JP4177796B2 - 冷却装置 - Google Patents
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Description
前記一面に圧接される圧接面と該圧接面の反対側の被冷却面と多数の冷却部材であって前記被冷却面のうち前記一面の中心を含む一定範囲の部分に対応する内側面の外側の外側面に一方側から他方側に空気が通過可能なように立設された多数の冷却部材とを備えた冷却体と、前記空気を供給可能な空気供給手段と、前記内側面に対向する方向から前記内側面のうち前記中心に対応する位置を含む特定範囲の部分に当たるように圧縮機で圧縮され放熱された圧縮空気を噴射器で放出して供給可能にする圧縮空気供給手段と、を有することを特徴とする。
送風機3は運転可能な状態にされている。又、工場等の圧縮空気供給系5は、通常使用可能な状態になっている。それぞれの個別空気弁52は予め開度調整されている。このような状態でデバイス1のバーンイン試験をするときには、まずデバイス1及び冷却体2をボード71に装着する。即ち、図3(a)の矢印に示す如く、デバイス1をボード71に取り付けられられているソケット76に装着し、圧接面21がデバイスの上面11に接触する位置に冷却体2を配置し、固定具8を中心線C1 の位置に傾倒させて圧接面21を上面11に乗せ、外ガイド84を引っ張って固定具8を中心線Cの位置にして冷却体2の段状部24の上端に引っかけ、平面位置を微調整して冷却体2の位置を安定させる。これにより、バネ86の適度な力によって圧接面21が上面11に圧接し、上面11の熱を十分小さい熱抵抗の下に冷却体2の圧接面21に移動させることができる。なお、本例の如く段状部24を形成したことにより、特に良好な圧接状態を得ることができた。
個別空気弁52で調整された後の噴射器6のノズル前の圧力がPで放出後の圧力が大気圧Paであれば、この圧力差(P−Pa)=ΔP及びノズルの直径に対応してノズルを通過する空気の流速V及び流量qが定まる。この流速Vは非常に高速であるため、放出空気は、送風機3による空気流れを突き抜くように放射状に進むが、このとき進路部分及び周辺の空気を随伴しつつ、図1に示す如く高さhの距離を進むと半径rの円内の直射面22a1 に当たることになる。そして、その面から放射状に冷却上面22に沿って広がり特に送風機の空気流れの方向であるX1 方向に多く流れ、その流れと一体化される。
本例の冷却体2では、冷却部材としてフィン状の放熱板23に代えて、冷却上面22にに多数の放熱棒25を取り付けている。放熱棒25は適当に配置されればよいが、本例のものは千鳥配置にされている。このようにすれば、送風機3からの供給空気の乱れが大きくなり熱交換性能を良くすることができる。このような放熱棒25を備えた冷却体でも、冷却面積及び冷却上面22への接触面積を大きくし、デバイス1の発熱を除去する除熱量を十分大きくすることができる。
本例の装置は、デバイス1の温度を検出する温度検出手段としての前記温度センサ14、圧縮空気の流量を調整可能にする圧縮空気流量調整手段としての個別空気自動調整弁53(以下「自動弁」と略す)及びこれを駆動する弁駆動器54、温度センサ14が検出した温度taが目的する温度としてバーンインするときのデバイス1の設定温度tsになるように弁駆動器54を介して自動弁53を調整可能にする制御手段としての温度制御器9、等を有する構成の装置である。温度制御器9及び後述する温度設定器91は制御装置90に設けられている。
本例の装置は、図6の装置に加えて、空気の流量として送風機3からの供給空気の流量を調整調整可能にする供給空気流量調整手段としての本例では送風機3のモータ31及びこれを秒単位の短い時間周期で発停させる駆動器32、温度センサ14が検出した温度taと設定温度tsとの差Δtが所定値として例えば5℃以上のときにはΔtが5℃になるように駆動器32を制御にする第2制御手段としての第2温度制御器33、及び本例ではこれとは別に設けていて温度制御器9又は第2温度制御器33の何れかを選択する選択手段となる切換制御器10を有し、Δtが5℃より小さくなったときには、温度制御器9がtaをtsにする図6のものと同じ制御をするように構成されている。温度制御器9及び温度設定器91と共に切換制御器10及び第2温度制御器33は制御装置90に設けられている。
2 冷却体
3 送風機(空気供給手段)
4 圧縮機(圧縮空気供給手段)
5 圧縮空気系(圧縮空気供給手段)
6 噴射器(圧縮空気供給手段)
9 温度制御器(制御手段)
10 切換制御器(第2制御手段)
11 上面(一面)
11a 中央部分(一定範囲の部分)
14 温度センサ(温度検出手段)
21 圧接面
22 冷却上面(被冷却面)
22a 内側面
22a1 直射面(特定範囲の部分)
22b,22c 外側面
23 放熱板(冷却部材)
31 モータ(供給空気流量調整手段)
32 駆動器(供給空気流量調整手段)
33 第2温度制御器(第2制御手段)
53 自動弁、個別空気自動調整弁(圧縮空気流量調整手段)
O 上面の中心(一面の中心)
t 目的とする温度
ta 検出した温度
ts 設定温度(目的とする温度)
Δt 検出した温度と目的とする温度との差
X1 一方側から他方側の方向
Claims (4)
- 平面状の一面を備えていて通電されると目的とする温度より高い温度まで発熱し前記一面の温度が上昇する半導体デバイスを前記目的とする温度にするように冷却可能な冷却装置において、
前記一面に圧接される圧接面と該圧接面の反対側の被冷却面と多数の冷却部材であって前記被冷却面のうち前記一面の中心を含む一定範囲の部分に対応する内側面の外側の外側面に一方側から他方側に空気が通過可能なように立設された多数の冷却部材とを備えた冷却体と、前記空気を供給可能な空気供給手段と、前記内側面に対向する方向から前記内側面のうち前記中心に対応する位置を含む特定範囲の部分に当たるように圧縮機で圧縮され放熱された圧縮空気を噴射器で放出して供給可能にする圧縮空気供給手段と、を有することを特徴とする冷却装置。 - 前記半導体デバイスの温度を検出する温度検出手段と、前記圧縮空気の流量を調整可能にする圧縮空気流量調整手段と、前記温度検出手段が検出した温度が前記目的とする温度になるように前記圧縮空気流量調整手段を制御する制御手段と、を有することを特徴とする請求項1に記載の冷却装置。
- 前記空気の流量を調整可能にする空気流量調整手段と、前記検出した温度と前記目的とする温度との差が所定値以上のときには前記差が前記所定値になるように前記空気流量調整手段を制御する第2制御手段とを有し、前記制御手段は前記差が前記所定値より小さくなったときに前記温度検出手段が検出した温度が前記目的とする温度になるように前記圧縮空気流量調整手段を制御することを特徴とする請求項2に記載の冷却装置。
- 前記圧縮空気供給手段は前記圧縮空気と熱媒体液とを混合して前記熱媒体液を微小粒にして前記圧縮空気で供給可能にすることを特徴とする請求項1に記載の冷却装置。
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