JPH0258059B2 - - Google Patents
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- JPH0258059B2 JPH0258059B2 JP59211938A JP21193884A JPH0258059B2 JP H0258059 B2 JPH0258059 B2 JP H0258059B2 JP 59211938 A JP59211938 A JP 59211938A JP 21193884 A JP21193884 A JP 21193884A JP H0258059 B2 JPH0258059 B2 JP H0258059B2
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- JP
- Japan
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- carrier
- surface plate
- workpiece
- ring
- gear
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- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 11
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 description 6
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 2
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 1
Landscapes
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、極薄のワークの両面加工に好適な両
面研摩装置に関するものである。
面研摩装置に関するものである。
［従来の技術］
従来より公知のラツプ盤等の両面研摩装置は、
中心に位置する太陽歯車とその回りの内歯歯車と
に複数のキヤリヤを噛合させ、太陽歯車と内歯歯
車とを回転させて該キヤリヤに遊星運動を生じさ
せることにより、該キヤリヤに保持させたワーク
を上下の定盤によつて両面加工するように構成し
ているが、ワークより薄いキヤリヤが必要である
ため、半導体ウエハのような薄物のワークの加工
時には非常に薄いキヤリヤを使用しなければなら
ない。
中心に位置する太陽歯車とその回りの内歯歯車と
に複数のキヤリヤを噛合させ、太陽歯車と内歯歯
車とを回転させて該キヤリヤに遊星運動を生じさ
せることにより、該キヤリヤに保持させたワーク
を上下の定盤によつて両面加工するように構成し
ているが、ワークより薄いキヤリヤが必要である
ため、半導体ウエハのような薄物のワークの加工
時には非常に薄いキヤリヤを使用しなければなら
ない。
ところが、キヤリヤの肉厚が薄くなると、必然
的にその強度が低下し、特にその回りに切設した
歯の強度が低下して破損を生じ易くなり、キヤリ
ヤを低速で駆動しても破損により加工が困難にな
るケースが多い。
的にその強度が低下し、特にその回りに切設した
歯の強度が低下して破損を生じ易くなり、キヤリ
ヤを低速で駆動しても破損により加工が困難にな
るケースが多い。
また、一般に定盤は、円環状をなす研摩面の内
径と外径との間に約2.5倍もの寸法差があるため、
内側と外側との円周速度差も2.5倍に達し、これ
が定盤と各ワークとの均等な摺接を阻害して研摩
精度を低下させる原因となつていた。従つて、研
摩精度を向上させるためには、上記定盤の円周速
度差による影響をできるだけ少なくすることが必
要である。
径と外径との間に約2.5倍もの寸法差があるため、
内側と外側との円周速度差も2.5倍に達し、これ
が定盤と各ワークとの均等な摺接を阻害して研摩
精度を低下させる原因となつていた。従つて、研
摩精度を向上させるためには、上記定盤の円周速
度差による影響をできるだけ少なくすることが必
要である。
［発明が解決しようとする課題］
本発明の課題は、キヤリヤの構造及び駆動方法
を改善することによつてその薄肉化を可能にし、
これによつて極薄のワークの加工を可能ならしめ
ると共に、定盤の内外における円周速度差による
影響を受けにくくした両面加工装置を提供するこ
とにある。
を改善することによつてその薄肉化を可能にし、
これによつて極薄のワークの加工を可能ならしめ
ると共に、定盤の内外における円周速度差による
影響を受けにくくした両面加工装置を提供するこ
とにある。
［課題を解決するための手段］
上記課題を解決するため、本発明の両面加工装
置においては、ワークの上下面を研摩するための
回転自在の上下の定盤と、上記定盤の回りに同心
状に配置され、機体に固定された内歯歯車と、上
記定盤より大径をなす円環状のキヤリヤ本体にワ
ークの支持穴を設けると共に、該キヤリヤ本体の
外周に内歯歯車より歯数の少ないリング状歯車を
取付け、且つキヤリヤ本体の内周に内リングを取
付けることにより構成され、定盤の研摩面より外
れた位置においてリング状歯車が内歯歯車と部分
的に噛合するキヤリヤと、定盤の中心に位置する
キヤリヤ用駆動軸に取付けられ、上記キヤリヤの
内リングに部分的に内接し偏心回転することによ
り該キヤリヤを半径方向へ揺動させる駆動部材と
を備えたことを特徴としている。
置においては、ワークの上下面を研摩するための
回転自在の上下の定盤と、上記定盤の回りに同心
状に配置され、機体に固定された内歯歯車と、上
記定盤より大径をなす円環状のキヤリヤ本体にワ
ークの支持穴を設けると共に、該キヤリヤ本体の
外周に内歯歯車より歯数の少ないリング状歯車を
取付け、且つキヤリヤ本体の内周に内リングを取
付けることにより構成され、定盤の研摩面より外
れた位置においてリング状歯車が内歯歯車と部分
的に噛合するキヤリヤと、定盤の中心に位置する
キヤリヤ用駆動軸に取付けられ、上記キヤリヤの
内リングに部分的に内接し偏心回転することによ
り該キヤリヤを半径方向へ揺動させる駆動部材と
を備えたことを特徴としている。
［作用］
キヤリヤの内リングに内接する駆動部材がキヤ
リヤ用駆動軸により偏心回転せしめられると、キ
ヤリヤは、内歯歯車との噛合位置を変えながら半
径方向へ揺動運動し、リング状歯車と内歯歯車と
の歯数差に基づく低速度で回転する。従つて、該
キヤリヤに保持された各ワークも、キヤリヤと共
に揺動をくり返しながら上記駆動軸の回りを低速
度で回転し、これらの揺動運動と回転運動との複
合した軌跡を描きながら上下の定盤によつて全面
が均等に両面加工されることになり、定盤の内外
における円周速度差による影響を受けにくい。
リヤ用駆動軸により偏心回転せしめられると、キ
ヤリヤは、内歯歯車との噛合位置を変えながら半
径方向へ揺動運動し、リング状歯車と内歯歯車と
の歯数差に基づく低速度で回転する。従つて、該
キヤリヤに保持された各ワークも、キヤリヤと共
に揺動をくり返しながら上記駆動軸の回りを低速
度で回転し、これらの揺動運動と回転運動との複
合した軌跡を描きながら上下の定盤によつて全面
が均等に両面加工されることになり、定盤の内外
における円周速度差による影響を受けにくい。
［効果］
キヤリヤ本体の外周及び内周に別形成のリング
状歯車及び内リングを取付けることによりキヤリ
ヤを形成したので、駆動時に大きな力が作用する
キヤリヤの外周及び内周の強度をキヤリヤ本体の
肉厚とは無関係に高めることができ、逆にキヤリ
ヤ本体はワークに応じた任意の薄さに形成するこ
とができるため、極薄のワークでも確実に加工す
ることができる。また、上記キヤリヤを、内歯歯
車を固定して内リングに内接する駆動部材の偏心
回転によつ駆動するようにしたので、従来のよう
な太陽歯車が必要ないばかりでなく、内歯歯車及
び太陽歯車の両方を駆動してキヤリヤを回転させ
る必要がなく、そのため、構造が非常に簡単でキ
ヤリヤの損傷も生じにくく、従つてキヤリヤの薄
肉化が一層容易であり、さらに、一枚のキヤリヤ
を使用する方式であるため、該キヤリヤ及びワー
クの装填及び取出し作業が簡単で作業性が良い。
状歯車及び内リングを取付けることによりキヤリ
ヤを形成したので、駆動時に大きな力が作用する
キヤリヤの外周及び内周の強度をキヤリヤ本体の
肉厚とは無関係に高めることができ、逆にキヤリ
ヤ本体はワークに応じた任意の薄さに形成するこ
とができるため、極薄のワークでも確実に加工す
ることができる。また、上記キヤリヤを、内歯歯
車を固定して内リングに内接する駆動部材の偏心
回転によつ駆動するようにしたので、従来のよう
な太陽歯車が必要ないばかりでなく、内歯歯車及
び太陽歯車の両方を駆動してキヤリヤを回転させ
る必要がなく、そのため、構造が非常に簡単でキ
ヤリヤの損傷も生じにくく、従つてキヤリヤの薄
肉化が一層容易であり、さらに、一枚のキヤリヤ
を使用する方式であるため、該キヤリヤ及びワー
クの装填及び取出し作業が簡単で作業性が良い。
また、内歯歯車を固定して中心の駆動軸を偏心
回転させることにより、キヤリヤを半径方向へ揺
動させながら内歯歯車との歯数差に基づく低速度
で回転させるようにしたので、該キヤリヤが高速
回転する場合に生じる定盤内外の円周速度差に基
づくワーク加工速度の部分的な不均等を防止し、
各ワークに揺動運動と回転運動とを複合した軌跡
を描かせてその全面を定盤に略均等に摺接させる
ことができ、これにより、定盤の円周速度差によ
る影響を排除して高い研摩精度を得ることができ
る。しかも、キヤリヤの半径方向への揺動運動に
よりワークと定盤との摺接速度及び軌跡長を大き
くすることができるため、キヤリヤを高速で回転
させなくても、短時間に精度の良い加工を行うこ
とができる。
回転させることにより、キヤリヤを半径方向へ揺
動させながら内歯歯車との歯数差に基づく低速度
で回転させるようにしたので、該キヤリヤが高速
回転する場合に生じる定盤内外の円周速度差に基
づくワーク加工速度の部分的な不均等を防止し、
各ワークに揺動運動と回転運動とを複合した軌跡
を描かせてその全面を定盤に略均等に摺接させる
ことができ、これにより、定盤の円周速度差によ
る影響を排除して高い研摩精度を得ることができ
る。しかも、キヤリヤの半径方向への揺動運動に
よりワークと定盤との摺接速度及び軌跡長を大き
くすることができるため、キヤリヤを高速で回転
させなくても、短時間に精度の良い加工を行うこ
とができる。
［実施例］
以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に
説明すると、第１図において、１は研摩装置の機
体、２，３は該機体１上に回転自在に配設された
円環状の下定盤及び上定盤を示し、下定盤２は、
定盤受け４上にピン５で固定され、該定盤受け４
に固定された下定盤用駆動軸６を介して図示しな
い駆動源に連結されており、一方、上定盤３は、
支持板７にねじ８で固定され、該支持板７に係脱
自在の係止板９及該係止板９に固定された上定盤
用駆動軸１０を介して駆動源に連結されている。
説明すると、第１図において、１は研摩装置の機
体、２，３は該機体１上に回転自在に配設された
円環状の下定盤及び上定盤を示し、下定盤２は、
定盤受け４上にピン５で固定され、該定盤受け４
に固定された下定盤用駆動軸６を介して図示しな
い駆動源に連結されており、一方、上定盤３は、
支持板７にねじ８で固定され、該支持板７に係脱
自在の係止板９及該係止板９に固定された上定盤
用駆動軸１０を介して駆動源に連結されている。
また、上記定盤２，３の回りには、それらと同
心状に位置する内歯歯車１１と円環状の受板１２
とが、機体１上に固定された架台１３の上端に固
定的に取付けられ、下定盤２上には、上記内歯歯
車１１と噛合するキヤリヤ１４が配設されてい
る。
心状に位置する内歯歯車１１と円環状の受板１２
とが、機体１上に固定された架台１３の上端に固
定的に取付けられ、下定盤２上には、上記内歯歯
車１１と噛合するキヤリヤ１４が配設されてい
る。
上記キヤリヤ１４は、第２図及び第３図からも
明らかなように、複数のワーク支持穴１６を備え
た円環状のキヤリヤ本体１５を定盤２，３より大
径に形成し、該キヤリヤ本体１５の外周に定盤
２，３の研摩面と重ならないように上記内歯歯車
１１よりも歯数の少ないリング状歯車１７を取付
けると共に、キヤリヤ本体１５の内周即ち中心穴
１８の縁部に定盤２，３の研摩面と重ならないよ
うにと内リング１９を取付けたもので、該キヤリ
ヤ１４を、リング状歯車１７が内歯歯車１１と部
分的に噛合しつつ受板１２によつて下から支持さ
れた状態で下定盤２上にセツトし、各ワーク支持
穴１６内に加工すべきワーク２０を嵌合支持させ
ている。このとき、キヤリヤ１４は、定盤２，３
の中心に対して偏心率Ｅだけ偏心することにな
る。
明らかなように、複数のワーク支持穴１６を備え
た円環状のキヤリヤ本体１５を定盤２，３より大
径に形成し、該キヤリヤ本体１５の外周に定盤
２，３の研摩面と重ならないように上記内歯歯車
１１よりも歯数の少ないリング状歯車１７を取付
けると共に、キヤリヤ本体１５の内周即ち中心穴
１８の縁部に定盤２，３の研摩面と重ならないよ
うにと内リング１９を取付けたもので、該キヤリ
ヤ１４を、リング状歯車１７が内歯歯車１１と部
分的に噛合しつつ受板１２によつて下から支持さ
れた状態で下定盤２上にセツトし、各ワーク支持
穴１６内に加工すべきワーク２０を嵌合支持させ
ている。このとき、キヤリヤ１４は、定盤２，３
の中心に対して偏心率Ｅだけ偏心することにな
る。
上記キヤリヤ１４を駆動するため、定盤２，３
の中心部に位置するキヤリヤ用駆動軸２１には、
円板状の駆動部材２２を偏心状に固定し、該駆動
部材２２に回転自在に取付けられたローラ２３を
上記内リング１９に内接させている。
の中心部に位置するキヤリヤ用駆動軸２１には、
円板状の駆動部材２２を偏心状に固定し、該駆動
部材２２に回転自在に取付けられたローラ２３を
上記内リング１９に内接させている。
上記構成を有する本発明の両面研摩装置におい
て、キヤリヤ用駆動軸２１を失印Ａ方向に回転さ
せて駆動部材２２を偏心回転させれば、キヤリヤ
１４は、内歯歯車１１との噛合位置を変えながら
２Ｅの範囲で揺動し、内歯歯車１１とリング状歯
車１７との歯数差に基づく速度で矢印Ｂ方向に回
転することになり、該キヤリヤ１４に保持された
ワーク２０は、キヤリヤ１４と共に揺動しながら
上記駆動軸２１の回りを低速で回転し、第４図に
示すように、各ワーク２０上の各点ａ，ｂ，ｃが
上記揺動運動と回転運動とを複合した軌跡を描き
ながら、互いに逆方向に回転する上下の定盤２，
３によつてその上下面が加工される。
て、キヤリヤ用駆動軸２１を失印Ａ方向に回転さ
せて駆動部材２２を偏心回転させれば、キヤリヤ
１４は、内歯歯車１１との噛合位置を変えながら
２Ｅの範囲で揺動し、内歯歯車１１とリング状歯
車１７との歯数差に基づく速度で矢印Ｂ方向に回
転することになり、該キヤリヤ１４に保持された
ワーク２０は、キヤリヤ１４と共に揺動しながら
上記駆動軸２１の回りを低速で回転し、第４図に
示すように、各ワーク２０上の各点ａ，ｂ，ｃが
上記揺動運動と回転運動とを複合した軌跡を描き
ながら、互いに逆方向に回転する上下の定盤２，
３によつてその上下面が加工される。
この場合、上記キヤリヤ１４は、キヤリヤ本体
１５と、駆動時に大きな力が作用するリング状歯
車１７及び内リング１９とを別部材として構成し
ているため、キヤリヤ本体１５のみをワーク２０
に合わせて薄肉に形成することができ、これによ
つて薄物のワークの加工が可能になる。
１５と、駆動時に大きな力が作用するリング状歯
車１７及び内リング１９とを別部材として構成し
ているため、キヤリヤ本体１５のみをワーク２０
に合わせて薄肉に形成することができ、これによ
つて薄物のワークの加工が可能になる。
上記キヤリヤ１４の偏心率Ｅ及び回転数Ｎは、
Z1：内歯歯車の歯数
Z0：リング状歯車の歯数
Ｍ：モジユール
ｎ：キヤリヤ用駆動軸の回転数
とすれば、
Ｅ＝１／２（Z1−Z0）×Ｍ
Ｎ＝Z1−Z0／Z0×ｎ
で求めることができる。
上記第２式から分るように、キヤリヤの回転数
はキヤリヤ用駆動軸２１の回転数に比べて少ない
が、キヤリヤの揺動数がキヤリヤ用駆動軸の回転
数と同じであり、また、互いに逆回転する上下の
定盤２，３の研摩方向は、ワーク２０に対して共
に円周方向であるが、キヤリヤ１４即ちワーク２
０の揺動が２Ｅの範囲で定盤２，３の半径方向に
行われるため、非常に合理的な加工が行われるこ
とになり、従つて、ワーク２０が薄物であつて
も、その両面を同時に高精度かつ高能率に加工す
ることができる。
はキヤリヤ用駆動軸２１の回転数に比べて少ない
が、キヤリヤの揺動数がキヤリヤ用駆動軸の回転
数と同じであり、また、互いに逆回転する上下の
定盤２，３の研摩方向は、ワーク２０に対して共
に円周方向であるが、キヤリヤ１４即ちワーク２
０の揺動が２Ｅの範囲で定盤２，３の半径方向に
行われるため、非常に合理的な加工が行われるこ
とになり、従つて、ワーク２０が薄物であつて
も、その両面を同時に高精度かつ高能率に加工す
ることができる。
なお、加工の終了したワーク２０の取出しは、
上定盤３を上昇させることにより行うことがで
き、この場合、内歯歯車１１を下定盤２に対して
相対的に下降可能に構成しておくこともできる。
上定盤３を上昇させることにより行うことがで
き、この場合、内歯歯車１１を下定盤２に対して
相対的に下降可能に構成しておくこともできる。
第１図は本発明に係る両面研摩装置の要部断面
図、第２図はその上定盤を取外した状態での断面
図、第３図はその平面図、第４図は加工時にワー
ク上の各点が描く軌跡を示す説明図である。 ２……下定盤、３……上定盤、１１……内歯歯
車、１４……キヤリヤ、１５……キヤリヤ本体、
１６……ワーク支持穴、１７……リング状歯車、
１９……内リング、２０……ワーク、２１……キ
ヤリヤ用駆動軸、２２……駆動部材。
図、第２図はその上定盤を取外した状態での断面
図、第３図はその平面図、第４図は加工時にワー
ク上の各点が描く軌跡を示す説明図である。 ２……下定盤、３……上定盤、１１……内歯歯
車、１４……キヤリヤ、１５……キヤリヤ本体、
１６……ワーク支持穴、１７……リング状歯車、
１９……内リング、２０……ワーク、２１……キ
ヤリヤ用駆動軸、２２……駆動部材。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ ワークの上下面を研摩するための回転自在の
上下の定盤と、 上記定盤の回りに同心状に配置され、機体に固
定された内歯歯車と、 上記定盤より大径をなす円環状のキヤリヤ本体
にワークの支持穴を設けると共に、該キヤリヤ本
体の外周に内歯歯車より歯数の少ないリング状歯
車を取付け、且つキヤリヤ本体の内周に内リング
を取付けることにより構成され、定盤の研摩面よ
り外れた位置においてリング状歯車が内歯歯車と
部分的に噛合するキヤリヤと、 定盤の中心に位置するキヤリヤ用駆動軸に取付
けられ、上記キヤリヤの内リングに部分的に内接
して偏心回転することにより該キヤリヤを半径方
向へ揺動させる駆動部材と、 を備えたことを特徴とする両面研摩装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59211938A JPS6190870A (ja) | 1984-10-09 | 1984-10-09 | 両面研摩装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59211938A JPS6190870A (ja) | 1984-10-09 | 1984-10-09 | 両面研摩装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6190870A JPS6190870A (ja) | 1986-05-09 |
| JPH0258059B2 true JPH0258059B2 (ja) | 1990-12-06 |
Family
ID=16614167
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59211938A Granted JPS6190870A (ja) | 1984-10-09 | 1984-10-09 | 両面研摩装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6190870A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0290053U (ja) * | 1988-12-28 | 1990-07-17 | ||
| JP2004148425A (ja) * | 2002-10-29 | 2004-05-27 | Shin Nippon Koki Co Ltd | 両面研磨装置 |
| JP5796771B2 (ja) * | 2011-06-21 | 2015-10-21 | 日本電気硝子株式会社 | 円盤状ワークの周面研磨方法、及び両面研磨機用キャリヤ |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5314491A (en) * | 1976-07-26 | 1978-02-09 | Nec Corp | Apparatus for grinding double surfaces |
-
1984
- 1984-10-09 JP JP59211938A patent/JPS6190870A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5314491A (en) * | 1976-07-26 | 1978-02-09 | Nec Corp | Apparatus for grinding double surfaces |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6190870A (ja) | 1986-05-09 |
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