下部に突出することなく各
搬送領域内で基板を上下に搬送することができる。

【００１９】したがって、上下に積層された複数の処理
領域の各々において複数段に配置された処理部に対して
基板の搬入および搬出を行うことが可能となり、基板処
理装置の設置面積を低減することができる。

【００２０】第２の発明に係る基板搬送装置は、第１の
発明に係る基板搬送装置の構成において、複数の搬送領
域間で基板を移動させる昇降手段がさらに設けられたも
のである。この場合、上下に配置された各搬送領域内で
それぞれ基板を搬送することができるとともに、複数の
搬送領域間で基板を搬送することも可能となる。

【００２１】第３の発明に係る基板搬送装置は、第１ま
たは第２の発明に係る基板搬送装置の構成において、複
数の搬送領域間を遮蔽する遮蔽手段がさらに設けられた
ものである。これにより、上下に配置された複数の搬送
領域間で互いに塵埃等のパーティクルの影響を受けるこ
とが防止される。

【００２２】第４の発明に係る基板搬送装置は、第１、
第２または第３の発明に係る基板搬送装置の構成におい
て、伸縮昇降機構が、折り畳み自在に連結された複数の
部材からなるものである。この場合、複数の部材が折り
畳み動作を行うことにより、搬送手段の機構部の一部が
搬送領域の下部に突出することなく基板保持部が鉛直方
向に駆動される。

【００２３】第５の発明に係る基板処理装置は、上下に
配置された複数の処理領域と、複数の処理領域にそれぞ
れ設けられて基板に所定の処理を行う複数の処理部と、
複数の処理領域に対応して上下に配置された複数の搬送
領域と、複数の搬送領域にそれぞれ設けられて当該搬送
領域内で基板を搬送するとともに対応する処理領域の処
理部に対して基板の搬入および搬出を行う複数の搬送手
段とを備えたものである。

【００２４】第５の発明に係る基板処理装置において
は、上下に配置された各搬送領域でそれぞれ搬送手段に
より基板が搬送されるとともに、搬送手段により対応す
る処理領域の処理部に対して基板の搬入および搬出が行
われる。

【００２５】したがって、基板処理装置の上下方向の空
間の有効利用を図ることが可能となり、基板処理装置の
設置面積を低減することができる。

【００２６】第６の発明に係る基板処理装置は、第５の
発明に係る基板処理装置の構成において、複数の搬送手
段の各々が、基板を保持する基板保持部と、基板を鉛直
方向に移動させる駆動部とを含み、駆動部が上下に伸縮
する伸縮昇降機構からなるものである。

【００２７】この場合、各搬送手段が上下に伸縮する伸
縮昇降機構からなる駆動部を含むので、搬送手段の機構
部の一部が搬送領域の下部に突出することなく各搬送領
域内で基板を上下に搬送することができる。

【００２８】したがって、上下に積層された複数の処理
領域の各々において複数段に配置された処理部に対して
基板の搬入および搬出を行うことが可能となり、基板処
理装置の設置面積をさらに低減することができる。

【００２９】第７に発明に係る基板処理装置は、第５ま
たは第６の発明に係る基板処理装置の構成において、複
数の搬送手段の各々が、対応する処理領域に沿って水平
方向に移動可能な第１の可動部と、鉛直方向の軸の周り
で回動可能な第２の可動部と、基板を保持するとともに
所定の水平方向に移動可能に第２の可動部に設けられた
基板保持部と、第２の可動部を第１の可動部に対して上
下方向に移動させる駆動部とを含み、駆動部が上下に伸
縮する伸縮昇降機構からなるものである。

【００３０】この場合、第１の可動部が対応する処理領
域に沿って水平方向に移動することにより、搬送領域内
の任意の２つの位置間で基板の搬送動作が行われ、第２
の可動部が駆動部により上下方向に駆動されることによ
り、当該搬送領域内の上下方向に基板の搬送動作が行わ
れる。また、第２の可動部が鉛直方向の軸の周りで回動
しかつ基板保持部が第２の可動部に対して水平方向に移
動することにより、処理部に対して基板の受渡し動作が
行われる。

【００３１】特に、駆動部が上下に伸縮する伸縮昇降機
構からなるので、搬送手段の機構部の一部が搬送領域の
下部に突出することなく当該搬送領域内で基板を上下方
向に搬送することが可能となる。

【００３２】第８の発明に係る基板処理装置は、第５、
第６または第７の発明に係る基板処理装置の構成におい
て、複数の搬送領域内で基板を上下に移動させる昇降手
段をさらに備えたものである。これにより、上下に配置
された各搬送領域内でそれぞれ基板を搬送することがで
きるとともに、複数の搬送領域間で基板を搬送すること
ができる。したがって、異なる処理領域内の処理部間で
基板を搬送することが可能となる。

【００３３】

【発明の実施の形態】図１は、本発明の一実施例におけ
る基板処理装置の平面図、図２は図１の基板処理装置の
搬送領域から見た正面図、図３は図１の基板処理装置の
側面図である。

【００３４】図１に示すように、基板処理装置は、処理
領域Ａ，Ｂおよび搬送領域Ｃを有する。処理領域Ａに
は、処理液の回転塗布処理、現像処理、洗浄処理、加熱
処理、冷却処理等の所定の処理を行う複数の基板処理ユ
ニット２００が配置されている。処理領域Ａ，Ｂおよび
搬送領域Ｃの一端部側には、基板の搬入および搬出を行
うインデクサ４００が設けられている。また、搬送領域
Ｃの他端部側には、基板を上下方向に搬送する昇降装置
３００が設けられている。

【００３５】図２および図３に示すように、処理領域Ｂ
は上部処理領域Ｂ１および下部処理領域Ｂ２を含む。上
部処理領域Ｂ１には基板に所定の処理を行う複数の基板
処理ユニット２０１が複数段に配置され、下部処理領域
Ｂ２にも基板に所定の処理を行う複数の基板処理ユニッ
ト２０２が複数段に配置されている。各基板処理ユニッ
ト２０１，２０２には、基板の搬入および搬出を行うた
めの開口部２１が設けられている。

【００３６】図３に示すように、搬送領域Ｃは、上部処
理領域Ｂ１および下部処理領域Ｂ２に対応して上部搬送
領域Ｃ１および下部搬送領域Ｃ２を含む。上部搬送領域
Ｃ１には基板搬送ユニット１０１が設けられ、下部搬送
領域Ｃ２には基板搬送ユニット１０２が設けられてい
る。上部搬送領域Ｃ１と下部搬送領域Ｃ２との間は間仕
切り２５で遮蔽されている。それにより、上部搬送領域
Ｃ１と下部搬送領域Ｃ２との間で互いに塵埃等のパーテ
ィクルの影響を受けることが防止される。

【００３７】基板搬送ユニット１０１は、２つのハンド
１ａ，１ｂ、移動体２、支持台３、伸縮昇降機構４およ
びベース部材５を含む。なお、図２には、２つのハンド
１ａ，１ｂのうち一方のハンド１ａのみが示されてい
る。

【００３８】図３に示すように、上部搬送領域Ｃ１の長
手方向に配置された１対の支持部材６上にそれぞれガイ
ドレール７が固定されている。ベース部材５は、ガイド
レール７上でＹ軸方向（搬送領域Ｃの長手方向）に移動
可能に設けられている。伸縮昇降機構４は、２つのアー
ム４ａ，４ｂからなる関節アーム機構によりＺ軸方向
（鉛直軸方向）に伸縮自在に構成されている。

【００３９】支持台３は、ベース部材５の上方に伸縮昇
降機構４によりＺ軸方向に移動可能に設けられている。
移動体２は、支持台３上にθ軸方向（鉛直軸を中心とす
る回転方向）に回転可能に設けられている。２つのハン
ド１ａ，１ｂは移動体２上に水平移動機構（図示せず）
によりＸ軸方向（水平面内で前進および後退する方向）
に移動可能に設けられている。ハンド１ａはハンド１ｂ
の上部に重なるように配置されている。

【００４０】なお、基板搬送ユニット１０２も、基板搬
送ユニット１０１と同様の構造を有する。

【００４１】図２に示すように、昇降装置３００は、伸
縮昇降機構３１の２つのアーム３３，３４、昇降部材３
２、および３本の基板支持ピン３５を含む。

【００４２】昇降部材３２は、伸縮昇降機構３１のアー
ム３４の上部に固定され、伸縮作用により上下に移動可
能に案内されている。昇降部材３２上に設けられた３本
の基板支持ピン３５上に基板Ｗが載置される。

【００４３】本実施例の基板処理装置では、図１に示す
ように、インデクサ４００の移載ロボット４０２が、矢
印Ｕの方向に移動し、カセット４０１から基板Ｗを取り
出して基板搬送ユニット１０１に渡し、逆に一連の処理
が施された基板Ｗを基板搬送ユニット１０１から受け取
ってカセット４０１に戻す。

【００４４】基板搬送ユニット１０１は、上部搬送領域
Ｃ１で基板Ｗを搬送するとともに、移載ロボット４０２
との間で基板Ｗの受け渡しを行い、処理領域Ａの基板処
理ユニット２００または上部処理領域Ｂ１の基板処理ユ
ニット２０１に対して基板Ｗの搬入および搬出を行い、
あるいは昇降装置３００との間で基板の受け渡しを行
う。

【００４５】基板搬送ユニット１０２は、下部搬送領域
Ｃ２で基板Ｗを搬送するとともに、下部処理領域Ｂ２の
基板処理ユニット２０２に対して基板Ｗを搬入および搬
出し、あるいは昇降装置３００との間で基板Ｗの受け渡
しを行う。

【００４６】昇降装置３００は、上部搬送領域Ｃ１で基
板搬送ユニット１０１から受け取った基板Ｗを下部搬送
領域Ｃ２に搬送し、基板搬送ユニット１０２に渡し、あ
るいは下部搬送領域Ｃ２で基板搬送ユニット１０２から
受け取った基板Ｗを上部搬送領域Ｃ１に搬送し、基板搬
送ユニット１０１に渡す。

【００４７】本実施例では、基板搬送ユニット１０１，
１０２が搬送手段に相当し、基板処理ユニット２０１，
２０２が処理部に相当し、昇降装置３００が昇降手段に
相当する。また、間仕切り２５が遮蔽手段に相当する。

【００４８】図４は基板搬送ユニット１０１の正面図、
図５は基板搬送ユニット１０１の側面図である。なお、
基板搬送ユニット１０２の構成も図４および図５に示す
構成と同様である。

【００４９】図４および図５に示すように、１対の支持
部材６の上面にそれぞれガイドレール７が固定され、ガ
イドレール７上にベース部材５がＹ軸方向に移動可能に
設けられている。

【００５０】図４に示すように、支持部材６間にはＹ軸
方向に沿ってボールねじ８が配設されている。ベース部
材５の下面には、ボールねじ８に螺合するナット部材９
およびこのナット部材９を正逆転駆動するモータ１０が
設けられている。モータ１０によりナット部材９が回転
駆動されると、ベース部材５がＹ軸方向に水平移動す
る。

【００５１】ベース部材５上には、２つのアーム４ａ，
４ｂからなる伸縮昇降機構４が設けられている。アーム
４ｂの一端部は、ベース部材５上に設けられた支持ブラ
ケット１２に水平軸１４により回動可能に取り付けられ
ている。アーム４ｂの他端部には、アーム４ａの一端部
が水平軸１５により回動可動に取り付けられている。ア
ーム４ａの他端部は、支持台３の下面に設けられた支持
ブラケット１３に水平軸１６により回動可能に取り付け
られている。

【００５２】水平軸１４の一端部にはプーリ１７が連結
固定され、水平軸１５の一端部および他端部にはそれぞ
れプーリ１８および２０が連結固定され、水平軸１６の
他端部にはプーリ２１が連結固定されている。プーリ１
７およびプーリ１８にワイヤ１９が架け渡され、プーリ
２０およびプーリ２１にワイヤ２２が架け渡されてい
る。水平軸１４は支持ブラケット１２に固定され、水平
軸１５はアーム４ａに固定され、水平軸１６は支持ブラ
ケット１３に固定されている。プーリ１７の径はプーリ
１８の径の２倍に設定され、プーリ２０の径はプーリ２
１の径の２分の１に設定されている。

【００５３】図５に示すように、アーム４ｂの下端部に
は駆動部材１１が延設されている。この駆動部材１１
は、ベース部材５の下面に設けられたモータ２３および
ボールねじ２４により矢印Ｄの方向に駆動される。駆動
部材１１が矢印Ｄの方向に駆動されると、アーム４ａ，
４ｂからなる伸縮昇降機構４がＺ軸方向に伸縮し、支持
台３が水平姿勢でＺ軸方向に移動する。

【００５４】移動体２は、支持台３に内蔵されたモータ
によりθ軸方向に回転駆動される。また、ハンド１ａ，
１ｂは、移動体２に設けられたスライド機構（図示せ
ず）によりそれぞれ独立にＸ軸方向に前進および後退す
る。なお、Ｘ軸方向は、移動体２が回転することにより
水平面内で回転する。

【００５５】本実施例では、ハンド１ａ，１ｂが基板保
持部に相当し、ベース部材５が第１の可動部に相当し、
移動体２が第２の可動部に相当する。伸縮昇降機構４が
駆動部を構成する。

【００５６】図６は図１の基板処理装置の基板搬送ユニ
ットによる搬送可能範囲（アクセス可能範囲）を示す図
である。

【００５７】図６において、Ｒ１は基板搬送ユニット１
０１により上部搬送領域Ｃ１の側部に対してアクセス
（基板の受け渡し）可能な範囲を示し、Ｒ１ａおよびＲ
１ｂは基板搬送ユニット１０１によりそれぞれ上部搬送
領域Ｃ１の両端部に対してアクセス可能な範囲を示して
いる。また、Ｒ２は基板搬送ユニット１０２により下部
搬送領域Ｃ２の側部に対してアクセス可能な範囲を示
し、Ｒ２ａおよびＲ２ｂは基板搬送ユニット１０２によ
りそれぞれ下部搬送領域Ｃ２の両端部に対してアクセス
可能な範囲を示している。

【００５８】上部処理領域Ｂ１の基板処理ユニット２０
１は基板搬送ユニット１０１がアクセス可能な範囲Ｒ１
に配置され、下部処理領域Ｂ２内の基板処理ユニット２
０２は基板搬送ユニット１０２がアクセス可能な範囲Ｒ
２内に配置される。

【００５９】上記のように、本実施例の基板処理装置に
おいては、上部搬送領域Ｃ１および下部搬送領域Ｃ２で
それぞれ基板搬送ユニット１０１，１０２により基板が
搬送されるとともに、基板搬送ユニット１０１により上
部処理領域Ｂ１内の基板処理ユニット２０１に対して基
板の搬入および搬出が行われ、基板搬送ユニット１０２
により下部処理領域Ｂ２内の基板処理ユニット２０２に
対して基板の搬入および搬出が行われる。このように、
基板処理装置の上下方向の空間の有効利用が図られ、基
板処理装置の設置面積が低減される。

【００６０】特に、基板搬送ユニット１０１，１０２が
上部に伸縮する伸縮昇降機構４を有するので、基板搬送
ユニット１０１，１０２の機構部の一部が上部搬送領域
Ｃ１および下部搬送領域Ｃ２の下部に突出することな
く、それぞれ上部搬送領域Ｃ１内および下部搬送領域Ｃ
２内で基板を上下に搬送することができる。したがっ
て、上部処理領域Ｂ１において複数段に配置された基板
処理ユニット２０１および下部処理領域Ｂ２において複
数段に配置された基板処理ユニット２０２に対してそれ
ぞれ基板を搬入および搬出することが可能となり、基板
処理装置の上下方向の空間がさらに有効利用されてい
る。

【００６１】また、昇降装置３００により上部搬送領域
Ｃ１と下部搬送領域Ｃ２との間で基板を搬送することが
できるので、上部処理領域Ｂ１内の基板処理ユニット２
０１と下部処理領域Ｂ２の基板処理ユニット２０２との
間で基板を搬送することが可能となる。

【００６２】図７は基板搬送ユニットの他の例を示す斜
視図である。図７の基板搬送ユニットはパンタグラフ構
造の伸縮昇降機構４０を有する。

【００６３】ベース部材５は、図４および図５の基板搬
送ユニットと同様に、１対のガイドレール７上にボール
ねじ８、ナット部材およびモータ（図示せず）２により
Ｙ軸方向に移動可能に設けられている。ベース部材５上
に、伸縮昇降機構４０が設けられている。この伸縮昇降
機構４０は、ボールネジ４２およびモータ４３により上
下に伸縮する２組のパンタグラフリンク４１ａ，４１ｂ
により構成される。

【００６４】この伸縮昇降機構４０の上部に支持台３が
取り付けられ、支持台３上に移動体２がθ軸方向に回転
可能に設けられている。移動体２上に２つのハンド１
ａ，１ｂがＸ軸方向に前進および後退可能に設けられて
いる。

【００６５】図７の基板搬送ユニットにおいても、ハン
ド１ａ，１ｂが伸縮昇降機構４０によりＺ軸方向に移動
する。したがって、この基板搬送ユニットを図１〜図３
の基板処理装置の上部搬送領域Ｃ１および下部搬送領域
Ｃ２に設けると、基板搬送ユニットの機構部の一部が上
部搬送領域Ｃ１および下部搬送領域Ｃ２の下部に突出す
ることなく、それぞれ上部搬送領域Ｃ１内および下部搬
送領域Ｃ２内で基板を搬送することができる。

【００６６】なお、上記実施例では、昇降装置３００の
昇降部材３２が基板支持ピン３５で基板Ｗを支持してい
るが、高速で基板を昇降させる場合には、振動等により
基板が昇降部材３２上でずれないように基板を機械的に
保持するメカ式チャック機構や基板を真空吸着する吸引
式チャック機構等を用いてもよい。

【００６７】また、上記実施例では、複数の処理領域を
積層しているが、インデクサ４００等の基板の受渡し部
や基板を保持するカセット等を上下方向に積層すること
も可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例における基板処理装置の平面
図である。

【図２】図１の基板処理装置の搬送領域から見た正面図
である。

【図３】図１の基板処理装置の側面図である。

【図４】図１の基板処理装置に用いられる基板搬送ユニ
ットの正面図である。

【図５】図１の基板処理装置に用いられる基板搬送ユニ
ットの側面図である。

【図６】図１の基板処理装置の基板搬送ユニットによる
搬送可能範囲を示す図である。

【図７】基板搬送ユニットの他の例を示す斜視図であ
る。

【図８】従来の基板処理装置の一例を示す平面図であ
る。

【図９】図８の基板処理装置の搬送領域から見た正面図
である。

【図１０】図８の基板処理装置の基板搬送ユニットによ
る搬送可能範囲を示す図である。

【符号の説明】

１ａ，１ｂハンド２移動体３支持台４伸縮昇降機構４ａ，４ｂアーム５ベース部材１０１，１０２基板搬送ユニット２００，２０１，２０２基板処理ユニット３００昇降装置Ａ，Ｂ処理領域Ｃ搬送領域Ｂ１上部処理領域Ｂ２下部処理領域Ｃ１上部搬送領域Ｃ２上部搬送領域

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】上下に配置された複数の搬送領域にそれ
ぞれ搬送手段が設けられ、各搬送手段は、基板を保持す
る基板保持部と、前記基板保持部を鉛直方向に移動させ
る駆動部とを含み、前記駆動部は上下に伸縮する伸縮昇
降機構からなることを特徴とする基板搬送装置。
【請求項２】前記複数の搬送領域間で基板を移動させ
る昇降手段がさらに設けられたことを特徴とする請求項
１記載の基板搬送装置。
【請求項３】前記複数の搬送領域間を遮蔽する遮蔽手
段がさらに設けられたことを特徴とする請求項１または
２記載の基板搬送装置。
【請求項４】前記伸縮昇降機構は、折り畳み自在に連
結された複数の部材からなることを特徴とする請求項
１、２または３記載の基板搬送装置。
【請求項５】上下に配置された複数の処理領域と、前記複数の処理領域にそれぞれ設けられ、基板に所定の
処理を行う複数の処理部と、前記複数の処理領域に対応して上下に配置された複数の
搬送領域と、前記複数の搬送領域にそれぞれ設けられ、当該搬送領域
で基板を搬送するとともに対応する処理領域の処理部に
対して基板の搬入および搬出を行う複数の搬送手段とを
備えたことを特徴とする基板処理装置。
【請求項６】前記複数の搬送手段の各々は、基板を保
持する基板保持部と、前記基板保持部を鉛直方向に移動
させる駆動部とを含み、前記駆動部は上下に伸縮する伸
縮昇降機構からなることを特徴とする請求項５記載の基
板処理装置。
【請求項７】前記複数の搬送手段の各々は、対応する
処理領域に沿って水平方向に移動可能な第１の可動部
と、鉛直方向の軸の周りで回動可能な第２の可動部と、
基板を保持するとともに所定の水平方向に移動可能に前
記第２の可動部に設けられた基板保持部と、前記第２の
可動部を前記第１の可動部に対して上下方向に移動させ
る駆動部とを含み、前記駆動部は上下に伸縮する伸縮昇
降機構からなることを特徴とする請求項５または６記載
の基板処理装置。
【請求項８】前記複数の搬送領域間で基板を上下に移
動させる昇降手段をさらに備えたことを特徴とする請求
項５、６または７記載の基板処理装置。