JP4012189B2 - ウエハ検出装置 - Google Patents
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- 光透過タイプの基板を使用する基板処理装置において、前記基板の所定位置に対する収容状態を検出する検出装置であって、
検出されるべき前記基板が存在する位置の一方の側に配置された光反射型センサの受光部及び投光部、及び光透過型センサの受光部と、
検出されるべき前記基板が存在する位置の他方の側に配置された前記光透過型センサの投光部とを有し、
前記光反射型センサ投光部から照射されるセンサ光は前記投光部から発した際の照射領域に対して、前記基板上のセンサ光照射領域が拡大するように為され、
前記光透過型センサの投光部を支持するブラケットを有し、該ブラケットにおいて検出されるべき前記基板が存在する方向に略向かう面の法線が、前記光反射型センサの受光部の光軸とは異なる方向に向かい、
前記光透過型センサの受光部、前記光反射型センサの投光部、及び前記光反射型センサは固定される平面内においてこの順序で略平行に並べて構成されることを特徴とする検出装置。 - 光透過タイプの基板を使用する基板処理装置において、前記基板の所定位置に対する収容状態を検出する検出装置であって、
検出されるべき前記基板が存在する位置の一方の側に配置された光反射型センサの受光部及び投光部、及び光透過型センサの投光部及び受光部の何れか一方と、
検出されるべき前記基板が存在する位置の他方の側に配置された前記光透過型センサの投光部及び受光部の他方とを有し、
前記光反射型センサ投光部から照射されるセンサ光は前記投光部から発した際の照射領域に対して、前記基板上のセンサ光照射領域が拡大するように為され、
前記光反射型センサの受光部は、拡大された前記センサ光照射領域の内部であって透明な前記基板における内面反射光の合成により得られる光を受光することを特徴とする検出装置。 - 前記光反射型センサが生成する基板検知信号と、前記光透過型センサが生成する基板検知信号との少なくとも一方が生成された際に、前記基板が検出されるべき位置に存在すると判断することを特徴とする請求項1乃至2の何れかに記載の検出装置。
- 前記光透過型センサ及び前記光反射型センサにおいてセンサ光として用いられる光が、赤色可視光であることを特徴とする請求項1乃至2の何れかに記載の検出装置。
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