JP3862783B2 - インピーダンス測定装置 - Google Patents
インピーダンス測定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3862783B2 JP3862783B2 JP16724096A JP16724096A JP3862783B2 JP 3862783 B2 JP3862783 B2 JP 3862783B2 JP 16724096 A JP16724096 A JP 16724096A JP 16724096 A JP16724096 A JP 16724096A JP 3862783 B2 JP3862783 B2 JP 3862783B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conductor
- cable
- triaxial cable
- triaxial
- inverting input
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
Description
【0001】
【産業上の利用分野】
本発明はインピーダンス等の回路定数や材料の特性を、特に高周波広帯域で測定するインピーダンス測定装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来の4端子対インピーダンス測定装置の基本構成を図3に示す。測定信号源13の測定電流が、抵抗12及び同軸ケーブル11を経由してHc測定端子10から測定対象60の1つの端子61へ供給される。測定電流は、測定対象60のもう一方の端子62からLc測定端子40に流れ、同軸ケーブル41を経由して電流計42で測定される。
【0003】
一方測定対象の端子62の電位が、Lp測定端子30から同軸ケーブル31を介して、Lp増幅回路32の反転入力に印加されている。またLp増幅回路32の非反転入力は同軸ケーブルの外部導体に接続されている。Lp増幅回路32の出力が、可変電流源43を制御して、測定対象の端子62の電位を増幅回路32の非反転入力の電位に等しくする。すなわち端子62の電位が、同軸ケーブルの外部導体の電位に保持される。同軸ケーブルの外部導体は互いに接続され、その電位はインピーダンス測定装置のグランド電位である。グランド電位は、グランド端子63から外部に出力されている。
【0004】
測定対象60の端子61の電位は、Hp測定端子20から同軸ケーブル21を介して電圧計22で測定される。前述のように端子62の電位がグランド電位に保たれるので、電圧計22は測定対象60の両端に印加される電圧を測定することになる。したがって該電圧測定値と電流計42の測定値の比から所望のインピーダンス測定値を求めることができる。
【0005】
4端子対測定法は、4つの測定端子の接触抵抗の影響を受けないすぐれた測定方法である。しかし測定周波数が高くなると、Hp測定端子20の同軸ケーブル21及びLc測定端子40の同軸ケーブル41の中心導体と外部導体間の静電容量と接触抵抗が測定誤差を発生させる。
【0006】
図4に、測定対象の端子61とHp測定端子20との接触抵抗27及び同軸ケーブル21の静電容量28が構成する等価回路を示し、これらが電圧測定に誤差を与えることを以下に述べる。
以後、この静電容量のインピーダンスを「ケーブルのシャントインピーダンス」と呼ぶことにする。
【0007】
周波数が低いときは同軸ケーブルのシャントインピーダンス28が十分高く、Hp測定端子20と測定対象の端子61間の接触抵抗27で電圧22の読みが降下する事はない。ところが周波数が高くなるにつれケーブルのシャントインピーダンス28は低くなり、これと接触抵抗27の間で分圧が生じる。この分圧によって、電圧計22の電圧測定に誤差を生じる。
【0008】
図5に、測定対象の端子62とLc測定端子40との接触抵抗53及び同軸ケーブル41の静電容量(シャントインピーダンス)54が構成する等価回路を示し、これらが電流測定に誤差を与えることを以下に述べる。
接触抵抗53は、測定対象の端子62とLc端子40間に電位を発生させるため、この電位差をケーブルのシャントインピーダンスで除した電流がシャントインピーダンス54に流れる。この電流が、測定対象の電流に重畳して電流計42に流れるので、測定誤差を生じる。
【0009】
測定周波数が高くなるほど同軸ケーブルの静電容量によるシャントインピーダンスが低下するため、従来の4端子対法では高い周波数になるほど接触抵抗の影響が大きくなって、測定誤差が増大する。しかも接触抵抗は再現性がないため、この誤差を補正で取り除くことはできない。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
インピーダンス測定装置の4端子対の測定端子と測定対象との間の接触抵抗に測定ケーブルの静電容量が負荷になって測定誤差を生じる。この測定誤差を取り除き、高周波で再現性の良い高精度の測定を実現させる事が本件のねらいである。
【0011】
【課題を解決するための手段】
Hp測定端子と電圧測定部との間を2重シールド構造のケーブルで接続する。増幅回路の作用により該ケーブルの中間導体を中心導体と同電位に保ち、中心導体と中間導体間の静電容量の効果を除去する。
Lc測定端子と電流測定部との間は、同軸ケーブル2本並列の外側にシールド導体を有する2重シールド構造のケーブルで接続する。増幅回路の作用により該ケーブルの中間導体(同軸ケーブルの外部導体)を中心導体と同電位に保ち、該ケーブルの静電容量の効果を除去する。
【0012】
【実施例】
図1に本発明の第1の実施例を示す。従来技術の図3と同じ機能の構成要素には同じ参照記号を付してある。Hp測定端子20と電圧測定部との間は、トライアキシャル・ケーブル24で接続されている。トライアキシャル・ケーブル24は、2重シールドケーブルの一種であり、同軸ケーブルの中心導体と外部導体の間に網状の中間導体を持つ構造である。
【0013】
増幅回路23の非反転入力にはトライアキシャル・ケーブル24の中心導体が、反転入力には中間導体が接続されている。また出力が反転入力に帰還されているので、反転入力及び中間導体は中心導体と等電位に維持される。このため、トライアキシャル・ケーブルの中心導体と中間導体の間の静電容量には電流が流れず、Hp測定端子20とグランド間のシャントインピーダンスは原理上無限大となる。
測定対象の電圧測定は、トライアキシャル・ケーブル24の中間導体と外部導体間の電圧を測定すればよい。
【0014】
Lc測定端子40と電流測定部との間は、2本の同軸ケーブル44及び45並びに該同軸ケーブルを包み込む外部シールド編組46から構成される2重シールドケーブルで接続されている。同軸ケーブル44及び45の中心導体は、Lc測定端子40に接続されている。同軸ケーブル44の電流測定部側の中心導体は増幅回路47の反転入力に、外部導体は非反転入力に接続され、増幅回路47の出力が可変電流源43を制御する。同軸ケーブル45の中心導体と外部導体間に、電流計42と可変電流源43の直列接続が接続されている。また、同軸ケーブル45の外部導体は、Lp測定端子30の電圧を増幅する増幅回路32で制御される。
【0015】
増幅回路32の出力は、同軸ケーブル45と可変電流源43との接続点に接続されている。Lp測定端子の電位は、増幅回路32、同軸ケーブル45の外部導体、同軸ケーブル44の外部導体及び増幅回路47を介して電流源43の制御に用いられる。その結果、同軸ケーブル31の中心導体と外部導体が同電位に、同軸ケーブル44及び45の中心導体と外部導体が同電位に制御される。同軸ケーブル45の中心導体と外部導体の電位差がないため、静電容量に電流が流れない。接触抵抗による電位降下がどうであろうとも、同軸ケーブル45の静電容量に電流は流れないため、電流計42に余分な電流は流れ込まない。
【0016】
以上のように、Hp測定端子20におけるシャントインピーダンスに電流が流れない手段を考案し、測定対象60の両端の電圧を忠実に検出し、またLc測定端子40における接触抵抗で発生する電圧に関わらず、測定対象60を通過する電流を忠実に検出できる手段を考案した。
【0017】
本発明の第2の実施例として、ケーブルにインピーダンス整合を施した例を図2に示す。第1の実施例で示した基本動作と効果に何ら影響を与える事なく、各ケーブルに整端を行っている。整端の目的は、測定周波数の1/4波長がケーブル長に近づく、あるいは越す場合に生じる、ケーブル共振の特異点の問題を解消することである。なお、通常の4端子対の整端の有効性に関しては、特願昭63−167061で説明されている。また類似トライアキシャル・ケーブルの整端例が、特願平5−352012にある。
【0018】
図2では、同軸ケーブルの特性インピーダンスはすべてRoである例を示した。また、トライアキシャル・ケーブルは、中心導体と中間導体間の特性インピーダンス及び中間導体と外部導体間の特性インピーダンスがそれぞれRoである例を示した。
Hp測定端子20と電圧測定部との間はトライアキシャル・ケーブル24及び同軸ケーブル21で接続されている。トライアキシャル・ケーブル24の中心導体は、Hp測定端子20の検出電圧を増幅回路23の非反転入力に印加する。増幅回路23の反転入力には増幅回路23の出力及びトライアキシャル・ケーブルの中間導体に接続されている。したがって、トライアキシャル・ケーブルの中間導体の電位は中心導体の電位に等しくなる。トライアキシャル・ケーブル24の中心導体と中間導体の間には抵抗25が接続されてインピーダンス整合している。
【0019】
実施例1と同様に、増幅回路23のグランドはトライアキシャル・ケーブル24の外部導体に接続されていて、トライアキシャル・ケーブル24の中間導体と外部導体間の電圧は、Hp測定端子20の電圧に等しい。
【0020】
トライアキシャル・ケーブル24のHp端子側の中間導体は同軸ケーブル21の中心導体に接続され、同軸ケーブル21の外部導体はトライアキシャル・ケーブル24の外部導体に接続されている。
同軸ケーブル21の電圧測定部側には、整合のための抵抗26が接続されているので、同軸ケーブル21はトライアキシャル・ケーブル24に整合して接続され、Hp測定端子20の電圧に等しい電圧が抵抗26の両端に現れる。これを電圧計22で読みとる。
【0021】
Lc測定端子40と電流測定部との間は、2本のトライアキシャル・ケーブル48及び49で接続されている。図1のケーブルの外部シールド編組46を分割して同軸ケーブル44及び45のそれぞれに外部シールドを施し、2本のトライアキシャル・ケーブルにした構成になっている。トライアキシャル・ケーブル48及び49に整合のための抵抗51、50及び52を接続している。
また同軸ケーブル11及び31には、それぞれ抵抗14及び33を接続して整合を得ることできる。
なお第2の実施例の図2において、整端のための抵抗25、26、33、50、51及び52がなく、抵抗14が整端抵抗でない場合、第1の実施例と等価の構成になる。
【0022】
以上に述べた接触抵抗が、接触インピーダンスの場合でも本発明が適用できることは明らかである。また、測定端子の先端部のリード線の若干のインピーダンスや、固体や液体などの材料を探針で4端子測定する場合のバルク中の広がり抵抗に対しても、Hp測定端子及びLc測定端子のシャントインピーダンスの影響を除去できる。
以上に本発明の実施例を示したが、例示の様式、配置、その他に限定するものでなく、必要に応じて本発明の要旨を失うことなく構成の変化も許容される。
【0023】
【発明の効果】
本発明の4端子対測定法によれば、高周波において測定対象と測定端子との間の接触抵抗の心配なく、再現性の良い電気部品測定が可能になり、実用に供し有益である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例を示す図である。
【図2】本発明の第2の実施例を示す図である。
【図3】従来技術のインピーダンス測定装置の例を示す図である。
【図4】Hp測定端子における接触抵抗の効果を示す図である。
【図5】Lc測定端子における接触抵抗の効果を示す図である。
【符号の説明】
10:Hc測定端子
11:同軸ケーブル
12:抵抗
13:信号源
14:抵抗
20:Hp測定端子
21:同軸ケーブル
22:電圧計
23:増幅回路
24:トライアキシャル・ケーブル
25:抵抗
26:抵抗
27:Hp測定端子における接触抵抗
28:同軸ケーブルの静電容量
30:Lp測定端子
31:同軸ケーブル
32:増幅回路
33:抵抗
40:Lc測定端子
41:同軸ケーブル
42:電流計
43:電流源
44:同軸ケーブル
45:同軸ケーブル
46:外部シールド編組
47:増幅回路
48:トライアキシャル・ケーブル
49:トライアキシャル・ケーブル
50:抵抗
51:抵抗
52:抵抗
53:Lc測定端子における接触抵抗
54:同軸ケーブルの静電容量
60:測定対象
61:測定対象の端子
62:測定対象の端子
63:グランド端子
【産業上の利用分野】
本発明はインピーダンス等の回路定数や材料の特性を、特に高周波広帯域で測定するインピーダンス測定装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来の4端子対インピーダンス測定装置の基本構成を図3に示す。測定信号源13の測定電流が、抵抗12及び同軸ケーブル11を経由してHc測定端子10から測定対象60の1つの端子61へ供給される。測定電流は、測定対象60のもう一方の端子62からLc測定端子40に流れ、同軸ケーブル41を経由して電流計42で測定される。
【0003】
一方測定対象の端子62の電位が、Lp測定端子30から同軸ケーブル31を介して、Lp増幅回路32の反転入力に印加されている。またLp増幅回路32の非反転入力は同軸ケーブルの外部導体に接続されている。Lp増幅回路32の出力が、可変電流源43を制御して、測定対象の端子62の電位を増幅回路32の非反転入力の電位に等しくする。すなわち端子62の電位が、同軸ケーブルの外部導体の電位に保持される。同軸ケーブルの外部導体は互いに接続され、その電位はインピーダンス測定装置のグランド電位である。グランド電位は、グランド端子63から外部に出力されている。
【0004】
測定対象60の端子61の電位は、Hp測定端子20から同軸ケーブル21を介して電圧計22で測定される。前述のように端子62の電位がグランド電位に保たれるので、電圧計22は測定対象60の両端に印加される電圧を測定することになる。したがって該電圧測定値と電流計42の測定値の比から所望のインピーダンス測定値を求めることができる。
【0005】
4端子対測定法は、4つの測定端子の接触抵抗の影響を受けないすぐれた測定方法である。しかし測定周波数が高くなると、Hp測定端子20の同軸ケーブル21及びLc測定端子40の同軸ケーブル41の中心導体と外部導体間の静電容量と接触抵抗が測定誤差を発生させる。
【0006】
図4に、測定対象の端子61とHp測定端子20との接触抵抗27及び同軸ケーブル21の静電容量28が構成する等価回路を示し、これらが電圧測定に誤差を与えることを以下に述べる。
以後、この静電容量のインピーダンスを「ケーブルのシャントインピーダンス」と呼ぶことにする。
【0007】
周波数が低いときは同軸ケーブルのシャントインピーダンス28が十分高く、Hp測定端子20と測定対象の端子61間の接触抵抗27で電圧22の読みが降下する事はない。ところが周波数が高くなるにつれケーブルのシャントインピーダンス28は低くなり、これと接触抵抗27の間で分圧が生じる。この分圧によって、電圧計22の電圧測定に誤差を生じる。
【0008】
図5に、測定対象の端子62とLc測定端子40との接触抵抗53及び同軸ケーブル41の静電容量(シャントインピーダンス)54が構成する等価回路を示し、これらが電流測定に誤差を与えることを以下に述べる。
接触抵抗53は、測定対象の端子62とLc端子40間に電位を発生させるため、この電位差をケーブルのシャントインピーダンスで除した電流がシャントインピーダンス54に流れる。この電流が、測定対象の電流に重畳して電流計42に流れるので、測定誤差を生じる。
【0009】
測定周波数が高くなるほど同軸ケーブルの静電容量によるシャントインピーダンスが低下するため、従来の4端子対法では高い周波数になるほど接触抵抗の影響が大きくなって、測定誤差が増大する。しかも接触抵抗は再現性がないため、この誤差を補正で取り除くことはできない。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
インピーダンス測定装置の4端子対の測定端子と測定対象との間の接触抵抗に測定ケーブルの静電容量が負荷になって測定誤差を生じる。この測定誤差を取り除き、高周波で再現性の良い高精度の測定を実現させる事が本件のねらいである。
【0011】
【課題を解決するための手段】
Hp測定端子と電圧測定部との間を2重シールド構造のケーブルで接続する。増幅回路の作用により該ケーブルの中間導体を中心導体と同電位に保ち、中心導体と中間導体間の静電容量の効果を除去する。
Lc測定端子と電流測定部との間は、同軸ケーブル2本並列の外側にシールド導体を有する2重シールド構造のケーブルで接続する。増幅回路の作用により該ケーブルの中間導体(同軸ケーブルの外部導体)を中心導体と同電位に保ち、該ケーブルの静電容量の効果を除去する。
【0012】
【実施例】
図1に本発明の第1の実施例を示す。従来技術の図3と同じ機能の構成要素には同じ参照記号を付してある。Hp測定端子20と電圧測定部との間は、トライアキシャル・ケーブル24で接続されている。トライアキシャル・ケーブル24は、2重シールドケーブルの一種であり、同軸ケーブルの中心導体と外部導体の間に網状の中間導体を持つ構造である。
【0013】
増幅回路23の非反転入力にはトライアキシャル・ケーブル24の中心導体が、反転入力には中間導体が接続されている。また出力が反転入力に帰還されているので、反転入力及び中間導体は中心導体と等電位に維持される。このため、トライアキシャル・ケーブルの中心導体と中間導体の間の静電容量には電流が流れず、Hp測定端子20とグランド間のシャントインピーダンスは原理上無限大となる。
測定対象の電圧測定は、トライアキシャル・ケーブル24の中間導体と外部導体間の電圧を測定すればよい。
【0014】
Lc測定端子40と電流測定部との間は、2本の同軸ケーブル44及び45並びに該同軸ケーブルを包み込む外部シールド編組46から構成される2重シールドケーブルで接続されている。同軸ケーブル44及び45の中心導体は、Lc測定端子40に接続されている。同軸ケーブル44の電流測定部側の中心導体は増幅回路47の反転入力に、外部導体は非反転入力に接続され、増幅回路47の出力が可変電流源43を制御する。同軸ケーブル45の中心導体と外部導体間に、電流計42と可変電流源43の直列接続が接続されている。また、同軸ケーブル45の外部導体は、Lp測定端子30の電圧を増幅する増幅回路32で制御される。
【0015】
増幅回路32の出力は、同軸ケーブル45と可変電流源43との接続点に接続されている。Lp測定端子の電位は、増幅回路32、同軸ケーブル45の外部導体、同軸ケーブル44の外部導体及び増幅回路47を介して電流源43の制御に用いられる。その結果、同軸ケーブル31の中心導体と外部導体が同電位に、同軸ケーブル44及び45の中心導体と外部導体が同電位に制御される。同軸ケーブル45の中心導体と外部導体の電位差がないため、静電容量に電流が流れない。接触抵抗による電位降下がどうであろうとも、同軸ケーブル45の静電容量に電流は流れないため、電流計42に余分な電流は流れ込まない。
【0016】
以上のように、Hp測定端子20におけるシャントインピーダンスに電流が流れない手段を考案し、測定対象60の両端の電圧を忠実に検出し、またLc測定端子40における接触抵抗で発生する電圧に関わらず、測定対象60を通過する電流を忠実に検出できる手段を考案した。
【0017】
本発明の第2の実施例として、ケーブルにインピーダンス整合を施した例を図2に示す。第1の実施例で示した基本動作と効果に何ら影響を与える事なく、各ケーブルに整端を行っている。整端の目的は、測定周波数の1/4波長がケーブル長に近づく、あるいは越す場合に生じる、ケーブル共振の特異点の問題を解消することである。なお、通常の4端子対の整端の有効性に関しては、特願昭63−167061で説明されている。また類似トライアキシャル・ケーブルの整端例が、特願平5−352012にある。
【0018】
図2では、同軸ケーブルの特性インピーダンスはすべてRoである例を示した。また、トライアキシャル・ケーブルは、中心導体と中間導体間の特性インピーダンス及び中間導体と外部導体間の特性インピーダンスがそれぞれRoである例を示した。
Hp測定端子20と電圧測定部との間はトライアキシャル・ケーブル24及び同軸ケーブル21で接続されている。トライアキシャル・ケーブル24の中心導体は、Hp測定端子20の検出電圧を増幅回路23の非反転入力に印加する。増幅回路23の反転入力には増幅回路23の出力及びトライアキシャル・ケーブルの中間導体に接続されている。したがって、トライアキシャル・ケーブルの中間導体の電位は中心導体の電位に等しくなる。トライアキシャル・ケーブル24の中心導体と中間導体の間には抵抗25が接続されてインピーダンス整合している。
【0019】
実施例1と同様に、増幅回路23のグランドはトライアキシャル・ケーブル24の外部導体に接続されていて、トライアキシャル・ケーブル24の中間導体と外部導体間の電圧は、Hp測定端子20の電圧に等しい。
【0020】
トライアキシャル・ケーブル24のHp端子側の中間導体は同軸ケーブル21の中心導体に接続され、同軸ケーブル21の外部導体はトライアキシャル・ケーブル24の外部導体に接続されている。
同軸ケーブル21の電圧測定部側には、整合のための抵抗26が接続されているので、同軸ケーブル21はトライアキシャル・ケーブル24に整合して接続され、Hp測定端子20の電圧に等しい電圧が抵抗26の両端に現れる。これを電圧計22で読みとる。
【0021】
Lc測定端子40と電流測定部との間は、2本のトライアキシャル・ケーブル48及び49で接続されている。図1のケーブルの外部シールド編組46を分割して同軸ケーブル44及び45のそれぞれに外部シールドを施し、2本のトライアキシャル・ケーブルにした構成になっている。トライアキシャル・ケーブル48及び49に整合のための抵抗51、50及び52を接続している。
また同軸ケーブル11及び31には、それぞれ抵抗14及び33を接続して整合を得ることできる。
なお第2の実施例の図2において、整端のための抵抗25、26、33、50、51及び52がなく、抵抗14が整端抵抗でない場合、第1の実施例と等価の構成になる。
【0022】
以上に述べた接触抵抗が、接触インピーダンスの場合でも本発明が適用できることは明らかである。また、測定端子の先端部のリード線の若干のインピーダンスや、固体や液体などの材料を探針で4端子測定する場合のバルク中の広がり抵抗に対しても、Hp測定端子及びLc測定端子のシャントインピーダンスの影響を除去できる。
以上に本発明の実施例を示したが、例示の様式、配置、その他に限定するものでなく、必要に応じて本発明の要旨を失うことなく構成の変化も許容される。
【0023】
【発明の効果】
本発明の4端子対測定法によれば、高周波において測定対象と測定端子との間の接触抵抗の心配なく、再現性の良い電気部品測定が可能になり、実用に供し有益である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例を示す図である。
【図2】本発明の第2の実施例を示す図である。
【図3】従来技術のインピーダンス測定装置の例を示す図である。
【図4】Hp測定端子における接触抵抗の効果を示す図である。
【図5】Lc測定端子における接触抵抗の効果を示す図である。
【符号の説明】
10:Hc測定端子
11:同軸ケーブル
12:抵抗
13:信号源
14:抵抗
20:Hp測定端子
21:同軸ケーブル
22:電圧計
23:増幅回路
24:トライアキシャル・ケーブル
25:抵抗
26:抵抗
27:Hp測定端子における接触抵抗
28:同軸ケーブルの静電容量
30:Lp測定端子
31:同軸ケーブル
32:増幅回路
33:抵抗
40:Lc測定端子
41:同軸ケーブル
42:電流計
43:電流源
44:同軸ケーブル
45:同軸ケーブル
46:外部シールド編組
47:増幅回路
48:トライアキシャル・ケーブル
49:トライアキシャル・ケーブル
50:抵抗
51:抵抗
52:抵抗
53:Lc測定端子における接触抵抗
54:同軸ケーブルの静電容量
60:測定対象
61:測定対象の端子
62:測定対象の端子
63:グランド端子
Claims (8)
- 測定対象に印加された電流および電圧を測定して該測定対象のインピーダンスを測定する装置において、
互いに絶縁された中心導体、中間導体、および、外部導体を有し、前記測定対象に印加された電圧を電圧測定手段に導くための第1のケーブルと、前記電圧測定手段と、を有する電圧測定回路と、
互いに絶縁された中心導体、中間導体、および外部導体を有し、前記測定対象に印加された電流を電流測定手段に導くための第2のケーブルと、前記電流測定手段と、を有する電流測定回路と、
を備えて成り、前記電圧測定回路および前記電流測定回路の少なくとも一方は、その回路に含まれる前記ケーブルの中間導体を中心導体とほぼ等しい電位に保持するための手段を備えている、
ことを特徴とするインピーダンス測定装置。 - 前記電圧測定回路は、
前記測定対象の一端に中心導体の一端が接続されたトライアキシャル・ケーブルと、
その非反転入力が前記トライアキシャル・ケーブルの中心導体の他端に接続され、その反転入力及び出力が前記トライアキシャル・ケーブルの中間導体に接続された第1の増幅器と、
前記トライアキシャル・ケーブルの中間導体と前記トライアキシャル・ケーブルの外部導体との間に接続された電圧測定手段と、
を備えて成り、
前記第1の増幅器により、前記トライアキシャル・ケーブルの中間導体と中心導体とがほぼ同電位に制御される、
ことを特徴とする請求項1記載のインピーダンス測定装置。 - 前記電流測定回路は、
その一端が前記測定対象の他端に接続された第1の中心導体と、その一端が前記測定対象の他端に接続された第2の中心導体と、それぞれが前記第1の中心導体および前記第2の中心導体を取り囲み、互いに接続された第1の中間導体および第2の中間導体と、前記第1の中間導体および前記第2の中間導体を取り囲む外部導体と、を有するケーブルと、
前記第1の中心導体の他端と前記第1の中間導体との間に接続された、電流測定手段と可変電流源との直列回路と、
その反転入力が前記第2の中心導体の他端に接続され、その非反転入力が前記第2の中間導体に接続され、その出力が前記可変電流源を制御する第2の増幅器と、
その中心導体の一端が前記測定対象の他端に接続された同軸ケーブルと、
その反転入力が前記同軸ケーブルの中心導体の他端に接続され、その非反転入力が前記同軸ケーブルの外部導体に接続され、その出力が前記可変電流源と前記第1の中間導体との接続点に接続された第3の増幅器と、
を備えて成り、
前記第3の増幅器により前記第1の中間導体と前記第1の中心導体とがほぼ同電位に制御される、
ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載のインピーダンス測定装置。 - 測定信号を測定対象の一端に導くためのHcケーブルと、
その中心導体の一端が前記測定対象の一端に接続されたHpトライアキシャル・ケーブルと、
その非反転入力が前記Hpトライアキシャル・ケーブルの中心導体の他端に接続され、その反転入力および出力が前記Hpトライアキシャル・ケーブルの中間導体に接続された第1の増幅器と、
前記Hpトライアキシャル・ケーブルの中間導体と前記Hpトライアキシャル・ケーブルの外部導体との間に接続され、前記測定対象に印加された電圧を測定するための電圧測定手段と、
その一端が前記測定対象の他端に接続された第1の中心導体および第2の中心 導体と、それぞれが前記第1の中心導体および前記第2の中心導体を取り囲み互いに接続された第1の中間導体および第2の中間導体と、前記第1の中間導体および前記第2の中間導体を取り囲む外部導体と、を有するLcケーブルと、
前記第1の中心導体の他端と前記第1の中間導体との間に接続された、前記測定対象に印加された電流を測定するための電流測定手段と可変電流源との直列回路と、
その反転入力が前記第2の中心導体の他端に接続され、その非反転入力が前記第2の中間導体に接続され、その出力が前記可変電流源を制御する第2の増幅器と、
その中心導体の一端が前記測定対象の他端に接続されたLp同軸ケーブルと、 その反転入力が前記Lp同軸ケーブルの中心導体の他端に接続され、その非反転入力が前記Lp同軸ケーブルの外部導体に接続され、その出力が前記可変電流源と前記第1の中間導体との接続点に接続された第3の増幅器と、
を備えて成り、
前記第1の増幅器により、前記Hpトライアキシャル・ケーブルの中間導体と前記Hpトライアキシャル・ケーブル中心導体とがほぼ同電位に制御され、前記第3の増幅器により前記Lcケーブルの第1の中間導体と前記Lcケーブルの第1の中心導体とがほぼ同電位に制御される、
ことを特徴とする4端子対測定法を用いたインピーダンス測定装置。 - 前記電圧測定回路は、
その中心導体の一端が前記測定対象の一端に接続されたトライアキシャル・ケーブルと、
その非反転入力が前記トライアキシャル・ケーブルの中心導体の他端に接続され、その反転入力および出力が前記トライアキシャル・ケーブルの中間導体に接続された第1の増幅器と、
その中心導体の一端が前記トライアキシャル・ケーブルの中間導体に接続された同軸ケーブルと、
前記同軸ケーブルの中心導体の他端と前記同軸ケーブルの外部導体との間に接 続された電圧測定手段と、
を備えて成り、
前記第1の増幅器により、前記トライアキシャル・ケーブルの中間導体と前記トライアキシャル・ケーブルの中心導体とがほぼ同電位に制御される、
ことを特徴とする請求項1に記載のインピーダンス測定装置。 - 前記電流測定回路は、
その中心導体の一端が前記測定対象の他端に接続された第1のトライアキシャル・ケーブルと、
前記第1のトライアキシャル・ケーブルの中心導体の他端と前記第1のトライアキシャル・ケーブルの中間導体との間に接続された、電流測定手段と可変電流源との直列回路と、
その中心導体の一端が前記測定対象の他端に接続され、その中間導体の一端が前記第1のトライアキシャル・ケーブルの中間導体に接続された第2のトライアキシャル・ケーブルと、
その反転入力が前記第2のトライアキシャル・ケーブルの中心導体の他端に接続され、その非反転入力が前記第2のトライアキシャル・ケーブルの中間導体に接続され、その出力が前記可変電流源を制御する第2の増幅器と、
その中心導体の一端が前記測定対象の他端に接続された同軸ケーブルと、
その反転入力が前記同軸ケーブルの中心導体の他端に接続され、その非反転入力が前記同軸ケーブルの中心導体の外部導体に接続され、その出力が前記第1のトライアキシャル・ケーブルの中間導体と前記可変電流源との接続点に接続された第3の増幅器と、
を備えて成り、
前記第3の増幅器により前記第1のトライアキシャル・ケーブルの中間導体と前記第1のトライアキシャル・ケーブルの中心導体とがほぼ同電位に制御される、
ことを特徴とする請求項1または請求項5に記載のインピーダンス測定装置。 - 測定信号を測定対象の一端に導くためのHcケーブルと、
その中心導体の一端が前記測定対象の一端に接続されたHpトライアキシャル・ケーブルと、
その非反転入力が前記Hpトライアキシャル・ケーブルの中心導体の他端に接続され、その反転入力および出力が前記Hpトライアキシャル・ケーブルの中間導体に接続された第1の増幅器と、
その中心導体の一端が前記Hpトライアキシャル・ケーブルの中間導体に接続されたHp同軸ケーブルと、
前記Hp同軸ケーブルの中心導体の他端と前記Hp同軸ケーブルの外部導体との間に接続され、前記測定対象に印加された電圧を測定するための電圧測定手段と、
その中心導体の一端が前記測定対象の他端に接続された第1のLcトライアキシャル・ケーブルと、
前記第1のLcトライアキシャル・ケーブルの中心導体の他端と前記第1のLcトライアキシャル・ケーブルの中間導体との間に接続された、前記測定対象に印加された電流を測定するための電流測定手段と可変電流源との直列回路と、
その中心導体の一端が前記測定対象の他端に接続され、その中間導体の一端が前記第1のLcトライアキシャル・ケーブルの中間導体に接続された第2のLcトライアキシャル・ケーブルと、
その反転入力が第2のLcトライアキシャル・ケーブルの中心導体の他端に接続され、その非反転入力が第2のLcトライアキシャル・ケーブルの中間導体に接続され、その出力が前記可変電流源を制御する第2の増幅器と、
その中心導体の一端が前記測定対象の他端に接続されたLp同軸ケーブルと、 その反転入力が前記Lp同軸ケーブルの中心導体の他端に接続され、その非反転入力が前記Lp同軸ケーブルの外部導体に接続され、その出力が前記第1のLcトライアキシャル・ケーブルの中間導体と前記可変電流源との接続点に接続された第3の増幅器と、
を備えて成り、
前記第1の増幅器により、前記Hpトライアキシャル・ケーブルの中間導体と 前記Hpトライアキシャル・ケーブルの中心導体とがほぼ同電位に制御され、前記第3の増幅器により前記第1のLcトライアキシャル・ケーブルの中間導体と前記第1のLcトライアキシャル・ケーブルの中心導体とがほぼ同電位に制御されることを特徴とする、4端子対測定法を用いたインピーダンス測定装置。 - 前記ケーブルのそれぞれの測定手段側端において、それぞれの前記ケーブルとインピーダンス整合する手段を接続した、
ことを特徴とする請求項5、請求項6、または、請求項7のいずれかに記載のインピーダンス測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16724096A JP3862783B2 (ja) | 1996-06-27 | 1996-06-27 | インピーダンス測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16724096A JP3862783B2 (ja) | 1996-06-27 | 1996-06-27 | インピーダンス測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1010170A JPH1010170A (ja) | 1998-01-16 |
JP3862783B2 true JP3862783B2 (ja) | 2006-12-27 |
Family
ID=15846065
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16724096A Expired - Fee Related JP3862783B2 (ja) | 1996-06-27 | 1996-06-27 | インピーダンス測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3862783B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TW546480B (en) | 2000-03-07 | 2003-08-11 | Sumitomo Metal Ind | Circuit, apparatus and method for inspecting impedance |
KR100864415B1 (ko) * | 2000-12-14 | 2008-10-20 | 가부시키가이샤 피지온 | 신체 임피던스 측정장치 |
JP5474381B2 (ja) * | 2009-03-10 | 2014-04-16 | シシド静電気株式会社 | 高感度測定装置 |
JP5430500B2 (ja) * | 2010-06-11 | 2014-02-26 | 日置電機株式会社 | 回路基板検査装置 |
JP5723707B2 (ja) * | 2011-07-11 | 2015-05-27 | 日置電機株式会社 | 回路基板検査装置 |
-
1996
- 1996-06-27 JP JP16724096A patent/JP3862783B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH1010170A (ja) | 1998-01-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3442822B2 (ja) | 測定用ケーブル及び測定システム | |
Devices | Analog Devices | |
US4041395A (en) | Transmitter performance monitor and antenna matching system | |
EP2588871B1 (en) | Apparatus and method for measuring the dissipation factor of an insulator | |
JP2003028900A (ja) | 非接触電圧測定方法およびその装置 | |
US5463323A (en) | Impedance meter | |
JP3809223B2 (ja) | インピーダンス測定装置 | |
US4952869A (en) | Dual purpose probe for simultaneous voltage and current sampling | |
JP3862783B2 (ja) | インピーダンス測定装置 | |
JP2945015B2 (ja) | 直流バイアス印加装置 | |
US4322710A (en) | Electrical resistors | |
CA1310368C (en) | Circuit element measuring apparatus | |
JP2698615B2 (ja) | 回路素子測定装置 | |
EP2588872B1 (en) | Apparatus and method for measuring the dissipation factor of an insulator | |
JP2655886B2 (ja) | レーザー加工機ノズルの距離検出装置 | |
JP2742637B2 (ja) | Cvケーブルの絶縁診断方法 | |
JP2975389B2 (ja) | 回路素子測定装置 | |
JP3101024B2 (ja) | 一端子トリオ,二端子トリオ測定装置および電気係数測定方法 | |
JP3049657B2 (ja) | 部分放電測定方法 | |
JPS6349727Y2 (ja) | ||
JP2000009788A (ja) | ケーブルの劣化診断方法 | |
JP3333725B2 (ja) | 部分放電測定方法 | |
JPH0511009A (ja) | Cvケーブルの絶縁診断方法 | |
JP2001074792A (ja) | 二端子トリオ測定装置 | |
JPH05180884A (ja) | 負荷機器の絶縁抵抗測定方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20040217 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060914 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060927 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |