JP4300228B2 - 不揮発性半導体記憶装置 - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 88
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 36
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 13
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 13
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 11
- 238000009413 insulation Methods 0.000 claims description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 54
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 46
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 15
- 238000000034 method Methods 0.000 description 10
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 8
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 5
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 3
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 3
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 3
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 2
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 2
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012356 Product development Methods 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 230000005641 tunneling Effects 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- H10B41/00—Electrically erasable-and-programmable ROM [EEPROM] devices comprising floating gates
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- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
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- H01L27/12—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/77—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate
- H01L21/78—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices
- H01L21/82—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices to produce devices, e.g. integrated circuits, each consisting of a plurality of components
- H01L21/84—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices to produce devices, e.g. integrated circuits, each consisting of a plurality of components the substrate being other than a semiconductor body, e.g. being an insulating body
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B41/00—Electrically erasable-and-programmable ROM [EEPROM] devices comprising floating gates
- H10B41/30—Electrically erasable-and-programmable ROM [EEPROM] devices comprising floating gates characterised by the memory core region
- H10B41/35—Electrically erasable-and-programmable ROM [EEPROM] devices comprising floating gates characterised by the memory core region with a cell select transistor, e.g. NAND
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B63/00—Resistance change memory devices, e.g. resistive RAM [ReRAM] devices
- H10B63/30—Resistance change memory devices, e.g. resistive RAM [ReRAM] devices comprising selection components having three or more electrodes, e.g. transistors
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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Description
本発明の第1実施形態による不揮発性半導体記憶装置は、完全空乏型NANDフラッシュメモリであってその回路を図2に示し、メモリセルアレイのビット線方向の断面を図1に示す。
以上の動作時において、本実施形態で特徴的なのは、金属電極からなるドレイン領域8を用いることで、消去動作時にチャネル領域にホールを発生させられることである。このようにすることで、蓄積電荷を使う必要が無いため、完全空乏型のチャネル構造を用いることができ、短チャネル効果に強いメモリが提供できる。
第1実施形態では、メモリセルと選択ゲートトランジスタの両方がSOI基板上に形成されていた。極微細なメモリセル構造の場合、個々のメモリセルのゲート長は典型的には30nm以下となるため、短チャネル効果を効果的に抑制するには、SOI層1cの膜厚はその1/2〜1/4程度以下が良く、この場合、選択ゲートトランジスタSS、SDのオン抵抗がデバイス動作に支障をきたす場合がある。このような場合、オン抵抗を下げるには選択ゲートトランジスタSS、SDのゲート長を短くする必要がある。しかし、選択ゲートトランジスタSS、SDは、書き込み・消去時にメモリセルに印加される高バイアス条件下でも、オン又はオフの状態を保つ必要があるため、現実的にはあまりゲート長を短くすることはできない。
次に、本発明の第3実施形態による不揮発性半導体記憶装置を説明する。本実施形態の不揮発性半導体記憶装置は、完全空乏型NANDフラッシュメモリであって、その断面を図4に示す。本実施形態の完全空乏型NANDフラッシュメモリは、第2実施形態と同様に、選択ゲートトランジスタのソース/ドレイン寄生抵抗を効率的に低減するものである。
次に、本発明の第4実施形態による不揮発性半導体記憶装置は、完全空乏型NANDフラッシュメモリであってその断面を図5に示す。本実施形態の完全空乏型NANDフラッシュメモリは、第2実施形態の完全空乏型NANDフラッシュメモリにおいて、ソース領域7およびドレイン領域8をのみを持ち上げた構造となっている。すなわち、ソース領域7およびドレイン領域8は、上面がSOI層1cとゲート絶縁膜2との界面よりもゲート絶縁膜2の側に位置している。なお、上記上面の高さはSOI層1cの厚さの倍程度が望ましい。この構造は、第2実施形態の構造を作製した後、ソース領域7およびドレイン領域8上にのみSiやGe等を選択エピタキシャル成長させればよい。
次に、本発明の第5実施形態による不揮発性半導体記憶装置を説明する。本実施形態の不揮発性半導体記憶装置は、完全空乏型NANDフラッシュメモリであってその断面を図6に示す。本実施形態の完全空乏型NANDフラッシュメモリは、図1に示す第1実施形態の完全空乏型NANDフラッシュメモリにおいて、各NAND列のメモリセルMi(i=1,2,・・・,5)の絶縁膜3を削除して、浮遊ゲート4iをチャネル領域1cおよびゲート絶縁膜2を挟むように制御ゲート6iに対向して埋め込み絶縁膜1b内に設けるとともに、SOI層1cと反対側の埋め込み絶縁膜1bの面に制御ゲート9を設けた構成となっている。制御ゲート9はメモリセルM1、M2、M3、M4、M5に共通の制御ゲートとなっている。なお、浮遊ゲート4i(i=1,2,・・・,5)と、SOI層1cとの間には絶縁膜が形成されている。
次に、本発明の第6実施形態による不揮発性半導体記憶装置を説明する。本実施形態の不揮発性半導体記憶装置は完全空乏型NANDフラッシュメモリであって、その断面を図11に示す。本実施形態の完全空乏型NANDフラッシュメモリは、図6に示す第5実施形態の完全空乏型NANDフラッシュメモリにおいて、ソース領域7およびドレイン領域8をのみを持ち上げた構造となっている。すなわち、ソース領域7およびドレイン領域8は、上面がSOI層1cとゲート絶縁膜2との界面よりもゲート絶縁膜2の側に位置している。なお、上記上面の高さはSOI層1cの厚さの倍程度が望ましい。この構造は、第5実施形態の構造を作製した後、ソース領域7およびドレイン領域8上にのみSiやGe等を選択エピタキシャル成長させればよい。このよう構造にしたことにより、第5実施形態に比べて選択ゲートトランジスタのソース/ドレインの寄生抵抗を効率的に低減することができる。
次に、本発明の第7実施形態による不揮発性半導体記憶装置を説明する。本実施形態の不揮発性半導体記憶装置は、完全空乏型NANDフラッシュメモリであってその断面を図12に示す。本実施形態の完全空乏型NANDフラッシュメモリは、図11に示す第6実施形態の完全空乏型NANDフラッシュメモリにおいて、埋め込み絶縁膜1bおよび浮遊ゲート441、42、43、44、45の代わりに、電荷蓄積絶縁膜1dを用いたものである。電荷蓄積絶縁膜1dは、具体的には、SiO2/Si3N4/SiO2や、SiO2/Al2O3/SiO2といった,絶縁膜によって電荷をトラップする膜を挟み込んだ積層膜や、Siナノドットを分散させた酸化膜などを用いることができる。
1a 支持基板
1b 埋め込み絶縁膜
1c SOI層(チャネル領域)
2 ゲート絶縁膜
3 絶縁膜
41〜45 浮遊ゲート
51〜55 制御ゲート
6S 選択ゲートトランジスタのゲート
6D 選択ゲートトランジスタのゲート
7 ソース領域
8 ドレイン領域
9 制御ゲート
10 NAND列
11 層間絶縁膜
BL ビット線
M1〜M5 メモリセル
SS 選択ゲートトランジスタ
SD 選択ゲートトランジスタ
SGS ソース線選択信号
SGD ビット線選択信号
SL ソース線
WL1〜WL5 ワード線
Claims (8)
- 半導体基板上に形成された第1絶縁膜と、
前記第1絶縁膜を挟むように前記半導体基板上に形成された共通のチャネル領域となる第1導電型の半導体層と、
前記半導体層上に形成されたゲート絶縁膜と、前記ゲート絶縁膜上に形成された浮遊ゲートと、前記浮遊ゲート上に形成された第2絶縁膜と、前記第2絶縁膜上に形成された制御ゲートとを有するメモリセルトランジスタが複数個直列に接続されたNAND列と、
前記NAND列の一端側の前記半導体層に形成された第2導電型の不純物拡散層からなる1個のソース領域と、
前記NAND列の他端側の前記半導体層に形成された金属電極からなる1個のドレイン領域と、
を備えたことを特徴とする不揮発性半導体記憶装置。 - 前記NAND列の一端と前記ソース領域との間の前記半導体層に形成された第1選択ゲートトランジスタと、
前記NAND列の他端と前記ドレイン領域との間の前記半導体層に形成された第2選択ゲートトランジスタと、
を更に備えていることを特徴とする請求項1記載の不揮発性半導体記憶装置。 - 上面に共通のチャネル領域となる第1導電型の半導体層を有する半導体基板と、
前記半導体層の下面の一部の領域に上面が接するように前記半導体基板内に埋め込まれた第1絶縁膜と、
前記第1絶縁膜とオーバーラップする前記半導体層の第1領域上に形成されたゲート絶縁膜と、前記ゲート絶縁膜上に形成された浮遊ゲートと、前記浮遊ゲート上に形成された第2絶縁膜と、前記第2絶縁膜上に形成された制御ゲートとを有するメモリセルトランジスタが複数個直列に接続されたNAND列と、
前記NAND列の一端側の、前記第1絶縁膜とオーバーラップしない前記半導体層の第2領域に形成された第2導電型の不純物拡散層からなる1個のソース領域と、
前記NAND列の他端側の前記第1絶縁膜とオーバーラップしない前記半導体層の第3領域に形成された金属電極からなる1個のドレイン領域と、
前記NAND列の一端と前記ソース領域との間の前記半導体層の第2領域に形成された第1選択ゲートトランジスタと、
前記NAND列の他端と前記ドレイン領域との間の前記半導体層の第3領域に形成された第2選択ゲートトランジスタと、
を備えていることを特徴とする不揮発性半導体記憶装置。 - 前記ソース領域およびドレイン領域は、上面が前記半導体層と前記ゲート絶縁膜との界面よりも前記ゲート絶縁膜側に位置していることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の不揮発性半導体記憶装置。
- 上面に共通のチャネル領域となる第1導電型の半導体層を有する半導体基板と、
前記半導体層の下面の一部の領域に上面が接するように前記半導体基板内に埋め込まれた第1絶縁膜と、
前記第1絶縁膜とオーバーラップする前記半導体層の第1領域上に形成されたゲート絶縁膜と、前記ゲート絶縁膜上に形成された制御ゲートと、前記制御ゲートに対向するように前記第1絶縁膜内に形成された浮遊ゲートを有するメモリセルトランジスタが複数個直列に接続されたNAND列と、
前記NAND列の一端側の、前記第1絶縁膜とオーバーラップしない前記半導体層の第2領域に形成された第2導電型の不純物拡散層からなる1個のソース領域と、
前記NAND列の他端側の前記第1絶縁膜とオーバーラップしない前記半導体層の第3領域に形成された1個のドレイン領域と、
前記NAND列の一端と前記ソース領域との間の前記半導体層の第2領域に形成された第1選択ゲートトランジスタと、
前記NAND列の他端と前記ドレイン領域との間の前記半導体層の第3領域に形成された第2選択ゲートトランジスタと、
を備えていることを特徴とする不揮発性半導体記憶装置。 - 前記ソース領域およびドレイン領域は、上面が前記半導体層と前記ゲート絶縁膜との界面よりも前記ゲート絶縁膜側に位置していることを特徴とする請求項5記載の不揮発性半導体記憶装置。
- 前記ドレイン領域は金属電極であることを特徴とする請求項5または6に記載の不揮発性半導体記憶装置。
- 前記ドレイン領域は第2導電型の不純物拡散層であることを特徴とする請求項5または6に記載の不揮発性半導体記憶装置。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006231073A JP4300228B2 (ja) | 2006-08-28 | 2006-08-28 | 不揮発性半導体記憶装置 |
US11/835,694 US7777270B2 (en) | 2006-08-28 | 2007-08-08 | Nonvolatile semiconductor memory device and method for manufacturing the same |
KR1020070085922A KR100907572B1 (ko) | 2006-08-28 | 2007-08-27 | 불휘발성 반도체 기억 장치 및 그 제조 방법 |
CNA2007101481193A CN101136414A (zh) | 2006-08-28 | 2007-08-28 | 非易失性半导体存储装置及其制造方法 |
US12/831,323 US8710573B2 (en) | 2006-08-28 | 2010-07-07 | Nonvolatile semiconductor memory device and method for manufacturing the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006231073A JP4300228B2 (ja) | 2006-08-28 | 2006-08-28 | 不揮発性半導体記憶装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008053645A JP2008053645A (ja) | 2008-03-06 |
JP4300228B2 true JP4300228B2 (ja) | 2009-07-22 |
Family
ID=39160373
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006231073A Expired - Fee Related JP4300228B2 (ja) | 2006-08-28 | 2006-08-28 | 不揮発性半導体記憶装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US7777270B2 (ja) |
JP (1) | JP4300228B2 (ja) |
KR (1) | KR100907572B1 (ja) |
CN (1) | CN101136414A (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4791949B2 (ja) * | 2006-12-22 | 2011-10-12 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体メモリ |
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WO2010143306A1 (ja) | 2009-06-12 | 2010-12-16 | 株式会社 東芝 | 不揮発性半導体記憶装置 |
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ITMI20070353A1 (it) * | 2007-02-23 | 2008-08-24 | Univ Padova | Transistore ad effetto di campo con giunzione metallo-semiconduttore. |
JP2009016692A (ja) * | 2007-07-06 | 2009-01-22 | Toshiba Corp | 半導体記憶装置の製造方法と半導体記憶装置 |
US8384122B1 (en) * | 2008-04-17 | 2013-02-26 | The Regents Of The University Of California | Tunneling transistor suitable for low voltage operation |
-
2006
- 2006-08-28 JP JP2006231073A patent/JP4300228B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2007
- 2007-08-08 US US11/835,694 patent/US7777270B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2007-08-27 KR KR1020070085922A patent/KR100907572B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2007-08-28 CN CNA2007101481193A patent/CN101136414A/zh active Pending
-
2010
- 2010-07-07 US US12/831,323 patent/US8710573B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101136414A (zh) | 2008-03-05 |
KR20080021516A (ko) | 2008-03-07 |
JP2008053645A (ja) | 2008-03-06 |
KR100907572B1 (ko) | 2009-07-14 |
US20100270607A1 (en) | 2010-10-28 |
US8710573B2 (en) | 2014-04-29 |
US20080111178A1 (en) | 2008-05-15 |
US7777270B2 (en) | 2010-08-17 |
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A977 | Report on retrieval |
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A521 | Request for written amendment filed |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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