JP2012531031A - 露光装置及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (22)
- 第1支持部材に支持された光学系を介してエネルギビームにより物体を露光する露光装置であって、
前記物体を保持し、所定の二次元平面に沿って移動可能な移動体と、
前記移動体が前記二次元平面に沿って移動する際のガイド面を形成するガイド面形成部材と、
前記移動体を駆動する第1駆動系と、
前記ガイド面形成部材を介して前記光学系と反対側に前記ガイド面形成部材から離間して配置され、前記第1支持部材に固定された第2支持部材と、
前記移動体と前記第2支持部材との一方に設けられた前記二次元平面に平行な計測面に計測ビームを照射し、前記計測面からの光を受光する前記移動体と前記第2支持部材との他方に少なくとも一部が設けられた第1計測部材を含み、該第1計測部材の出力に基づいて前記移動体の少なくとも前記二次元平面内の位置情報を求める計測系と、
を備える露光装置。 - 前記第2支持部材は、前記二次元平面に平行に配置された梁状部材である請求項1に記載の露光装置。
- 前記梁状部材は、その長手方向の両端部が前記第1支持部材に吊り下げ状態で固定される請求項2に記載の露光装置。
- 前記計測面には、前記二次元平面に平行な方向を周期方向とするグレーティングが配置され、
前記第1計測部材は、前記グレーティングに前記計測ビームを照射し、前記グレーティングからの回折光を受光するエンコーダヘッドを含む請求項1〜3のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記ガイド面形成部材は、前記第2支持部材の前記光学系側に前記移動体に対向して配置され、前記移動体に対向する側の一面に前記二次元平面に平行な前記ガイド面が形成された定盤である請求項1〜4のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記定盤は、前記計測ビームが通過可能な光透過部を有する請求項5に記載の露光装置。
- 前記第1駆動系は、前記移動体に設けられた可動子と、前記定盤に設けられた固定子とを有し、該固定子と、前記可動子との間で発生する駆動力により、前記移動体を駆動する平面モータを含む請求項5又は6に記載の露光装置。
- 前記定盤を、前記二次元平面に平行な面内で移動可能に支持する、ベース部材をさらに備える請求項7に記載の露光装置。
- 前記ベース部材に設けられた固定子と、前記定盤に設けられた可動子とを含み、該可動子と前記固定子との間で発生する駆動力により前記定盤をベース部材に対して駆動する定盤駆動系をさらに備える請求項8に記載の露光装置。
- 前記計測面は、前記移動体に設けられ、
前記第1計測部材の前記少なくとも一部は、前記第2支持部材に配置されている請求項1〜9のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記移動体は、前記光学系に対向する前記二次元平面に平行な第1面に前記物体が載置され、前記第1面とは反対側の前記二次元平面に平行な第2面に前記計測面が配置される請求項10に記載の露光装置。
- 前記移動体は、前記第1駆動系により駆動される第1移動部材と、前記物体を保持し、前記第1移動部材に相対移動可能に支持される第2移動部材と、を含み、
前記計測面は、前記第2移動部材に配置される請求項10又は11に記載の露光装置。 - 前記第2移動部材を前記第1移動部材に対して、前記二次元平面内の互いに直交する第1軸方向及び第2軸方向を含む6自由度方向に駆動する第2駆動系をさらに備える請求項12に記載の露光装置。
- 前記計測系は、前記計測面上で実質的な計測軸が通る計測中心が、前記物体に照射されるエネルギビームの照射領域の中心である露光位置に一致する1又は2以上の前記第1計測部材を有する請求項10〜13のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記物体上に配置されたマークを検出するマーク検出系をさらに備え、
前記計測系は、前記計測面上で実質的な計測軸が通る計測中心が、前記マーク検出系の検出中心に一致する1又は2以上の第2計測部材をさらに有する請求項10〜14のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記移動体は、前記第1駆動系により6自由度方向に駆動される請求項1〜15のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記計測系は、前記移動体の前記二次元平面に直交する方向の位置情報をさらに求めることが可能である請求項1〜16のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記計測系は、前記移動体の前記二次元平面に直交する方向の位置情報を、少なくとも同一直線上に無い3箇所で求める請求項17に記載の露光装置。
- 第1支持部材に支持された光学系を介してエネルギビームにより物体を露光する露光装置であって、
前記物体を保持し、所定の二次元平面に沿って移動可能な移動体と、
前記第1支持部材に固定された第2支持部材と、
前記移動体を駆動する第1駆動系と、
前記光学系と前記第2支持部材との間に該第2支持部材から離間して配置され、前記移動体が前記二次元平面に沿って移動する際に前記移動体を該移動体の前記第2支持部材の長手方向に直交する方向に関して少なくとも2点で支持する移動体支持部材と、
前記移動体と前記第2支持部材との一方に設けられた前記二次元平面に平行な計測面に計測ビームを照射し、前記計測面からの光を受光する前記移動体と前記第2支持部材との他方に少なくとも一部が設けられた第1計測部材を含み、該第1計測部材の出力に基づいて前記移動体の少なくとも前記二次元平面内の位置情報を求める計測系と、
を備える露光装置。 - 前記移動体支持部材は、前記第2支持部材の前記光学系側に前記移動体に対向して配置され、前記移動体に対向する側の一面に前記二次元平面に平行なガイド面が形成された定盤である請求項19に記載の露光装置。
- 前記計測系で求められた計測情報を用い、前記第1駆動系を介して前記移動体の位置を制御する制御系をさらに備える請求項1又は請求項19に記載の露光装置。
- 請求項1〜21のいずれか一項に記載の露光装置を用いて物体を露光することと、
前記露光された物体を現像することと、を含むデバイス製造方法。
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