JP4478470B2 - 位置決めステージ装置 - Google Patents

Description

本発明は、半導体デバイス等の微細パターンを有するデバイスを製造するためのデバイス製造装置等に用いる位置決めステージ装置に関するものである。

特許文献１には半導体露光装置における位置決めステージ装置の構成が示されている。図７は特許文献１に記載された位置決めステージ装置の平面図、図８はその側面図である。

図７に示すような従来の位置決めステージ装置は、ベース構造体１０１に格子状にコイル１０２が配置されており、可動ステージ本体１０３の下部にも同様に格子状に永久磁石１１２が配置されている。永久磁石と対面している駆動コイル１０２に電流を流すことで、可動ステージ本体１０３はローレンツ力により推力を得て駆動される。
可動ステージ本体１０３上には、ウエハを静電気力にて保持する静電チャック１０６と光源の光量をモニタするためのセンサやアライメント用センサなどの各種センサ１０４が配置される。

可動ステージ本体１０３の下面にはステージの自重を支持する軸受け１０７が配置され、可動ステージ本体１０３は平面度が補償されたベース構造体１０１の表面を滑りながら案内される。また、可動ステージ本体１０３の自重をローレンツ力にて支持することも可能である。この場合軸受けの下面にも磁石が配置されることになる。
可動ステージ本体１０３上にはバーミラー１０５が直交方向に２本配置され、干渉計支持台１１３に搭載されたレーザ干渉計１０８により可動ステージ本体１０３の位置が計測され、制御装置からの目標値に一致するように駆動コイルに電流を流し可動ステージ本体１０３の位置決めが行われる。

図７および８に示す従来のステージ構成では、可動ステージ本体１０３上の静電チャック１０６やセンサ１０４等に電力を供給するために、給電手段１１０および受電手段１０９が設けられている。受電された電力は再充電可能なバッテリ１１１に蓄えられる。給電手段としては、メカ的に電気接点を接触させる方法や、特許文献２に示されているように、電磁コア１１４を対向させて磁気回路を形成し、非接触に電磁誘導により電力を供給する方法などがある。
図９に電磁誘導により電力を供給する方法の概略構成を示す。送電側の電磁コアに数ｋＨｚから数十ｋＨｚの交流電源１２７をつなぐと、電磁誘導により受電側の電磁コアに電力が供給される。供給された電力はバッテリ１１１に充電される。

上記の従来構成においては、ウエハ受け渡し動作のためにウエハ受け渡し位置に可動ステージが戻ってきた際に、給電手段と受電手段が対向しバッテリが充電される。可動ステージがウエハ受け渡し位置から離れる、露光動作中等は静電チャックやセンサの電力はバッテリから供給されることになる。露光完了後、再び可動ステージがウエハ受け渡し位置に戻った際に消費された電力がバッテリに再充電される。

特許文献２には、シリコンウエハを静電吸着して搬送する搬送装置において、搬送路の各停止位置に電磁誘導により電力を供給する手段を設けて静電吸着手段の帯電(吸着）および除電(吸着の解除）を行うことが開示されている。静電吸着の消費電力は極めて小さいため、電圧保持のためのコンデンサは搭載しているが、バッテリは搭載していない。
特開平１０−２７０５３５号公報 特開平８−５１１３７号公報

ところで、上記特許文献１に記載された従来例では、図７に示すように可動ステージ本体上の静電チャックやセンサに電力を供給するために給電手段および受電手段が設けられ、受電された電力は再充電可能なバッテリに蓄えられる。従ってウエハ受け渡し位置などの或る決められた場所にステージがある場合にのみ給電が可能となる。
こうした構成では、ウエハ受け渡し位置などの特定の位置でしか電力を供給できないため、適宜ステージ本体を給電可能な位置まで戻してバッテリを充電する必要があり、これにより露光等の処理間隔が開いたり、処理が中断されたりしてスループットが低下する。また、バッテリはある程度放電した後充電するため、バッテリを充電する時間が必要であり、充電が完了するまで次の動作に移れないなどスループット上も不利である。

また、上記特許文献２に記載された従来例も、停止位置などの特定の位置でしか電力を供給できないため、任意の位置もしくはタイミングでは給電できないという問題があり、また、可動ステージ内の消費電力の面から、可動ステージにバッテリを搭載する必要がある場合は、特許文献１に記載された従来例と同様の問題がある。

一方、バッテリを使わないで、電気ケーブルで給電することも考えられるが、ケーブルの外乱などで可動ステージの精度が悪化したり、平面構成のステージ装置ではケーブルを引き回して実装することが難しいという問題がある。またケーブルが擦れた際に出すゴミがウエハに付着したり、ケーブルの外被の変質による絶縁不良や断線のトラブルも懸念される。

本発明は、上述した従来技術の有する未解決の課題に鑑みてなされたもので、電気ケーブルを使わずに任意の位置もしくはタイミングで非接触で電力を給電可能な位置決めステージ装置、特に平面構成のステージ装置として好適な位置決めステージ装置を提供することを目的とする。

上記の目的を達成するために、本発明に係る第１の位置決めステージ装置は、ベース構造体と、該ベース構造体の表面に沿って該ベース構造体に非接触で移動可能なステージとを備えた位置決めステージ装置において、前記ベース構造体の前記表面下に埋め込まれた複数の送電コイルと、該表面に対向して前記ステージに取り付けられた受電コイルと、該ステージの位置に応じて使用する送電コイルを順次切り替える切り替え手段と、該送電コイルに該切り替え手段を介して交流電力を供給する給電手段とを有し、前記複数の送電コイルが、前記ステージを移動させる駆動コイルとしても使用されることを特徴とする。

本発明の好ましい実施例において、前記送電コイルは、前記可動ステージを移動させる駆動コイルとしても使用される。また、前記受電コイルは、前記可動ステージの駆動方向に複数個が配列される。この場合、前記受電コイルは、前記送電コイルと位相をずらして配置することが好ましい。位相をずらして配置するとは、受電コイルの間隔を送電コイルのピッチともその整数倍とも異なる寸法にするということである。

具体例としては、前記可動ステージの駆動方向に配列された受電コイルの個数がｎ個であるとき、前記受電コイルと送電コイルとの位相を１８０度／ｎずらす。つまり、受電コイルの間隔を、送電コイルのピッチの（Ｋ±１／２ｎ）(但し、Ｋは１以上の整数で、相互に隣合う１対の受電コイル間ごとに異なる値でもよい）倍に設定する。この場合、１つの受電コイルが１つの送電コイルと正対したとき、他の受電コイルは、いずれの送電コイルとも正対しない。複数の受電コイルの出力を整流する場合、これらの受電コイルを直列接続した出力を整流回路２３に入力してもよく、また、各受電コイルの出力を個別に入力してそれぞれ整流した後、合成してもよい。

また、前記交流電力の周波数を、前記送電コイルと受電コイル間の相互インダクタンスと負荷とで決まる共振周波数に設定すれば、より高効率の送電を行うことができる。
また、前記交流電力に制御信号を重畳させて送受信することにより、可動ステージ上の電気回路と前記ベース構造体側に設けられた制御装置との間で通信することができる。
また、可動ステージ上に直流回路用の平滑コンデンサとともに、または、平滑コンデンサに代えて、再充電可能な２次電池を搭載してもよい。
前記可動ステージの駆動方向は、ベース構造体の表面に沿った１次元方向であっても２次元方向であっても本発明は適用可能である。
上記の目的を達成するために、本発明に係る第２の位置決めステージ装置は、ベース構造体と、該ベース構造体の表面に沿って該ベース構造体に非接触で移動可能な可動ステージとを備えた位置決めステージ装置において、前記ベース構造体の前記表面下に埋め込まれた複数個のコイルと、該表面に対向して前記可動ステージに取り付けられた受電コイルと、前記複数個のコイルのそれぞれに設けられ、前記複数個のコイルを送電用と前記可動ステージの駆動用に切り替え可能なスイッチとを備え、前記可動ステージの位置に応じて前記スイッチを切り替えることを特徴とする。

本発明によれば、可動ステージに取り付けられた受電コイルと電磁結合させるための送電コイルをベース構造体に複数個埋め込み、これらの送電コイルを可動ステージの位置に応じて切り替えるようにしたため、ベース構造体側から可動ステージ上の電気回路に任意の位置またはタイミングで給電することが可能となる。したがって、可動ステージ本体上にバッテリを搭載した場合でも、バッテリはフローティング充電されるため、充電のためにステージを特定の位置に戻したり、露光等の処理を中断したり、充電に時間がかかったりすることもなく、この位置決めステージ装置を用いた装置の高スループット化が達成できる。

また、可動ステージ本体上に大型のバッテリを搭載する必要が無く可動ステージを軽量化できるため、可動ステージの高速化による高スループット化が達成できる。
また、本発明は、バッテリを搭載しない態様も可能であり、その場合、バッテリを定期的に交換するなどのメンテナンスが不要となり装置の稼働率の低下を防止することができる。
また完全に非接触にて給電できるため電気ケーブルにて給電する必要がなく、ケーブル実装外乱などによる位置決め精度の劣化の心配がない。またケーブルがないため、ケーブルが擦れた際に出すゴミがウエハに付着したり、ケーブルの外被の変質による絶縁不良や断線のトラブルなども皆無となる。
本発明の位置決めステージ装置は、特に平面構成のステージ装置として好適なものである。

以下、本発明の実施態様を実施例に基づいて説明する。
［第１の実施例］
図１は、本発明の一実施例に係る位置決めステージ装置の平面図であり、図２はその側面図である。この位置決めステージ装置は、交流磁界を与えて非接触で電力を得るための受電コイルを備えた位置決めステージにおいて、電力を供給する送電コイルをベース構造体に複数個埋め込んで配置し、ステージの位置に応じて送電コイルを順次切り替える手段を設けたものである。

すなわち、図１の位置決めステージ装置は、ベース構造体１に格子状にコイル２が配置されており、可動ステージ本体３の下部にも同様に格子状に永久磁石１２が配置されている。駆動コイルに電流を流すことで、ローレンツ力により推力を得て駆動される。
可動ステージ本体３上には、ウエハを静電気力にて保持する静電チャック６と光源の光量をモニタするためのセンサやアライメント用センサなどの各種センサ４が配置される。

可動ステージ本体３の下面には、可動ステージ本体３、静電チャック６および各種センサ４等で構成される可動ステージの自重を支持する軸受け７が配置される。これにより、可動ステージは平面度が補償されたベース構造体３の表面を滑りながら、ベース構造体３の表面に沿った２次元方向に案内される。また、可動ステージの自重をローレンツ力にて支持することも可能である。この場合、軸受け７の下面にも磁石が配置されることになる。

可動ステージ本体３上にはバーミラー５が直交方向に２本配置され、干渉計支持台１３に搭載されたレーザ干渉計８により位置が計測され、不図示のステージ制御部は、制御装置からの目標値に一致するように駆動コイル２に電流を流し可動ステージの位置決めを行う。

図１のステージ構成では、可動ステージ本体３上の静電チャック６や各種センサ４に任意の位置で非接触で常時電力を給電可能とするために、ベース構造体に複数個の送電コイル１７（１７−１、１７−２、‥‥‥、１７−１８）を埋め込んで配置する。本実施例ではＸ方向駆動コイル２を給電用に兼用している。受電コイル１５は受電コイル支持部材１６により支持され、可動ステージ本体３の側面に配置される。

各送電コイル１７には、受電コイル１５の位置、すなわち可動ステージ本体３の位置に応じて送電コイル１７を順次切り替えるための切り替え手段１９が接続される。切り替手段には各送電コイル１７毎にスイッチ（ＳＷ１〜ＳＷ１８）が配置されており、給電信号２０と、ステージ駆動信号２１がそれぞれ接続される。スイッチＳＷ１〜ＳＷ１８は可動ステージ本体３の位置に応じて切り替え信号２２により制御される。

可動ステージ本体３と、ベース構造体１が図２のような位置関係にある場合、送電コイル１７−１と受電コイル１５は対向した位置関係にあるため、ＳＷ１を給電信号側に切り替えてコイル１７−１を送電コイル１７として使用する。コイル１７−２とコイル１７−３は受電コイル１５とも永久磁石１２とも対向していないので、給電用としても駆動用としても使用できないため、ＳＷ２とＳＷ３はどちらにもつながず開放状態にする。

また、コイル１７−４からコイル１７−１０はステージ本体下面の永久磁石と対向しているため、ＳＷを駆動信号側に切り替えて駆動コイル２として使用する。可動ステージ本体３の位置はレーザ干渉計８により計測しており、可動ステージ本体の位置に応じて切り替え信号を制御することにより、送電コイル１７を給電用と駆動用とに適切に切り替えることが可能である。このようにベース構造体１に配置された送電コイル１７は、可動ステージ本体３を駆動するコイル２としても使用される。

図３に示すように、送電コイル１７と受電コイル１５間では、電磁誘導による電力伝達が行われる。給電信号としては数ｋＨｚから数十ｋＨｚの交流電源２７が使われる。受電コイル１５に誘導された電力は整流回路２３などの負荷に接続され、静電チャック６やセンサ４の電源として使用される。交流電源２７の周波数として、送電コイル１７および受電コイル１５の２つのコイルの相互インダクタンスと負荷（整流回路）とで決まる共振周波数を設定すれば、もっとも効率良く電力を送ることが出来る。

［第２の実施例］
図４は電磁誘導を利用した制御信号の送受信について示す。図１および２の可動ステージ本体３上には、静電チャック６やセンサ４が載せられており、静止側(ベース構造体側）に設けられている不図示の制御装置は、これらの回路とも信号を送受信する必要がある。静電チャック６はウエハの交換時には印加電圧を切って吸着を解除する必要があり、チャックｏｎ／ｏｆｆ回路２５を設ける。またセンサ４から取り込まれたアナログ信号はＡ／Ｄ（アナログ−デジタル）変換器２４によりデジタル信号に変換される。

送電コイル１７と受電コイル１５の両端に送受信回路２５を設け、電力を供給しているコイル１７、１５に信号を重畳させて通信すれば、電磁誘導によりこのような制御信号をやり取りすることが可能となる。ただし、給電信号としては数ｋＨｚから数十ｋＨｚを使うので、これと周波数的に干渉がない数百ｋＨｚから数ＭＨｚの高周波信号を使う。

［第３の実施例］
図５は、本発明の第３の実施例を示す。第１の実施例では受電コイル１５を１個だけ設けた例を示したが、可動ステージ本体３が移動した場合、受電コイル１５はコイル１７−１と対向した位置関係から次第にずれていくことになる。それに伴い電磁誘導による送電効率も落ちていく。

これを補うために、本実施例では受電コイル１５ａを追加した。この受電コイル１５ａは送電コイル１７とは位相をずらして配置しておく。ステージの進行方向に２個の受電コイル１５と１５ａとを配置した場合、１５ａは送電コイル１７と９０度位相をずらしておけば、２相のコイルの合計電力のムラ（リップル）が小さく出来る。同様に進行方向に３個配置できるなら位相を６０度ずらしておけば、３相のコイルの合計電力のムラが小さく出来る。このように受電コイルと送電コイルの位相は、ステージの進行方向の受電コイルの個数をｎ個とした場合、１８０度／ｎだけずらして配置する。ここで、位相は、図５の受電コイル１５と送電コイル１７−１のように正対する場合が位相０であり、受電コイル１５ａと送電コイル１７−１３のように送電コイル１７の１／２ピッチずれている場合が位相９０度である。つまり、送電コイル１７の１ピッチ分のずれは、位相では１８０度のずれである。また、位相を１８０度／ｎだけずらして配置するとは、１つの受電コイルと隣りの受電コイルとの間隔を送電コイル１７の１ピッチのＫ＋１／２ｎ(但し、Ｋは１以上の整数）倍またはＫ−１／２ｎ倍にするということである。

可動ステージ本体３と、ベース構造体１が図５のような位置関係にある場合、ＳＷ１およびＳＷ４〜１０は第１の実施例と同様の状態に切り替える。
図５においては、さらに、コイル１７−１３も送電コイルとして使うのでＳＷ１３は切り替え信号により給電信号側に切り替える。残りのスイッチＳＷ２、ＳＷ３、ＳＷ１１、ＳＷ１２およびＳＷ１４〜１８は、図１と同様に、中立位置にしておく。

可動ステージ本体３が図５のＸ方向（右側）に移動した場合、コイル１７−１では受電コイル１５と対向した位置から徐々にずれていくため送電効率が下がっていくが、反対にコイル１３側では受電コイル１５ａと対向した位置関係に近づいてくるため送電効率が徐々に上がっていく。このように２つの受電コイルを位相をずらして配置しておき、２つのコイルの総和で送電すれば可動ステージ本体３の位置によらず常に安定して電力を送ることが出来る。

可動ステージ本体３がさらに図５のＸ方向（右側）に移動して、受電コイル１５がコイル１７−１と１７−２との中間位置（図５の受電コイル１５ａとコイル１７−１２および１７−１３と同様の位置関係）になり、さらに、可動ステージ本体３が図５のＸ方向（右側）に移動する場合は、ＳＷ１を中立位置に切り替えて受電コイル１５を給電信号から切り離すとともに、ＳＷ２を給電信号側に切り替えてコイル１７−２を送電コイルとして使用する。ＳＷ１とＳＷ２との切り替えのタイミングは、同じでも異ならせてもよい。例えば、ＳＷ１とＳＷ２の切り替えのタイミングをずらして、ＳＷ１とＳＷ２が同時に給電信号側に接続されているタイミングを作ることにより、２つの送電コイル１７を介して受電コイル１５に給電することができ、特に第１の実施例のように受電コイル１５が１個の場合に、給電電力の減少を抑えることができる。
なお、駆動コイルの切り替えは、図７等の従来例と同様に行えばよい。

［第４の実施例］
図５においては、受電コイル１５ｂと１５ｃと切り替え手段１９ａをＹ方向にも配置した。ここで、可動ステージがＸ方向に移動する時は受電コイル１５ｂと１５ｃに対向するＸ方向に長い送電コイルへ電力を供給し、可動ステージがＹ方向に移動する時は受電コイル１５と１５ａに対向するＸ方向に長い送電コイル(図５の状態ではコイル１とコイル１２または１３）へ電力を供給することで、送電コイルを切り替える必要がなく切り替えシーケンスが簡単に出来る。
勿論、第３の実施例と第４の実施例とを組み合わせてもよい。

［第５の実施例］
また、図５に示すように、バッテリ１１を併用することで常に安定した電力の供給が可能である。本実施例では常時給電が可能であるため、バッテリとして大型のものは必要が無く小型で軽量なバッテリを採用することが可能となる。

また、可動ステージにバッテリを搭載する場合、給電された電力を一旦バッテリに蓄電した後に、バッテリから可動ステージ内の各部分に給電してもよい。可動ステージ内の消費電力変動や、受電コイル１５と送電コイル１７との位置関係による送電効率の低下により、可動ステージ内の消費電力が給電電力を上回ることがあっても、これにより、可動ステージ内の各部分に電力を安定に供給することができる。可動ステージは任意の位置またはタイミングで給電されるため、露光などの処理中においても給電電力が消費電力を上回った位置またはタイミングでバッテリは充電され、充電のために可動ステージを特定の位置に移動させたり、露光などの処理の開始を遅延させたり、処理を中断したりする必要は極めて少ない。また、バッテリは常時、フローティング充電可能な状態にあるため、充電のための特別の時間は要さない。
バッテリ１１を併用することは、図１のように受電コイルが１個しかない場合、特に効果的である。

以上説明したように上述の実施例によれば、可動ステージ本体上に大型のバッテリを搭載する必要が無くステージを軽量化できるため、可動ステージの高速化による高スループット化が達成できる。また完全に非接触にて給電できるため電気ケーブルにて給電する必要がなく、ケーブル実装外乱などによる位置決め精度の劣化の心配がない。またケーブルがないため、ケーブルが擦れた際に出すゴミのウエハへの付着、ケーブルの外被の変質による絶縁不良や断線のトラブルなども皆無となる。上述の実施例は、特に平面構成のステージ装置に適用して好適である。

［第６の実施例］
図１０は、上記の位置決めステージ装置をウエハステージとする半導体デバイス製造用の露光装置を示す。
この露光装置は、半導体集積回路等の半導体デバイスや、マイクロマシン、薄膜磁気ヘッド等の微細なパターンが形成されたデバイスの製造に利用され、原版であるレチクルＲを介して基板としての半導体ウエハＷ上に光源６１からの露光エネルギーとしての露光光（この用語は、可視光、紫外光、ＥＵＶ光、Ｘ線、電子線、荷電粒子線等の総称である）を投影系としての投影レンズ（この用語は、屈折レンズ、反射レンズ、反射屈折レンズシステム、荷電粒子レンズ等の総称である）６２を介して照射することによって、基板上に所望のパターンを形成している。
この露光装置において、定盤５１は多相電磁コイル（図２のコイル１７）を有し、可動ステージ５７は永久磁石（図２の永久磁石１２）群を有している。
可動ステージ５７（図２の可動ステージ３）は静圧軸受５８（図２の静圧軸受７）によって支持されている。可動ステージ５７の動きは、可動ステージ５７に固設したミラー５９（図２のバーミラー５）および干渉計６０（図２のレーザ干渉計５）を用いて計測する。
可動ステージ５７に搭載したチャック（図２の静電チャック６）上に基板であるウエハＷを保持し、光源６１、投影光学系６２によって、原版であるレチクルＲのパターンをウエハＷ上の各領域にステップアンドリピートもしくはステップアンドスキャンで縮小転写する。
なお、本発明の位置決めステージ装置は、マスクを使用せずに半導体ウエハ上に回路パターンを直接描画してレジストを露光するタイプの露光装置にも、同様に適用できる。

次に、この露光装置を利用した半導体デバイスの製造プロセスを説明する。図１１は半導体デバイスの全体的な製造プロセスのフローを示す図である。ステップ１（回路設計）では半導体デバイスの回路設計を行う。ステップ２（マスク作製）では設計した回路パターンに基づいてマスクを作製する。
一方、ステップ３（ウエハ製造）ではシリコン等の材料を用いてウエハを製造する。ステップ４（ウエハプロセス）は前工程と呼ばれ、上記のマスクとウエハを用いて、上記の露光装置によりリソグラフィ技術を利用してウエハ上に実際の回路を形成する。次のステップ５（組み立て）は後工程と呼ばれ、ステップ５によって作製されたウエハを用いて半導体チップ化する工程であり、アッセンブリ工程（ダイシング、ボンディング）、パッケージング工程（チップ封入）等の組み立て工程を含む。ステップ６（検査）ではステップ５で作製された半導体デバイスの動作確認テスト、耐久性テスト等の検査を行う。こうした工程を経て半導体デバイスが完成し、ステップ７でこれを出荷する。
上記ステップ４のウエハプロセスは以下のステップを有する。ウエハの表面を酸化させる酸化ステップ、ウエハ表面に絶縁膜を成膜するＣＶＤステップ、ウエハ上に電極を蒸着によって形成する電極形成ステップ、ウエハにイオンを打ち込むイオン打ち込みステップ、ウエハに感光剤を塗布するレジスト処理ステップ、上記の露光装置によって回路パターンをレジスト処理ステップ後のウエハに転写する露光ステップ、露光ステップで露光したウエハを現像する現像ステップ、現像ステップで現像したレジスト像以外の部分を削り取るエッチングステップ、エッチングが済んで不要となったレジストを取り除くレジスト剥離ステップ。これらのステップを繰り返し行うことによって、ウエハ上に多重に回路パターンを形成する。

本発明の第１の実施例に係る位置決めステージ装置の構成を示す平面図である。 図１の構成の側面図である。 図１の構成における電磁誘導による給電の説明図である。 本発明の第２の実施例に係る電磁誘導による信号送受信の説明図である。 本発明の第３の実施例に係る位置決めステージ装置の構成を示す平面図である。 図５の構成の側面図である。 従来例に係る位置決めステージ装置の構成を示す平面図である。 図７の構成の側面図である。 図７の従来例における電磁誘導による給電の説明図である。 本発明の位置決めステージ装置を用いた露光装置の構成例を示す正面図である。 図１０の露光装置を用いたデバイスの製造プロセスのフローを説明する図である。

符号の説明

１：ステージ定盤(ベース構造体）、２：コイル、３：可動ステージ本体、４：センサ、５：バーミラー、６：静電チャック、７：軸受け、８：レーザ干渉計、１１：バッテリ、１２：永久磁石、１３：干渉計支持台、１５：受電コイル、１６：受電コイル支持部材、１７送電コイル、１９：切り替え手段、２０：給電信号、２１：駆動信号、２２：切り替え信号、２３：整流回路、２４：Ａ／Ｄコンバータ、２５：チャックｏｎ／ｏｆｆ回路、２６：送受信回路、２７：交流電源、１０９：受電手段、１１０：送電手段、１１４：電磁コア、１１８：駆動コイル。

Claims (11)

1. ベース構造体と、該ベース構造体の表面に沿って該ベース構造体に非接触で移動可能なステージとを備えた位置決めステージ装置において、
   前記ベース構造体の前記表面下に埋め込まれた複数の送電コイルと、該表面に対向して前記ステージに取り付けられた受電コイルと、該ステージの位置に応じて使用する送電コイルを順次切り替える切り替え手段と、該送電コイルに該切り替え手段を介して交流電力を供給する給電手段とを有し、
   前記複数の送電コイルが、前記ステージを移動させる駆動コイルとしても使用されることを特徴とする位置決めステージ装置。
2. 前記受電コイルは、前記ステージの駆動方向に複数個が配列されていることを特徴とする請求項１に記載の位置決めステージ装置。
3. 前記ステージの駆動方向が、ベース構造体の表面に沿った２次元方向であることを特徴とする請求項２に記載の位置決めステージ装置。
4. 前記受電コイルは、前記送電コイルと位相をずらして配置されていることを特徴とする請求項２または３に記載の位置決めステージ装置。
5. 前記ステージの駆動方向に配列された受電コイルの個数がｎ個であるとき、前記受電コイルと送電コイルとの位相を１８０度／ｎずらしてあることを特徴とする請求項４に記載の位置決めステージ装置。
6. 前記交流電力の周波数を、前記送電コイルと受電コイル間の相互インダクタンスと負荷とで決まる共振周波数に設定したことを特徴とする請求項１〜５のいずれか１つに記載の位置決めステージ装置。
7. 前記交流電力に制御信号を重畳させて送受信し、前記ステージ上の電気回路と前記ベース構造体側に設けられている制御装置との間で通信することを特徴とする請求項１〜６のいずれか１つに記載の位置決めステージ装置。
8. ベース構造体と、該ベース構造体の表面に沿って該ベース構造体に非接触で移動可能なステージとを備えた位置決めステージ装置において、
   前記ベース構造体の前記表面下に埋め込まれた複数個のコイルと、該表面に対向して前記ステージに取り付けられた受電コイルと、前記複数個のコイルのそれぞれに設けられ、前記複数個のコイルを送電用と前記ステージの駆動用に切り替え可能なスイッチとを備え、前記ステージの位置に応じて前記スイッチを切り替えることを特徴とする位置決めステージ装置。
9. ベース構造体と、該ベース構造体の表面に沿って該ベース構造体に非接触で移動可能なステージとを備えた位置決めステージ装置において、
   前記ベース構造体の前記表面下に埋め込まれた複数個のコイルと、該表面に対向して前記ステージに取り付けられた受電コイルと、前記複数個のコイルのそれぞれに設けられ、前記複数個のコイルを送電用と前記ステージの駆動用と前記送電用及び前記駆動用のいずれにも接続されない状態とに切り替え可能なスイッチとを備え、前記ステージの位置に応じて前記スイッチを切り替えることを特徴とする位置決めステージ装置。
10. 請求項１〜９のいずれか１つに記載の位置決めステージ装置を備え、該ステージ装置によって基板を位置決めすることを特徴とする露光装置。
11. 請求項１０に記載の露光装置によって基板を露光する工程を有するデバイス製造方法。

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