JP2002147385A - ターボ分子ポンプのシール構造 - Google Patents
ターボ分子ポンプのシール構造Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 腐食性を有するガスや凝縮性を有するガスを
含んだシステムガスの排気を行なうターボ分子ポンプに
おいて、軸受部やモータ部へのシステムガスの浸入を防
止できるようなシール構造を提供する。 【解決手段】 ターボ分子ポンプ１の静止部材１０にＯ
リング１３ａ、１３ｂを介して径方向の揺動可能に嵌入
されたブッシュ１２と、該ブッシュ１２の内周部に僅少
の間隙を有して回動自在に挿通するジャーナル軸部８ａ
とからなり、該ジャーナル軸部８ａの外周部にはヘリン
グボーン形の溝８ｂとねじ溝８ｃとを凹設すると共に、
これらブッシュ１２とジャーナル軸部８ａとの間にパー
ジガスを導入した。
含んだシステムガスの排気を行なうターボ分子ポンプに
おいて、軸受部やモータ部へのシステムガスの浸入を防
止できるようなシール構造を提供する。 【解決手段】 ターボ分子ポンプ１の静止部材１０にＯ
リング１３ａ、１３ｂを介して径方向の揺動可能に嵌入
されたブッシュ１２と、該ブッシュ１２の内周部に僅少
の間隙を有して回動自在に挿通するジャーナル軸部８ａ
とからなり、該ジャーナル軸部８ａの外周部にはヘリン
グボーン形の溝８ｂとねじ溝８ｃとを凹設すると共に、
これらブッシュ１２とジャーナル軸部８ａとの間にパー
ジガスを導入した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、腐食性を有するガ
スや凝縮し易いガス等を含んだプロセスガスの排気に最
適なターボ分子ポンプのシール構造に関する。
スや凝縮し易いガス等を含んだプロセスガスの排気に最
適なターボ分子ポンプのシール構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造装置等に用いられている従来
のターボ分子ポンプの構造の一例を図８に示した。
のターボ分子ポンプの構造の一例を図８に示した。
【０００３】図８において、ａは吸気口でありｂが排気
口である。プロセスガスは動翼ｃと静翼ｄの作用によっ
て吸気口ａから吸入され、排気口ｂから排出される。
口である。プロセスガスは動翼ｃと静翼ｄの作用によっ
て吸気口ａから吸入され、排気口ｂから排出される。
【０００４】多数の動翼ｃを取付けて高速回転するロー
タｅの中心には回転軸ｆがあって、ころがり軸受ｇ、ｈ
を介してハウジングｉに支承されている。
タｅの中心には回転軸ｆがあって、ころがり軸受ｇ、ｈ
を介してハウジングｉに支承されている。
【０００５】前記ころがり軸受ｇ、ｈの潤滑は、潤滑油
槽ｊに溜めた潤滑油が回転軸ｆに設けられた油穴ｋの内
周を、回転によって生ずる遠心力で上昇することによっ
て行なわれる。
槽ｊに溜めた潤滑油が回転軸ｆに設けられた油穴ｋの内
周を、回転によって生ずる遠心力で上昇することによっ
て行なわれる。
【０００６】ｍはラビリンスリングで、静止しており、
回転軸ｆとの間で排気ガスのシールを行なう。
回転軸ｆとの間で排気ガスのシールを行なう。
【０００７】尚、ラビリンスリングｍと回転軸ｆとの接
触を避けるため、両者間の間隙ｐを従来は数百ミクロン
程度としていた。
触を避けるため、両者間の間隙ｐを従来は数百ミクロン
程度としていた。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】従来のようにラビリン
スリングｍと回転軸ｆとの間隙が広いと、排気ガスの一
部がラビリンスリングｍを越えて内部へ浸入するのを防
止するのはむずかしく、前記間隙に窒素ガス等のパージ
ガスを導入しても、僅かではあるが排気ガスの一部が軸
受部へ浸入して、軸受やモータ等を腐食させて、ターボ
分子ポンプに故障を誘発するという問題があった。
スリングｍと回転軸ｆとの間隙が広いと、排気ガスの一
部がラビリンスリングｍを越えて内部へ浸入するのを防
止するのはむずかしく、前記間隙に窒素ガス等のパージ
ガスを導入しても、僅かではあるが排気ガスの一部が軸
受部へ浸入して、軸受やモータ等を腐食させて、ターボ
分子ポンプに故障を誘発するという問題があった。
【０００９】更に又、ターボ分子ポンプの構造を簡単に
するために、グリース潤滑式のころがり軸受の採用が望
まれているが、潤滑油を用いたころがり軸受の場合には
期待できる潤滑油による排気ガスの稀釈効果もグリース
潤滑式では期待できないという問題があった。
するために、グリース潤滑式のころがり軸受の採用が望
まれているが、潤滑油を用いたころがり軸受の場合には
期待できる潤滑油による排気ガスの稀釈効果もグリース
潤滑式では期待できないという問題があった。
【００１０】本発明はこれらの問題点を解消し、グリー
ス潤滑式のころがり軸受の場合にも腐食性や凝縮性を有
するプロセスガスを安全に排気することができるような
ターボ分子ポンプのシール構造を提供することを目的と
する。
ス潤滑式のころがり軸受の場合にも腐食性や凝縮性を有
するプロセスガスを安全に排気することができるような
ターボ分子ポンプのシール構造を提供することを目的と
する。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明は上記の目的を達
成すべくターボ分子ポンプのハウジングの静止部材に径
方向の揺動可能に嵌入された円筒状のブッシュと、該ブ
ッシュの内周部に僅少の間隙を有して回動自在に該内周
部を挿通したジャーナル軸部とからなり、該ジャーナル
軸部の外周部又は前記ブッシュの内周部にヘリングボー
ン形の溝を回転方向に向かってへの字状に開いた形状に
凹設したことを特徴とする。
成すべくターボ分子ポンプのハウジングの静止部材に径
方向の揺動可能に嵌入された円筒状のブッシュと、該ブ
ッシュの内周部に僅少の間隙を有して回動自在に該内周
部を挿通したジャーナル軸部とからなり、該ジャーナル
軸部の外周部又は前記ブッシュの内周部にヘリングボー
ン形の溝を回転方向に向かってへの字状に開いた形状に
凹設したことを特徴とする。
【００１２】
【発明の実施の形態】本発明の第１の実施の形態を図１
及び図２により説明する。
及び図２により説明する。
【００１３】図１は本発明のシール構造を有するターボ
分子ポンプ１の縦断面図であり、２は後述するシール構
造部分、３は吸気口、４が排気口である。
分子ポンプ１の縦断面図であり、２は後述するシール構
造部分、３は吸気口、４が排気口である。
【００１４】５はロータで、外周に多数の動翼６を放射
状に取付けて有している。
状に取付けて有している。
【００１５】７は静翼である。
【００１６】前記ロータ５の中心には回転軸８があっ
て、ロータ５と回転軸８は一体となって高速回転をす
る。
て、ロータ５と回転軸８は一体となって高速回転をす
る。
【００１７】前記回転軸８は、グリース潤滑式のころが
り軸受９ａ及び９ｂを介してケーシングの静止部材１
０、１１に回動自在に支承されている。
り軸受９ａ及び９ｂを介してケーシングの静止部材１
０、１１に回動自在に支承されている。
【００１８】前記シール構造部分２の詳細を図２に示し
た。
た。
【００１９】即ち、シール構造部分２は、前記静止部材
１０に設けた軸孔１０ａに径方向の揺動可能に緩嵌され
たブッシュ１２と、該ブッシュ１２を回動自在に挿通す
るジャーナル軸部８ａとからなる。
１０に設けた軸孔１０ａに径方向の揺動可能に緩嵌され
たブッシュ１２と、該ブッシュ１２を回動自在に挿通す
るジャーナル軸部８ａとからなる。
【００２０】ジャーナル軸部８ａは前記回転軸８の一部
で、該ジャーナル軸部８ａの外周部にはシール用のねじ
溝８ｃとヘリングボーン形の溝８ｂとが凹設されてお
り、該ジャーナル軸部８ａの外周部と前記ブッシュ１２
の内周部との間は５乃至１０ミクロンの僅少の間隙とな
るように形成されている。
で、該ジャーナル軸部８ａの外周部にはシール用のねじ
溝８ｃとヘリングボーン形の溝８ｂとが凹設されてお
り、該ジャーナル軸部８ａの外周部と前記ブッシュ１２
の内周部との間は５乃至１０ミクロンの僅少の間隙とな
るように形成されている。
【００２１】ブッシュ１２は円筒状で、該ブッシュ１２
の外周部と前記軸孔１０ａとの間は少なくとも１００ミ
クロン以上の間隙となるように形成されている。
の外周部と前記軸孔１０ａとの間は少なくとも１００ミ
クロン以上の間隙となるように形成されている。
【００２２】１３ａ及び１３ｂはＯリングで、低弾性率
の弾性材料からなり、前記軸孔１０ａの内周面に形成の
溝内に介入されているこれらのＯリング１３ａ、１３ｂ
によって前記ブッシュ１２が前記静止部材１０の軸孔１
０ａに径方向の揺動可能に係止されている。
の弾性材料からなり、前記軸孔１０ａの内周面に形成の
溝内に介入されているこれらのＯリング１３ａ、１３ｂ
によって前記ブッシュ１２が前記静止部材１０の軸孔１
０ａに径方向の揺動可能に係止されている。
【００２３】前記ブッシュ１２の外周部には円周方向の
環状溝１２ｂが凹設されており、更に該環状溝１２ｂの
底部を貫通して貫通孔１２ａが設けられていて、前記静
止部材１０に形成されている通気孔１０ｂから送られて
きたパージガスが該貫通孔１２ａを通って前記ブッシュ
１２とジャーナル軸部８ａとの間の僅少な間隙に送り込
まれる。
環状溝１２ｂが凹設されており、更に該環状溝１２ｂの
底部を貫通して貫通孔１２ａが設けられていて、前記静
止部材１０に形成されている通気孔１０ｂから送られて
きたパージガスが該貫通孔１２ａを通って前記ブッシュ
１２とジャーナル軸部８ａとの間の僅少な間隙に送り込
まれる。
【００２４】前記貫通孔１２ａは、前記ジャーナル軸部
８ａに凹設されているねじ溝８ｃとヘリングボーン形の
溝８ｂとの中間に開口するように形成されている。
８ａに凹設されているねじ溝８ｃとヘリングボーン形の
溝８ｂとの中間に開口するように形成されている。
【００２５】ねじ溝８ｃは、前記パージガスがターボ分
子ポンプの排気口４の方に洩れるのを防ぐように斜平行
に形成されている。
子ポンプの排気口４の方に洩れるのを防ぐように斜平行
に形成されている。
【００２６】矢印Ｆは回転軸８の回転方向を示し、前記
ヘリングボーン形の溝８ｂは、回転方向Ｆに向かってへ
の字状に開いた形状に形成されている。
ヘリングボーン形の溝８ｂは、回転方向Ｆに向かってへ
の字状に開いた形状に形成されている。
【００２７】尚、１４は回転軸８を回転駆動するモータ
部分である。
部分である。
【００２８】次に本実施の形態のターボ分子ポンプ１の
作動及び効果について説明する。
作動及び効果について説明する。
【００２９】ターボ分子ポンプ１は、ロータ５が回転軸
８と一体となってモータ部分１４により回転駆動され
る。
８と一体となってモータ部分１４により回転駆動され
る。
【００３０】回転軸８を軸支する上下２組の軸受９ａ、
９ｂは共にグリース封入式のころがり軸受であり、潤滑
油タンクや潤滑油ポンプが不要な簡便な構造となってい
る。
９ｂは共にグリース封入式のころがり軸受であり、潤滑
油タンクや潤滑油ポンプが不要な簡便な構造となってい
る。
【００３１】ロータ５の高速回転によってプロセスガス
の排気が行なわれる。
の排気が行なわれる。
【００３２】プロセスガスの一部が、矢印Ｚの経路を通
って前記軸受９ａ、９ｂ及びモータ部分１４へ浸入して
くるのを防止しているのがシール構造部分２である。
って前記軸受９ａ、９ｂ及びモータ部分１４へ浸入して
くるのを防止しているのがシール構造部分２である。
【００３３】即ち、シール構造部分２を構成するブッシ
ュ１２の外周部と静止部材１０との間はＯリング１３
ａ、１３ｂによって密封されているので、この間からの
前記プロセスガスの浸入は防止されている。
ュ１２の外周部と静止部材１０との間はＯリング１３
ａ、１３ｂによって密封されているので、この間からの
前記プロセスガスの浸入は防止されている。
【００３４】又、シール構造部分２を構成するブッシュ
１２の内周部とジャーナル軸部８ａの外周部との間は、
間隙を５乃至１０ミクロンの僅少値とすると共に、この
間隙に窒素ガス等のパージガスを供給して、プロセスガ
スの浸入を防止している。
１２の内周部とジャーナル軸部８ａの外周部との間は、
間隙を５乃至１０ミクロンの僅少値とすると共に、この
間隙に窒素ガス等のパージガスを供給して、プロセスガ
スの浸入を防止している。
【００３５】尚、高速回転をしているロータ５及び回転
軸８は、残存するアンバランス重量のために、回転軸中
心の周りを微小な振幅で振れ回り運動をする。
軸８は、残存するアンバランス重量のために、回転軸中
心の周りを微小な振幅で振れ回り運動をする。
【００３６】この振幅は１０ミクロン以上あることが予
想され、もし、この振れによってジャーナル軸部８ａの
外周部とブッシュ１２の内周部とが接触すれば、摩擦熱
を発して焼き付きを起こす怖れがある。
想され、もし、この振れによってジャーナル軸部８ａの
外周部とブッシュ１２の内周部とが接触すれば、摩擦熱
を発して焼き付きを起こす怖れがある。
【００３７】しかし、これはジャーナル軸部８ａの外周
部に凹設したヘリングボーン形の溝８ｂとブッシュ１２
との間が気体軸受の如く作用して、ブッシュ１２を径方
向に押圧する力が働き、前記Ｏリング１３ａ、１３ｂの
弾性変形によってブッシュ１２の径方向への揺動が吸収
されるので、ジャーナル軸部８ａとブッシュ１２とが接
触することはない。
部に凹設したヘリングボーン形の溝８ｂとブッシュ１２
との間が気体軸受の如く作用して、ブッシュ１２を径方
向に押圧する力が働き、前記Ｏリング１３ａ、１３ｂの
弾性変形によってブッシュ１２の径方向への揺動が吸収
されるので、ジャーナル軸部８ａとブッシュ１２とが接
触することはない。
【００３８】尚、前記Ｏリング１３ａ、１３ｂは、ブッ
シュ１２と前記静止部材１０とが直接に接触しないよう
に、両者間を熱的に絶縁する作用をする。
シュ１２と前記静止部材１０とが直接に接触しないよう
に、両者間を熱的に絶縁する作用をする。
【００３９】これは、前記回転軸８が、モータ部分１４
の発熱や軸受９ａ、９ｂでの発熱及びシール構造部分２
における気体の撹拌による発熱などによって昇温してい
るので、前記ブッシュ１２を回転軸８と同程度の高温に
保って、ブッシュ１２と回転軸８（ジャーナル軸部８
ａ）との間に凝縮生成物が生成しないようにすると共
に、熱膨張によるジャーナル軸部８ａとブッシュ１２と
の間隙の大きさの減少を防止している。
の発熱や軸受９ａ、９ｂでの発熱及びシール構造部分２
における気体の撹拌による発熱などによって昇温してい
るので、前記ブッシュ１２を回転軸８と同程度の高温に
保って、ブッシュ１２と回転軸８（ジャーナル軸部８
ａ）との間に凝縮生成物が生成しないようにすると共
に、熱膨張によるジャーナル軸部８ａとブッシュ１２と
の間隙の大きさの減少を防止している。
【００４０】本発明の第２の実施の形態のターボ分子ポ
ンプのシール構造を図３により説明する。
ンプのシール構造を図３により説明する。
【００４１】本実施の形態のシール構造２ａは、シール
部のねじ溝等の構造が前記第１の実施の形態とは異な
る。
部のねじ溝等の構造が前記第１の実施の形態とは異な
る。
【００４２】即ち、本実施の形態では、シール部のねじ
溝は第１ねじ溝８ｄと第２ねじ溝８ｅの２組のねじ溝か
らなり、これらのねじ溝８ｄ、８ｅは互いに逆ねじで、
これら２組のねじ溝８ｄ、８ｅの中間に貫通孔１２ａが
開口して、パージガスを供給するようにしている。
溝は第１ねじ溝８ｄと第２ねじ溝８ｅの２組のねじ溝か
らなり、これらのねじ溝８ｄ、８ｅは互いに逆ねじで、
これら２組のねじ溝８ｄ、８ｅの中間に貫通孔１２ａが
開口して、パージガスを供給するようにしている。
【００４３】これらのねじ溝８ｄ、８ｅは、回転軸８の
回転方向Ｆの反対方向に向かってハの字状に開いた形状
に形成されている。
回転方向Ｆの反対方向に向かってハの字状に開いた形状
に形成されている。
【００４４】本実施の形態は前記第１の実施の形態にお
けるよりもシステムガスの浸入に対する防止作用が強力
であり、又、ヘリングボーン形の溝８ｂへのパージガス
の供給が助長されて、気体軸受の作用が増大する利点を
有する。
けるよりもシステムガスの浸入に対する防止作用が強力
であり、又、ヘリングボーン形の溝８ｂへのパージガス
の供給が助長されて、気体軸受の作用が増大する利点を
有する。
【００４５】本発明の第３の実施の形態のターボ分子ポ
ンプのシール構造を図４により説明する。
ンプのシール構造を図４により説明する。
【００４６】本実施の形態のシール構造２ｂは、ねじ溝
を廃止してヘリングボーン形の溝８ｂだけを凹設した点
が前記第１及び第２の実施の形態とは異なる。
を廃止してヘリングボーン形の溝８ｂだけを凹設した点
が前記第１及び第２の実施の形態とは異なる。
【００４７】尚、本実施の形態では、パージガスを供給
する通気孔１０ｂが、静止部材１０内のころがり軸受９
ａとブッシュ１２との中間部へ開口するようにした。
する通気孔１０ｂが、静止部材１０内のころがり軸受９
ａとブッシュ１２との中間部へ開口するようにした。
【００４８】従ってパージガスは、該ころがり軸受９ａ
側より前記ジャーナル軸部８ａとブッシュ１２との間隙
に拡散される。
側より前記ジャーナル軸部８ａとブッシュ１２との間隙
に拡散される。
【００４９】本実施の形態は前記第１及び第２の実施の
形態よりも構造が簡単であり、又、ヘリングボーン形の
溝８ｂを大きく形成して、気体軸受の作用を増大させる
ことができる利点を有する。
形態よりも構造が簡単であり、又、ヘリングボーン形の
溝８ｂを大きく形成して、気体軸受の作用を増大させる
ことができる利点を有する。
【００５０】本発明の第４の実施の形態のターボ分子ポ
ンプのシール構造を図５により説明する。
ンプのシール構造を図５により説明する。
【００５１】本実施の形態のシール構造２ｃは、前記第
１の実施の形態におけるブッシュ１２の代りに、内周部
に３条の円周方向の環状溝１５を有するブッシュ１２´
を用いた点が前記第１の実施の形態と異なる。
１の実施の形態におけるブッシュ１２の代りに、内周部
に３条の円周方向の環状溝１５を有するブッシュ１２´
を用いた点が前記第１の実施の形態と異なる。
【００５２】これらの環状溝１５は、ブッシュ１２´の
前記シール用ねじ溝８ｃと相対する部位に、前記シール
用ねじ溝８ｃの深さの少なくとも倍の深さで凹設されて
いる。
前記シール用ねじ溝８ｃと相対する部位に、前記シール
用ねじ溝８ｃの深さの少なくとも倍の深さで凹設されて
いる。
【００５３】これら環状溝１５は、パージガスを封入し
てブッシュ１２´の作動が安定し易くなる効果を有す
る。
てブッシュ１２´の作動が安定し易くなる効果を有す
る。
【００５４】尚、本実施の形態では、環状溝１５をブッ
シュ１２´側に設けたが、これは図６に示す如く、ジャ
ーナル軸部８ａ側に設けるようにしてもよい。
シュ１２´側に設けたが、これは図６に示す如く、ジャ
ーナル軸部８ａ側に設けるようにしてもよい。
【００５５】即ち、ジャーナル軸部８ａ側の外周部のシ
ール用ねじ溝８ｃを有する部分に、該シール用ねじ溝８
ｃの深さの少なくとも倍の深さで３条の環状溝１６を凹
設して、ブッシュ１２の作動の安定を図っている。
ール用ねじ溝８ｃを有する部分に、該シール用ねじ溝８
ｃの深さの少なくとも倍の深さで３条の環状溝１６を凹
設して、ブッシュ１２の作動の安定を図っている。
【００５６】又、本実施の形態では、環状溝１５又は環
状溝１６の溝数をいずれも３条としたが、これらは３条
以外の数であってもよい。
状溝１６の溝数をいずれも３条としたが、これらは３条
以外の数であってもよい。
【００５７】本発明の第５の実施の形態のターボ分子ポ
ンプのシール構造を図７により説明する。
ンプのシール構造を図７により説明する。
【００５８】本実施の形態のシール構造２ｄは、前記第
１の実施の形態におけるブッシュ１２の左右の両端面部
にＯリングを設置した点が前記第１の実施の形態と異な
る。
１の実施の形態におけるブッシュ１２の左右の両端面部
にＯリングを設置した点が前記第１の実施の形態と異な
る。
【００５９】即ち、ブッシュ１２は、Ｏリング１３ａ、
１３ｂを介して静止部材１０の軸孔１０ａに径方向の揺
動可能に緩嵌されていると共に、該ブッシュ１２の両端
面部に該ブッシュ１２と同芯にＯリング１３ｃ、１３ｄ
を有しており、前記静止部材１０の前記軸孔１０ａの前
後に設けた蓋体１０ｃとフランジ１０ｄとでこれらＯリ
ング１３ｃ、１３ｄを介して該ブッシュ１２を両側から
挟持している。
１３ｂを介して静止部材１０の軸孔１０ａに径方向の揺
動可能に緩嵌されていると共に、該ブッシュ１２の両端
面部に該ブッシュ１２と同芯にＯリング１３ｃ、１３ｄ
を有しており、前記静止部材１０の前記軸孔１０ａの前
後に設けた蓋体１０ｃとフランジ１０ｄとでこれらＯリ
ング１３ｃ、１３ｄを介して該ブッシュ１２を両側から
挟持している。
【００６０】前記蓋体１０ｃとフランジ１０ｄとの間隔
はブッシュ１２の長さよりも少許大に形成され、該ブッ
シュ１２が静止部材側と直接接触することはない。
はブッシュ１２の長さよりも少許大に形成され、該ブッ
シュ１２が静止部材側と直接接触することはない。
【００６１】このように本実施の形態では、前記Ｏリン
グ１３ａ、１３ｂ、１３ｃ及び１３ｄを介して静止部材
側と接するようにしたので、ブッシュ１２と静止部材側
との間の熱的な絶縁性が向上し、ブッシュ１２と回転軸
８（ジャーナル軸部８ａ）との間に凝縮生成物が生成し
たり、両者間の間隙が減少したりすることへの防止能力
が向上する。
グ１３ａ、１３ｂ、１３ｃ及び１３ｄを介して静止部材
側と接するようにしたので、ブッシュ１２と静止部材側
との間の熱的な絶縁性が向上し、ブッシュ１２と回転軸
８（ジャーナル軸部８ａ）との間に凝縮生成物が生成し
たり、両者間の間隙が減少したりすることへの防止能力
が向上する。
【００６２】尚、本実施の形態では、ブッシュ１２の外
周部と両端面部とに設けたＯリングを介して静止部材側
に係止する構造としたが、これはブッシュ１２の外周部
にあるＯリング１３ａ、１３ｂを廃止すると共に該ブッ
シュ１２の外周部と前記軸孔１０ａとの間には少許の間
隙を存するようにし、該ブッシュ１２は前記Ｏリング１
３ｃ、１３ｄを介して前記蓋体１０ｃとフランジ１０ｄ
との間で挟持して前記静止部材１０に係止するようにし
てもよい。
周部と両端面部とに設けたＯリングを介して静止部材側
に係止する構造としたが、これはブッシュ１２の外周部
にあるＯリング１３ａ、１３ｂを廃止すると共に該ブッ
シュ１２の外周部と前記軸孔１０ａとの間には少許の間
隙を存するようにし、該ブッシュ１２は前記Ｏリング１
３ｃ、１３ｄを介して前記蓋体１０ｃとフランジ１０ｄ
との間で挟持して前記静止部材１０に係止するようにし
てもよい。
【００６３】
【発明の効果】このように本発明によれば、ジャーナル
軸部の外周とブッシュの内周との間隙を僅少にして、シ
ステムガスの軸受部への浸入を防止することができるの
で、腐食性を有するガスや凝縮性を有するガスを含んだ
プロセスガスの排気を行なうターボ分子ポンプに最適な
シール構造を提供できる効果を有する。
軸部の外周とブッシュの内周との間隙を僅少にして、シ
ステムガスの軸受部への浸入を防止することができるの
で、腐食性を有するガスや凝縮性を有するガスを含んだ
プロセスガスの排気を行なうターボ分子ポンプに最適な
シール構造を提供できる効果を有する。
【図１】本発明のシール構造を有するターボ分子ポンプ
の縦断面図である。
の縦断面図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態のシール構造部の縦
断面図である。
断面図である。
【図３】本発明の第２の実施の形態のシール構造部の縦
断面図である。
断面図である。
【図４】本発明の第３の実施の形態のシール構造部の縦
断面図である。
断面図である。
【図５】本発明の第４の実施の形態のシール構造部の縦
断面図である。
断面図である。
【図６】同上第４の実施の形態のシール構造部の別の形
態の縦断面図である。
態の縦断面図である。
【図７】本発明の第５の実施の形態のシール構造部の縦
断面図である。
断面図である。
【図８】従来のターボ分子ポンプの一例の縦断面図であ
る。
る。
１ ターボ分子ポンプ ２、２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄ シール構造 ８ａ ジャーナル軸部 ８ｂ ヘリングボーン形の
溝 ８ｃ、８ｄ、８ｅ ねじ溝 １０ 静止部材 １２、１２´ ブッシュ １２ａ 貫通孔 １２ｂ、１４、１５、１６ 環状溝 １３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄ Ｏリング
溝 ８ｃ、８ｄ、８ｅ ねじ溝 １０ 静止部材 １２、１２´ ブッシュ １２ａ 貫通孔 １２ｂ、１４、１５、１６ 環状溝 １３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄ Ｏリング
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｆ０４Ｄ 29/10 Ｆ０４Ｄ 29/10 Ａ 29/12 29/12 Ｚ Ｆターム(参考） 3H022 AA01 BA01 BA04 BA06 BA07 CA01 CA11 CA12 CA13 CA14 CA19 CA21 CA22 CA28 CA35 CA38 CA40 CA48 CA57 CA58 CA60 DA00 DA01 DA04 DA08 DA11 3H031 DA02 EA01 EA03 EA05 EA07 EA08 EA09 FA04 FA11 FA15 FA32 FA39
Claims (11)
- 【請求項１】 ころがり軸受を介して回転軸を支承して
いるターボ分子ポンプにおいて、該ターボ分子ポンプの
ハウジングの静止部材に径方向の揺動可能に嵌入された
円筒状のブッシュと、該ブッシュの内周部に僅少の間隙
を有して回動自在に該内周部を挿通したジャーナル軸部
とからなり、該ジャーナル軸部の外周部又は前記ブッシ
ュの内周部にヘリングボーン形の溝を回転方向に向かっ
てへの字状に開いた形状に凹設したことを特徴とするタ
ーボ分子ポンプのシール構造。 - 【請求項２】 前記ブッシュと前記ジャーナル軸部との
間隙にパージガスを導入したことを特徴とする請求項１
に記載のターボ分子ポンプのシール構造。 - 【請求項３】 前記ブッシュ内を挿通するジャーナル軸
部の外周部に前記ヘリングボーン形の溝に隣接してシー
ル用ねじ溝を凹設したことを特徴とする請求項１に記載
のターボ分子ポンプのシール構造。 - 【請求項４】 前記シール用ねじ溝は互いに逆ねじの２
組のねじ溝からなり、これら２組のねじ溝間にパージガ
スを導入する構造としたことを特徴とする請求項３に記
載のターボ分子ポンプのシール構造。 - 【請求項５】 前記ブッシュは外周部に少許の間隙を存
して前記静止部材に緩嵌されると共に該外周部に嵌着し
た少なくとも２本のＯリングを介して前記静止部材に係
止した構造とし、これらＯリングの弾性により前記ブッ
シュの径方向の揺動を吸収すると共にこれらＯリングの
介入により前記ブッシュと前記ハウジングの静止部材と
を熱的に絶縁したことを特徴とする請求項１に記載のタ
ーボ分子ポンプのシール構造。 - 【請求項６】 前記ブッシュの両端面部に各々Ｏリング
を設置して、これらＯリングを介して前記静止部材に挟
着される構造としたことを特徴とする請求項１又は請求
項５に記載のターボ分子ポンプのシール構造。 - 【請求項７】 前記ジャーナル軸部の外周部と前記ブッ
シュの内周部との間隙は多くとも１０ミクロン以下とな
るように形成すると共に、前記ブッシュの外周部と前記
静止部材との間隙は少なくとも１００ミクロン以上とな
るように形成したことを特徴とする請求項１又は請求項
５に記載のターボ分子ポンプのシール構造。 - 【請求項８】 前記ブッシュの外周部に円周方向の環状
溝を凹設すると共に該環状溝を貫通する貫通孔を設け
て、該貫通孔を前記パージガスが通過する構造に形成し
たことを特徴とする請求項１又は請求項４に記載のター
ボ分子ポンプのシール構造。 - 【請求項９】 パージガスを供給する通気孔の開口部を
前記ブッシュの近傍のころがり軸受と前記ブッシュとの
中間に設けたことを特徴とする請求項１又は請求項４に
記載のターボ分子ポンプのシール構造。 - 【請求項１０】 前記ブッシュの内周部の前記シール用
ねじ溝と相対する部位に、少なくとも１条の円周方向の
環状溝を凹設したことを特徴とする請求項３に記載のタ
ーボ分子ポンプのシール構造。 - 【請求項１１】 前記ジャーナル軸部の外周部の前記シ
ール用ねじ溝を有する部分に、少なくとも１条の円周方
向の環状溝を凹設したことを特徴とする請求項３に記載
のターボ分子ポンプのシール構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000340086A JP4691242B2 (ja) | 2000-11-08 | 2000-11-08 | ターボ分子ポンプのシール構造 |
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| JP2000340086A JP4691242B2 (ja) | 2000-11-08 | 2000-11-08 | ターボ分子ポンプのシール構造 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002147385A true JP2002147385A (ja) | 2002-05-22 |
| JP4691242B2 JP4691242B2 (ja) | 2011-06-01 |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| JP2000340086A Expired - Lifetime JP4691242B2 (ja) | 2000-11-08 | 2000-11-08 | ターボ分子ポンプのシール構造 |
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|---|---|
| JP (1) | JP4691242B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006051675A1 (ja) * | 2004-11-10 | 2006-05-18 | Osaka Vacuum, Ltd. | ターボ分子ポンプの軸封防塵構造 |
| WO2006082864A1 (ja) * | 2005-02-04 | 2006-08-10 | Osaka Vacuum, Ltd. | ターボ分子ポンプのシール構造 |
| WO2021172144A1 (ja) * | 2020-02-26 | 2021-09-02 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ、及び、真空ポンプ構成部品 |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58122015U (ja) * | 1982-02-15 | 1983-08-19 | 日本精工株式会社 | 動圧形ラジアル軸受 |
| JPS6028626U (ja) * | 1983-08-02 | 1985-02-26 | エヌ・テ−・エヌ東洋ベアリング株式会社 | 動圧形ラジアル軸受 |
| JPS62147766U (ja) * | 1986-03-13 | 1987-09-18 | ||
| JPH01174595U (ja) * | 1988-05-27 | 1989-12-12 | ||
| JPH03168389A (ja) * | 1989-11-29 | 1991-07-22 | Hitachi Ltd | 真空ポンプ |
| JPH0486396A (ja) * | 1990-07-27 | 1992-03-18 | Osaka Shinku Kiki Seisakusho:Kk | 真空ポンプの軸受軸封装置 |
| JPH10132088A (ja) * | 1996-10-30 | 1998-05-22 | Nippon Seiko Kk | 軸受装置 |
-
2000
- 2000-11-08 JP JP2000340086A patent/JP4691242B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58122015U (ja) * | 1982-02-15 | 1983-08-19 | 日本精工株式会社 | 動圧形ラジアル軸受 |
| JPS6028626U (ja) * | 1983-08-02 | 1985-02-26 | エヌ・テ−・エヌ東洋ベアリング株式会社 | 動圧形ラジアル軸受 |
| JPS62147766U (ja) * | 1986-03-13 | 1987-09-18 | ||
| JPH01174595U (ja) * | 1988-05-27 | 1989-12-12 | ||
| JPH03168389A (ja) * | 1989-11-29 | 1991-07-22 | Hitachi Ltd | 真空ポンプ |
| JPH0486396A (ja) * | 1990-07-27 | 1992-03-18 | Osaka Shinku Kiki Seisakusho:Kk | 真空ポンプの軸受軸封装置 |
| JPH10132088A (ja) * | 1996-10-30 | 1998-05-22 | Nippon Seiko Kk | 軸受装置 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006051675A1 (ja) * | 2004-11-10 | 2006-05-18 | Osaka Vacuum, Ltd. | ターボ分子ポンプの軸封防塵構造 |
| WO2006082864A1 (ja) * | 2005-02-04 | 2006-08-10 | Osaka Vacuum, Ltd. | ターボ分子ポンプのシール構造 |
| JP2006214362A (ja) * | 2005-02-04 | 2006-08-17 | Osaka Vacuum Ltd | ターボ分子ポンプのシール構造 |
| WO2021172144A1 (ja) * | 2020-02-26 | 2021-09-02 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ、及び、真空ポンプ構成部品 |
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| JP4691242B2 (ja) | 2011-06-01 |
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