JP4141178B2 - ターボ分子ポンプのシール構造 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、腐食性を有するガスや凝縮し易いガス等を含んだプロセスガスの排気に好適なターボ分子ポンプのシール構造に関する。
【0002】
【従来の技術】
この種の従来のターボ分子ポンプのシール構造として出願人は先に図3の如くころがり軸受aを介して回転軸bを支承しているターボ分子ポンプcにおいて、該ターボ分子ポンプcのハウジングの静止部材dに径方向に搖動可能に嵌入された円筒状のブッシュeと、該ブッシュeの内周部に僅少の間隙を有して回動自在に該内周部を挿通した前記回転軸bの一部のジャーナル軸部fとからなり、該ジャーナル軸部fの外周部にヘリングボーン形の溝gを回転方向に向かってへの字状に開いた形状に凹設し、前記ブッシュeはその外周部に少許の間隙を存して前記静止部材dに緩嵌されると共に該外周部に嵌着した2本のOリングhを介して前記静止部材dに係止される構造を提案した(特願2000−340086)。
【0003】
これは、ブッシュeとジャーナル軸部fとの間に動圧式ねじシールを形成して軸封し、ころがり軸受aのある大気圧側からポンプロータkのある真空側へガスが漏洩するのを防止しようとするものである。
【0004】
即ち、図3に示す従来例では、ブッシュeの外周の上部及び下部にそれぞれ配置されたOリングhの2本で該ブッシュeを弾性的に支持すると共に該ブッシュeの外周部を通ってガスが漏洩するのを防止しており、又、図4に示す他の従来例にあっては、ブッシュeの外周部を2本のOリングhで弾性的に支持すると共にブッシュeの両側端部にもOリングiをそれぞれ当接させて、前記ブッシュeを軸方向にも弾性的に支持するようにしている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら図3に示す従来例の如く、Oリングhをブッシュeの外周部に配置した方式では、該ブッシュeの上端面は真空側、下端面は大気圧側となるため、両者の差圧によって該ブッシュeは上部の固定部品jに押し付けられて自由に搖動ができなくなる。このため動圧式ねじシールのジャーナル軸部fとブッシュeの間の微小な間隙を維持できなくなって、両者が固体接触を生じて焼付きを起こすという問題があった。
【0006】
又、図4に示す従来例の如く、ブッシュeの両端端部にもOリングiを配置して軸方向にも弾性支持した場合には、これらのOリングiの剛性が前記ヘリングボーン溝部に発生する動圧よりも大きいため前記ブッシュeの自由な揺動が制限されて、やはりジャーナル軸部fとブッシュeとが固体接触を生じて焼付きを起こすという問題があった。
【0007】
本発明はこれらの問題点を解消し、ターボ分子ポンプの動圧式ねじシールにおいて、固体接触を起こす心配のないシール構造を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記の目的を達成すべく、第1発明は、ころがり軸受を介して回転軸を支承しているターボ分子ポンプにおいて、該ターボ分子ポンプのハウジングの静止部材に径方向の揺動可能に且つ外周部で通気可能に嵌入された円筒状のブッシュと、該ブッシュの内周部に僅少の間隙を有して回動自在に挿通したジャーナル軸部とからなり、該ジャーナル軸部の外周部にヘリングボーン形の溝を回転方向に向かってへの字状に開いた形状に凹設して動圧式ねじシールを形成し、前記動圧式ねじシール部をターボ分子ポンプの回転軸のポンプロータと前記ころがり軸受との中間部に配置し、前記ハウジングの静止部材に係着したOリングを前記ブッシュのころがり軸受側の内周部に当接したことを特徴とし、又、第2発明は、ころがり軸受を介して回転軸を支承しているターボ分子ポンプにおいて、該ターボ分子ポンプのハウジングの静止部材に径方向の揺動可能に且つ外周部で通気可能に嵌入された円筒状のブッシュと、該ブッシュの内周部に僅少の間隙を有して回動自在に挿通したジャーナル軸部とからなり、該ジャーナル軸部の外周部にヘリングボーン形の溝を回転方向に向かってへの字状に開いた形状に凹設して動圧式ねじシールを形成し、前記動圧式ねじシール部をターボ分子ポンプの回転軸のポンプロータと前記ころがり軸受との中間部に配置し、前記ハウジングの静止部材に係着したOリングを前記ブッシュのポンプロータ側の内周部に当接したことを特徴とする。
【0009】
【発明の実施の形態】
本発明の第1の実施の形態を図1により説明する。
【0010】
図1は本発明を適用したターボ分子ポンプの一部縦断面図を示し、1は回転軸である。
【0011】
該回転軸1の一端部には多数の動翼(図示せず)を有するポンプロータ2がボルト1cにより螺着されている。
【0012】
3はころがり軸受で、該ころがり軸受3はターボ分子ポンプの静止部材4に嵌着されていて、図示されていない他のころがり軸受と共に前記回転軸1を回動自在に支承している。
【0013】
5は動圧式ねじシール部を示し、該動圧ねじシール部5は前記ポンプロータ2と前記ころがり軸受3との中間部の回転軸1上に形成されている。
【0014】
即ち、該動圧式ねじシール部5は、円筒状静止部材4a内に径方向の微小の揺動可能に嵌入された円筒状のブッシュ5aと、該ブッシュ5aの内周部に僅少の間隙を有して挿通するジャーナル軸部1aとからなる。
【0015】
該ジャーナル軸部1aは前記回転軸1の一部を形成し、その外周部にはヘリングボーン形の溝1agが回転軸1の回転方向に向かってヘの字状に開いた形状に多数等間隔に凹設されている。
【0016】
又、前記ブッシュ5aの軸方向長さを該ジャーナル軸部1aの長さよりも少許長めに形成して、前記ブッシュ5aの下方部を該ジャーナル軸部1aの下端部よりも少許下方へ突出させた。
【0017】
更に又、外周部にOリング溝4bgを有するフランジ4bを前記静止部材4の端面部に付設すると共に、該Oリング溝4bgにOリング6を嵌入し、該Oリング6が前記ブッシュ5aの下方部の内周部に弾力的に当接する構造に形成した。
【0018】
尚、前記回転軸1は、前記ジャーナル軸部1aの下方に前記ジャーナル軸部1aよりも細い軸径の細軸部1bを連設して、該細軸部1bが前記フランジ4bの内周部に僅少の間隙を有して挿通する構造とした。
【0019】
次に、本実施の形態のターボ分子ポンプのシール構造の機能及び作動について説明する。
【0020】
ターボ分子ポンプの運転時には、ねじシール部5を挟んでポンプロータ2のある側は真空となり、ころがり軸受3のある側は大気圧に近い圧力となる。この圧力差は、ヘリングボーン形の溝1agを有するねじシール部5によって軸封されている。
【0021】
然してポンプロータ2側の負圧は、ねじシール部5を構成するブッシュ5aの外周部を経て、該ブッシュ5aの下側端面5akに到り、該ブッシュ5aの内周面に当接しているOリング6によって遮断されている。
【0022】
即ち、前記負圧はブッシュ5aの上側端面5auと該ブッシュ5aの下側端面5akとに平等に作用するので、該ブッシュ5aに軸方向の推力を生ずることがない。
【0023】
このため該ブッシュ5aは上下の側端面部5au、5akが静止部材側に押し付けられることがなく、該ブッシュ5aは前記へリングボーン形溝1agの動圧に応じて自由に揺動をすることができる。
【0024】
かくして本実施例の形態では、ジャーナル軸部1aとブッシュ5aとが接触することがなく、焼付きを起こさない安全なシール構造を提供している。
【0025】
本発明の第2の実施の形態を図2により説明する。
【0026】
図2は本発明を適用したターボ分子ポンプの一部縦断面図を示し、本実施の形態は、Oリング6をブッシュ5aの上方部の内周部に配置した点以外は前記第1の実施の形態と略同様である。
【0027】
即ち、本実施の形態では、ねじシール部5´において、ブッシュ5aをジャーナル軸部1aの上端部よりも少許上方へ突出させた。又、外周部にOリング溝4cgを有するフランジ4dを静止部材4の軸方向上方に突出して設けた円筒状静止部材4cの先端部に付設した。
【0028】
そして、該Oリング溝にOリング6を嵌入し、該Oリング6が前記ブッシュ5aの上方部の内周部に弾力的に当接する構造に形成した。
【0029】
尚、回転軸1´は、前記ジャーナル軸部1aの上方に前記ジャーナル軸1aよりも細い軸径の細軸部1dを連設して、該細軸部1dに筒状のスペーサ1eを嵌め合せて固定すると共に、該スペーサ1eの外周部が前記フランジ4dの内周部に僅少の間隙を有して挿通する構造とした。
【0030】
次に本実施の形態のターボ分子ポンプのシール構造の機能及び作動について説明する。
【0031】
ターボ分子ポンプの運転時に、ねじシール部5´を挟んでポンプロータ2のある真空側と軸受3のある大気圧側とは、該ねじシール部5´によって軸封されている。
【0032】
然して軸受側の大気圧は、ブッシュ5aの外周部を経て該ブッシュ5aの内周面に当接しているOリング6によって遮断されている。
【0033】
即ち、前記大気圧はブッシュ5aの上側端面5auと該ブッシュ5aの下側端面5akとに平等に作用するので、該ブッシュ5aに軸方向の推力を与えることがない。
【0034】
かくて、前記ブッシュ5aはヘリングボーン形溝1agの動圧に応じて自由に搖動して、ジャーナル軸部1aとブッシュ5aとが接触することなく、安全なシール構造となっている。
【0035】
【発明の効果】
このように本発明によれば、動圧式ねじシール部における固体接触の発生を防止して、焼付きを起こすことのない安全なターボ分子ポンプのシール構造を提供できる効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態のターボ分子ポンプの一部縦断面図である。
【図2】本発明の第2の実施の形態のターボ分子ポンプの一部縦断面図である。
【図3】従来のターボ分子ポンプの縦断面図である。
【図4】従来のターボ分子ポンプの他の例の一部縦断面図である。
【符号の説明】
1、1´ 回転軸
1a ジャーナル軸部
1ag ヘリングボーン形の溝
2 ポンプロータ
3 ころがり軸受
4 ハウジングの静止部材
4bg、4dg Oリング溝
5、5´ 動圧式ねじシール部
5a ブッシュ
6 Oリング
Claims (4)
- ころがり軸受を介して回転軸を支承しているターボ分子ポンプにおいて、該ターボ分子ポンプのハウジングの静止部材に径方向の揺動可能に且つ外周部で通気可能に嵌入された円筒状のブッシュと、該ブッシュの内周部に僅少の間隙を有して回動自在に挿通したジャーナル軸部とからなり、該ジャーナル軸部の外周部にヘリングボーン形の溝を回転方向に向かってへの字状に開いた形状に凹設して動圧式ねじシールを形成し、前記動圧式ねじシール部をターボ分子ポンプの回転軸のポンプロータと前記ころがり軸受との中間部に配置し、前記ハウジングの静止部材に係着したOリングを前記ブッシュのころがり軸受側の内周部に当接したターボ分子ポンプのシール構造。
- 前記Oリングを係着するためのOリング溝を外周部に有するフランジを前記ハウジングの静止部材に付設すると共に、前記ジャーナル軸部の前記ころがり軸受側に前記ジャーナル軸部よりも細い軸径の細軸部を連設して、該細軸部が前記フランジの内周部に僅少の間隙を有して挿通する構造に形成した請求項1に記載のターボ分子ポンプのシール構造。
- ころがり軸受を介して回転軸を支承しているターボ分子ポンプにおいて、該ターボ分子ポンプのハウジングの静止部材に径方向の揺動可能に且つ外周部で通気可能に嵌入された円筒状のブッシュと、該ブッシュの内周部に僅少の間隙を有して回動自在に挿通したジャーナル軸部とからなり、該ジャーナル軸部の外周部にヘリングボーン形の溝を回転方向に向かってへの字状に開いた形状に凹設して動圧式ねじシールを形成し、前記動圧式ねじシール部をターボ分子ポンプの回転軸のポンプロータと前記ころがり軸受との中間部に配置し、前記ハウジングの静止部材に係着したOリングを前記ブッシュのポンプロータ側の内周部に当接したターボ分子ポンプのシール構造。
- 前記Oリングを係着するためのOリング溝を外周部に有するフランジを前記ハウジングの静止部材から軸方向に突出した円筒状静止部材の先端部に付設すると共に、前記ジャーナル軸部の前記ポンプロータ側に前記ジャーナル軸部よりも細い軸径の細軸部を連設して、該細軸部が前記フランジの内周部に僅少の間隙を有して挿通する構造に形成した請求項3に記載のターボ分子ポンプのシール構造。
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