JP2004047839A - 密閉容器開閉装置 - Google Patents

Abstract

【課題】構造が簡単で、低コストで、処理装置への取付け調整がし易く、取付け調整に要する時間を短縮することができる密閉容器開閉装置を提供する。
【解決手段】複数枚の基板を収納する密閉容器（ＦＯＵＰ）６０の開口部６１を遮蔽する遮蔽ドア６２を保持するドア保持体３０と、密閉容器６０の開口部６１を当接させて処理装置の内部と連通させる開口部２６を有するポートプレート２５と、を相対移動させることにより、これらドア保持体３０とポートプレート２５とを接離させて、遮蔽ドア６２を開閉するようにされてなる密閉容器開閉装置１０において、水平方向に並べて配置された複数の密閉容器６０の複数の開口部６１を遮蔽する複数の遮蔽ドア６２を同時に保持する共通のドア保持体３０と、共通のドア保持体３０をポートプレート２５に対して移動させる共通のドア保持体移動手段（ドア保持体水平移動手段３２、ドア保持体昇降手段５０）とが設けられている。
【選択図】　　　図１

Description

【０００１】
【産業上の利用分野】
本願の発明は、半導体ウエハや液晶基板等の基板を密閉した状態で収納する密閉容器の開閉装置に関し、特に、水平方向に並べて配置される複数の密閉容器の開閉装置に使用されて好適な密閉容器開閉装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体ウエハを密閉した状態で収納する密閉容器であるＦＯＵＰやＳＭＩＦの開口部を遮蔽する遮蔽ドアを開閉（脱着）して、これらの密閉容器を開閉する密閉容器開閉装置は、一般に、各処理装置に２つペアで、水平方向に並べて配置されて使用されることが多い。これは、処理前ウエハの処理装置への搬入、処理後ウエハの処理装置からの搬出等を処理装置側に設けたクリーンアームロボットが略同時に行なうようにすることにより、時間節約ができ、効率的であるからである。
【０００３】
特に、これらの開閉装置に、処理装置の外側から、ＦＯＵＰ搬送装置やＳＭＩＦ搬送装置がアクセスする場合には、天井走行式の搬送装置のｚ軸移動機構に２つのハンドが付いている（例えば、特願２００２−１１１２２７号の「密閉容器搬送システム」のＦＯＵＰ把持手段参照）ので、これらのハンドを用いると、ｚ軸移動機構自体は、待ち時間なく、２つの開閉装置にアクセスして、保持する２つの密閉容器を受け渡すことができ、スループット性をさらに高めることができる。このように、従来は、効率化のために、各処理装置に２つの密閉容器がペアで使用され、これに合わせて、２つの単体の開閉装置がペアで使用されることが多かった。
【０００４】
しかしながら、同じ開閉装置を２台準備するのには、装置の価格が２倍かかり、取付けや組立てに要する時間も２倍かかることになる。また、１台のクリーンアームロボットが同じ高さ位置で各密閉容器にアクセスできるためには、各開閉装置を同じ高さに維持するように、処理装置への各開閉装置の取付け調整を正確に行なう必要があり、そのための調整時間も長くなる。
【０００５】
垂直方向に並べて配置された２つの密閉容器に対して、ドア保持体が共通となっており、また、ドア保持体昇降手段も共通となっているものとして、米国特許第６０４２６２４号明細書に記載されたものがある。しかしながら、このもののように、２つの密閉容器が縦に垂直に並べて配置された場合、ウエハの受渡しを行なう搬送ロボットは、異なるＦＯＵＰにアクセスするのに、ハンドの高さ位置を変える必要があり、本願の発明に比べると、受渡し速度が鈍化する。また、ＦＯＵＰ自体をオープナーに載置するときやオープナーに載置されたＦＯＵＰを運び去るときに、高さ位置が異なることによる、これと同じ不便さが出てくる虞がある。特に、オープナーに載置されたＦＯＵＰを運び去るときに、下側ＦＯＵＰに天井搬送装置がアクセスしにくいといった難点がある。
【０００６】
さらに、上部のＦＯＵＰの動作による下部のＦＯＵＰへの塵埃の落下の影響や、複数の密閉容器が水平方向に並べて配置される場合には、ドックプレートなどは１枚の板で済むのに比べると、構造上の作りにくさがある等、種々の面での不都合がある。さらに、また、密閉容器内に収納される複数枚のウエハの収納状況をセンサーが検出するマッピングは、複数の密閉容器が水平方向に並べて配置された場合、同時にマッピングできるが、垂直方向に並べて配置された場合は、構造上、難しい問題が予想される。重力方向に一体に積み重ねられた物体に同一の動きをさせるのは、重力方向と直交する方向に一体に配置された物体に同一の動きをさせるのよりも、より困難であろう。このように、種々の面で、複数の密閉容器の水平方向配置の方が、垂直方向配置よりも利点が多い。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
本願の発明は、水平方向に並べて配置された複数の密閉容器の開口部を遮蔽する複数の遮蔽ドアを開閉するための従来の密閉容器開閉装置が有する前記のような問題点を解決して、構造が簡単で、低コストで、処理装置への取付け調整がし易く、また、取付け調整に要する時間を短縮することができる密閉容器開閉装置を提供することを課題とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段および効果】
本願の発明は、前記のような課題を解決した密閉容器開閉装置に係り、その請求項１に記載された発明は、複数枚のウエハを収納する密閉容器の開口部を遮蔽する遮蔽ドアを保持するドア保持体と、前記密閉容器の開口部を当接させて処理装置の内部と連通させる開口部を有するポートプレートと、を相対移動させることにより、これらドア保持体とポートプレートとを接離させて、前記遮蔽ドアを開閉するようにされてなる密閉容器開閉装置において、水平方向に並べて配置された複数の前記密閉容器の複数の開口部を遮蔽する複数の前記遮蔽ドアを同時に保持する共通のドア保持体と、前記共通のドア保持体を前記ポートプレートに対して移動させる共通のドア保持体移動手段とが設けられたことを特徴とする密閉容器開閉装置である。
【０００９】
請求項１に記載された発明は、前記のように構成されているので、次のような効果を奏することができる。
水平方向に並べて配置された複数の密閉容器の複数の開口部を遮蔽する複数の遮蔽ドアを同時に保持する共通のドア保持体を、共通のドア保持体移動手段が、ポートプレートに対して移動させるので、共通のドア保持体移動手段の作動により、共通のドア保持体を介して複数の密閉容器の複数の遮蔽ドアを同時に、一斉に開閉することが可能になる。これにより、複数の遮蔽ドアの保持体が１つで済むことになり、複数の遮蔽ドアの開閉のための駆動機構も１つで済むことになるので、装置内部の構造が簡単になり、部品点数が削減されて、大きなコストダウンを図ることができる。また、処理装置への開閉装置の取付け調整がし易くなり、これに要する時間を短縮することができる。
【００１０】
また、その請求項２に記載された発明は、請求項１に記載の密閉容器開閉装置において、その共通のドア保持体移動手段が、共通のドア保持体を水平移動させる共通のドア保持体水平移動手段と、共通のドア保持体を昇降させる共通のドア保持体昇降手段とを備えていることを特徴としている。
【００１１】
これにより、複数の密閉容器の複数の遮蔽ドアを同時に、一斉に水平移動および昇降動させて、処理装置内の任意の空間内に退避させ、また、復帰させることができる。
【００１２】
また、その請求項３に記載された発明は、請求項１または請求項２に記載の密閉容器開閉装置において、その複数の密閉容器を載置して、ポートプレートに対してその位置決めを行なう共通のドックプレートと、該共通のドックプレートを水平移動させる共通のドックプレート水平移動手段とがさらに設けられていることを特徴としている。
【００１３】
これにより、複数の密閉容器は、共通のドックプレート上に載置され、共通のドックプレート水平移動手段により水平移動させられ、ポートプレートに対して位置決めされるので、複数の密閉容器の水平移動のための駆動機構も１つで済むことになり、装置内部の構造が簡単になり、部品点数が削減されて、コストダウンを図ることができる。また、１台の搬送ロボットに対して、ドックプレート上の複数の密閉容器の高さ位置は、特に調整を要することなく、同じ高さとして位置が出ているので、ドックプレートの高さ調整が簡単になる。
【００１４】
さらに、その請求項４に記載された発明は、請求項１に記載の密閉容器開閉装置において、その複数の密閉容器の各々に対応させて１つずつ設けられ、該密閉容器内に収納された複数枚の基板の収納状況を検出する複数のセンサーと、複数の該センサーを取り付ける共通のセンサー取付け・保持部材と、該共通のセンサー取付け・保持部材を移動させる共通のセンサー取付け・保持部材移動手段とがさらに設けられていることを特徴としている。
【００１５】
この結果、複数の密閉容器の各々に対応させて１つずつ設けられる複数のセンサーを取り付ける共通のセンサー取付け・保持部材を、共通のセンサー取付け・保持部材移動手段が移動させるので、共通のセンサー取付け・保持部材移動手段の作動により、共通のセンサー取付け・保持部材を介して複数のセンサーを同時に、一斉に移動させることが可能になる。これにより、複数のセンサーの保持部材が１つで済むことになり、複数のセンサーの移動のための駆動機構も１つで済むことになるので、装置内部の構造が簡単になり、部品点数が削減されて、コストダウンを図ることができる。また、密閉容器内に収納された複数枚の基板の収納状況を検出するマッピング動作時において、複数のセンサの移動が同一スケールで行なわれるので、マッピング動作の制御が簡単になり、信頼性が増し、制御プログラムの作成コストを低減することができる。
【００１６】
また、その請求項５に記載された発明は、請求項４に記載の密閉容器開閉装置において、その共通のセンサー取付け・保持部材移動手段が、共通のセンサー取付け・保持部材を水平移動させる共通のセンサー取付け・保持部材水平移動手段と、共通のセンサー取付け・保持部材を昇降させる共通のセンサー取付け・保持部材昇降手段とを備えていることを特徴としている。
【００１７】
これにより、複数のセンサーを同時に、一斉に水平移動および昇降動させて、マッピングを行なわせ、処理装置内の任意の空間内に退避させ、また、復帰させることができる。
【００１８】
また、その請求項６に記載された発明は、複数枚のウエハを収納する密閉容器の開口部を遮蔽する遮蔽ドアを保持するドア保持体と、前記密閉容器の開口部を当接させて処理装置の内部と連通させる開口部を有するポートプレートと、を相対移動させることにより、これらドア保持体とポートプレートとを接離させて、前記遮蔽ドアを開閉するようにされてなる密閉容器開閉装置において、水平方向に並べて配置された複数の前記密閉容器の複数の開口部を同時に当接させて処理装置の内部と連通させる複数の開口部を有する共通のポートプレートと、前記共通のポートプレートを前記ドア保持体に対して昇降させる共通のポートプレート昇降手段とが設けられたことを特徴とする密閉容器開閉装置である。
【００１９】
請求項６に記載された発明は、前記のように構成されているので、次のような効果を奏することができる。
水平方向に並べて配置された複数の密閉容器の複数の開口部を同時に当接させて処理装置の内部と連通させる複数の開口部を有する共通のポートプレートを、共通のポートプレート昇降手段が、ドア保持体に対して昇降させるので、共通のポートプレート昇降手段の作動により、共通のポートプレートを介して複数の密閉容器の複数の遮蔽ドアを同時に、一斉に開閉することが可能になる。例えば、ＳＭＩＦオープナーの場合、共通のポートプレートの昇降によって、複数の密閉容器の殻体（ポッド）を昇降して、複数の密閉容器の遮蔽ドアを同時に、一斉に開閉することができる。これにより、密閉容器の開口部を当接させて処理装置の内部と連通させる開口部を有するポートプレートが１つで済むことになり、複数の遮蔽ドアの開閉のための駆動機構も１つで済むことになるので、装置内部の構造が簡単になり、部品点数が削減されて、大きなコストダウンを図ることができる。また、処理装置への開閉装置の取付け調整がし易くなるとともに、これに要する時間を短縮することができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
次に、図１ないし図５に図示される本願の請求項１ないし請求項５に記載された発明の一実施形態（実施形態１）について説明する。
図１は、本実施形態１における密閉容器開閉装置の概略側断面図、図２は、同概略正面図であって、一部カバーを除去して見た図、図３は、同概略背面図、図４は、同密閉容器開閉装置が備えるドア保持体水平移動手段およびセンサー取付け・保持部材水平移動手段の各駆動メカニズムを説明するための図、図５は、同密閉容器開閉装置が備える共通のドックプレート水平移動手段の駆動メカニズムを説明するための図である。
【００２１】
本実施形態１における密閉容器開閉装置は、特に水平方向に並べて配置された複数の密閉容器（ＦＯＵＰ）の開閉装置に使用されて好適なものである。
一般に、ＦＯＵＰの開閉装置（ＦＯＵＰオープナー）は、半導体装置や液晶装置等の製造工場において、半導体ウエハやガラス基板等の基板を収納して複数の処理装置間を搬送するのに使用されるＦＯＵＰのドアを開放して、保護された雰囲気下で、所定の処理装置における処理のために該ＦＯＵＰから基板を取り出し、また、処理を終えた基板を該ＦＯＵＰに収納したりするのを可能にするための装置として使用される。
【００２２】
本実施形態１におけるＦＯＵＰオープナー１０は、図１ないし図３に図示されるように、基体部１１と、該基体部１１の背板を兼ねて上方に突出するポートプレート２５と、該基体部１１の蓋板をなす水平基台２４の上部に設置されたドックプレート１６と、ドックプレートを水平移動させる水平移動手段１２と、ドックプレート１６上に載置された２つのＦＯＵＰ６０の２つの開口部６１を遮蔽する２つの遮蔽ドア（ＦＯＵＰドア）６２を同時に保持して、処理装置１側のクリーン空間Ｓ内に退避させる、２つのＦＯＵＰ６０に共通の一体の構造のドア保持体３０と、２つのＦＯＵＰ６０の各々に対応させて１つずつ設けられ、ＦＯＵＰ６０の内部に収納された複数枚の基板７０の収納状況を検出（マッピング）する２つのセンサー４１を同時に取り付けて保持する、２つのＦＯＵＰ６０に共通のセンサー取付け・保持部材４０と、共通のドア保持体３０を水平移動させる共通のドア保持体水平移動手段３２と、共通のセンサー取付け・保持部材４０を水平移動させる共通のセンサー取付け・保持部材水平移動手段４２と、共通のドア保持体３０を昇降させる共通のドア保持体昇降手段と共通のセンサー取付け・保持部材４０を昇降させる共通のセンサー取付け・保持部材昇降手段とを兼ねて、これら共通のドア保持体３０と共通のセンサー取付け・保持部材４０とを一体として昇降させる共通の昇降手段５０とから成っている。
なお、センサー取付け・保持部材４０は、図３に図示されるように、ドア保持体３０の回りを囲む１つの枠体から成っている。
【００２３】
ポートプレート２５、ドックプレート１６、ドックプレート水平移動手段１２も、従来、１つのＦＯＵＰ６０毎に設けられていたものが、本実施形態１のＦＯＵＰオープナー１０にあっては、２つのＦＯＵＰ６０に対して１つの部材もしくは手段として設けられたものであり、２つのＦＯＵＰ６０に共通のポートプレート２５、共通のドックプレート１６、共通のドックプレート水平移動手段１２をなしている。したがって、ポートプレート２５には、これら２つのＦＯＵＰ６０の２つの開口部６１を当接させて、各ＦＯＵＰ６０の内部の空間Ｔを処理装置１のクリーン空間Ｓと連通させる開口部２６が、２つ設けられている。
なお、共通のドックプレート１６上に載置されるＦＯＵＰ６０の数は、２つに限られるものではなく、３つ以上であってもよい。
【００２４】
ＦＯＵＰオープナー１０側とポートプレート２５により隔絶された処理装置１内のクリーン空間Ｓ内には、図示されないクリーンハンドロボットが配置されていて、このロボットにより、ＦＯＵＰ６０と処理装置１との間での基板７０の搬送が行なわれる。
【００２５】
ドア保持体水平移動手段３２、センサー取付け・保持部材水平移動手段４２、昇降手段５０は、基体部１１に内蔵されており、ドア保持体水平移動手段３２の構成要素をなす左右一対のスライド部材３３、センサー取付け・保持部材水平移動手段４２の構成要素をなす左右一対のスライド部材４３が、ポートプレート２５の下半部に形成された縦長の一対の溝２７をそれぞれ貫通して、クリーン空間Ｓ内に突出しており、それらの突出端が、ドア保持体３０の下端部、センサー取付け・保持部材４０の下端部にそれぞれ連結、固着されている。
【００２６】
ＦＯＵＰ６０は、その一対が図示されない天井走行式の搬送装置のｚ軸移動手段に取り付けられた２つのハンドに保持されて、ＦＯＵＰオープナー１０のところにまで搬送される。そして、それらの開口部６１をポートプレート２５の方に向けて、それらの共通の載置台であるドックプレート１６の上に、ポートプレート２５に沿って水平方向に並べて載置される（図２参照）。ドックプレート１６には、複数本のキネマティックピン１７が植設されており、各ＦＯＵＰ６０は、その底壁裏面に形成された複数個の穴にこれらのキネマティックピン１７の頂部が係合することにより、ドックプレート１６上で位置決めされる。
【００２７】
同時に、ドックプレート１６の下面にブラケットを介して回転可能に横設された回転シャフト１９の両端にそれぞれ固着された鉤状のクランプアーム１８が、ギアドモータ２８の作動により、回転シャフト１９の回転を介して回転させられて、その先端が、詳細には図示されないＦＯＵＰ６０の底壁に形成された凹部に水平方向から係合する。各ＦＯＵＰ６０は、その底壁裏面に形成された複数個の穴に複数本のキネマティックピン１７の頂部がそれぞれ係合し、その底壁に形成された凹部にクランプアーム１８の先端が水平方向から係合することにより、ドックプレート１６に対して完全に固定される。ドックプレート１６には、各クランプアーム１８の回動を可能にするように、縦長の開口１６ａ　が形成されている（図１参照）。
【００２８】
ドックプレート１６上に載置された一対のＦＯＵＰ６０は、ドックプレート水平移動手段１２の作動により、ポートプレート２５に接近するように水平方向に運ばれて、その開口部６１が、ポートプレート２５の上方突出部に形成された開口部２６に当接して、両開口部同志が連通可能な状態にされる。一対のＦＯＵＰ６０は、この位置において停止する。
【００２９】
そうすると、ドア保持体３０の平板状の背板部３０ａ　と一体化されてドア保持体３０の一部をなしている一対のポートドア３１にそれぞれ内蔵されたラッチ機構が作動して、各ＦＯＵＰ６０の開口部６１を遮蔽するＦＯＵＰドア６２を各ＦＯＵＰ６０の開口部６１から外し、同じくポートドア３１に内蔵された２つの保持手段の各々が、この外されたＦＯＵＰドア６２を保持する。
【００３０】
次いで、ドア保持体水平移動手段３２の作動により、ドア保持体３０は、一旦水平方向に後退して、ポートプレート２５から離れ、ＦＯＵＰドア６２は完全に開かれて、ＦＯＵＰ６０の殻体から離れ、ＦＯＵＰ６０の内部は、クリーン空間Ｓに向けて完全に開放される。次いで、昇降手段５０の作動により、ドア保持体３０は、ポートプレート２５に沿って下降して、２つのＦＯＵＰドア６２の各々を２つのポートドア３１の各々と一体にして、これらをクリーン空間Ｓの下方領域内に退避させる。
【００３１】
このドア保持体３０の動作過程において、昇降手段５０の作動により、センサー取付け・保持部材４０がドア保持体３０と一体に所定量下降して、その頂部に取り付けられた２つのセンサー４１の各々が各ＦＯＵＰ６０の内部に進入し得る位置にまで来ると、センサー取付け・保持部材４０が、センサー取付け・保持部材水平移動手段４２の作動により、ＦＯＵＰ６０の方向に前進して、各センサー４１が、各ＦＯＵＰ６０内に収納された複数枚の基板７０の収納状況を、上方の基板７０から下方の基板７０に向かって上から順に検出（マッピング）する。この間、ドア保持体３０も、センサー取付け・保持部材４０と一体となって、これと同速度で下降している。
【００３２】
したがって、このＦＯＵＰオープナー１０によれば、ＦＯＵＰドア６２を退避させる動作と、ＦＯＵＰ６０の内部に収納された複数枚の基板７０をマッピングする動作とを同時に実行することができる。しかも、この場合、ドックプレート１６上に水平方向に並べて載置された２つのＦＯＵＰ６０について、同様の動作を一挙に、同時に実行することができるものである。
【００３３】
天井搬送装置により運ばれてくる一対のＦＯＵＰ６０は、通常、その一方のＦＯＵＰ６０に複数枚の基板７０が収納されており、その他方のＦＯＵＰ６０は空にされている。そこで、前記のようにして、ドックプレート１６上に載置された一対のＦＯＵＰ６０の各開口部６１がポートプレート２５の対応する開口部２６に当接することにより、一対のＦＯＵＰ６０が、この位置において停止すると、これらのＦＯＵＰ６０のＦＯＵＰドア６２が開放され、一方のＦＯＵＰ６０内に収納された未処理の複数枚の基板７０が、センサー４１によるマッピングを受けた後、ロボットにより、１枚ずつこのＦＯＵＰ６０から取り出されて、処理装置１に搬入される。また、処理を終えた基板７０が、ロボットにより、処理装置１から１枚ずつ他方の空のＦＯＵＰ６０内に収納される。このように、未処理基板７０の一方のＦＯＵＰ６０からの取出しと、処理済み基板７０の他方のＦＯＵＰ６０内への収納とを同時に並行的に行なうことができるので、作業効率が向上する。
【００３４】
次に、ドックプレート水平移動手段１２、ドア保持体水平移動手段３２、センサー取付け・保持部材水平移動手段４２、昇降手段５０の各構造と作動メカニズムについて、詳細に説明する。
【００３５】
先ず、ドックプレート水平移動手段１２の構造と作動メカニズムについて説明する。
ドックプレート水平移動手段１２は、次のようにして構成されている。ＦＯＵＰオープナー１０の水平基台２４の上面には、１本のガイドレール１３が敷設されており、このガイドレール１３に沿って走行するスライド板１５が、その下面に固着されたリニアガイド１４を介してガイドレール１３に載架されている。このスライド板１５は、複数本の連結柱１５ａ　を介してドックプレート１６に連結されており、その一角には、図５に図示されるように、スライド板１５のスライド方向と直交する方向に細長いカム溝２３が打ち抜き形成されている。そして、このカム溝２３には、ギアドモータ２０の出力軸に固着されたアーム２１の先端に取り付けられたカムフォロア２２が嵌合されている。なお、ガイドレール１３の本数は、１本に限定されない。
【００３６】
そこで、今、ギアドモータ２０が回転すると、アーム２１が揺動して、カムフォロア２２がカム溝２３に沿って滑動しつつ、アーム２１がスライド板１５をスライド方向左右に押し、また、引くので、スライド板１５と一体のドックプレート１６も、同方向にポートプレート２５に接離するようにして移動することができる。したがって、１つのドックプレート水平移動手段１２の作動により、ドックプレート１６上に載置された２つのＦＯＵＰ６０を同時に、一斉に水平移動させることができ、ドックプレート水平移動手段１２は、２つのＦＯＵＰ６０に対して共通のドックプレート水平移動手段をなしている。
【００３７】
ドックプレート水平移動手段１２が、前記のようにして、２つのＦＯＵＰ６０を同時に、一斉に水平移動させるに際しては、カムフォロア２２がカム溝２３のギアドモータ２０に近い側の端部にあるときに、２つのＦＯＵＰ６０の各開口部６１がポートプレート２５の対応する開口部２６に当接するように、各部品の寸法と配置とが決められている。したがって、２つのＦＯＵＰ６０の各開口部６１がポートプレート２５の対応する開口部２６に当接するときに、ドックプレート１６の移動速度は最も遅くなる。また、カム溝２３がギアドモータ２０に最も近い位置にあるときに、ドックプレート１６の移動速度は最も速くなる。このようなドックプレート水平移動手段１２の速度減速作用により、２つのＦＯＵＰ６０の各開口部６１がポートプレート２５の対応する開口部２６に当接するときのショックを和らげることができる。
【００３８】
次に、ドア保持体水平移動手段３２の構造と作動メカニズムについて説明する。
ドア保持体水平移動手段３２は、次のようにして構成されている。図２に図示されるように、後述する昇降基部材５１の両側面上方部には、各１本のガイドレール３４が敷設されており、このガイドレール３４に沿って走行するスライド部材３３が、該スライド部材３３に固着されたリニアガイド３５を介してガイドレール３４に載架されている。両スライド部材３３は、その一端部が、前記のとおり、ポートプレート２５の溝２７を抜けてドア保持体３０の下端部に連結、固着されており、一方のスライド部材３３の長さ方向中央部よりやや一端部側に寄った部分には、図４に図示されるように、スライド部材３３のスライド方向と直交する方向に細長いカム溝３９が形成されている。このカム溝３９には、ギアドモータ３６の回転出力軸に固着されたアーム３７の先端に取り付けられたカムフォロア３８が嵌合されている。
【００３９】
そこで、今、ギアドモータ３６が回転すると、アーム３７が揺動して、カムフォロア３８がカム溝３９に沿って滑動しつつ、アーム３７が一方のスライド部材３３をスライド方向左右に押し、また、引くので、スライド部材３３と一体のドア保持体３０も、同方向にポートプレート２５に接離するようにして移動することができる。この場合に、他方のスライド部材３３も、一方のスライド部材３３およびドア保持体３０と一体となって移動することはもちろんである。したがって、１つのドア保持体水平移動手段３２の作動により、ドア保持体３０に保持された２つのＦＯＵＰドア６２を同時に、一斉に水平移動させることができ、ドア保持体水平移動手段３２は、２つのＦＯＵＰ６０に対して共通のドア保持体水平移動手段をなしている。
【００４０】
ドア保持体水平移動手段３２が、前記のようにして、２つのＦＯＵＰドア６２を同時に、一斉に水平移動させるに際しては、カムフォロア３８がカム溝３９のギアドモータ３６に近い側の端部にあるときに、ドア保持体３０が備える２つのポートドア３１の各々が２つのＦＯＵＰ６０の各ＦＯＵＰドア６２に当接するように、各部品の寸法と配置とが決められている。したがって、各ポートドア３１が各ＦＯＵＰドア６２に当接するときに、スライド部材３３の移動速度は最も遅くなる。また、カム溝３９がギアドモータ３６に最も近い位置にあるときに、スライド部材３３の移動速度は最も速くなる。このようなドア保持体水平移動手段３２の速度減速作用により、各ポートドア３１が各ＦＯＵＰドア６２に接近するときのそれらの接触による破損を未然に防いで、装置の安全を高めることができる。
【００４１】
次に、センサー取付け・保持部材水平移動手段４２の構造と作動メカニズムについて説明する。
センサー取付け・保持部材水平移動手段４２は、次のようにして構成されている。図２に図示されるように、後述する昇降基部材５１の両側面下方部には、各１本のガイドレール４４が敷設されており、このガイドレール４４に沿って走行するスライド部材４３が、該スライド部材４３に固着されたリニアガイド４５を介してガイドレール４４に載架されている。両スライド部材４３は、その一端部が、前記のとおり、ポートプレート２５の溝２７を抜けて、センサー取付け・保持部材４０の下端部に連結、固着されており、一方のスライド部材４３の長さ方向中央部よりやや一端部側に寄った部分には、図４に図示されるように、カム溝４９が形成されている。このカム溝４９には、ギアドモータ４６の出力軸に固着されたアーム４７の先端に取り付けられたカムフォロア４８が嵌合されている。
【００４２】
以上のような構成からなるセンサー取付け・保持部材水平移動手段４２の作動メカニズムは、ドア保持体水平移動手段３２の作動メカニズムと全く同じであるので、詳細な説明を省略するが、本センサー取付け・保持部材水平移動手段４２においても、その１つの水平移動手段４２の作動により、センサー取付け・保持部材４０の頂部に２つのＦＯＵＰ６０に対応させて取り付けられた２つのセンサー４１を同時に、一斉に水平移動させることができ、この水平移動手段４２も、２つのＦＯＵＰ６０に対して、共通のセンサー取付け・保持部材水平移動手段をなしている。また、この水平移動手段４２の速度減速作用により、２つのセンサー４１がマッピング位置に近づくに従い減速するようにすることができ、センサー４１と基板７０、ＦＯＵＰ６０の殻体等との接触によるそれらの破損を未然に防いで、装置の安全を高めることができる。
【００４３】
以上に説明したようなドックプレート水平移動手段１２の速度減速作用、ドア保持体水平移動手段３２の速度減速作用、センサー取付け・保持部材水平移動手段４２の速度減速作用は、特にカムを使用しなくとも、サーボモータを使用しても可能であるが、カムを使用することにより、安価に実現することができる。
【００４４】
次に、昇降手段５０の構造と作動メカニズムについて説明する。
昇降手段５０は、次のようにして構成されている。昇降基部材５１の略中心部を、ネジ棒５２が、上下方向に貫通するようにして配設されている。ネジ棒５２は、その両端部がＦＯＵＰオープナー１０の基体部１１に固設された上下支持台５５、５６に回転自在に支持されており、昇降基部材５１に内蔵された図示されないナット部材と多数のボールを介して螺合していて、これらネジ棒５２、ナット部材、多数のボールにより、ボールネジ機構が構成されている。上部支持台５５の上面には、ネジ棒５２を回転させる駆動源となるサーボモータ５４が設置されている。上下支持台５５、５６間には、また、正面視して（図２参照）ネジ棒５２を挟むようにして、一対のガイドレール５３が渡架されている。
【００４５】
昇降基部材５１は、前記のとおり、その両側上方部に配された１対のガイドレール３４、一対のスライド部材３３、一対のリニアガイド３５、ギアドモータ３６、カム機構３７〜３９等からなる１つのドア保持体水平移動手段３２を介してドア保持体３０を支持しており、また、その両側下方部に配された１対のガイドレール４４、一対のスライド部材４３、一対のリニアガイド４５、ギアドモータ４６、カム機構４７〜４９等からなる１つのセンサー取付け・保持部材水平移動手段４２を介してセンサー取付け・保持部材４０を支持している。
【００４６】
したがって、今、ネジ棒５２が、サーボモータ５４の作動により回転すると、昇降基部材５１が、左右一対のガイドレール５３によりガイドされながら、昇降するとともに、ドア保持体３０とセンサー取付け・保持部材４０とが同時に、一斉に昇降することができる。これにより、ドア保持体３０に保持された２つのＦＯＵＰドア６２のクリーン空間Ｓ内下方領域への退避が可能になり、また、センサー取付け・保持部材４０の頂部に取り付けられた２つのセンサー４１の各々の、各ＦＯＵＰ６０内に収納された複数枚の基板７０のマッピングが可能になる。
なお、このボールネジ機構を使用した昇降手段５０は、エアモータ等種々の手段を使用した昇降手段に代えられてもよい。
【００４７】
本実施形態１の密閉容器開閉装置（ＦＯＵＰオープナー１０）は、前記のように構成されているので、次のような効果を奏することができる。
水平方向に並べて配置された複数のＦＯＵＰ（密閉容器）６０の複数の開口部６１をそれぞれ遮蔽する複数のＦＯＵＰドア（遮蔽ドア）６２を同時に保持する共通のドア保持体３０を、共通のドア保持体移動手段（ドア保持体水平移動手段３２、昇降手段５０）が、ポートプレート２５に対して移動させるので、共通のドア保持体移動手段の作動により、共通のドア保持体３０を介して複数のＦＯＵＰドア６２を同時に、一斉に開閉することが可能になる。これにより、複数のＦＯＵＰドア６２の保持体が１つで済むことになり、複数のＦＯＵＰドア６２の開閉のための駆動手段も１つで済むことになるので、装置内部の構造が簡単になり、部品点数が削減されて、大きなコストダウンを図ることができる。また、処理装置１へのＦＯＵＰオープナー１０の取付け調整がし易くなり、これに要する時間を短縮することができる。
【００４８】
また、共通のドア保持体移動手段が、共通のドア保持体３０を水平移動させる共通のドア保持体水平移動手段３２と、共通のドア保持体３０を昇降させる共通のドア保持体昇降手段（昇降手段５０）とを備えているので、複数のＦＯＵＰ６０の複数の開口部６１をそれぞれ遮蔽する複数のＦＯＵＰドア６２を同時に、一斉に水平移動および昇降させて、ＦＯＵＰドア６２を開閉し、処理装置１のクリーン空間Ｓ内の任意の空間内に退避させ、あるいは復帰させることができる。
【００４９】
また、複数のＦＯＵＰ６０を載置して、ポートプレート２５に対してその位置決めを行なう共通のドックプレート１６と、該共通のドックプレート１６を水平移動させる共通のドックプレート水平移動手段１２とが設けられているので、複数のＦＯＵＰ６０は、共通のドックプレート１６上に載置され、共通のドックプレート水平移動手段１２により水平移動させられ、ポートプレート２５に対して位置決めされるので、複数のＦＯＵＰ６０の水平移動のための駆動手段も１つで済むことになり、装置内部の構造が簡単になり、部品点数が削減されて、さらなるコストダウンを図ることができる。また、１台の搬送ロボットに対して、共通のドックプレート１６上の複数のＦＯＵＰ６０の高さ位置は、特に調整を要することなく、同じ高さとして位置が出ているので、ドックプレート１６の高さ調整が簡単になる。
【００５０】
さらに、複数のＦＯＵＰ６０の各々に対応させて１つずつ設けられ、該ＦＯＵＰ６０内に収納された複数枚の基板７０の収納状況を検出する複数のセンサー４１と、複数のセンサー４１を取り付ける共通のセンサー取付け・保持部材４０と、共通のセンサー取付け・保持部材４０を移動させる共通のセンサー取付け・保持部材移動手段（センサー取付け・保持部材水平移動手段４２、昇降手段５０）とが設けられており、共通のセンサー取付け・保持部材４０を、共通のセンサー取付け・保持部材移動手段が移動させるので、共通のセンサー取付け・保持部材移動手段の作動により、共通のセンサー取付け・保持部材４０を介して複数のセンサー４１を同時に、一斉に移動させることが可能になる。これにより、複数のセンサー４１の保持部材が１つで済むことになり、複数のセンサー４１の移動のための駆動手段も１つで済むことになるので、装置内部の構造が簡単になり、部品点数が削減されて、この面からも、コストダウンを図ることができる。
【００５１】
また、共通のセンサー取付け・保持部材移動手段が、共通のセンサー取付け・保持部材４０を水平移動させる共通のセンサー取付け・保持部材水平移動手段４２と、共通のセンサー取付け・保持部材４０を昇降させる共通のセンサー取付け・保持部材昇降手段（昇降手段５０）とを備えているので、複数のＦＯＵＰ６０の各々に対応させて１つずつ設けられる複数のセンサー４１を同時に、一斉に水平移動および昇降させて、マッピングを行なわせ、処理装置１のクリーン空間Ｓ内の任意の空間内に退避させ、あるいは復帰させることができる。
【００５２】
また、ＦＯＵＰ６０内に収納された複数枚の基板７０の収納状況を検出するマッピング動作時において、複数のセンサ４１の移動が同一スケールで行なわれるので、マッピング動作の制御が簡単になり、信頼性が増し、制御プログラムの作成コストを低減することができる。
【００５３】
さらに、カム機構２１〜２３、３７〜３９、４７〜４９を使用したことにより、ドックプレート水平移動手段１２の速度減速作用、ドア保持体水平移動手段３２の速度減速作用、センサー取付け・保持部材水平移動手段４２の速度減速作用が得られ、それぞれ、複数のＦＯＵＰ６０の各開口部６１がポートプレート２５の対応する開口部２６に当接するときのショックを和らげることができる、各ポートドア３１が各ＦＯＵＰドア６２に接近するときのそれらの接触による破損を未然に防いで、装置の安全を高めることができる、センサー４１と基板７０、ＦＯＵＰ６０の殻体等との接触による破損を未然に防いで、装置の安全を高めることができる、等々の効果を奏することができる。加えて、カム機構を使用したことにより、これらの水平移動手段１２、３２、４２を低コストで実現することができる。
【００５４】
次に、図６および図７に図示される本願の請求項６に記載された発明の一実施形態（実施形態２）について説明する。
図６は、本実施形態２における密閉容器開閉装置の概略側断面図であって、密閉容器が開放された状態を示す図、図２は、同概略平面図である。
【００５５】
本実施形態２における密閉容器開閉装置は、実施形態１における密閉容器開閉装置と比較すると、密閉容器がＦＯＵＰに代えてＳＭＩＦとされている点、このことに起因して、密閉容器の開口部を当接させて処理装置１の内部と連通させる開口部を有するポートプレートが、ＳＭＩＦの下向きの開口部に合わせるように、水平に配置されていて、ＳＭＩＦの載置台を兼ねており、これが昇降することにより、ＳＭＩＦの開口部を遮蔽する遮蔽ドアが開閉されるようになっている点において異なっている。
【００５６】
以下、本実施形態２における密閉容器開閉装置（ＳＭＩＦオープナー）の構造について、詳細に説明する。
本実施形態２におけるＳＭＩＦオープナー８０は、図６に図示されるように、基体部８１と、該基体部８１の内部に設置されたＳＭＩＦドア受け台箱８２と、該ＳＭＩＦドア受け台箱８２を覆う昇降可能なカバー体８４と、該基体部８１の背板を兼ねて上方に突出する隔壁８６と、該隔壁８６の上方突出部に形成された開口部８７を遮蔽可能で、カバー体８４と一体に昇降するシャッター８９と、カバー体８４を昇降させるカバー体昇降手段１００　とから成っている。
【００５７】
ＳＭＩＦドア受け台箱８２の天井板をなす台板８３は、ＳＭＩＦ９０の開口部を遮蔽する遮蔽ドア（ＳＭＩＦドア）９１を受けて、これを保持するドア保持体をなしていて、実施形態１のＦＯＵＰオープナー１０におけるドア保持体３０に対応している。したがって、その内部には、ドア保持体３０の構成要素をなすポートドア３１と同様に、ＳＭＩＦドア９１をＳＭＩＦ９０の開口部に対して脱着するためのラッチ機構と、保持手段とが収蔵されている。但し、本実施形態２のドア保持体（台板）８３は、実施形態１のドア保持体３０と異なり、不動である。
【００５８】
このドア保持体８３は、水平方向に並べて配置された２つのＳＭＩＦ９０（図７参照）にまたがる広い面積を有していて、２つのＳＭＩＦ９０の２つのＳＭＩＦドア９１が開けられて、ＳＭＩＦ９０の内部が開放されたとき、２つのＳＭＩＦドア９１は、このドア保持体８３の上に載置されて保持される。したがって、このドア保持体８３は、２つのＳＭＩＦ９０に対して共通の一体の構造のドア保持体をなしている。なお、ＳＭＩＦ９０の数は、２つに限られず、３つ以上とされてもよい。
【００５９】
カバー体８４は、底部が開放された直方体の箱体形状をなしていて、ＳＭＩＦドア受け台箱８２を上方から覆い、昇降可能に構成されている。そして、その天井板をなすポートプレート８５は、詳細には図示されないが、２つのＳＭＩＦ９０の各開口部を当接させて、それらの内部を処理装置１内のクリーン空間Ｓに連通させるための２つの開口部を有している。これらの開口部は、装置不使用時には、前記したドア保持体８３により遮蔽されている。
【００６０】
このポートプレート８５も、図７に図示されるように、水平方向に並べて配置された２つのＳＭＩＦ９０にまたがる広い面積を有していて、２つのＳＭＩＦ９０の２つのＳＭＩＦドア９１が開けられて、ＳＭＩＦ９０の内部が開放されたとき、２つのＳＭＩＦ９０の２つの殻体（ポッド）９３は、このポートプレート８５の上部に残されて、そこに保持される（図６参照）。したがって、このポートプレート８５は、２つのＳＭＩＦ９０に対して共通のポートプレートをなしている。
【００６１】
平面視長方形状の一体構造のポートプレート８５の上面には、その四周を巡って、ポッドガイド８８が設けられている。このポッドガイド８８は、ポートプレート８５に載置された２つのＳＭＩＦ９０の各々の周囲を取り囲み、これらを脱着するラッチ機構９４を内蔵している。ラッチ機構９４は、平面視長方形状のＳＭＩＦ９０の対向壁を脱着することができるように、各ＳＭＩＦ９０について、２つ設けられている。
【００６２】
カバー体８４の昇降手段であり、カバー体８４の天井板をなすポートプレート８５の昇降手段でもある昇降手段１００　は、次のようにして構成されている。カバー体８４の一側壁板の下端には、ナット部材１０２　が固着されており、詳細には図示されないが、このナット部材１０２　と多数のボールを介して螺合し合うネジ棒１０１　が、基体部８１側に回転可能に支持されている。この昇降手段１００　は、前記した昇降手段５０と同一の構造のものである。また、カバー体８４側には、その一対の対向側壁板間に組み付けられた構造板１０５　に、上下一対のリニアガイド１０４　が固着されており、隔壁８６のオープナー８０側下面には、リニアガイド１０４　と嵌合して摺動し合うガイドレール１０３　が上下方向に敷設されている。
【００６３】
したがって、今、図示されないサーボモータが作動して、ネジ棒１０１　が回転すると、このネジ棒１０１　と螺合し合うナット部材１０２　が固着されたカバー体８４が、リニアガイド１０４　を介してガイドレール１０３　によりガイドされながら、ネジ棒１０１　の回転方向に応じて昇降する。
なお、これらネジ棒１０１　、ナット部材１０２　を使用した昇降手段１００（ボールネジ機構）は、エアモータ等種々の手段を使用した昇降手段に代えられてもよい。
【００６４】
次に、本実施形態２のＳＭＩＦオープナー８０の作動について説明する。
ＳＭＩＦ９０は、その一対が図示されない天井走行式の搬送装置のｚ軸移動手段に取り付けられた２つのハンドに保持されて、ＳＭＩＦオープナー８０のところにまで搬送され、それらの共通の載置台であるポートプレート８５の上に、水平方向に並べて載置される（図７参照）。そして、ラッチ機構９４により、ポートプレート８５に対して不動に固定される。このとき、ＳＭＩＦドア９１は、ドア保持体（台板）８３に当接しており、ドア保持体８３に内蔵されたラッチ機構が作動して、ＳＭＩＦドア９１をＳＭＩＦ９０の開口部から離脱させる。
【００６５】
この状態において、カバー体８４の昇降手段１００　が作動して、カバー体８４およびポートプレート８５が上昇すると、ＳＭＩＦポッド９３は、ポートプレート８５の上に載置されたまま、これと一体となって上昇し、ＳＭＩＦドア９１は、ＳＭＩＦ９０の開口部から完全に外れて、その上に載置されたカセット９２とともにドア保持体８３上に載置された状態となる。このようにして、ＳＭＩＦドア９１が開かれ、ＳＭＩＦ９０が開放される。ＳＭＩＦドア９１は、ドア保持体８３に内蔵された保持手段により、そのままの状態に保持される。
【００６６】
２つのＳＭＩＦ９０のうちの一方のＳＭＩＦ９０のカセット９２の内部には、複数枚の基板７０が、上下方向に等間隔に整列されて収納されている。また、他方のＳＭＩＦ９０のカセット９２の内部は、空にされている。これらのカセット９２には、クリーン空間Ｓ内に配置されたクリーンハンドロボットのハンドが、隔壁８６の開口部８７を通って自由に出入り可能である。
【００６７】
２つのＳＭＩＦ９０の各ポッド９３内の空間Ｔ、カバー体８４内の空間Ｕ、クリーン空間Ｓは連通状態にあり、基板７０は、保護された雰囲気下で、クリーンハンドロボットにより、カセット９２と処理装置１との間を搬送される。すなわち、複数枚の基板７０が収納されたカセット９２からは、処理前の基板７０が、クリーンハンドロボットにより１枚ずつ取り出されて、保護された雰囲気下で、処理装置１に搬入される。また、処理装置１からは、処理を終えた基板７０が、同じくクリーンハンドロボットにより１枚ずつ取り出されて、同様の雰囲気下で、空のカセット９２内に収納される。
【００６８】
本実施形態２の密閉容器開閉装置（ＳＭＩＦオープナー８０）は、前記のように構成されているので、次のような効果を奏することができる。
水平方向に並べて配置された複数のＳＭＩＦ９０の複数の開口部を同時に当接させて処理装置１の内部と連通させる複数の開口部を有する共通のポートプレート８５を、共通のポートプレート昇降手段１００　が、ドア保持体（台板）８３に対して昇降させるので、共通のポートプレート昇降手段１００　の作動により、共通のポートプレート８５を介して複数のＳＭＩＦ９０の複数のＳＭＩＦドア９１を同時に、一斉に開閉することが可能になる。これにより、ＳＭＩＦ９０の開口部を当接させて処理装置１の内部と連通させる開口部を有するポートプレート８５が１つで済むことになり、複数のＳＭＩＦドア９１の開閉のための昇降駆動手段も１つで済むことになるので、装置内部の構造が簡単になり、部品点数が削減されて、大きなコストダウンを図ることができる。また、処理装置１へのＳＭＩＦオープナー８０の取付け調整がし易くなるとともに、これに要する時間を短縮することができる。
【００６９】
本実施形態１、２の密閉容器開閉装置（ＦＯＵＰオープナー１０、ＳＭＩＦオープナー８０）は、前記のように構成され、前記のような種々の効果を奏することができる。
なお、本願の発明は、以上の実施形態に限定されることなく、その発明の要旨を逸脱しない範囲において、種々の変形が可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本願の請求項１ないし請求項５に記載された発明の一実施形態（実施形態１）における密閉容器開閉装置の概略側断面図である。
【図２】同概略正面図であって、一部カバーを除去して内部を見た図である。
【図３】同概略背面図である。
【図４】同密閉容器開閉装置が備えるドア保持体水平移動手段およびセンサー取付け・保持部材水平移動手段の各駆動メカニズムを説明するための図である。
【図５】同密閉容器開閉装置が備える共通のドックプレート水平移動手段の駆動メカニズムを説明するための図である。
【図６】本願の請求項６に記載された発明の一実施形態（実施形態２）における密閉容器開閉装置の概略側断面図であって、密閉容器が開放された状態を示す図である。
【図７】同概略平面図である。
【符号の説明】
１…処理装置、１０…ＦＯＵＰオープナー（ＦＯＵＰ開閉装置）、１１…基体部、１２…ドックプレート水平移動手段、１３…ガイドレール、１４…リニアガイド、１５…スライド板、１５ａ　…連結柱、１６…ドックプレート、１６ａ　…開口、１７…キネマティックピン、１８…クランプアーム、１９…回転シャフト、２０…ギアドモータ、２１…アーム、２２…カムフォロア、２３…カム溝、２４…水平基台、２５…ポートプレート、２６…開口部、２７…溝、２８…ギアドモータ、３０…ドア保持体、３０ａ　…背板部、３１…ポートドア、３２…ドア保持体水平移動手段、３３…スライド部材、３４…ガイドレール、３５…リニアガイド、３６…ギアドモータ、３７…アーム、３８…カムフォロア、３９…カム溝、４０…センサー取付け・保持部材、４１…センサー、４２…センサー取付け・保持部材水平移動手段、４３…スライド部材、４４…ガイドレール、４５…リニアガイド、４６…ギアドモータ、４７…アーム、４８…カムフォロア、４９…カム溝、５０…昇降手段、５１…昇降基部材、５２…ネジ棒、５３…ガイドレール、５４…サーボモータ、５５…上部支持台、５６…下部支持台、６０…ＦＯＵＰ、６１…開口部、６２…ＦＯＵＰドア（遮蔽ドア）、７０…基板、８０…ＳＭＩＦオープナー（ＳＭＩＦ開閉装置）、８１…基体部、８２…ＳＭＩＦドア受け台箱、８３…ドア保持体（台板）、８４…カバー体、８５…ポートプレート、８６…隔壁、８７…開口部、８８…ポッドガイド、８９…シャッター、９０…ＳＭＩＦ、９１…ＳＭＩＦドア、９２…カセット、９３…ＳＭＩＦポッド、９４…ラッチ機構、１００　…カバー体昇降手段、１０１　…ネジ棒、１０２　…ナット部材、１０３　…ガイドレール、１０４　…リニアガイド、１０５　…構造板。

Claims (6)

1. 複数枚の基板を収納する密閉容器の開口部を遮蔽する遮蔽ドアを保持するドア保持体と、前記密閉容器の開口部を当接させて処理装置の内部と連通させる開口部を有するポートプレートと、を相対移動させることにより、これらドア保持体とポートプレートとを接離させて、前記遮蔽ドアを開閉するようにされてなる密閉容器開閉装置において、
   水平方向に並べて配置された複数の前記密閉容器の複数の開口部を遮蔽する複数の前記遮蔽ドアを同時に保持する共通のドア保持体と、
   前記共通のドア保持体を前記ポートプレートに対して移動させる共通のドア保持体移動手段と
   が設けられたことを特徴とする密閉容器開閉装置。
2. 前記共通のドア保持体移動手段は、前記共通のドア保持体を水平移動させる共通のドア保持体水平移動手段と、前記共通のドア保持体を昇降させる共通のドア保持体昇降手段とを備えていることを特徴とする請求項１に記載の密閉容器開閉装置。
3. 複数の前記密閉容器を載置して、前記ポートプレートに対してその位置決めを行なう共通のドックプレートと、前記共通のドックプレートを水平移動させる共通のドックプレート水平移動手段とがさらに設けられていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の密閉容器開閉装置。
4. 複数の前記密閉容器の各々に対応させて１つずつ設けられ、前記密閉容器内に収納された複数枚の基板の収納状況を検出する複数のセンサーと、
   複数の前記センサーを取り付ける共通のセンサー取付け・保持部材と、
   前記共通のセンサー取付け・保持部材を移動させる共通のセンサー取付け・保持部材移動手段とがさらに設けられていることを特徴とする請求項１に記載の密閉容器開閉装置。
5. 前記共通のセンサー取付け・保持部材移動手段は、前記共通のセンサー取付け・保持部材を水平移動させる共通のセンサー取付け・保持部材水平移動手段と、前記共通のセンサー取付け・保持部材を昇降させる共通のセンサー取付け・保持部材昇降手段とを備えていることを特徴とする請求項４に記載の密閉容器開閉装置。
6. 複数枚の基板を収納する密閉容器の開口部を遮蔽する遮蔽ドアを保持するドア保持体と、前記密閉容器の開口部を当接させて処理装置の内部と連通させる開口部を有するポートプレートと、を相対移動させることにより、これらドア保持体とポートプレートとを接離させて、前記遮蔽ドアを開閉するようにされてなる密閉容器開閉装置において、
   水平方向に並べて配置された複数の前記密閉容器の複数の開口部を同時に当接させて処理装置の内部と連通させる複数の開口部を有する共通のポートプレートと、
   前記共通のポートプレートを前記ドア保持体に対して昇降させる共通のポートプレート昇降手段と
   が設けられたことを特徴とする密閉容器開閉装置。

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