KR100813189B1 - 냉각 장치 - Google Patents
냉각 장치 Download PDFInfo
- Publication number
- KR100813189B1 KR100813189B1 KR1020050069136A KR20050069136A KR100813189B1 KR 100813189 B1 KR100813189 B1 KR 100813189B1 KR 1020050069136 A KR1020050069136 A KR 1020050069136A KR 20050069136 A KR20050069136 A KR 20050069136A KR 100813189 B1 KR100813189 B1 KR 100813189B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- temperature
- cooling
- air
- compressed air
- heat
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K7/00—Constructional details common to different types of electric apparatus
- H05K7/20—Modifications to facilitate cooling, ventilating, or heating
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/34—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
- H01L23/46—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements involving the transfer of heat by flowing fluids
- H01L23/467—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements involving the transfer of heat by flowing fluids by flowing gases, e.g. air
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/26—Testing of individual semiconductor devices
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
- Cooling Or The Like Of Electrical Apparatus (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
Description
Claims (4)
- 평면형상의 일면을 구비하고 있고 통전되면 목적으로 하는 온도보다 높은 온도까지 발열하여 상기 일면의 온도가 상승하는 반도체 디바이스를 상기 목적으로 하는 온도로 하도록 냉각가능한 냉각 장치에 있어서,상기 일면에 압접되는 압접면과 이 압접면의 반대측의 피냉각면을 구비한 판상 부분과, 다수의 냉각부재로서 상기 피냉각면에서 상기 일면의 중심을 포함하는 일정 범위의 부분에 대응하는 내측면의 외측에 있는 외측면에 일방측으로부터 타방측으로 공기가 통과 가능하도록 세워 설치된 다수의 냉각부재를 구비한 냉각체와, 상기 공기를 공급가능한 공기 공급수단과, 상기 내측면에 대향하는 방향으로부터 상기 내측면 중 상기 중심에 대응하는 위치를 포함하는 특정 범위의 부분에 닿도록 압축기로 압축되어 방열된 압축공기를 분사기로 방출해서 공급 가능하게 하는 압축공기 공급수단을 가지는 것을 특징으로 하는 냉각 장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 반도체 디바이스의 온도를 검출하는 온도 검출 수단과, 상기 압축공기의 유량을 조정 가능하게 하는 압축공기 유량 조정수단과, 상기 온도 검출 수단이 검출한 온도가 상기 목적으로 하는 온도로 되도록 상기 압축공기 유량 조정수단을 제어하는 제어 수단을 가지는 것을 특징으로 하는 냉각 장치.
- 제 2 항에 있어서, 상기 공기의 유량을 조정 가능하게 하는 공기유량 조정수 단과, 상기 검출한 온도와 상기 목적으로 하는 온도의 차가 소정값 이상일 때에는 상기 차가 상기 소정값으로 되도록 상기 공기유량 조정수단을 제어하는 제2 제어수단을 가지고, 상기 제어 수단은 상기 차가 상기 소정값보다 작아졌을 때에 상기 온도 검출 수단이 검출한 온도가 상기 목적으로 하는 온도로 되도록 상기 압축공기 유량 조정수단을 제어하는 것을 특징으로 하는 냉각 장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 압축공기 공급수단은 상기 압축공기와 열매체액을 혼합해서 상기 열매체액을 미소립로 해서 상기 압축공기로 공급 가능하게 하는 것을 특징으로 하는 냉각 장치.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JPJP-P-2004-00224857 | 2004-07-30 | ||
JP2004224857A JP4177796B2 (ja) | 2004-07-30 | 2004-07-30 | 冷却装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20060048889A KR20060048889A (ko) | 2006-05-18 |
KR100813189B1 true KR100813189B1 (ko) | 2008-03-13 |
Family
ID=35730609
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020050069136A KR100813189B1 (ko) | 2004-07-30 | 2005-07-28 | 냉각 장치 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7257956B2 (ko) |
JP (1) | JP4177796B2 (ko) |
KR (1) | KR100813189B1 (ko) |
TW (1) | TWI284968B (ko) |
Families Citing this family (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100878212B1 (ko) * | 2007-06-26 | 2009-01-13 | 세크론 주식회사 | 몰딩된 반도체소자용 냉각장치 |
US9426903B1 (en) | 2008-06-27 | 2016-08-23 | Amazon Technologies, Inc. | Cooling air stack for computer equipment |
US8154870B1 (en) | 2009-12-23 | 2012-04-10 | Amazon Technologies, Inc. | Air directing device for rack system |
JP2011203963A (ja) * | 2010-03-25 | 2011-10-13 | Fujitsu Ltd | 計算機冷却システム及び計算機冷却方法 |
US8755192B1 (en) | 2010-03-31 | 2014-06-17 | Amazon Technologies, Inc. | Rack-mounted computer system with shock-absorbing chassis |
US8638553B1 (en) | 2010-03-31 | 2014-01-28 | Amazon Technologies, Inc. | Rack system cooling with inclined computing devices |
US9894808B2 (en) | 2010-03-31 | 2018-02-13 | Amazon Technologies, Inc. | Compressed air cooling system for data center |
US9622387B1 (en) | 2010-03-31 | 2017-04-11 | Amazon Technologies, Inc. | Rack-mounted air directing device with scoop |
US10492331B1 (en) | 2010-09-29 | 2019-11-26 | Amazon Technologies, Inc. | System and method for cooling power distribution units |
JP5295202B2 (ja) * | 2010-11-08 | 2013-09-18 | フリージア・マクロス株式会社 | 放熱構造 |
JP2012113507A (ja) * | 2010-11-24 | 2012-06-14 | Fujitsu Ltd | 情報処理装置の冷却システムおよび空調機 |
JP5851303B2 (ja) * | 2012-03-28 | 2016-02-03 | 三菱電機株式会社 | 冷凍サイクル装置および室外熱源ユニット |
JP6015209B2 (ja) * | 2012-07-31 | 2016-10-26 | 株式会社ソシオネクスト | 温度調節装置、温度調節方法、電子装置の製造方法及び温度調節プログラム |
US10082857B1 (en) | 2012-08-07 | 2018-09-25 | Amazon Technologies, Inc. | Cooling electrical systems based on power measurements |
US20140167795A1 (en) * | 2012-12-14 | 2014-06-19 | Texas Instruments Incorporated | Active feedback silicon failure analysis die temperature control system |
US9894809B1 (en) | 2013-02-28 | 2018-02-13 | Amazon Technologies, Inc. | System for supplying cooling air from sub-floor space |
US9451730B2 (en) | 2013-03-06 | 2016-09-20 | Amazon Technologies, Inc. | Managing airflow supplied through soft ducts |
WO2017064886A1 (ja) | 2015-10-15 | 2017-04-20 | 株式会社Ihi | 電子機器用の冷却装置 |
CN107845949A (zh) * | 2017-12-13 | 2018-03-27 | 镭神技术(深圳)有限公司 | 一种小功率芯片老化机 |
KR102377170B1 (ko) * | 2019-03-05 | 2022-03-23 | 주식회사 아이티엔티 | 번인 보드 |
US11243550B2 (en) * | 2020-05-29 | 2022-02-08 | Juniper Networks, Inc. | Optical-electrical device using hybrid automated testing equipment |
CN111949095A (zh) * | 2020-07-20 | 2020-11-17 | 中国长城科技集团股份有限公司 | 一种冷却方法及*** |
CN112099591B (zh) * | 2020-07-21 | 2022-06-21 | 曙光数据基础设施创新技术(北京)股份有限公司 | 一种用于高热流密度超算服务器的浸没射流相变液冷*** |
CN112099593B (zh) * | 2020-07-21 | 2022-06-21 | 曙光数据基础设施创新技术(北京)股份有限公司 | 一种用于高热流密度服务器的浸没液冷散热*** |
CN112099592B (zh) * | 2020-07-21 | 2022-06-21 | 曙光数据基础设施创新技术(北京)股份有限公司 | 刀片服务器壳内部的自循环浸没射流相变液冷散热装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20000011934A (ko) * | 1998-07-24 | 2000-02-25 | 가부시키가이샤 어드밴티스트 | 집적회로시험장치 |
KR20030009874A (ko) * | 2001-07-24 | 2003-02-05 | 미래산업 주식회사 | 핸들러용 디바이스 발열 보상장치 |
KR20030049837A (ko) * | 2001-12-17 | 2003-06-25 | 미래산업 주식회사 | 반도체 소자 테스트 핸들러용 인덱스장치 |
KR20040026458A (ko) * | 2002-09-24 | 2004-03-31 | 미래산업 주식회사 | 핸들러 |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4851965A (en) | 1987-03-09 | 1989-07-25 | Unisys Corporation | Directed air management system for cooling multiple heat sinks |
JP2519845B2 (ja) | 1991-04-22 | 1996-07-31 | タバイエスペック株式会社 | 空気噴射式温度制御装置 |
JPH06307731A (ja) * | 1993-02-26 | 1994-11-01 | Jiro Ishiguro | 空調装置 |
JPH07321265A (ja) * | 1994-05-27 | 1995-12-08 | Fujitsu Ltd | 集積回路素子モジュールの冷却構造 |
JP2876106B2 (ja) | 1995-01-31 | 1999-03-31 | タバイエスペック株式会社 | バーンイン用複合体及び複合体使用バーンイン装置 |
JP2850803B2 (ja) * | 1995-08-01 | 1999-01-27 | 信越半導体株式会社 | ウエーハ研磨方法 |
JP3399826B2 (ja) | 1998-02-09 | 2003-04-21 | エスペック株式会社 | 環境装置の送風装置 |
JP3713142B2 (ja) | 1998-07-15 | 2005-11-02 | ペンタックス株式会社 | ステップズーム光学系及びそのフォーカス制御方式 |
WO2000025981A1 (fr) * | 1998-10-30 | 2000-05-11 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | Plan non poli de maintien/travail et son procede de fabrication ; technique et dispositif de polissage |
KR100334740B1 (ko) * | 1999-06-29 | 2002-05-04 | 오희범 | 반도체 설비용 항온항습 공기 공급 방법 및 장치 |
US6557357B2 (en) * | 2000-02-18 | 2003-05-06 | Toc Technology, Llc | Computer rack heat extraction device |
US6574970B2 (en) * | 2000-02-18 | 2003-06-10 | Toc Technology, Llc | Computer room air flow method and apparatus |
EP1199135A4 (en) * | 2000-03-29 | 2004-07-21 | Shinetsu Handotai Kk | WORKPIECE HOLDER PLATE FOR POLISHING AND RELATED METHOD AND DEVICE |
WO2002052912A1 (en) * | 2000-12-23 | 2002-07-04 | Korea Advanced Institute Of Science & Technology | Heat sink |
US6506111B2 (en) * | 2001-05-16 | 2003-01-14 | Sanmina-Sci Corporation | Cooling airflow distribution device |
US6859366B2 (en) * | 2003-03-19 | 2005-02-22 | American Power Conversion | Data center cooling system |
US20050175775A1 (en) * | 2004-02-06 | 2005-08-11 | Shirley Paul D. | Device and method for forming improved resist layer |
-
2004
- 2004-07-30 JP JP2004224857A patent/JP4177796B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2005
- 2005-06-24 TW TW094121175A patent/TWI284968B/zh not_active IP Right Cessation
- 2005-07-28 KR KR1020050069136A patent/KR100813189B1/ko active IP Right Grant
- 2005-08-01 US US11/195,500 patent/US7257956B2/en active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20000011934A (ko) * | 1998-07-24 | 2000-02-25 | 가부시키가이샤 어드밴티스트 | 집적회로시험장치 |
KR20030009874A (ko) * | 2001-07-24 | 2003-02-05 | 미래산업 주식회사 | 핸들러용 디바이스 발열 보상장치 |
KR20030049837A (ko) * | 2001-12-17 | 2003-06-25 | 미래산업 주식회사 | 반도체 소자 테스트 핸들러용 인덱스장치 |
KR20040026458A (ko) * | 2002-09-24 | 2004-03-31 | 미래산업 주식회사 | 핸들러 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4177796B2 (ja) | 2008-11-05 |
US20060021364A1 (en) | 2006-02-02 |
TWI284968B (en) | 2007-08-01 |
US7257956B2 (en) | 2007-08-21 |
TW200607065A (en) | 2006-02-16 |
KR20060048889A (ko) | 2006-05-18 |
JP2006049389A (ja) | 2006-02-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100813189B1 (ko) | 냉각 장치 | |
KR100866889B1 (ko) | 냉각 장치 | |
US6438984B1 (en) | Refrigerant-cooled system and method for cooling electronic components | |
US7013662B1 (en) | Staggered spray nozzle system | |
US6880350B2 (en) | Dynamic spray system | |
US6587343B2 (en) | Water-cooled system and method for cooling electronic components | |
US20030042004A1 (en) | Interchangeable cartridges for cooling electronic components | |
US20030042003A1 (en) | Method and system for cooling electronic components | |
JP2010535417A (ja) | 電子部品の温度制御装置 | |
TW201424568A (zh) | 一種測試中裝置所用的熱頭以及一種用於測試中裝置溫度的控制方法 | |
US7583501B2 (en) | Electronic apparatus | |
JP2005156172A (ja) | ミドルパワー及びハイパワーic用テストバーンイン装置 | |
TW201910784A (zh) | 電子元件壓接機構之壓接器及其應用之測試分類設備 | |
KR100838695B1 (ko) | 번 인 장치 | |
US6628132B2 (en) | Methods and apparatus for testing a semiconductor structure using improved temperature desoak techniques | |
JP2007107919A (ja) | バーンイン装置及びその制御方法 | |
JP2000294705A (ja) | 電力用半導体素子を有する駆動装置およびプリンタ | |
EP3108748B1 (en) | Aquarium thermostat using plurality of peltier elements and method for adjusting breeding water temperature | |
JP2006269635A (ja) | ファン付きヒートシンク | |
KR102665803B1 (ko) | 노즐냉각수단이 구비된 디스펜싱밸브 | |
CN116540071A (zh) | 一种激光器芯片老化测试装置 | |
CN115366658A (zh) | 用于车辆的热管理***及车辆控制方法 | |
JP2003264913A (ja) | 盤用電子式冷却装置 | |
JP2006322866A (ja) | 温度制御装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20130227 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20140220 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20150224 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20160218 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20170220 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20180219 Year of fee payment: 11 |