JP4314091B2 - 露光装置及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Description
図1は、本実施形態のステージ装置を搭載する露光装置の概略構成を示す図である。
図2は本実施形態のステージ装置の概略構成図であり、図3は図1のステージ装置をY方向から見た側面図であり、図4は図1のステージ装置を下方から見た図である。
次に、この露光装置を利用した半導体デバイスの製造プロセスを説明する。
6 レチクルステージ
7 縮小ミラー投影光学系
8 ウエハステージ
10 鏡筒定盤
51 ステージ定盤
53 静圧軸受
54 スライダ
56 カウンタマス
57 可動磁石
58 モータコイル
60 フット部
61 電磁ガイドEコア
62 電磁ガイドIコア
63 コネクタ
64 与圧磁石
65 実装ケーブル
66 磁石高さ調整機構
67 圧力調整機構
68 変位センサ
Claims (5)
- 鉛直方向下方から反射型のレチクルに露光光を照射して、前記レチクルで反射された露光光を用いてウエハを露光する走査型露光装置において、
前記レチクルを保持して走査方向に移動するスライダと、前記スライダの鉛直方向上方に配置され、前記スライダの移動を案内するガイド面を有する定盤と、前記定盤と前記スライダとの間の空間に気体を供給する静圧軸受と、前記定盤と前記スライダとの間で、前記スライダにかかる重力と前記静圧軸受により前記スライダにかかる力との和につりあう吸引力を発生させる磁石と、前記スライダを前記定盤に対して、水平面内で走査方向に直交する方向に駆動する電磁ガイドと、を備え、
前記電磁ガイドは、
前記定盤の前記スライダに対向する側の面に設けられ、走査方向に沿って設けられた2本のI字型のコアを有する第1コア部と、
前記スライダに設けられ、前記第1コア部の両側に対向配置される第2コア部と、を備え、
前記第1コア部が形成する凹状空間に通電のためのケーブルおよびコネクタが配置されることを特徴とする露光装置。 - 前記スライダに設けられた磁石と、前記定盤に設けられたコイルとを有し、前記磁石と前記コイルの相互作用により前記スライダを定盤に対して駆動する駆動部と、
前記コイルを保持し、前記スライダと反対方向に移動して前記コイルに作用する反力を打ち消すカウンタ部と、を備え、
前記定盤と前記カウンタ部との間の空間に気体を供給する第2静圧軸受と、前記定盤と前記カウンタ部の間で、前記スライダにかかる重力と前記第2静圧軸受により前記スライダにかかる力との和につりあう吸引力を発生させる第2磁石と、を備えることを特徴とする請求項1に記載の露光装置。 - 前記磁石の吸引力と前記静圧軸受の発生圧力とを調整する調整手段を更に備えることを特徴とする請求項1又は2に記載の露光装置。
- 前記スライダの前記定盤に対する浮上量を計測する計測手段を更に備えることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の露光装置。
- 請求項1乃至4のいずれか1項に記載の露光装置を用いてデバイスを製造することを特徴とするデバイス製造方法。
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