JP4234027B2

JP4234027B2 - アレイ基板ならびに表示装置およびこれらの製造方法

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Publication number: JP4234027B2
Application number: JP2004021021A
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Inventors: 明男中山; 修市飯田
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Filing date: 2004-01-29
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Description

本発明は、信号線に供給されている電位の観察（モニター）が可能で、静電破壊防止も可能なアレイ基板ならびに表示装置および表示装置の製造方法に関する。

従来の表示装置において、例えば完成品となった後に生じる様々な欠陥を解説する際、モニター用電極を表示領域の外側に、各走査信号用配線または／および各映像信号用配線に個別に接続し、駆動状態で各モニター用電極に係る画素の状態と表示領域内の表示状態から、欠陥箇所の解析を行っていた（例えば、特許文献１参照）。

また、他の従来の表示装置は、ゲート線ショートリングおよびソース線ショートリングを介して順次出力するゲート側出力モニター端子およびソース側出力モニター端子とからなる検査回路を備え、表示装置の配線の短絡・断線などの不具合を前記モニター端子において出力される検査信号により、検査することが可能となるものである（例えば、特許文献２参照）。

特開平９−２６４９１７号公報特開２００３−５０５５１号公報

しかしながら、上記した従来の表示装置においては、モニター用電極によってその表示状態から欠陥の状態を判断可能ではあるものの、信号線に実際に印加されている電位の状態をモニターすることは不可能であり、駆動回路の出力電圧の不具合等に起因する不良解析は出来ないという問題があった。

なお、上記した他の従来の表示装置においては、ゲート側出力モニター端子またはソース側出力モニター端子により、ショートリングに印加されている電位はモニター可能であるが、該ショートリングは最終製品になる前に切り落とされることから、実際の信号線に印加されている電圧の観察、および実際に製品となった後に各信号線電位をモニターすることで不良解析を行うことは不可能である。

本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、完成品となった後の信号線に供給されている電位をモニターすることで不良解析等が可能であり、かつ静電破壊防止も可能なアレイ基板ならびに表示装置および表示装置の製造方法を提供することを目的とする。

本発明のアレイ基板は、複数の信号線が形成された絶縁性基板と、前記複数の信号線に信号を供給する駆動回路のバンプと導電性材料により接続すべく、前記駆動回路のバンプに対応する位置に形成された前記絶縁性基板上の複数の端子と、前記駆動回路に外部から電位を供給する前記絶縁性基板端部近傍に形成された外部端子とを有し、前記複数の端子の一部は、前記信号線の信号モニター用に使用され、かつ、電気的に分離した第１の端子と第２の端子であり、前記第１の端子は、前記外部端子と並列に形成された信号線モニター端子または検査端子に接続されており、前記第２の端子は、信号をモニターする前記信号線に電気的に接続されており、前記第１の端子と前記第２の端子は、前記駆動回路を前記導電性材料により前記絶縁性基板に実装することにより電気的に接続がなされることを特徴とする。

本発明によれば、信号線に供給されている電位をモニターすることで不良解析等が可能であり、かつ静電破壊防止も可能なアレイ基板ならびに表示装置および表示装置の製造方法を提供することができる。

実施の形態１．
本発明の実施の形態１を図１〜図３により説明する。図１は本発明の実施の形態１における表示装置の等価回路図を示し、図２（ａ）、（ｂ）は図１における映像信号線側のモニター端子部Ｘの拡大図、図３は図２におけるＡ−Ａ断面図を示している。

図１において、絶縁性基板１上に表示領域２を形成する各画素内の薄膜トランジスタ３のゲートに接続され、走査信号を供給する信号線である走査線４と、薄膜トランジスタ３のソースに接続され、映像信号を供給する信号線である映像信号線５とが配設されている。走査線４は表示領域２外に走査線引き出し配線６によって引き出され、走査線の信号線端子７に接続されている。走査線駆動回路８は、ＡＣＦ（Anisotropic Conductive Film：異方性導電膜）などの導電性材料により、走査線駆動回路８の絶縁性基板と対向する面に形成されたバンプ（端子）と前記走査線の信号線端子７とが接続されることにより、絶縁性基板１上に実装される。同時に、絶縁性基板１上に形成された走査線駆動回路の電源等の入力端子９と、走査線駆動回路８の絶縁性基板と対向する面に形成されたバンプも、導電性材料により接続される。この走査線駆動回路の入力端子９は、絶縁性基板１の端部近傍に設けられた走査線側外部端子１０に接続され、該走査線側外部端子１０に外部から各種電源等が入力されることにより、走査線駆動回路８に各種電圧が入力される。

映像信号線５についても同様に、映像信号線引き出し配線１１によって、表示領域２外に引き出され、映像信号線の信号線端子１２に接続されている。映像信号線駆動回路１３は、ＡＣＦなどの導電性材料により、映像信号線駆動回路１３の絶縁性基板と対向する面に形成されたバンプと前記映像信号線の信号線端子１２とが接続されることにより、絶縁性基板１上に実装される。同時に、絶縁性基板１上に形成された映像信号線駆動回路の電源等の入力端子１４と、映像信号線駆動回路１３の絶縁性基板と対向する面に形成されたバンプも、導電性材料により接続される。この映像信号線駆動回路の入力端子１４は、絶縁性基板１の端部近傍に設けられた映像信号線側外部端子１５に接続され、該映像信号線側外部端子１５に外部から各種電源等が入力されることにより、映像信号線駆動回路１３に各種電圧が入力される。

上述のように、絶縁性基板上に各種信号線と画素などが形成されることで、アレイ基板が完成する。さらにその後、図示せぬ対向基板とアレイ基板との間に液晶を挟持させて、表示装置が完成する。

上記した表示装置の構成において、例えば走査線４群の一方の最端部に接続して形成される分岐配線１６と接続される走査線分岐端子１７を形成する。また、前記走査線側外部端子１０と並列に形成された走査線モニター端子１８を、絶縁性基板１の端部近傍に形成し、該走査線モニター端子１８と走査線モニター端子の内部端子１９とは、走査線モニター配線２０によって接続されている。さらに、該走査線モニター端子の内部端子１９と走査線分岐端子１７とは、走査線駆動回路８を絶縁性基板上に実装する時に、例えばダミーのバンプとＡＣＦ等の導電性材料により接続されるように、例えば１０〜２０μｍ程度の距離をおいて形成されている。該距離を１０μｍ以上とすることで、製造工程中に発生する異物等により短絡される可能性が低く、かつ２０μｍ以下とすることで、バンプの大きさの主流は６０〜７０μｍ程度、ＡＣＦ等に含まれる導電粒子の径の主流は５μｍ程度であることから、安定した接続が得られるため、好ましい。

映像信号線側についても同様に、映像信号線５群の一方の最端部に接続して形成される分岐配線２１と接続される映像信号線分岐端子２２を形成する。また、前記映像信号線側外部端子１５と並列に形成された映像信号線モニター端子２３を、絶縁性基板１の端部近傍に形成し、該映像信号線モニター端子２３と映像信号線モニター端子の内部端子２４とは、映像信号線モニター配線２５によって接続されている。さらに、該映像信号線モニター端子の内部端子２４と映像信号線分岐端子２２とは、映像信号線駆動回路１３を絶縁性基板上に実装する時に、例えばダミーのバンプとＡＣＦ等の導電性材料により接続されるように、上述のように１０〜２０μｍの距離をおいて形成されている。

図２は、図１における映像信号線モニター端子部Ｘの拡大図（絶縁性基板上のパターン図）であり、ＡＣＦ等の導電性材料を塗布した状態を示している。まず図２（ａ）のように、映像信号線５群の一方の最端部において、映像信号線引き出し配線１１から接続して形成される分岐配線２１と接続される映像信号線分岐端子２２を形成する。また、前記映像信号線側外部端子と並列に形成された映像信号線モニター端子２３を、絶縁性基板１の端部近傍に形成し、該映像信号線モニター端子２３と映像信号線モニター端子の内部端子２４とは、映像信号線モニター配線２５により接続されている。さらに、該映像信号線モニター端子の内部端子２４と映像信号線分岐端子２２とは、映像信号線駆動回路を絶縁性基板上に実装する時に、例えばダミーのバンプとＡＣＦ等の導電性材料２６により接続されるように、上述のように１０〜２０μｍの距離をおいて形成される。各端子の配置については、上記図２（ａ）のように映像信号線引き出し配線１１から分岐配線２１を形成する構成ではなく、図２（ｂ）のように映像信号線の信号線端子に、上記映像信号線分岐端子２２を絶縁性基板上のパターンにより接続する構成としてもよい。その他の構成は図２（ａ）と同様である。

次に、図３は、図２（ａ）、（ｂ）におけるＡ−Ａ断面図を示しており、さらに点線にて駆動回路のバンプも示されている。絶縁性基板１上に金属膜２７を図２の各端子および各配線の形状となるようパターニングした後、絶縁膜２８を堆積し、映像信号線分岐端子２２と映像信号線モニター端子の内部端子２４とにおける、駆動回路のバンプ３１との接続領域を含む絶縁膜を除去（エッチング）し、該接続領域を含むように透明導電膜２９をパターニングする。上記のような構成とすることで、駆動回路を絶縁性基板への実装時に、映像信号線または走査線の駆動回路において絶縁性基板と対向する面に形成された例えばダミーのバンプ３１を、該映像信号線モニター端子の内部端子２４と映像信号線分岐端子２２の対応する部分に導電性材料２６を介して圧着し、該導電性材料２６内の導電粒子３０により、絶縁性基板上の透明導電膜２９と駆動回路のバンプ３１とが接続される。

また、導電性材料２６と駆動回路のバンプ３１とにより、映像信号線分岐端子２２と映像信号線モニター端子の内部端子２４とを接続する工程を、導電性材料２６により、前記絶縁性基板上の映像信号線の信号線端子１２と駆動回路のバンプとを接続する工程と、同時に行なうことにより、特に工程を付加することなく上記信号線モニター端子の構成を得ることが可能となる。さらに、映像信号線側外部端子１５を形成する工程と、該外部端子１５と並列に映像信号線モニター端子２３を形成する工程と、映像信号線１１または映像信号線の信号線端子１２に接続された信号線分岐端子を形成する工程と、映像信号線モニター端子２３に接続された映像信号線モニター端子の内部端子２４を形成する工程とを同一の工程にて、全て図３のような構成とすることで、特に工程を付加することなく、上記信号線モニター端子の構成を得ることが出来る。

上述した構成により、映像信号線分岐端子２２と映像信号線モニター端子の内部端子２４とは、駆動回路を実装することによって、初めて接続される。したがって、駆動回路実装前に、絶縁性基板の端部近傍に設けられた外部端子から静電気が侵入した場合、この時点においてはまだ映像信号線分岐端子２２と映像信号線モニター端子の内部端子２４とが接続されていないことから、表示領域まで静電気が到達し、画素を静電破壊することはない。一般に、絶縁性基板において外部から静電気が侵入する場合、その多くが基板の端部近傍に形成された端子から侵入するものと考えられ、上述のような構成とすることで、信号線のモニター端子を形成した場合であっても、静電破壊を抑制することができる。

なお、駆動回路が接続された後は、その後の製造工程中の静電気侵入の可能性も低く、さらに駆動回路の入力部には通常静電破壊防止のために保護ダイオード等が設けられており、外部からの静電気の侵入が表示領域の画素にまで到達し、静電破壊等悪影響を及ぼすことは極めて少ない。また、駆動回路が接続された後は、映像信号線モニター端子から分岐配線を介して映像信号線へと導通しているため、映像信号線のモニターが可能となり、信号線の電位変動などをモニターすることで不良解析が可能となる。さらに該映像信号線モニター端子を、映像信号線の外部端子と並列に、絶縁性基板の端部近傍に形成することで、モニターの操作性も向上する。

実施の形態２．
本発明の実施の形態２を図４〜図５により説明する。図４は本発明の実施の形態２における表示装置の等価回路図を示し、図５（ａ）は図４の映像信号線側モニター端子部Ｙの拡大図における映像信号線駆動回路の概略図、図５（ｂ）、（ｃ）は図４の映像信号線側モニター端子部Ｙの拡大図における絶縁性基板上のパターンの概略図を示している。

図４において、図１〜図３と同じ構成部分については同一の符号を付し、差異について説明する。図４において、例えば走査線４群の一方の最端部配線と接続される走査線の信号線端子７と、走査線駆動回路８の例えばダミーのバンプと接続される端子である走査線側ダミー端子３２とを、絶縁性基板上の走査線駆動回路の端子間配線３３にて接続する。さらに走査線側ダミー端子３２と、隣り合う走査線モニター端子１８と接続される端子である走査線モニター端子用入力端子３４とを、走査線駆動回路８のバンプと導電性材料と走査線駆動回路の内部配線３５とにより接続する。従って、走査線側ダミー端子３２と走査線モニター端子用入力端子３４との接続は、絶縁性基板上のパターンではなく、後に実装される走査線駆動回路８内部の配線３５にてなされる。さらに、走査線モニター端子用入力端子３４と、走査線側外部端子１０と並列に形成された走査線モニター端子１８とを、走査線モニター配線２０によって接続する。

映像信号線側についても同様に、例えば映像信号線５群の一方の最端部配線と接続される映像信号線の信号線端子１２と、映像信号線駆動回路１３の例えばダミーのバンプと接続される端子である映像信号線側ダミー端子３６とを、絶縁性基板上の映像信号線駆動回路の端子間配線３７にて接続する。さらに映像信号線側ダミー端子３６と、隣り合う映像信号線モニター端子２３と接続される端子である映像信号線モニター端子用入力端子３８とを、映像信号線駆動回路１３のバンプと導電性材料と映像信号線駆動回路の内部配線３９とにより接続する。従って、映像信号線側ダミー端子３６と映像信号線モニター端子用入力端子３８との接続は、絶縁性基板上のパターンではなく、後に実装される映像信号線駆動回路１３内部の配線３９にてなされる。さらに、映像信号線モニター端子用入力端子３８と、映像信号線側外部端子１５と並列に形成された映像信号線モニター端子２３とを、映像信号線モニター配線２５によって接続する。

図５は、図４の映像信号線側モニター端子部Ｙを拡大した説明図であり、図５（ａ）は映像信号線駆動回路１３の概略を示しており、表示領域に接続される信号線に接続される絶縁性基板上の信号線端子と接続されるバンプ４０、絶縁性基板上の映像信号線駆動回路の入力端子１４と接続されるバンプ４１、絶縁性基板上の映像信号線側のダミー端子３６と接続されるバンプ４２、絶縁性基板上の映像信号線モニター端子用入力端子３８と接続されるバンプ４３が示されている。なおバンプ４０〜４３は、図紙面上からみて裏側に配置されているため、点線で描かれているものである。前記絶縁性基板上の映像信号線側のダミー端子３６と接続されるバンプ４２と、絶縁性基板上の映像信号線モニター端子用入力端子３８と接続されるバンプ４３とは、映像信号線駆動回路の内部配線３９により接続されている。図５（ｂ）は、図５（ａ）の映像信号線駆動回路が実装される絶縁性基板上の対応部分の拡大図を示しており、図５（ａ）、図５（ｂ）から分かるように、図５（ａ）の映像信号線駆動回路を、図５（ｂ）の絶縁性基板上の対応部分に実装することにより、絶縁性基板上の映像信号線側ダミー端子３６と、映像信号線モニター端子用入力端子３８とが接続されるものである。なお、各端子の構成については、上記図５（ｂ）のように上映像信号線側ダミー端子３６を記映像信号線の信号線端子１２を端子間配線３７により接続する構成ではなく、図５（ｃ）のように、映像信号線引き出し配線１１と映像信号線側ダミー端子３６とを、絶縁性基板上のパターンで接続する構成としてもよい。その他の構成は図５（ｂ）と同様であり、図５（ｃ）の各端子の配置と対応するようなバンプの配置を有する映像信号線駆動回路１３を実装することにより、上述と同様に絶縁性基板上の映像信号線側ダミー端子３６と、映像信号線モニター端子用入力端子３８とが接続されるものである。

また、導電性材料と駆動回路のバンプとにより、映像信号線側ダミー端子３６と、映像信号線モニター端子用入力端子３８とを接続する工程を、導電性材料２６により、前記絶縁性基板上の映像信号線の信号線端子１２と駆動回路のバンプとを接続する工程と、同時に行なうことにより、特に工程を付加することなく上記信号線モニター端子の構成を得ることが可能となる。さらに、映像信号線側外部端子１５を形成する工程と、該外部端子１５と並列に映像信号線モニター端子２３を形成する工程と、該映像信号線モニター端子に接続された映像信号線モニター端子用入力端子３８を形成する工程と、映像信号線の信号線端子または映像信号線と絶縁性基板上のパターンで接続された映像信号線側ダミー端子３６を形成する工程とを、同一の工程にて形成することで、特に工程を付加することなく、上記信号線モニター端子の構成を得ることが出来る。

上述した構成により、映像信号線側ダミー端子３６と映像信号線モニター端子用入力端子３８とは、駆動回路を実装することによって、初めて接続される。したがって、実施の形態１と同様に、駆動回路実装前に、絶縁性基板の端部近傍に設けられた外部端子から静電気が侵入した場合、この時点においてはまだ映像信号線側ダミー端子３６と映像信号線モニター端子用入力端子３８とが接続されていないことから、表示領域まで静電気が到達し、画素を静電破壊することはない。一般に、絶縁性基板において外部から静電気が侵入する場合、その多くが基板の端部近傍に形成された端子から侵入するものと考えられ、上述のような構成とすることで、信号線のモニター端子を形成した場合であっても、静電破壊を抑制することができる。

また、上述の実施の形態１と比較して、映像信号線分岐端子と映像信号線モニター端子の内部端子とを、所定の間隔をもって形成する必要がなく、本実施の形態２では、一般的に駆動回路が有している複数のダミーのバンプのうち、駆動回路内部の配線にて接続された２つのバンプを用いることができるため、より容易に実施の形態１と同様の効果を奏することが可能である。

なお、実施の形態１と同様に、駆動回路が接続された後は、その後の製造工程中の静電気侵入の可能性も低く、さらに駆動回路の入力部には通常静電破壊防止のために保護ダイオード等が設けられており、外部からの静電気の侵入が表示領域の画素にまで到達し、静電破壊等悪影響を及ぼすことは極めて少ない。また、駆動回路が接続された後は、映像信号線モニター端子から、映像信号線側ダミー端子と映像信号線モニター端子用入力端子と映像信号線駆動回路の内部配線等を介して、映像信号線へと導通しているため、映像信号線のモニターが可能となり、信号線の電位変動などをモニターすることで不良解析が可能となる。さらに該映像信号線モニター端子を、映像信号線の外部端子と並列に、絶縁性基板の端部近傍に形成することで、モニターの操作性も向上する。

上記、図２〜図５においては、映像信号線側のモニター端子部について説明したが、走査線側のモニター端子部についても同様の構成を採用することで、同様の効果を奏することはいうまでもない。また、上記実施の形態１、２においては、走査線と映像信号線の最端部のそれぞれ一本についてモニター端子が形成されている場合について示しているが、最端部のみならず所望の位置の、複数本の走査線または映像信号線について、上述のモニター端子の構成を適用することが可能である。

実施の形態３．
本発明の実施の形態３を図６により説明する。図６は本発明の実施の形態３における表示装置の等価回路図を示している。

図６において、図１〜図５と同じ構成部分については同一の符号を付し、差異について説明する。図６は、絶縁性基板上の映像信号線側に検査回路４４が形成されており、該検査回路４４に各種信号を入力する検査回路用配線４５は、映像信号線側外部端子１５と並列に形成された検査端子４６と接続されている。なお、検査回路用配線４５は、上記実施の形態１および２と同様に、導電性材料と駆動回路１３とにより接続される検査回路用配線接続部４７を備えている。ここで、検査回路とは、表示上の各種欠陥検出及び表示ムラの評価を行なうために信号線に接続して形成されたものである。該検査回路は、実際に製品となって表示を行なう際には動作しないような設定、または製品となった後も各種検査が行なえるような設定のどちらでもよい。

このような構成とすることで、検査端子４６と検査回路４４とは、駆動回路を実装することによって、初めて接続される。したがって、上記実施の形態と同様に、駆動回路実装前に、絶縁性基板の端部近傍に設けられた外部端子（本実施の形態の場合、検査端子）から静電気が侵入した場合、この時点においてはまだ検査端子４６と検査回路４４とが接続されていないことから、当然検査回路を介して表示領域にも接続されておらず、静電気が表示領域まで到達し、画素を静電破壊することはない。一般に、絶縁性基板において外部から静電気が侵入する場合、その多くが基板の端部近傍に形成された端子から侵入するものと考えられ、上述のような構成とすることで、検査端子を形成した場合であっても、静電破壊を抑制することができる。

図６においては、検査回路用配線の一部（一本）において、接続部４７を設ける構成について示しているが、複数のまたは全ての検査回路用配線に適用してもよい。また、図６の検査回路は映像信号線の信号線端子１２と接続されているが、例えば映像信号線の引き出し配線１１に直接接続されてもよい。さらに、本実施の形態においては、映像信号線側に検査端子を設けた場合について説明したが、走査線側に同様の検査端子を設けても同様の効果を奏することはいうまでもない。

なお、上記の実施の形態１〜３においては、駆動回路が絶縁性基板上に導電性材料を介して直接実装される場合について示しているが、フィルム基板等を介して実装されてもよく、さらに上記実施の形態においては薄膜トランジスタを有する表示装置について説明しているが、これに限定されるものではなく、パッシブ型に適用してもよい。さらに、上記実施の形態においては、走査線駆動回路と映像信号線駆動回路とが、表示領域におけるそれぞれ異なる一辺側に接続される場合について説明しているが、何れかの一辺に走査線駆動回路と映像信号線駆動回路の両方が実装される表示装置に適用してもよい。本発明は、絶縁性基板の端部近傍に形成されたモニター端子または検査端子と、該モニター端子または検査端子と表示領域とを接続する配線とを有する、液晶またはエレクトロルミネセンス（ＥＬ）素子などを用いたあらゆる表示装置に適用して好適なものである。

本発明の実施の形態１における表示装置の等価回路図である。図１における映像信号線モニター端子部Ｘの拡大図である。図２におけるＡ−Ａ断面図である。本発明の実施の形態２における表示装置の等価回路図である。図５（ａ）は図４の映像信号線側モニター端子部Ｙの拡大図における映像信号線駆動回路の概略図、図５（ｂ）、（ｃ）は図４の映像信号線側モニター端子部Ｙの拡大図における絶縁性基板上のパターンの概略図である。本発明の実施の形態３における表示装置の等価回路図である。

符号の説明

１絶縁性基板、２表示領域、３薄膜トランジスタ、４走査線、５映像信号線、６走査線引き出し配線、７走査線の信号線端子、８走査線駆動回路、
９走査線駆動回路の入力端子、１０走査線側外部端子、
１１映像信号線引き出し配線、１２映像信号線の信号線端子、
１３映像信号線駆動回路、１４映像信号線駆動回路の入力端子、
１５映像信号線側外部端子、１６走査線の分岐配線、
１７走査線分岐端子、１８走査線モニター端子、
１９走査線モニター端子の内部端子、２０走査線モニター配線、
２１映像信号線の分岐配線、２２映像信号線分岐端子、
２３映像信号線モニター端子、２４映像信号線モニター端子の内部端子、
２５映像信号線モニター配線、２６導電性材料、２７金属膜、２８絶縁膜、
２９透明導電膜、３０導電粒子、３１駆動回路のバンプ、
３２走査線側ダミー端子、３３走査線駆動回路の端子間配線、
３４走査線モニター端子用入力端子、３５走査線駆動回路の内部配線、
３６映像信号線側ダミー端子、３７映像信号線駆動回路の端子間配線、
３８映像信号線モニター端子用入力端子、３９映像信号線駆動回路の内部配線、
４０映像信号線の信号線端子と接続される映像信号線駆動回路のバンプ、
４１映像信号線駆動回路の入力端子と接続される映像信号線駆動回路のバンプ、
４２映像信号線側ダミー端子と接続される映像信号線駆動回路のバンプ、
４３映像信号線モニター端子用入力端子と接続される映像信号線駆動回路のバンプ
４４検査回路、４５検査回路用配線、４６検査端子、４７検査回路用配線接続部

Claims

複数の信号線が形成された絶縁性基板と、
前記複数の信号線に信号を供給する駆動回路のバンプと導電性材料により接続すべく、前記駆動回路のバンプに対応する位置に形成された前記絶縁性基板上の複数の端子と、
前記駆動回路に外部から電位を供給する前記絶縁性基板端部近傍に形成された外部端子とを有し、
前記複数の端子の一部は、前記信号線の信号モニター用に使用され、かつ、電気的に分離した第１の端子と第２の端子であり、
前記第１の端子は、前記外部端子と並列に形成された信号線モニター端子または検査端子に接続されており、
前記第２の端子は、信号をモニターする前記信号線に電気的に接続されており、
前記第１の端子と前記第２の端子は、前記駆動回路を前記導電性材料により前記絶縁性基板に実装することにより電気的に接続がなされることを特徴とするアレイ基板。
前記信号線モニター端子に接続された前記第１の端子であるモニター端子の内部端子と、
前記信号線に電気的に接続された前記第２の端子である信号線分岐端子とを有し、
前記導電性材料と前記駆動回路のバンプとにより、前記モニター端子の内部端子と前記信号線分岐端子とが電気的に接続がなされることを特徴とする請求項１に記載のアレイ基板。
前記信号線モニター端子に接続された前記第１の端子であるモニター端子用入力端子と、
前記信号線に電気的に接続された前記第２の端子であるダミー端子とを有し、
前記モニター端子用入力端子と前記ダミー端子は、それぞれ、前記導電性材料と前記駆動回路の異なるバンプに接続され、当該モニター端子用入力端子と当該ダミー端子とは、これらのバンプ間を接続する前記駆動回路内部の配線により電気的に接続されることを特徴とする請求項１に記載のアレイ基板。
前記絶縁基板上に検査回路が形成され、
前記検査端子に接続された前記第１の端子である検査回路用配線接続部の第１の端子と、
前記検査回路に接続された前記第２の端子である検査回路用配線接続部の第２の端子とを有し、
前記検査端子と前記検査回路とは、前記駆動回路を前記導電性材料により前記絶縁性基板に実装することにより電気的に接続がなされることを特徴とする請求項１に記載のアレイ基板。
請求項１乃至４のいずれかに記載のアレイ基板を用いた表示装置。
複数の信号線が形成された絶縁性基板と、
前記複数の信号線に信号を供給する駆動回路のバンプを導電性材料により接続すべく、前記駆動回路のバンプに対応する前記絶縁性基板上の位置に、第１の端子及び第２の端子を含む複数の端子を有するアレイ基板の製造方法であって、
前記駆動回路に外部から電位を供給するために、前記絶縁性基板端部近傍に外部端子を形成する工程と、
前記外部端子と並列に信号線モニター端子または検査端子を形成する工程と、
前記信号線の信号モニター用に使用され、前記信号線モニター端子または前記検査端子に接続される第１の端子を形成する工程と、
前記信号線の信号モニター用に使用され、信号をモニターする前記信号線に電気的に接続される第２の端子を、前記第１の端子とは電気的に分離するように形成する工程と、
前記第１の端子と前記第２の端子を、前記駆動回路を前記導電性材料により前記絶縁性基板に実装することにより電気的に接続する工程と、
を含むことを特徴とするアレイ基板の製造方法。
前記第１の端子であるモニター端子の内部端子と前記第２の端子である信号線分岐端子とを接続する工程は、前記導電性材料と前記駆動回路のバンプとにより、前記モニター端子の内部端子と、前記信号線分岐端子とを接続する工程であって、
前記導電性材料により、前記絶縁性基板上の信号線端子と前記駆動回路のバンプとを接続する工程と同時に行なわれることを特徴とする請求項６記載のアレイ基板の製造方法。
前記駆動回路に外部から電位を供給するために、前記絶縁性基板端部近傍に前記外部端子を形成する工程と、
前記外部端子と並列に前記信号線モニター端子を形成する工程と、
前記信号線モニター端子に接続される前記第１の端子であるモニター端子の内部端子を形成する工程と、
前記信号線に電気的に接続される前記第２の端子である信号線分岐端子を形成する工程と、
は同一の工程であることを特徴とする請求項６または７記載のアレイ基板の製造方法。
前記第１の端子であるモニター端子用入力端子と前記第２の端子であるダミー端子とを接続する工程は、前記導電性材料と前記駆動回路のバンプと前記駆動回路内部の配線とにより、前記モニター端子用入力端子と前記ダミー端子とを接続する工程であって、
前記導電性材料により、前記絶縁性基板上の信号線端子と前記駆動回路のバンプとを接続する工程と同時に行なわれることを特徴とする請求項６記載のアレイ基板の製造方法。
前記駆動回路に外部から電位を供給するために、前記絶縁性基板端部近傍に外部端子を形成する工程と、
前記外部端子と並列に信号線モニター端子を形成する工程と、
前記信号線モニター端子に接続される前記第１の端子であるモニター端子用入力端子を形成する工程と、
前記信号線と電気的に接続される前記第２の端子であるダミー端子を形成する工程と、
は同一の工程であることを特徴とする請求項６または９記載のアレイ基板の製造方法。
前記絶縁基板上に検査回路を形成する工程をさらに有し、
前記第１の端子と前記第２の端子とを接続する工程は、前記導電性材料と前記駆動回路のバンプとにより、前記第１の端子と前記第２の端子を有する検査用配線接続部において、前記検査端子と前記検査回路とを接続する工程であって、
前記導電性材料により、前記絶縁性基板上の信号線端子と前記駆動回路のバンプとを接続する工程と同時に行なわれることを特徴とする請求項６記載のアレイ基板の製造方法。
請求項６乃至１１のいずれかに記載のアレイ基板の製造方法を用いた表示装置の製造方法。