JP2005044981A - 搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】高さをできるだけ小さくして薄型化が可能な搬送装置を提供する。
【解決手段】被処理体Wを保持して搬送するための搬送装置において、所定の幅と所定の直径とを有して軸受を介してベースプレートに回転自在に支持された円形の回転基台76と、回転基台の周辺部に起立された第1及び第2固定軸と、アーム部4B、6Bと被処理体を保持するピック部4C、6Cとをこの順序で屈伸可能に連結すると共に、その基端部が第1、或いは第2固定軸にそれぞれ回転自在に支持された第1及び第2アーム機構72、74と、回転基台の側面に巻回して掛け渡された動力伝達用部材18Aと、動力伝達用部材を正逆方向へ走行させる主駆動源14Aと、第1アーム機構を屈伸させるための第1アーム機構用駆動源14Bと、第2アーム機構を屈伸させるための第2アーム機構用駆動源14Cと、を備える。
【選択図】 図1
【解決手段】被処理体Wを保持して搬送するための搬送装置において、所定の幅と所定の直径とを有して軸受を介してベースプレートに回転自在に支持された円形の回転基台76と、回転基台の周辺部に起立された第1及び第2固定軸と、アーム部4B、6Bと被処理体を保持するピック部4C、6Cとをこの順序で屈伸可能に連結すると共に、その基端部が第1、或いは第2固定軸にそれぞれ回転自在に支持された第1及び第2アーム機構72、74と、回転基台の側面に巻回して掛け渡された動力伝達用部材18Aと、動力伝達用部材を正逆方向へ走行させる主駆動源14Aと、第1アーム機構を屈伸させるための第1アーム機構用駆動源14Bと、第2アーム機構を屈伸させるための第2アーム機構用駆動源14Cと、を備える。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウエハ等の被処理体を保持して搬送するための搬送装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般に、半導体デバイス等を製造する半導体処理システム内ではその製造工程において、被処理体である半導体ウエハをクリーンな状態で大気圧雰囲気中、或いは真空雰囲気中を搬送して、処理室内へ搬入したり、或いは逆に処理室中から取り出して所定の場所まで搬出したりする。この場合、半導体ウエハを搬送するために、例えば特許文献1、特許文献2等に示すような搬送装置が用いられる。図7は従来の搬送装置の一例を示す斜視図、図8は従来の搬送装置を示す断面図、図9は従来の搬送装置の動作を示す動作説明図である。
この従来の搬送装置2は、第1アーム機構4と第2アーム機構6の2本のアーム機構を有している。第1及び第2アーム機構4、6は、第1アーム部4A、6Aと、第2アーム部4B、6Bと、被処理体である半導体ウエハを保持するピック部4C、6Cとを、それぞれこの順序で屈伸可能に連結して構成されている。上記第1及び第2アーム機構4、6の第1アーム部4A、6Aはその基端部同士が一体的に連結されて全体としての”く”の字状に成形されている。
【0003】
そして、この第1及び第2アーム部4A、6Aの連結部である中心部が、3軸同軸構造8の外側回転軸8Aに連結されており、この3軸同軸構造8は軸受10を介してベースプレートBSに回転自在に支持されている。
上記3軸同軸構造8は、その外側より外側回転軸8Aと、内側回転軸8Bと、中心回転軸8Cとを同軸状に配置してなり、各回転軸8A、8B、8C間には、軸受11、13がそれぞれ介在されており、互いに自由回転可能に支持されている。上記各回転軸8A、8B、8Cは、下方向への長さがそれぞれ異ならせており、各回転軸8A、8B、8Cの下端部にはそれぞれプーリ12A、12B、12Cが取り付け固定されており、全体で上下に3段の構造になっている。
【0004】
そして、この搬送装置2を駆動させるために、例えばステップモータ等よりなる3個の駆動源14A、14B、14Cを有しており、上記各駆動源14A、14B、14Cの各駆動軸に設けたプーリ16A、16B、16Cと上記各プーリ12A、12B、12Cとの間にそれぞれ連結ベルト18A、18B、18Cが掛け渡されており、上記各回転軸8A、8B、8Cを個別に正逆回転し得るようになっている。
【0005】
一方、第1アーム機構4の第1アーム部4Aの先端部には、上方に突き出して固定軸20が設けられており、この固定軸20に回転軸24とプーリ26との一体物が軸受28を介して回転自在に設けられる。そして、上記プーリ26と中心回転軸8Cの上端部に設けたプーリ30との間に連結ベルト32を掛け渡して動力を伝達するようになっている。
また上記回転軸24は第2アーム部4Bの基端部に連結されると共に、上記固定軸20の上端部には小プーリ34が固定されている。この第2アーム部4Bの先端部には、固定軸36が固定的に設けられており、この固定軸36には軸受38を介して大プーリ40が回転自在に設けられている。この大プーリ40と小プーリ34との直径比は2対1に設定されている。そして、この大プーリ40と小プーリ34との間に連結ベルト41を掛け渡して動力を伝達するようになっている。そして、上記大プーリ40の上端部に、上記ピック部4Cの基端部を固定的に取り付けている。これにより、上記駆動源14Cを駆動することにより、この第1アーム機構4は、このピック部4Cが一定の方向を向いた状態で屈伸するようになっている。
【0006】
また、第2アーム機構6の第1アーム部6Aの先端部には、上方に突き出して固定軸42が設けられており、この固定軸42に回転軸44とプーリ46との一体物が軸受48を介して回転自在に設けられる。そして、上記プーリ46と内側回転軸8Bの上端部に設けたプーリ50との間に連結ベルト52を掛け渡して動力を伝達するようになっている。
また上記回転軸44は第2アーム部6Bの基端部に連結されると共に、上記固定軸42の上端部には小プーリ54が固定されている。この第2アーム部6Bの先端部には、固定軸56が固定的に設けられており、この固定軸56には軸受58を介して大プーリ60が回転自在に設けられている。この大プーリ60と小プーリ54との直径比は2対1に設定されている。この大プーリ60と小プーリ54との間に連結ベルト61を掛け渡して動力を伝達するようになっている。そして、上記大プーリ60の上端部に、上記ピック部6Cの基端部を固定的に取り付けている。これにより、上記駆動源14Bを駆動することにより、この第1アーム機構4は、このピック部6Cが一定の方向を向いた状態で屈伸するようになっている。
【0007】
このように形成された搬送装置2の一連の動作は図9に示されており、各駆動源14A〜14Cを同期させて同一方向にそれぞれ回転すると、第1及び第2アーム機構4、6はその屈伸状態を保持したまま全体が回転して特定の方向に向けられる。そして、駆動源14C、14Bを選択的に正逆回転駆動することにより、第1アーム機構4及び第2アーム機構6はピック部4C、6Cで被処理体としての半導体ウエハWを保持した状態でそれぞれ図9(A)〜図9(E)に示すように屈伸するようになっている。尚、図9(A)は第2アーム機構6が伸長し、第1アーム機構4が縮退している状態を示し、図9(E)は第1及び第2アーム機構4、6が共に縮退している状態を示す。
【0008】
【特許文献1】
特開平10−163296号公報
【特許文献2】
特開2000−072248号公報
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述した搬送装置にあっては、第1アーム部4A、4Bの下方に、上下方向に沿って3段に亘ってプーリ12A〜12Cを設け、これらにそれぞれ連結ベルト18A〜18Cや駆動源14A〜14Cを連結させる構造となっているために、この搬送装置全体の高さが大きくなってしまうのみならず、特にベースプレートBSよりも上方における装置の高さが大きくなってしまう、という問題があった。
【0010】
特に、半導体ウエハWのサイズが200mmから300mmへ大型化するに従って、半導体ウエハの処理システム全体の大型化も余儀なくされる現状において、装置自体の大型化をできるだけ抑制するためにも、上記した問題点の解決が望まれている。
本発明は、以上のような問題点に着目し、これを有効に解決すべく創案されたものである。本発明の目的は、高さをできるだけ小さくして薄型化が可能な搬送装置を提供することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】
請求項1に係る発明は、被処理体を保持して搬送するための搬送装置において、所定の幅と所定の直径とを有して軸受を介してベースプレートに回転自在に支持された円形の回転基台と、前記回転基台の周辺部に起立された第1固定軸と、アーム部と前記被処理体を保持するピック部とをこの順序で屈伸可能に連結すると共に、その基端部が前記第1固定軸に回転自在に支持された第1アーム機構と、前記回転基台の周辺部に起立された第2固定軸と、アーム部と前記被処理体を保持するピック部とをこの順序で屈伸可能に連結すると共に、その基端部が前記第2固定軸に回転自在に支持された第2アーム機構と、前記回転基台の側面に巻回して掛け渡された動力伝達用部材と、前記動力伝達用部材を正逆方向へ走行させる主駆動源と、前記第1アーム機構を屈伸させるための第1アーム機構用駆動源と、前記第2アーム機構を屈伸させるための第2アーム機構用駆動源と、を備えたことを特徴とする搬送装置である。
【0012】
このように、所定の直径を有する円形の回転基台上にアーム機構を設けると共に、この回転基台の側面に、例えば連結ベルトなどの動力伝達用部材を巻回して掛け渡し、この動力伝達用部材を例えばステップモータ等よりなる主駆動源により正逆走行させて上記回転基台を正逆回転させてアーム機構の方向付けを行うようにしたので、上記回転基台の幅内、すなわち水平レベル内に上記動力伝達用部材や主駆動源の一部、或いは全部を収めることができ、従って、その分、搬送装置全体の高さを小さくすることが可能となる。
【0013】
請求項2に係る発明は、被処理体を保持して搬送するための搬送装置において、所定の幅と所定の直径とを有して軸受を介してベースプレートに回転自在に支持された円形の回転基台と、前記回転基台の周辺部に起立された固定軸と、アーム部と前記被処理体を保持するピック部とをこの順序で屈伸可能に連結すると共に、その基端部が前記固定軸に回転自在に支持されたアーム機構と、前記回転基台の側面に巻回して掛け渡された動力伝達用部材と、前記動力伝達用部材を正逆方向へ走行させる主駆動源と、前記アーム機構を屈伸させるためのアーム機構用駆動源と、を備えたことを特徴とする搬送装置である。
【0014】
この場合、例えば請求項3に規定するように、前記回転基台は、その側面に軸受を介して前記ベースプレートに回転自在に支持される。
このように、回転基台を、その側面に軸受を介してベースプレートに回転自在に支持させるようにしているので、回転基台自体の回転軸が不要となり、その分、この搬送装置全体の高さを更に小さくすることが可能となる。
また例えば請求項4に規定するように、前記動力伝達用部材は、連結ベルトよりなり、該連結ベルトは前記主駆動源の回転軸に固定して設けた主プーリに掛け渡されている。
【0015】
また例えば請求項5に規定するように、前記アーム機構用駆動源からの駆動力は前記回転基台の中心部に回転自在に設けた回転軸に伝達され、該駆動力は動力伝達用部材を介して前記アーム機構の基端部に伝達されるように構成される。
また例えば請求項6に規定するように、前記動力伝達用部材は連結ベルトよりなり、該連結ベルトを前記アーム機構の基端部と一体化するように接続されて前記固定軸に回転自在に設けたプーリに掛け渡すように構成される。
また例えば請求項7に規定するように、前記アーム機構用駆動源と前記回転軸との間の駆動力の伝達は動力伝達用部材を用いて行う。
また例えば請求項8に規定するように、前記動力伝達用部材は連結ベルトよりなり、該連結ベルトを前記アーム機構用駆動源の回転軸に設けたプーリと前記回転軸に設けたプーリとの間に掛け渡すように構成されている。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明に係る搬送装置の一実施例を添付図面に基づいて詳述する。
<第1実施例>
まず、本発明の第1実施例について説明する。
図1は本発明に係る搬送装置の第1実施例を示す斜視図、図2は第1実施例を示す断面図、図3は第1実施例の動作を説明するための動作説明図である。尚、図7〜図9に示した構成部分と同一構成部分についていは同一符号を付して説明する。
この第1実施例の特徴は、従来の搬送装置の第1アーム部の部分を円形の回転基台とし、この回転基台の側面に軸受を介在させベースプレートに回転自在に支持させると共に、この側面にプーリを設けて連結ベルトにより駆動力を伝達するようにした点である。
【0017】
図示するように、この搬送装置70は、それぞれ屈伸可能になされた第1アーム機構72と第2アーム機構74とを有しており、これらの第12及び第2アーム機構72、74は所定の幅と所定の直径とを有する円形の回転基台76に回転自在に支持されている。具体的には、上記回転基台76は、内部が中空になされた円板状に形成されており、この幅(厚さ)L1及び直径D1は、搬送装置70のストローク長に依存する。この回転基台76の円形リング状の側面の下部は、大口径の軸受78を介してベースプレートBSに回転自在に支持されている。すなわち、この回転基台76は、先に説明した従来の搬送装置の第1アーム部4A、6A(図7参照)の機能を持つことになる。
【0018】
また、この回転基台76の側面の上部にはプーリ80が設けられており、この回転基台76の側方には、例えばステップモータよりなる主駆動源14Aが設けられている。そして、この主駆動源14Aの回転軸に設けた主プーリ16Aと上記プーリ80との間には、動力伝達用部材として例えば連結ベルト18Aが掛け渡されており、この連結ベルト18Aを正逆方向に走行移動させることにより上記回転基台76を正逆方向へ任意の角度だけ回転し得るようになっている。
そして、上記回転基台76の底部の中心部には、2軸同軸構造82が設けられている。この2軸同軸構造82は、中心回転軸8Cと、この外側に同軸状に配置される中空状の回転軸8Bとよりなり、上記両回転軸8B、8C間には軸受13が介設されると共に、上記外側の回転軸8Bと上記回転基台76の底部76Aとの間には軸受11が介設されて、各回転軸8B、8Cがそれぞれ自由回転可能になされている。上記両回転軸8B、8Cは下方向への長さがそれぞれ異ならせており、各回転軸8B、8Cの下端部にはそれぞれプーリ12B、12Cが取り付け固定されており、全体で上下に2段の構造となっている。
【0019】
そして、上記プーリ12B、12Cと略同じ水平レベルに上記第1及び第2アーム機構72、74を屈伸駆動させるために、例えばステップモータよりなる2個の駆動源、すなわち第1アーム機構用駆動源14Cと第2アーム機構用駆動源14Bがそれぞれ設けられている。これらの駆動源14B、14Cの各駆動軸に設けたプーリ16B、16Cと上記回転軸8B、8Cの各プーリ12B、12Cとの間にそれぞれ連結ベルト18B、18Cが掛け渡されており、上記各回転軸8B、8Cを個別に正逆回転し得るようになっている。
【0020】
一方、上記第1及び第2アーム機構72、74は、アーム部4B、6Bと、被処理体としての半導体ウエハWを保持するピック部4C、6Cとをそれぞれこの順序で屈伸可能に連結して構成されている。そして、上記回転基台76には、その周辺部の底部より上方に向けて起立させて第1固定軸20が設けられている。この第1固定軸20には、回転軸24とプーリ26との一体物が軸受28を介して回転自在に設けられている。そして、上記プーリ26と中心回転軸8Cの上端部に設けたプーリ30との間に連結ベルト32を掛け渡して動力を伝達するようになっている。
【0021】
また回転軸24は、アーム部4Bの外側筐体84の基端部に連結されると共に、上記第1固定軸20の上端部には小プーリ34が固定されている。このアーム部4Bの先端部には、固定軸36が固定的に設けられており、この固定軸36には軸受38を介して大プーリ40が回転自在に設けられている。この大プーリ40と小プーリ34との直径比は2対1に設定されている。そして、上記大プーリ40の上端部に、上記ピック部4Cの基端部を固定時に取り付けている。そして、上記大プーリ40と小プーリ34との間に連結ベルト41を掛け渡して動力を伝達するようになっている。これにより、上記第1アーム機構用駆動源14Cを駆動することにより、この第1アーム機構72は、屈伸するようになっている。ここで中心回転軸8Cと上記第1固定軸20との間の距離は、図8に示した従来の搬送装置の中心回転軸8Cと第1固定軸20との間の距離と等しくなるように設定されている。
【0022】
また上記回転基台76には、上記第1固定軸20に対して例えば120度程度の開き角になされたその周辺部の底部より上方に向けて起立させて第2固定軸42が設けられている。この第2固定軸42には、回転軸44とプーリ46との一体物が軸受48を介して回転自在に設けられている。そして、上記プーリ46と外側の回転軸8Bの上端部に設けたプーリ50との間に連結ベルト52を掛け渡して動力を伝達するようになっている。
【0023】
また回転軸44は、アーム部6Bの外側筐体86の基端部に連結されると共に、上記第2固定軸42の上端部には小プーリ54が固定されている。このアーム部6Bの先端部には、固定軸56が固定的に設けられており、この固定軸56には軸受58を介して大プーリ60が回転自在に設けられている。この大プーリ60と小プーリ54との直径比は2対1に設定されている。そして、上記大プーリ60の上端部に、上記ピック部6Cの基端部を固定時に取り付けている。そして、上記大プーリ60と小プーリ54との間に連結ベルト61を掛け渡して動力を伝達するようになっている。これにより、上記第2アーム機構用駆動源14Bを駆動することにより、この第2アーム機構74は、屈伸するようになっている。ここで中心回転軸8Cと上記第2固定軸42との間の距離は、図8に示した従来の搬送装置の中心回転軸8Cと固定軸42との間の距離と等しくなるように設定されている。図2においては、両ピック部4C、6Cが共に同一方向に向いて上下に重なっている状態を示している。
【0024】
次に、以上のように構成された第1実施例の動作について説明する。
まず、主駆動源14Aを正逆回転させることにより、この駆動力は主プーリ16A、連結ベルト18A及びプーリ80を介して回転基台76へ伝達され、ベースプレートBSに軸受78を介して支持されたこの大直径の基台76は正逆回転することになる。
また、第1アーム機構用駆動源14Cを正逆回転させることにより、この駆動力はプーリ16C、連結ベルト18C及びプーリ12Cを介して中心軸8Cへ伝達されてこれを回転し、更にこの駆動力は上端部のプーリ30、連結ベルト32及びプーリ26を介して回転軸24へ伝達されてアーム部4Bの外側筐体84を正逆回転させる。この時、第1固定軸20の上端部に固定して設けた小プーリ34には連結ベルト41が掛け渡されているので、上記外側筐体84が旋回することでこの連結ベルト41が走行し、これによって外側筐体84の先端部に回転自在に設けた大プーリ40が回転するので、この大プーリ40に一体的に設けたピック部4Cが固定軸36を中心として旋回する。この場合、上記大プーリ40と小プーリ34との直径比は2対1になっているので、外側筐体84の旋回速度に対してピック部4Cは2倍の旋回速度で旋回し、結果的に、ピック部4Cが前進及び後退するようにこの第1アーム機構72は屈伸することになる。尚、この場合、ピック部4Cが一定の方向を向いた状態を維持するためには、後述するように回転基台76も僅かに同期させて回転する。
【0025】
また、第2アーム機構用駆動源14Bを正逆回転させることにより、この駆動力はプーリ16B、連結ベルト18B及びプーリ12Bを介して外側の回転軸8Bへ伝達されてこれを回転し、更にこの駆動力は上端部のプーリ50、連結ベルト52及びプーリ46を介して回転軸44へ伝達されてアーム部6Bの外側筐体86を正逆回転させる。この時、第2固定軸42の上端部に固定して設けた小プーリ54には連結ベルト61が掛け渡されているので、上記外側筐体86が旋回することでこの連結ベルト61が走行し、これによって外側筐体86の先端部に回転自在に設けた大プーリ60が回転するので、この大プーリ60に一体的に設けたピック部6Cが固定軸56を中心として旋回する。この場合、上記大プーリ60と小プーリ54との直径比は2対1になっているので、外側筐体86の旋回速度に対してピック部6Cは2倍の旋回速度で旋回し、結果的に、ピック部6Cが前進及び後退するようにこの第2アーム機構74は屈伸することになる。尚、この場合、ピック部6Cが一定の方向を向いた状態を維持するためには、後述するように回転基台76も僅かに同期させて回転する。
【0026】
また第1及び第2アーム機構72、74の屈伸状態を維持したまま、これらの方向を変えるには、上記主駆動源14A、第1及び第2アーム機構用駆動源14C、14Bを全て同期させて同一方向へ回転させればよい。
図3は上記第1及び第2アーム機構72、74の一連の動作の一例を示しており、図3(A)では、第1アーム機構72が最も伸長しており、第2アーム機構74が折り畳まれて最も縮退している状態が示されている。そして図3(B)〜図3(E)に示すように、第1アーム機構72を折り曲げつつ、これと同期させて回転基台76を旋回することにより、ピック部4Cは一定の方向を向いた状態で後退することになる。図3(E)では第1及び第2アーム機構72、74が共に最も縮退している状態を示しており、ピック部4C、6Cが上下に重なり合っている。この時、回転基台76は図3(A)に対して略100度程度回転している。
【0027】
また、第1アーム機構72を伸長する時は、上記とは逆方向へ回転すればよく、更に第2アーム機構74を屈伸させるためには、第2アーム機構74に対して上記と同様な操作を行えばよい。
このように、本発明の第1実施例では、大口径の回転基台76の側面にプーリ80及び連結ベルト18Aを掛け渡してこれを回転させることによって、この回転基台76に従来の搬送装置の第1アーム部の機能を持たせているので、アーム部の一段分の高さを抑制でき、従ってこの搬送装置全体の高さ(厚さ)を小さくすることができる。
【0028】
また更に、上記回転基台76の側面に軸受78を介在させてこれをベースプレートBSに回転自在に支持させるようにしているので、従来の搬送装置で必要とされた回転軸の本数に対して1本省略することができ、従って、その分、更に搬送装置全体の高さを抑制してこれを小さくすることができる。
また上述のように、ベースプレートBSにより回転基台76の側面を回転自在に支持するようにしたので、上記ベースプレートBSより上方における搬送装置の高さも小さくすることができる。
【0029】
<第2実施例>
次に、本発明の第2実施例について説明する。
図4は本発明の第2実施例を示す断面図である。尚、図1〜図3に示す構成部分と同一構成部分については同一符号を付してその説明を省略する。
図2において説明した第1実施例では回転基台76の側面の上部にプーリ80を設け、この下側に軸受78を設けて、この回転基台76をベースプレートBSに回転自在に支持させていたが、この第2実施例では、プーリ80と軸受78の取り付け位置を上下逆にしている。すなわち、図4に示すように回転基台76の側面の上部に軸受78を設けて、ここでベースプレートBSに回転自在に支持させている。そして、この軸受78の下方にプーリ80を位置させており、このプーリ80に連結ベルト18Aを掛け渡すようにしている。
この場合には、搬送装置全体の高さは第1実施例の場合と同じであるが、ベースプレートBSよりも上方における搬送装置の高さをより小さくすることができる。
【0030】
<第3実施例>
次に、本発明の第3実施例について説明する。
図5は本発明の第3実施例を示す断面図である。尚、図1〜図3に示す構成部分と同一構成部分については同一符号を付してその説明を省略する。
図2において説明した第1実施例では回転基台76の側面の上部にプーリ80を設け、この下側に軸受78を設けて、この回転基台76をベースプレートBSに回転自在に支持させていたが、この第3実施例では、図5に示すように、プーリ80は、第1実施例の場合と同様に回転基台76の側面に設けてこれに連結ベルト18Aを掛け渡している。回転基台76の回転を支持するために、回転基台76の底部76Aの中心部に、図8に示す従来の搬送装置と同様に、外側回転軸8Aを取り付け固定し、この外側回転軸8Aの外周に小口径の軸受10を介在させてこの回転基台76の全体をベースプレートBSに回転自在に支持するようになっている。従って、この軸受構造は従来の搬送装置と同様に3軸同軸構造になされている。ただし、回転基台76の側面にプーリ80を設けるようにしたので、上記外側回転軸8Aの下端部には、図8に示す従来の搬送装置とは異なってプーリ12Aを設ける必要がなくなり、この結果、この外側回転軸8Aの長さを短くできる。すなわち、回転基台76の中心部に設ける回転軸に対するプーリ構造は、プーリ12B、12Cの2段構造で済み、従って、その分、この搬送装置全体の高さを小さくすることができる。
【0031】
<第4実施例>
次に、本発明の第4実施例について説明する。
図6は本発明の第4実施例を示す断面図である。尚、図1〜図3に示す構成部分と同一構成部分については同一符号を付してその説明を省略する。
上記第1〜第3実施例にあっては、第1及び第2アーム機構72、74の2本のアーム機構を設けたが、これに限定されず、この第4実施例のように1本のアーム機構のみ設けるようにしてもよい。
図6に示す場合には、第1実施例から第1アーム機構72及びこれに関連する部材を省略して設けないようにした装置例を示している。すなわち、図6に示すように、ここでは第1アーム機構72(図2参照)の全体を設けないで、第2アーム機構74及びこれに関連する部材のみを設けている。従って、第1アーム機構用駆動源14C、プーリ16C、連結ベルト18C、プーリ12C、中心回転軸8C及びプーリ30(以上、図2参照)を設けていない。そして、中心回転軸8Cが省略されたので、この外側に位置していた回転軸8Bを1本のみ設ける構造となり、この回転軸8Bを、軸受11を介して回転基台76の底部の中心部へ回転自在に取り付けて支持させている。尚、回転基台76の側面の上部にプーリ80を設け、この下側に軸受78を設けて、この回転基台76をベースプレートBSに回転自在に支持させている点は、第1実施例の場合と同じである。
【0032】
この第4実施例の場合にも、先の第1実施例で説明したと同様に、この搬送装置全体の高さ及びベースプレートBSより上方における搬送装置の高さを共に小さくすることができる。このように1本のみのアーム機構を設ける構成は、第2〜第3実施例においても適用することができる。
尚、上記各実施例においては、動力伝達用部材として連結ベルトを用い、これを両プーリ間に掛け渡すようにしたが、これに限定されず、例えば動力伝達用部材としてチェーンを用い、これをプーリの代わりに設けたスプロケット間に掛け渡して動力を伝達するようにしてもよい。
【0033】
また本発明の搬送機構は、大気圧雰囲気で用いてもよいし、また真空雰囲気中に設けて用いるようにしてもよい。
更に被処理体としては半導体ウエハに限定されず、LCD基板、ガラス基板等の他の被処理体にも適用することができる。
【0034】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の搬送装置によれば、次のように優れた作用効果を発揮することができる。
請求項1、2、4〜8に係る発明によれば、所定の直径を有する円形の回転基台上にアーム機構を設けると共に、この回転基台の側面に、例えば連結ベルトなどの動力伝達用部材を巻回して掛け渡し、この動力伝達用部材を例えばステップモータ等よりなる主駆動源により正逆走行させて上記回転基台を正逆回転させてアーム機構の方向付けを行うようにしたので、上記回転基台の幅内、すなわち水平レベル内に上記動力伝達用部材や主駆動源の一部、或いは全部を収めることができ、従って、その分、搬送装置全体の高さを小さくすることができる。
請求項3に係る発明によれば、回転基台を、その側面に軸受を介してベースプレートに回転自在に支持させるようにしているので、回転基台自体の回転軸が不要となり、その分、この搬送装置全体の高さを更に小さくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る搬送装置の第1実施例を示す斜視図である。
【図2】第1実施例を示す断面図である。
【図3】第1実施例の動作を説明するための動作説明図である。
【図4】本発明の第2実施例を示す断面図である。
【図5】本発明の第3実施例を示す断面図である。
【図6】本発明の第4実施例を示す断面図である。
【図7】従来の搬送装置の一例を示す斜視図である。
【図8】従来の搬送装置を示す断面図である。
【図9】従来の搬送装置の動作を示す動作説明図である。
【符号の説明】
14A 駆動源(主駆動源)
14B 駆動源(第2アーム機構用駆動源)
14C 駆動源(第3アーム機構用駆動源)
16A プーリ(主プーリ)
16B,16C プーリ
18A 動力伝達用部材(連結ベルト)
20 固定軸(第1固定軸)
42 固定軸(第2固定軸)
70 搬送装置
72 第1アーム機構
74 第2アーム機構
76 回転基台
BS ベースプレート
W 半導体ウエハ(被処理体)
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウエハ等の被処理体を保持して搬送するための搬送装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般に、半導体デバイス等を製造する半導体処理システム内ではその製造工程において、被処理体である半導体ウエハをクリーンな状態で大気圧雰囲気中、或いは真空雰囲気中を搬送して、処理室内へ搬入したり、或いは逆に処理室中から取り出して所定の場所まで搬出したりする。この場合、半導体ウエハを搬送するために、例えば特許文献1、特許文献2等に示すような搬送装置が用いられる。図7は従来の搬送装置の一例を示す斜視図、図8は従来の搬送装置を示す断面図、図9は従来の搬送装置の動作を示す動作説明図である。
この従来の搬送装置2は、第1アーム機構4と第2アーム機構6の2本のアーム機構を有している。第1及び第2アーム機構4、6は、第1アーム部4A、6Aと、第2アーム部4B、6Bと、被処理体である半導体ウエハを保持するピック部4C、6Cとを、それぞれこの順序で屈伸可能に連結して構成されている。上記第1及び第2アーム機構4、6の第1アーム部4A、6Aはその基端部同士が一体的に連結されて全体としての”く”の字状に成形されている。
【0003】
そして、この第1及び第2アーム部4A、6Aの連結部である中心部が、3軸同軸構造8の外側回転軸8Aに連結されており、この3軸同軸構造8は軸受10を介してベースプレートBSに回転自在に支持されている。
上記3軸同軸構造8は、その外側より外側回転軸8Aと、内側回転軸8Bと、中心回転軸8Cとを同軸状に配置してなり、各回転軸8A、8B、8C間には、軸受11、13がそれぞれ介在されており、互いに自由回転可能に支持されている。上記各回転軸8A、8B、8Cは、下方向への長さがそれぞれ異ならせており、各回転軸8A、8B、8Cの下端部にはそれぞれプーリ12A、12B、12Cが取り付け固定されており、全体で上下に3段の構造になっている。
【0004】
そして、この搬送装置2を駆動させるために、例えばステップモータ等よりなる3個の駆動源14A、14B、14Cを有しており、上記各駆動源14A、14B、14Cの各駆動軸に設けたプーリ16A、16B、16Cと上記各プーリ12A、12B、12Cとの間にそれぞれ連結ベルト18A、18B、18Cが掛け渡されており、上記各回転軸8A、8B、8Cを個別に正逆回転し得るようになっている。
【0005】
一方、第1アーム機構4の第1アーム部4Aの先端部には、上方に突き出して固定軸20が設けられており、この固定軸20に回転軸24とプーリ26との一体物が軸受28を介して回転自在に設けられる。そして、上記プーリ26と中心回転軸8Cの上端部に設けたプーリ30との間に連結ベルト32を掛け渡して動力を伝達するようになっている。
また上記回転軸24は第2アーム部4Bの基端部に連結されると共に、上記固定軸20の上端部には小プーリ34が固定されている。この第2アーム部4Bの先端部には、固定軸36が固定的に設けられており、この固定軸36には軸受38を介して大プーリ40が回転自在に設けられている。この大プーリ40と小プーリ34との直径比は2対1に設定されている。そして、この大プーリ40と小プーリ34との間に連結ベルト41を掛け渡して動力を伝達するようになっている。そして、上記大プーリ40の上端部に、上記ピック部4Cの基端部を固定的に取り付けている。これにより、上記駆動源14Cを駆動することにより、この第1アーム機構4は、このピック部4Cが一定の方向を向いた状態で屈伸するようになっている。
【0006】
また、第2アーム機構6の第1アーム部6Aの先端部には、上方に突き出して固定軸42が設けられており、この固定軸42に回転軸44とプーリ46との一体物が軸受48を介して回転自在に設けられる。そして、上記プーリ46と内側回転軸8Bの上端部に設けたプーリ50との間に連結ベルト52を掛け渡して動力を伝達するようになっている。
また上記回転軸44は第2アーム部6Bの基端部に連結されると共に、上記固定軸42の上端部には小プーリ54が固定されている。この第2アーム部6Bの先端部には、固定軸56が固定的に設けられており、この固定軸56には軸受58を介して大プーリ60が回転自在に設けられている。この大プーリ60と小プーリ54との直径比は2対1に設定されている。この大プーリ60と小プーリ54との間に連結ベルト61を掛け渡して動力を伝達するようになっている。そして、上記大プーリ60の上端部に、上記ピック部6Cの基端部を固定的に取り付けている。これにより、上記駆動源14Bを駆動することにより、この第1アーム機構4は、このピック部6Cが一定の方向を向いた状態で屈伸するようになっている。
【0007】
このように形成された搬送装置2の一連の動作は図9に示されており、各駆動源14A〜14Cを同期させて同一方向にそれぞれ回転すると、第1及び第2アーム機構4、6はその屈伸状態を保持したまま全体が回転して特定の方向に向けられる。そして、駆動源14C、14Bを選択的に正逆回転駆動することにより、第1アーム機構4及び第2アーム機構6はピック部4C、6Cで被処理体としての半導体ウエハWを保持した状態でそれぞれ図9(A)〜図9(E)に示すように屈伸するようになっている。尚、図9(A)は第2アーム機構6が伸長し、第1アーム機構4が縮退している状態を示し、図9(E)は第1及び第2アーム機構4、6が共に縮退している状態を示す。
【0008】
【特許文献1】
特開平10−163296号公報
【特許文献2】
特開2000−072248号公報
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述した搬送装置にあっては、第1アーム部4A、4Bの下方に、上下方向に沿って3段に亘ってプーリ12A〜12Cを設け、これらにそれぞれ連結ベルト18A〜18Cや駆動源14A〜14Cを連結させる構造となっているために、この搬送装置全体の高さが大きくなってしまうのみならず、特にベースプレートBSよりも上方における装置の高さが大きくなってしまう、という問題があった。
【0010】
特に、半導体ウエハWのサイズが200mmから300mmへ大型化するに従って、半導体ウエハの処理システム全体の大型化も余儀なくされる現状において、装置自体の大型化をできるだけ抑制するためにも、上記した問題点の解決が望まれている。
本発明は、以上のような問題点に着目し、これを有効に解決すべく創案されたものである。本発明の目的は、高さをできるだけ小さくして薄型化が可能な搬送装置を提供することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】
請求項1に係る発明は、被処理体を保持して搬送するための搬送装置において、所定の幅と所定の直径とを有して軸受を介してベースプレートに回転自在に支持された円形の回転基台と、前記回転基台の周辺部に起立された第1固定軸と、アーム部と前記被処理体を保持するピック部とをこの順序で屈伸可能に連結すると共に、その基端部が前記第1固定軸に回転自在に支持された第1アーム機構と、前記回転基台の周辺部に起立された第2固定軸と、アーム部と前記被処理体を保持するピック部とをこの順序で屈伸可能に連結すると共に、その基端部が前記第2固定軸に回転自在に支持された第2アーム機構と、前記回転基台の側面に巻回して掛け渡された動力伝達用部材と、前記動力伝達用部材を正逆方向へ走行させる主駆動源と、前記第1アーム機構を屈伸させるための第1アーム機構用駆動源と、前記第2アーム機構を屈伸させるための第2アーム機構用駆動源と、を備えたことを特徴とする搬送装置である。
【0012】
このように、所定の直径を有する円形の回転基台上にアーム機構を設けると共に、この回転基台の側面に、例えば連結ベルトなどの動力伝達用部材を巻回して掛け渡し、この動力伝達用部材を例えばステップモータ等よりなる主駆動源により正逆走行させて上記回転基台を正逆回転させてアーム機構の方向付けを行うようにしたので、上記回転基台の幅内、すなわち水平レベル内に上記動力伝達用部材や主駆動源の一部、或いは全部を収めることができ、従って、その分、搬送装置全体の高さを小さくすることが可能となる。
【0013】
請求項2に係る発明は、被処理体を保持して搬送するための搬送装置において、所定の幅と所定の直径とを有して軸受を介してベースプレートに回転自在に支持された円形の回転基台と、前記回転基台の周辺部に起立された固定軸と、アーム部と前記被処理体を保持するピック部とをこの順序で屈伸可能に連結すると共に、その基端部が前記固定軸に回転自在に支持されたアーム機構と、前記回転基台の側面に巻回して掛け渡された動力伝達用部材と、前記動力伝達用部材を正逆方向へ走行させる主駆動源と、前記アーム機構を屈伸させるためのアーム機構用駆動源と、を備えたことを特徴とする搬送装置である。
【0014】
この場合、例えば請求項3に規定するように、前記回転基台は、その側面に軸受を介して前記ベースプレートに回転自在に支持される。
このように、回転基台を、その側面に軸受を介してベースプレートに回転自在に支持させるようにしているので、回転基台自体の回転軸が不要となり、その分、この搬送装置全体の高さを更に小さくすることが可能となる。
また例えば請求項4に規定するように、前記動力伝達用部材は、連結ベルトよりなり、該連結ベルトは前記主駆動源の回転軸に固定して設けた主プーリに掛け渡されている。
【0015】
また例えば請求項5に規定するように、前記アーム機構用駆動源からの駆動力は前記回転基台の中心部に回転自在に設けた回転軸に伝達され、該駆動力は動力伝達用部材を介して前記アーム機構の基端部に伝達されるように構成される。
また例えば請求項6に規定するように、前記動力伝達用部材は連結ベルトよりなり、該連結ベルトを前記アーム機構の基端部と一体化するように接続されて前記固定軸に回転自在に設けたプーリに掛け渡すように構成される。
また例えば請求項7に規定するように、前記アーム機構用駆動源と前記回転軸との間の駆動力の伝達は動力伝達用部材を用いて行う。
また例えば請求項8に規定するように、前記動力伝達用部材は連結ベルトよりなり、該連結ベルトを前記アーム機構用駆動源の回転軸に設けたプーリと前記回転軸に設けたプーリとの間に掛け渡すように構成されている。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明に係る搬送装置の一実施例を添付図面に基づいて詳述する。
<第1実施例>
まず、本発明の第1実施例について説明する。
図1は本発明に係る搬送装置の第1実施例を示す斜視図、図2は第1実施例を示す断面図、図3は第1実施例の動作を説明するための動作説明図である。尚、図7〜図9に示した構成部分と同一構成部分についていは同一符号を付して説明する。
この第1実施例の特徴は、従来の搬送装置の第1アーム部の部分を円形の回転基台とし、この回転基台の側面に軸受を介在させベースプレートに回転自在に支持させると共に、この側面にプーリを設けて連結ベルトにより駆動力を伝達するようにした点である。
【0017】
図示するように、この搬送装置70は、それぞれ屈伸可能になされた第1アーム機構72と第2アーム機構74とを有しており、これらの第12及び第2アーム機構72、74は所定の幅と所定の直径とを有する円形の回転基台76に回転自在に支持されている。具体的には、上記回転基台76は、内部が中空になされた円板状に形成されており、この幅(厚さ)L1及び直径D1は、搬送装置70のストローク長に依存する。この回転基台76の円形リング状の側面の下部は、大口径の軸受78を介してベースプレートBSに回転自在に支持されている。すなわち、この回転基台76は、先に説明した従来の搬送装置の第1アーム部4A、6A(図7参照)の機能を持つことになる。
【0018】
また、この回転基台76の側面の上部にはプーリ80が設けられており、この回転基台76の側方には、例えばステップモータよりなる主駆動源14Aが設けられている。そして、この主駆動源14Aの回転軸に設けた主プーリ16Aと上記プーリ80との間には、動力伝達用部材として例えば連結ベルト18Aが掛け渡されており、この連結ベルト18Aを正逆方向に走行移動させることにより上記回転基台76を正逆方向へ任意の角度だけ回転し得るようになっている。
そして、上記回転基台76の底部の中心部には、2軸同軸構造82が設けられている。この2軸同軸構造82は、中心回転軸8Cと、この外側に同軸状に配置される中空状の回転軸8Bとよりなり、上記両回転軸8B、8C間には軸受13が介設されると共に、上記外側の回転軸8Bと上記回転基台76の底部76Aとの間には軸受11が介設されて、各回転軸8B、8Cがそれぞれ自由回転可能になされている。上記両回転軸8B、8Cは下方向への長さがそれぞれ異ならせており、各回転軸8B、8Cの下端部にはそれぞれプーリ12B、12Cが取り付け固定されており、全体で上下に2段の構造となっている。
【0019】
そして、上記プーリ12B、12Cと略同じ水平レベルに上記第1及び第2アーム機構72、74を屈伸駆動させるために、例えばステップモータよりなる2個の駆動源、すなわち第1アーム機構用駆動源14Cと第2アーム機構用駆動源14Bがそれぞれ設けられている。これらの駆動源14B、14Cの各駆動軸に設けたプーリ16B、16Cと上記回転軸8B、8Cの各プーリ12B、12Cとの間にそれぞれ連結ベルト18B、18Cが掛け渡されており、上記各回転軸8B、8Cを個別に正逆回転し得るようになっている。
【0020】
一方、上記第1及び第2アーム機構72、74は、アーム部4B、6Bと、被処理体としての半導体ウエハWを保持するピック部4C、6Cとをそれぞれこの順序で屈伸可能に連結して構成されている。そして、上記回転基台76には、その周辺部の底部より上方に向けて起立させて第1固定軸20が設けられている。この第1固定軸20には、回転軸24とプーリ26との一体物が軸受28を介して回転自在に設けられている。そして、上記プーリ26と中心回転軸8Cの上端部に設けたプーリ30との間に連結ベルト32を掛け渡して動力を伝達するようになっている。
【0021】
また回転軸24は、アーム部4Bの外側筐体84の基端部に連結されると共に、上記第1固定軸20の上端部には小プーリ34が固定されている。このアーム部4Bの先端部には、固定軸36が固定的に設けられており、この固定軸36には軸受38を介して大プーリ40が回転自在に設けられている。この大プーリ40と小プーリ34との直径比は2対1に設定されている。そして、上記大プーリ40の上端部に、上記ピック部4Cの基端部を固定時に取り付けている。そして、上記大プーリ40と小プーリ34との間に連結ベルト41を掛け渡して動力を伝達するようになっている。これにより、上記第1アーム機構用駆動源14Cを駆動することにより、この第1アーム機構72は、屈伸するようになっている。ここで中心回転軸8Cと上記第1固定軸20との間の距離は、図8に示した従来の搬送装置の中心回転軸8Cと第1固定軸20との間の距離と等しくなるように設定されている。
【0022】
また上記回転基台76には、上記第1固定軸20に対して例えば120度程度の開き角になされたその周辺部の底部より上方に向けて起立させて第2固定軸42が設けられている。この第2固定軸42には、回転軸44とプーリ46との一体物が軸受48を介して回転自在に設けられている。そして、上記プーリ46と外側の回転軸8Bの上端部に設けたプーリ50との間に連結ベルト52を掛け渡して動力を伝達するようになっている。
【0023】
また回転軸44は、アーム部6Bの外側筐体86の基端部に連結されると共に、上記第2固定軸42の上端部には小プーリ54が固定されている。このアーム部6Bの先端部には、固定軸56が固定的に設けられており、この固定軸56には軸受58を介して大プーリ60が回転自在に設けられている。この大プーリ60と小プーリ54との直径比は2対1に設定されている。そして、上記大プーリ60の上端部に、上記ピック部6Cの基端部を固定時に取り付けている。そして、上記大プーリ60と小プーリ54との間に連結ベルト61を掛け渡して動力を伝達するようになっている。これにより、上記第2アーム機構用駆動源14Bを駆動することにより、この第2アーム機構74は、屈伸するようになっている。ここで中心回転軸8Cと上記第2固定軸42との間の距離は、図8に示した従来の搬送装置の中心回転軸8Cと固定軸42との間の距離と等しくなるように設定されている。図2においては、両ピック部4C、6Cが共に同一方向に向いて上下に重なっている状態を示している。
【0024】
次に、以上のように構成された第1実施例の動作について説明する。
まず、主駆動源14Aを正逆回転させることにより、この駆動力は主プーリ16A、連結ベルト18A及びプーリ80を介して回転基台76へ伝達され、ベースプレートBSに軸受78を介して支持されたこの大直径の基台76は正逆回転することになる。
また、第1アーム機構用駆動源14Cを正逆回転させることにより、この駆動力はプーリ16C、連結ベルト18C及びプーリ12Cを介して中心軸8Cへ伝達されてこれを回転し、更にこの駆動力は上端部のプーリ30、連結ベルト32及びプーリ26を介して回転軸24へ伝達されてアーム部4Bの外側筐体84を正逆回転させる。この時、第1固定軸20の上端部に固定して設けた小プーリ34には連結ベルト41が掛け渡されているので、上記外側筐体84が旋回することでこの連結ベルト41が走行し、これによって外側筐体84の先端部に回転自在に設けた大プーリ40が回転するので、この大プーリ40に一体的に設けたピック部4Cが固定軸36を中心として旋回する。この場合、上記大プーリ40と小プーリ34との直径比は2対1になっているので、外側筐体84の旋回速度に対してピック部4Cは2倍の旋回速度で旋回し、結果的に、ピック部4Cが前進及び後退するようにこの第1アーム機構72は屈伸することになる。尚、この場合、ピック部4Cが一定の方向を向いた状態を維持するためには、後述するように回転基台76も僅かに同期させて回転する。
【0025】
また、第2アーム機構用駆動源14Bを正逆回転させることにより、この駆動力はプーリ16B、連結ベルト18B及びプーリ12Bを介して外側の回転軸8Bへ伝達されてこれを回転し、更にこの駆動力は上端部のプーリ50、連結ベルト52及びプーリ46を介して回転軸44へ伝達されてアーム部6Bの外側筐体86を正逆回転させる。この時、第2固定軸42の上端部に固定して設けた小プーリ54には連結ベルト61が掛け渡されているので、上記外側筐体86が旋回することでこの連結ベルト61が走行し、これによって外側筐体86の先端部に回転自在に設けた大プーリ60が回転するので、この大プーリ60に一体的に設けたピック部6Cが固定軸56を中心として旋回する。この場合、上記大プーリ60と小プーリ54との直径比は2対1になっているので、外側筐体86の旋回速度に対してピック部6Cは2倍の旋回速度で旋回し、結果的に、ピック部6Cが前進及び後退するようにこの第2アーム機構74は屈伸することになる。尚、この場合、ピック部6Cが一定の方向を向いた状態を維持するためには、後述するように回転基台76も僅かに同期させて回転する。
【0026】
また第1及び第2アーム機構72、74の屈伸状態を維持したまま、これらの方向を変えるには、上記主駆動源14A、第1及び第2アーム機構用駆動源14C、14Bを全て同期させて同一方向へ回転させればよい。
図3は上記第1及び第2アーム機構72、74の一連の動作の一例を示しており、図3(A)では、第1アーム機構72が最も伸長しており、第2アーム機構74が折り畳まれて最も縮退している状態が示されている。そして図3(B)〜図3(E)に示すように、第1アーム機構72を折り曲げつつ、これと同期させて回転基台76を旋回することにより、ピック部4Cは一定の方向を向いた状態で後退することになる。図3(E)では第1及び第2アーム機構72、74が共に最も縮退している状態を示しており、ピック部4C、6Cが上下に重なり合っている。この時、回転基台76は図3(A)に対して略100度程度回転している。
【0027】
また、第1アーム機構72を伸長する時は、上記とは逆方向へ回転すればよく、更に第2アーム機構74を屈伸させるためには、第2アーム機構74に対して上記と同様な操作を行えばよい。
このように、本発明の第1実施例では、大口径の回転基台76の側面にプーリ80及び連結ベルト18Aを掛け渡してこれを回転させることによって、この回転基台76に従来の搬送装置の第1アーム部の機能を持たせているので、アーム部の一段分の高さを抑制でき、従ってこの搬送装置全体の高さ(厚さ)を小さくすることができる。
【0028】
また更に、上記回転基台76の側面に軸受78を介在させてこれをベースプレートBSに回転自在に支持させるようにしているので、従来の搬送装置で必要とされた回転軸の本数に対して1本省略することができ、従って、その分、更に搬送装置全体の高さを抑制してこれを小さくすることができる。
また上述のように、ベースプレートBSにより回転基台76の側面を回転自在に支持するようにしたので、上記ベースプレートBSより上方における搬送装置の高さも小さくすることができる。
【0029】
<第2実施例>
次に、本発明の第2実施例について説明する。
図4は本発明の第2実施例を示す断面図である。尚、図1〜図3に示す構成部分と同一構成部分については同一符号を付してその説明を省略する。
図2において説明した第1実施例では回転基台76の側面の上部にプーリ80を設け、この下側に軸受78を設けて、この回転基台76をベースプレートBSに回転自在に支持させていたが、この第2実施例では、プーリ80と軸受78の取り付け位置を上下逆にしている。すなわち、図4に示すように回転基台76の側面の上部に軸受78を設けて、ここでベースプレートBSに回転自在に支持させている。そして、この軸受78の下方にプーリ80を位置させており、このプーリ80に連結ベルト18Aを掛け渡すようにしている。
この場合には、搬送装置全体の高さは第1実施例の場合と同じであるが、ベースプレートBSよりも上方における搬送装置の高さをより小さくすることができる。
【0030】
<第3実施例>
次に、本発明の第3実施例について説明する。
図5は本発明の第3実施例を示す断面図である。尚、図1〜図3に示す構成部分と同一構成部分については同一符号を付してその説明を省略する。
図2において説明した第1実施例では回転基台76の側面の上部にプーリ80を設け、この下側に軸受78を設けて、この回転基台76をベースプレートBSに回転自在に支持させていたが、この第3実施例では、図5に示すように、プーリ80は、第1実施例の場合と同様に回転基台76の側面に設けてこれに連結ベルト18Aを掛け渡している。回転基台76の回転を支持するために、回転基台76の底部76Aの中心部に、図8に示す従来の搬送装置と同様に、外側回転軸8Aを取り付け固定し、この外側回転軸8Aの外周に小口径の軸受10を介在させてこの回転基台76の全体をベースプレートBSに回転自在に支持するようになっている。従って、この軸受構造は従来の搬送装置と同様に3軸同軸構造になされている。ただし、回転基台76の側面にプーリ80を設けるようにしたので、上記外側回転軸8Aの下端部には、図8に示す従来の搬送装置とは異なってプーリ12Aを設ける必要がなくなり、この結果、この外側回転軸8Aの長さを短くできる。すなわち、回転基台76の中心部に設ける回転軸に対するプーリ構造は、プーリ12B、12Cの2段構造で済み、従って、その分、この搬送装置全体の高さを小さくすることができる。
【0031】
<第4実施例>
次に、本発明の第4実施例について説明する。
図6は本発明の第4実施例を示す断面図である。尚、図1〜図3に示す構成部分と同一構成部分については同一符号を付してその説明を省略する。
上記第1〜第3実施例にあっては、第1及び第2アーム機構72、74の2本のアーム機構を設けたが、これに限定されず、この第4実施例のように1本のアーム機構のみ設けるようにしてもよい。
図6に示す場合には、第1実施例から第1アーム機構72及びこれに関連する部材を省略して設けないようにした装置例を示している。すなわち、図6に示すように、ここでは第1アーム機構72(図2参照)の全体を設けないで、第2アーム機構74及びこれに関連する部材のみを設けている。従って、第1アーム機構用駆動源14C、プーリ16C、連結ベルト18C、プーリ12C、中心回転軸8C及びプーリ30(以上、図2参照)を設けていない。そして、中心回転軸8Cが省略されたので、この外側に位置していた回転軸8Bを1本のみ設ける構造となり、この回転軸8Bを、軸受11を介して回転基台76の底部の中心部へ回転自在に取り付けて支持させている。尚、回転基台76の側面の上部にプーリ80を設け、この下側に軸受78を設けて、この回転基台76をベースプレートBSに回転自在に支持させている点は、第1実施例の場合と同じである。
【0032】
この第4実施例の場合にも、先の第1実施例で説明したと同様に、この搬送装置全体の高さ及びベースプレートBSより上方における搬送装置の高さを共に小さくすることができる。このように1本のみのアーム機構を設ける構成は、第2〜第3実施例においても適用することができる。
尚、上記各実施例においては、動力伝達用部材として連結ベルトを用い、これを両プーリ間に掛け渡すようにしたが、これに限定されず、例えば動力伝達用部材としてチェーンを用い、これをプーリの代わりに設けたスプロケット間に掛け渡して動力を伝達するようにしてもよい。
【0033】
また本発明の搬送機構は、大気圧雰囲気で用いてもよいし、また真空雰囲気中に設けて用いるようにしてもよい。
更に被処理体としては半導体ウエハに限定されず、LCD基板、ガラス基板等の他の被処理体にも適用することができる。
【0034】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の搬送装置によれば、次のように優れた作用効果を発揮することができる。
請求項1、2、4〜8に係る発明によれば、所定の直径を有する円形の回転基台上にアーム機構を設けると共に、この回転基台の側面に、例えば連結ベルトなどの動力伝達用部材を巻回して掛け渡し、この動力伝達用部材を例えばステップモータ等よりなる主駆動源により正逆走行させて上記回転基台を正逆回転させてアーム機構の方向付けを行うようにしたので、上記回転基台の幅内、すなわち水平レベル内に上記動力伝達用部材や主駆動源の一部、或いは全部を収めることができ、従って、その分、搬送装置全体の高さを小さくすることができる。
請求項3に係る発明によれば、回転基台を、その側面に軸受を介してベースプレートに回転自在に支持させるようにしているので、回転基台自体の回転軸が不要となり、その分、この搬送装置全体の高さを更に小さくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る搬送装置の第1実施例を示す斜視図である。
【図2】第1実施例を示す断面図である。
【図3】第1実施例の動作を説明するための動作説明図である。
【図4】本発明の第2実施例を示す断面図である。
【図5】本発明の第3実施例を示す断面図である。
【図6】本発明の第4実施例を示す断面図である。
【図7】従来の搬送装置の一例を示す斜視図である。
【図8】従来の搬送装置を示す断面図である。
【図9】従来の搬送装置の動作を示す動作説明図である。
【符号の説明】
14A 駆動源(主駆動源)
14B 駆動源(第2アーム機構用駆動源)
14C 駆動源(第3アーム機構用駆動源)
16A プーリ(主プーリ)
16B,16C プーリ
18A 動力伝達用部材(連結ベルト)
20 固定軸(第1固定軸)
42 固定軸(第2固定軸)
70 搬送装置
72 第1アーム機構
74 第2アーム機構
76 回転基台
BS ベースプレート
W 半導体ウエハ(被処理体)
Claims (8)
- 被処理体を保持して搬送するための搬送装置において、
所定の幅と所定の直径とを有して軸受を介してベースプレートに回転自在に支持された円形の回転基台と、
前記回転基台の周辺部に起立された第1固定軸と、
アーム部と前記被処理体を保持するピック部とをこの順序で屈伸可能に連結すると共に、その基端部が前記第1固定軸に回転自在に支持された第1アーム機構と、
前記回転基台の周辺部に起立された第2固定軸と、
アーム部と前記被処理体を保持するピック部とをこの順序で屈伸可能に連結すると共に、その基端部が前記第2固定軸に回転自在に支持された第2アーム機構と、
前記回転基台の側面に巻回して掛け渡された動力伝達用部材と、
前記動力伝達用部材を正逆方向へ走行させる主駆動源と、
前記第1アーム機構を屈伸させるための第1アーム機構用駆動源と、
前記第2アーム機構を屈伸させるための第2アーム機構用駆動源と、
を備えたことを特徴とする搬送装置。 - 被処理体を保持して搬送するための搬送装置において、
所定の幅と所定の直径とを有して軸受を介してベースプレートに回転自在に支持された円形の回転基台と、
前記回転基台の周辺部に起立された固定軸と、
アーム部と前記被処理体を保持するピック部とをこの順序で屈伸可能に連結すると共に、その基端部が前記固定軸に回転自在に支持されたアーム機構と、
前記回転基台の側面に巻回して掛け渡された動力伝達用部材と、
前記動力伝達用部材を正逆方向へ走行させる主駆動源と、
前記アーム機構を屈伸させるためのアーム機構用駆動源と、
を備えたことを特徴とする搬送装置。 - 前記回転基台は、その側面に軸受を介して前記ベースプレートに回転自在に支持されることを特徴とする請求項1または2記載の搬送装置。
- 前記動力伝達用部材は、連結ベルトよりなり、該連結ベルトは前記主駆動源の回転軸に固定して設けた主プーリに掛け渡されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の搬送装置。
- 前記アーム機構用駆動源からの駆動力は、前記回転基台の中心部に回転自在に設けた回転軸に伝達され、該駆動力は動力伝達用部材を介して前記アーム機構の基端部に伝達されるように構成したことを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の搬送装置。
- 前記動力伝達用部材は連結ベルトよりなり、該連結ベルトを前記アーム機構の基端部と一体化するように接続されて前記固定軸に回転自在に設けたプーリに掛け渡すように構成されることを特徴とする請求項5記載の搬送装置。
- 前記アーム機構用駆動源と前記回転軸との間の駆動力の伝達は動力伝達用部材を用いて行うことを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の搬送装置。
- 前記動力伝達用部材は連結ベルトよりなり、該連結ベルトを前記アーム機構用駆動源の回転軸に設けたプーリと前記回転軸に設けたプーリとの間に掛け渡すように構成されていることを特徴とする請求項7記載の搬送装置。
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JP2003202646A JP2005044981A (ja) | 2003-07-28 | 2003-07-28 | 搬送装置 |
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2003
- 2003-07-28 JP JP2003202646A patent/JP2005044981A/ja active Pending
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