JP4265811B2 - 精密プレス成形用プリフォームおよび光学素子の製造方法 - Google Patents
精密プレス成形用プリフォームおよび光学素子の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4265811B2 JP4265811B2 JP2007236545A JP2007236545A JP4265811B2 JP 4265811 B2 JP4265811 B2 JP 4265811B2 JP 2007236545 A JP2007236545 A JP 2007236545A JP 2007236545 A JP2007236545 A JP 2007236545A JP 4265811 B2 JP4265811 B2 JP 4265811B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass
- preform
- molding
- precision press
- mold
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000000465 moulding Methods 0.000 title claims description 154
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 58
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 33
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 31
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 218
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 claims description 83
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 claims description 81
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 79
- 239000006060 molten glass Substances 0.000 claims description 42
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 29
- 239000000075 oxide glass Substances 0.000 claims description 27
- 230000009477 glass transition Effects 0.000 claims description 18
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 claims description 17
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 15
- 230000005499 meniscus Effects 0.000 claims description 10
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 claims description 6
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims description 4
- 230000009467 reduction Effects 0.000 claims description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 26
- 150000001768 cations Chemical class 0.000 description 20
- 239000005304 optical glass Substances 0.000 description 19
- 206010040925 Skin striae Diseases 0.000 description 17
- 239000005303 fluorophosphate glass Substances 0.000 description 17
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 14
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 13
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 13
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 12
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 12
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 11
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 10
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 10
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 9
- 230000008859 change Effects 0.000 description 8
- 238000004031 devitrification Methods 0.000 description 8
- 239000010408 film Substances 0.000 description 8
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 8
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 8
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 6
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 6
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 6
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 5
- 150000001450 anions Chemical class 0.000 description 5
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 5
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 5
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 5
- 238000001579 optical reflectometry Methods 0.000 description 5
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 5
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 5
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 4
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 4
- 229910019142 PO4 Inorganic materials 0.000 description 3
- 125000000129 anionic group Chemical group 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 3
- 150000002222 fluorine compounds Chemical class 0.000 description 3
- 235000021317 phosphate Nutrition 0.000 description 3
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 3
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 3
- 239000013074 reference sample Substances 0.000 description 3
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N alpha-acetylene Natural products C#C HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 2
- 125000002091 cationic group Chemical group 0.000 description 2
- 238000005352 clarification Methods 0.000 description 2
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 2
- 239000006063 cullet Substances 0.000 description 2
- NZZFYRREKKOMAT-UHFFFAOYSA-N diiodomethane Chemical compound ICI NZZFYRREKKOMAT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000002534 ethynyl group Chemical group [H]C#C* 0.000 description 2
- 229940104869 fluorosilicate Drugs 0.000 description 2
- 239000000156 glass melt Substances 0.000 description 2
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 2
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K phosphate Chemical compound [O-]P([O-])([O-])=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 2
- 239000010452 phosphate Substances 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 2
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 2
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 2
- 241000239290 Araneae Species 0.000 description 1
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M Fluoride anion Chemical compound [F-] KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229910052688 Gadolinium Inorganic materials 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021193 La 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- -1 P 5+ and Al 3+ Substances 0.000 description 1
- 229910001260 Pt alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000032900 absorption of visible light Effects 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 229910001413 alkali metal ion Inorganic materials 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 150000002221 fluorine Chemical class 0.000 description 1
- 239000006260 foam Substances 0.000 description 1
- 229910021397 glassy carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 229910052747 lanthanoid Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002602 lanthanoids Chemical class 0.000 description 1
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 1
- 229910052745 lead Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 238000010309 melting process Methods 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
- 150000003013 phosphoric acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 238000007670 refining Methods 0.000 description 1
- 238000003303 reheating Methods 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000010583 slow cooling Methods 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052712 strontium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 238000006557 surface reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005979 thermal decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000930 thermomechanical effect Effects 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004017 vitrification Methods 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
- 238000009736 wetting Methods 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B11/00—Pressing molten glass or performed glass reheated to equivalent low viscosity without blowing
- C03B11/06—Construction of plunger or mould
- C03B11/08—Construction of plunger or mould for making solid articles, e.g. lenses
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B11/00—Pressing molten glass or performed glass reheated to equivalent low viscosity without blowing
- C03B11/005—Pressing under special atmospheres, e.g. inert, reactive, vacuum, clean
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B11/00—Pressing molten glass or performed glass reheated to equivalent low viscosity without blowing
- C03B11/12—Cooling, heating, or insulating the plunger, the mould, or the glass-pressing machine; cooling or heating of the glass in the mould
- C03B11/122—Heating
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B11/00—Pressing molten glass or performed glass reheated to equivalent low viscosity without blowing
- C03B11/12—Cooling, heating, or insulating the plunger, the mould, or the glass-pressing machine; cooling or heating of the glass in the mould
- C03B11/125—Cooling
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B1/00—Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P40/00—Technologies relating to the processing of minerals
- Y02P40/50—Glass production, e.g. reusing waste heat during processing or shaping
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P40/00—Technologies relating to the processing of minerals
- Y02P40/50—Glass production, e.g. reusing waste heat during processing or shaping
- Y02P40/57—Improving the yield, e-g- reduction of reject rates
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Glass Compositions (AREA)
Description
フツリン酸ガラスのプレス成形温度は、他の組成系のガラス、例えばB2O3−La2O3系ガラスと比べて低温である。しかし、フッ素を含有するため、プレス成形型とガラスの反応がおきやすく、その反応によりガラスの表面に白濁やクモリなどの問題が生じやすい。したがって、このようなリスクを低減するため、より一層低温でのプレス成形が求められる。
本発明は、かかる知見に基づいて完成ものである。
(1) プリフォームの中心に対して互いに反対側を向く2つの面における光線反射率が異なる値を有するとともに、フッ素成分を含有する酸化物ガラスからなることを特徴とする精密プレス成形用プリフォーム、
(2) 1つの回転対称軸と、前記対称軸と表面の2つの交点のうち一方の交点を含む第1の曲面と、前記交点のうち他方の交点を含む第2の曲面を有し、第1の曲面における光線反射率と第2の曲面における光線反射率が異なる値を示す上記(1)項に記載の精密プレス成形用プリフォーム、
(3) プリフォームの中心に対して互いに反対側を向く2つの面における表面自由エネルギーが異なる値を有するとともに、フッ素成分を含有する酸化物ガラスからなることを特徴とする精密プレス成形用プリフォーム、
(4) 1つの回転対称軸と、前記対称軸と表面の2つの交点のうち一方の交点を含む第1の曲面と、前記交点のうち他方の交点を含む第2の曲面を有し、第1の曲面における表面自由エネルギーと第2の曲面における表面自由エネルギーが異なる値を示す上記(3)項に記載の精密プレス成形用プリフォーム、
(5) 第1の曲面の曲率半径と第2の曲面の曲率半径が異なる上記(2)または(4)項に記載の精密プレス成形用プリフォーム、
(6) 全表面が熔融ガラスを冷却、固化して形成されたものである上記(1)〜(5)項のいずれか1項に記載の精密プレス成形用プリフォーム、
(7) 精密プレス成形に供するためのガラス製のプリフォームを作製する精密プレス成形用プリフォームの製造方法において、
パイプから流出する熔融ガラス流の下端を含む熔融ガラス塊を分離し、該熔融ガラス塊を成形型の凹部上で該凹部に設けたガス噴出口からガスを噴出させて風圧を加えて浮上させながら上下反転することなくプリフォームに成形すること、
および前記ガラスがフッ素成分を含有する酸化物ガラスであること、
を特徴とする精密プレス成形用プリフォームの製造方法、および
(8) ガラス製プリフォームを精密プレス成形して光学素子を作製する光学素子の製造方法において、
上記(1)〜(6)項のいずれか1項に記載の精密プレス成形用プリフォーム、または、上記(7)に記載の方法により作製した精密プレス成形用プリフォームを使用することを特徴とする光学素子の製造方法、
を提供するものである。
[熔融ガラスの揮発性低減操作]
フッ素成分含有の酸化物ガラスを熔融する際、熔融反応によって極めて揮発性の高いフッ素化合物と揮発性がさほど高くないフッ素化合物が生成されると考えられる。熔融雰囲気に乾燥状態の窒素ガスのような不活性ガスを流すことにより揮発性の高い生成物の揮発が促され、熔融ガラス中における前記生成物の濃度が低下する。このような操作により、熔融ガラスの揮発性を低下させることができる。揮発性を十分に低下させたガラス中のフッ素成分は、揮発性が高くない生成物に由来するものである。
揮発性が十分低下しているかどうかは、次の方法で確認することができる。
[精密プレス成形用プリフォームの作製]
次に、このようにして揮発性低減操作を行った熔融ガラスを流出し、フッ素濃度を低下させたい面に接する雰囲気を常に新しい雰囲気に置換する。揮発性を低下させたガラスであっても高温のガラス表面から僅かに揮発性生成物が揮発する。前記雰囲気置換を行うことにより雰囲気中の揮発性生成物の濃度は常に低く保たれるため、単位面積あたりの揮発スピードはガラスの温度によってほぼ決まる。一方、雰囲気置換を行わない面では、雰囲気中の揮発性生成物の濃度が上昇し、単位面積あたりの揮発スピードは雰囲気置換を行う場合よりも減少する傾向を示す。
このような原理を利用して、幾つかの方法で本発明のプリフォームを作製することができる。
[精密プレス成形用プリフォームI]
第1の態様である精密プレス成形用プリフォームIは、前述したように、プリフォームの中心に対して互いに反対側を向く2つの面における光線反射率が異なる値を有するとともに、フッ素成分を含有する酸化物ガラスからなることを特徴とする。
<プリフォーム表面の光線反射率の測定>
プリフォーム表面の光線反射率は以下のように測定する。
図1を参照しながら同測定機の測定原理について説明する。図1において光源(ハロゲンランプ)から視野絞りFS−a2までの光学系はFS−a2を照明するもので、その光路中に明るさ絞りAS1が配置されている。FS−a2の開口部を通過した光束はコリメータレンズ3で平行光束となり、ハーフミラー4で反射され、10倍の対物レンズ5でサンプル6の測定面に垂直に照射し、前記測定面上で直径50μmのサイズに集光させる。なお、測定面へのフォーカシングはハーフプリズム8で反射した光を接眼レンズ9を用いて観察し、対物レンズ5とサンプル6の測定面の距離を調整して行えばよい。
[精密プレス成形用プリフォームII]
第2の態様である精密プレス成形用プリフォームIIは、前述したように、プリフォームの中心に対して互いに反対側を向く2つの曲面における表面自由エネルギーが異なる値を有するとともに、フッ素成分を含有する酸化物ガラスからなることを特徴とする。
<プリフォーム表面の表面自由エネルギーの測定>
プリフォーム表面の表面自由エネルギーは以下のように測定する。
γs=γs d+γs p ……(2)
γL=γL d+γL p ……(3)
ガラス表面にある液体を滴下し、その液体の接触角θを測定すると、θと表面自由エネルギーの間には(4)式のような周知の関係が成り立つ。
=(γs d+γL d)1/2+(γs p+γL p)1/2 ……(4)
また、公知のデータにより、純水ではγL d=21.8mJ/m2、γL p=51mJ
/m2であり、CH2I2ではγL d=50.8mJ/m2、γL p=0mJ/m2であるから、2種類の液体をそれぞれ同量プリフォーム表面に滴下したときの接触角をθW(純水)、θC(CH2I2)とすると(4)式は、2種の液体についてそれぞれ(5)式、(6)式のようになる。
=(γs d+21.8)1/2+(γs p+51)1/2 …(5)
50.8×(1−cosθC)/2
=(γs d+50.8)1/2+(γs p+0)1/2 …(6)
θW、θCに実測値を代入すれば、(5)式、(6)式はγs d、γs pを未知数とする2元連立方程式となり、上記未知数を容易に算出することができる。この結果を(2)式に代入すれば、プリフォーム表面における表面自由エネルギーγsを算出することができる。
[プリフォームを構成するフッ素成分を含有する酸化物ガラス]
次に本発明のプリフォームを構成するフッ素成分を含有する酸化物ガラスについて説明する。
なお、以下、各カチオン成分の含有量はカチオン%表示とする。
上記Cu含有ガラスの好ましい透過率特性は以下のとおりである。
波長500nmにおいて85%以上が好ましく、より好ましくは88%以上、さらに好ましくは89%以上、
波長600nmにおいて51%以上が好ましく、より好ましくは55%以上、さらに好ましくは56%以上、
波長700nmにおいて12%以下が好ましく、より好ましくは11%以下、さらに好ましくは10%以下、
波長800nmにおいて5%以下が好ましく、より好ましくは3%以下、さらに好ましくは2.5%以下、一層好ましくは2.2%以下、より一層好ましくは2%以下、
波長900nmにおいて5%以下が好ましく、より好ましくは3%以下、さらに好ましくは2.5%以下、一層好ましくは2.2%以下、より一層好ましくは2%以下、
波長1000nmにおいて7%以下が好ましく、より好ましくは6%以下、さらに好ましくは5.5%以下、一層好ましくは5%以下、より一層好ましくは4.8%以下、
波長1100nmにおいて12%以下が好ましく、より好ましくは11%以下、さらに好ましくは10.5%以下、一層好ましくは10%以下、
波長1200nmにおいて23%以下が好ましく、より好ましくは22%以下、さらに好ましくは21%以下、一層好ましくは20%以下である。
[光学素子の製造方法]
次に、本発明の光学素子の製造方法について説明する。
<精密プレス成形1>
精密プレス成形1は、プレス成形型に前記プリフォームを導入し、前記プレス成形型とプリフォームを一緒に加熱し、精密プレス成形するものである。
<精密プレス成形2>
精密プレス成形方法2は、予熱したプレス成形型に、加熱したプリフォームを導入して精密プレス成形するものである。
なおプレス成形型の温度は、前記プリフォームの予熱温度よりも低い温度に調温するが、前記ガラスが109〜1012dPa・sの粘度を示す温度を目安にすればよい。
実施例1
(1)屈折率(nd)及びアッべ数(νd)
屈折率(nd)及びアッべ数(νd)は徐冷降温速度を−30℃/時にして得られた光学ガラスについて測定した。
(2)ガラス転移温度(Tg)
ガラス転移温度(Tg)は理学電機株式会社の熱機械分析装置により昇温速度を4℃/分にして測定した。
実施例2
実施例1で作製したNo.1、2のガラスからなるプリフォームを用いて精密プレス成形を行った。精密プレス成形型は非球面凸メニスカスレンズを成形するための型であり、上型、下型、胴型により構成される。各型材はSiC製であり、型成形面に炭素膜をコートしてある。上型成形面は凸形状、下型成形面は凹形状であり、上型成形面の面積は下型成形面の面積よりも大、すなわち、ガラスの上型成形面でプレス側の変形量ほうが、下型成形面でプレス側の変形量よりも大きい。
実施例3
次に実施例1で得たプリフォームを用いて非球面凹メニスカスレンズを成形した。使用した精密プレス成形型の構成は実施例2とほぼ同様のものであるが、上型成形面と下型成
形面の形状は異なる。この型では上型成形面の面積は下型成形面の面積よりも大である。
2 視野絞りFS−a
3 コリメータレンズ
4 ハーフミラー
5 対物レンズ
6 サンプル
7 結像レンズ
8 ハーフプリズム
9 接眼レンズ
10 視野絞りFS−b
11 2次元カットフィルタ
12 回折格子
13 ミラー
14 ラインセンサ
15 フレアー絞り照明用ランプ
16 回転ミラー
Claims (10)
- 2つの面の面積が異なるレンズを精密プレス成形により製造するためのプリフォームであって、
プリフォームの中心に対して互いに反対側を向く2つの面における光線反射率が異なる値を有するとともに、
フッ素成分を含有する酸化物ガラスからなること
を特徴とする精密プレス成形用プリフォーム。 - プリフォームの中心に対して互いに反対側を向く2つの面における光線反射率が異なる値を有するとともに、
フッ素成分を含有する酸化物ガラスからなり、
前記ガラスの屈折率の値をn d (1) 、該ガラスを窒素雰囲気中において900℃、1時間再熔融し、ガラス転移温度まで冷却し、その後、毎時30℃の降温速度で25℃まで冷却した後の屈折率の値をn d (2) としたとき、n d (2) −n d (1) の絶対値が0.00300以下であること
を特徴とする精密プレス成形用プリフォーム。 - 1つの回転対称軸と、前記対称軸と表面の2つの交点のうち一方の交点を含む第1の曲面と、前記交点のうち他方の交点を含む第2の曲面を有し、第1の曲面における光線反射率と第2の曲面における光線反射率が異なる値を示す請求項1または2に記載の精密プレス成形用プリフォーム。
- 前記2つの面における表面自由エネルギーが異なる値を有する請求項1〜3のいずれか1項に記載の精密プレス成形用プリフォーム。
- 第1の曲面の曲率半径と第2の曲面の曲率半径が異なる請求項1〜4のいずれか1項に記載の精密プレス成形用プリフォーム。
- 全表面が熔融ガラスを冷却、固化して形成されたものである請求項1〜5のいずれか1項に記載の精密プレス成形用プリフォーム。
- 熔融ガラスから精密プレス成形に供するためのガラス製のプリフォームを作製する精密プレス成形用プリフォームの製造方法において、
前記ガラスの屈折率の値をn d (1) 、該ガラスを窒素雰囲気中において900℃、1時間再熔融し、ガラス転移温度まで冷却し、その後、毎時30℃の降温速度で25℃まで冷却した後の屈折率の値をn d (2) としたとき、n d (2) −n d (1) の絶対値が、0.00300以下となるように、予め揮発性低減操作を行った熔融ガラスをパイプから流出し、
パイプから流出する熔融ガラス流の下端を含む熔融ガラス塊を分離し、該熔融ガラス塊を成形型の凹部上で該凹部に設けたガス噴出口からガスを噴出させて風圧を加えて浮上させながら上下反転することなくプリフォームに成形すること、
および前記ガラスがフッ素成分を含有する酸化物ガラスであること、
を特徴とする精密プレス成形用プリフォームの製造方法。 - 熔融雰囲気に乾燥状態の不活性ガスを流して、フッ素成分含有の酸化物ガラスを熔融することにより熔融ガラスの揮発性を低下させる請求項7に記載の精密プレス成形用プリフォームの製造方法。
- ガラス製プリフォームを精密プレス成形して光学素子を作製する光学素子の製造方法において、
請求項1〜6のいずれか1項に記載の精密プレス成形用プリフォーム、または、請求項7または8に記載の方法により作製した精密プレス成形用プリフォームを使用することを特徴とする光学素子の製造方法。 - 非球面凸メニスカスレンズまたは非球面凹メニスカスレンズを成形する請求項9に記載の光学素子の製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007236545A JP4265811B2 (ja) | 2006-09-29 | 2007-09-12 | 精密プレス成形用プリフォームおよび光学素子の製造方法 |
KR1020070097780A KR101452479B1 (ko) | 2006-09-29 | 2007-09-28 | 정밀 프레스 성형용 프리폼 및 광학 소자의 제조 방법 |
CN2007101613845A CN101164929B (zh) | 2006-09-29 | 2007-09-29 | 精密模压成形用预成形件以及光学元件的制造方法 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006266311 | 2006-09-29 | ||
JP2007236545A JP4265811B2 (ja) | 2006-09-29 | 2007-09-12 | 精密プレス成形用プリフォームおよび光学素子の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008105928A JP2008105928A (ja) | 2008-05-08 |
JP4265811B2 true JP4265811B2 (ja) | 2009-05-20 |
Family
ID=39439590
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007236545A Active JP4265811B2 (ja) | 2006-09-29 | 2007-09-12 | 精密プレス成形用プリフォームおよび光学素子の製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4265811B2 (ja) |
KR (1) | KR101452479B1 (ja) |
CN (1) | CN101164929B (ja) |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08245223A (ja) * | 1995-03-10 | 1996-09-24 | Canon Inc | 光学素子の成形方法 |
JP2790793B2 (ja) * | 1996-05-31 | 1998-08-27 | ホーヤ株式会社 | 成形型およびガラス体の製造方法 |
JP4222778B2 (ja) * | 2001-12-14 | 2009-02-12 | Hoya株式会社 | ガラス成形体の製造方法および光学素子の製造方法 |
JP3894561B2 (ja) | 2002-09-11 | 2007-03-22 | Hoya株式会社 | ガラス製品の製造方法 |
JP4309858B2 (ja) * | 2005-02-23 | 2009-08-05 | Hoya株式会社 | ガラス塊製造装置、ガラス塊の製造方法、および光学素子の製造方法 |
-
2007
- 2007-09-12 JP JP2007236545A patent/JP4265811B2/ja active Active
- 2007-09-28 KR KR1020070097780A patent/KR101452479B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2007-09-29 CN CN2007101613845A patent/CN101164929B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101164929A (zh) | 2008-04-23 |
CN101164929B (zh) | 2012-06-06 |
JP2008105928A (ja) | 2008-05-08 |
KR20080029880A (ko) | 2008-04-03 |
KR101452479B1 (ko) | 2014-10-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5004202B2 (ja) | 光学ガラス、精密プレス成形用プリフォームおよび光学素子 | |
JP4570576B2 (ja) | 光学ガラス、プレス成形用プリフォームとその製造方法、および光学素子とその製造方法 | |
JP5072942B2 (ja) | 光学ガラス、プレス成形用プリフォームとその製造方法、および光学素子とその製造方法 | |
US7930901B2 (en) | Optical glass, precision press-molding preform, optical element and processes for production of these | |
TWI389867B (zh) | 非球面透鏡及其製造方法 | |
JP2008100872A (ja) | ガラス製プリフォームの製造方法および光学素子の製造方法 | |
JP5813926B2 (ja) | 光学ガラス、精密プレス成形用プリフォーム、光学素子、それらの製造方法、及び撮像装置 | |
KR101392633B1 (ko) | 렌즈 및 그의 제조 방법 | |
JP4437807B2 (ja) | 光学ガラスの製造方法、精密プレス成形用プリフォームの製造方法および光学素子の製造方法 | |
JP2007091537A (ja) | 近赤外光吸収ガラス材ロットおよびそれを用いる光学素子の製造方法 | |
JP4166172B2 (ja) | 精密プレス成形用プリフォームの製造方法および光学素子の製造方法 | |
JP4229334B2 (ja) | 光学ガラスの製造方法、プレス成形用ガラス素材、プレス成形用ガラス素材の製造方法および光学素子の製造方法 | |
JP5927227B2 (ja) | 光学ガラス、精密プレス成形用プリフォーム、及び光学素子 | |
JP2004099428A (ja) | 光学ガラス、精密プレス成形用プリフォーム及びその製造方法、光学素子及びその製造方法 | |
JP5224979B2 (ja) | プリフォームロットならびに光学素子の製造方法 | |
JP4958213B2 (ja) | 光学素子の製造方法 | |
KR101196274B1 (ko) | 광학유리, 정밀 프레스 성형 프리폼 및 광학소자 | |
JP4265811B2 (ja) | 精密プレス成形用プリフォームおよび光学素子の製造方法 | |
JP5014323B2 (ja) | 光学ガラス、精密プレス成形用プリフォーム及びその製造方法、光学素子及びその製造方法 | |
JP2010189269A (ja) | 光学ガラス、精密プレス成形用プリフォームおよび光学素子 | |
JP4511221B2 (ja) | 精密プレス成形用プリフォームの製造方法および光学素子の製造方法 | |
JP5215743B2 (ja) | 光学ガラスの製造方法、精密プレス成形用プリフォームの製造方法および光学素子の製造方法 | |
JP2007197317A (ja) | 光学ガラス、精密プレス成形用プリフォーム及びその製造方法、光学素子及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20081105 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081218 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090210 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090210 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4265811 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120227 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120227 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130227 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140227 Year of fee payment: 5 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |