JP3442822B2 - 測定用ケーブル及び測定システム - Google Patents
測定用ケーブル及び測定システムInfo
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- JP3442822B2 JP3442822B2 JP20583493A JP20583493A JP3442822B2 JP 3442822 B2 JP3442822 B2 JP 3442822B2 JP 20583493 A JP20583493 A JP 20583493A JP 20583493 A JP20583493 A JP 20583493A JP 3442822 B2 JP3442822 B2 JP 3442822B2
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01B—CABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
- H01B11/00—Communication cables or conductors
- H01B11/18—Coaxial cables; Analogous cables having more than one inner conductor within a common outer conductor
- H01B11/20—Cables having a multiplicity of coaxial lines
- H01B11/206—Tri-conductor coaxial cables
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Communication Cables (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体測定装置等の電
子測定機器に用いられる測定用ケーブルとそれを用いた
電圧電流測定装置および電圧電流測定方法に関し、被測
定対象（ＤＵＴ）の電圧−電流特性等の各種の電気特性
を、高精度でしかも安定に測定することができる技術に
関する。
子測定機器に用いられる測定用ケーブルとそれを用いた
電圧電流測定装置および電圧電流測定方法に関し、被測
定対象（ＤＵＴ）の電圧−電流特性等の各種の電気特性
を、高精度でしかも安定に測定することができる技術に
関する。
【０００２】
【従来の技術と問題点】図１は、従来の半導体試験装置
（例えば、米国ヒューレット・パッカード社のＨＰ４１
４５等の半導体特性測定装置）において採用されている
電圧電流特性測定ユニット（ＳＭＵ）１００の概要を示
す図である。このユニットは、電圧設定／電流測定また
は電流設定／電圧測定の何れをも行うことができるもの
であり、そのアーキテクチャーは本願出願人が上市して
いるＩＣテスタやＤＣ特性評価装置に広く使用されてい
る。
（例えば、米国ヒューレット・パッカード社のＨＰ４１
４５等の半導体特性測定装置）において採用されている
電圧電流特性測定ユニット（ＳＭＵ）１００の概要を示
す図である。このユニットは、電圧設定／電流測定また
は電流設定／電圧測定の何れをも行うことができるもの
であり、そのアーキテクチャーは本願出願人が上市して
いるＩＣテスタやＤＣ特性評価装置に広く使用されてい
る。
【０００３】同図において、誤差増幅器１１１は積分器
１１２およびバッフア１１３を介して電流測定用抵抗１
２０の一端ａに接続されている。なお、上記誤差増幅器
１１１，積分器１１２およびバッファ１１３により信号
生成源１１０が構成される。電流測定用抵抗１２０の他
端ｂは図示しないＤＵＴの所定端子に直接あるいは測定
用ケーブル端子ｆを介して接続される。抵抗１２０の両
端はそれぞれバッファ１３１ａ，１３１ｂを介して差動
増幅器１３２の両入力端子に接続されている。また、こ
の差動増幅器１３２の出力端子および上記バッファのう
ち抵抗１２０のＤＵＴ側の端子に接続されたバッフア
（１３１ｂ）の出力端子はそれぞれ前記誤差増幅器１１
１に接続されている。電流測定用抵抗１２０の他端ｂと
バッフア１３１ｂの間には抵抗（数ｋΩ）１２１が接続
されており、本発明の実施例において、端子ｓ，ｆが離
れてもＳＭＵの動作点が適切に保たれるようにする働き
をする。ここで、バッファ１３１ａ、１３１ｂおよび差
動増幅器１３２が電流測定回路を構成し、バッファ１３
１ｂが電圧測定回路となっている。
１１２およびバッフア１１３を介して電流測定用抵抗１
２０の一端ａに接続されている。なお、上記誤差増幅器
１１１，積分器１１２およびバッファ１１３により信号
生成源１１０が構成される。電流測定用抵抗１２０の他
端ｂは図示しないＤＵＴの所定端子に直接あるいは測定
用ケーブル端子ｆを介して接続される。抵抗１２０の両
端はそれぞれバッファ１３１ａ，１３１ｂを介して差動
増幅器１３２の両入力端子に接続されている。また、こ
の差動増幅器１３２の出力端子および上記バッファのう
ち抵抗１２０のＤＵＴ側の端子に接続されたバッフア
（１３１ｂ）の出力端子はそれぞれ前記誤差増幅器１１
１に接続されている。電流測定用抵抗１２０の他端ｂと
バッフア１３１ｂの間には抵抗（数ｋΩ）１２１が接続
されており、本発明の実施例において、端子ｓ，ｆが離
れてもＳＭＵの動作点が適切に保たれるようにする働き
をする。ここで、バッファ１３１ａ、１３１ｂおよび差
動増幅器１３２が電流測定回路を構成し、バッファ１３
１ｂが電圧測定回路となっている。
【０００４】電圧設定／電流測定を行う場合には、図示
しない測定信号処理回路から同じく図示しないＤＡＣを
介して、設定／電圧（ＶFIN ）がアナログ電圧の形で誤
差増幅器１１１に与えられる。誤差増幅器１１１は、電
流測定用抵抗１２０のＤＵＴ側の端子ｂの電圧をフィー
ドバックして、上記ＶFIN と端子ｂの電圧ＶOUT とを比
較し、ＶOUT がＶFIN に等しくなるように、誤差信号を
積分器１１２に出力している。電流測定用抵抗１２０を
流れる電流（すなわちＤＵＴに供給される電流）は、抵
抗１２０の両端ａ，ｂ間の電圧を測定することにより知
ることができる。このａ，ｂ間の電圧は差動増幅器１３
２の出力電圧として取り出され、図示しないＡＤＣを介
して前述した測定信号処理回路に送られる。
しない測定信号処理回路から同じく図示しないＤＡＣを
介して、設定／電圧（ＶFIN ）がアナログ電圧の形で誤
差増幅器１１１に与えられる。誤差増幅器１１１は、電
流測定用抵抗１２０のＤＵＴ側の端子ｂの電圧をフィー
ドバックして、上記ＶFIN と端子ｂの電圧ＶOUT とを比
較し、ＶOUT がＶFIN に等しくなるように、誤差信号を
積分器１１２に出力している。電流測定用抵抗１２０を
流れる電流（すなわちＤＵＴに供給される電流）は、抵
抗１２０の両端ａ，ｂ間の電圧を測定することにより知
ることができる。このａ，ｂ間の電圧は差動増幅器１３
２の出力電圧として取り出され、図示しないＡＤＣを介
して前述した測定信号処理回路に送られる。
【０００５】また、電流設定／電圧測定を行う場合に
は、前述した測定信号処理回路から、同じく前述したＤ
ＡＣを介して設定／電流信号（ＩFIN ）が誤差増幅器１
１１に与えられる。誤差増幅器１１１は、抵抗１２０の
両端間の電圧をフィードバックしており、抵抗１２０を
流れる電流（すなわち、ＤＵＴに供給される電流）が設
定／電流に等しくなるように積分器１１２に誤差信号を
出力している。ＤＵＴに印加される電圧は、抵抗１２０
のＤＵＴ側端ｂの電圧を測定することにより知ることが
できる。この電圧はバッファ１３１ｂおよび前述したＡ
ＤＣを介して前述した測定信号回路に送られる。
は、前述した測定信号処理回路から、同じく前述したＤ
ＡＣを介して設定／電流信号（ＩFIN ）が誤差増幅器１
１１に与えられる。誤差増幅器１１１は、抵抗１２０の
両端間の電圧をフィードバックしており、抵抗１２０を
流れる電流（すなわち、ＤＵＴに供給される電流）が設
定／電流に等しくなるように積分器１１２に誤差信号を
出力している。ＤＵＴに印加される電圧は、抵抗１２０
のＤＵＴ側端ｂの電圧を測定することにより知ることが
できる。この電圧はバッファ１３１ｂおよび前述したＡ
ＤＣを介して前述した測定信号回路に送られる。
【０００６】ところが、図２に示すように、ＤＵＴが測
定用ケーブルによって接続されていると、電流測定、電
圧測定に誤差が生じてしまう。例えば、測定ケーブルの
抵抗１２２の存在によって、端子ｂの電位はもはやＤＵ
Ｔの端子ｔ1 の電位とは異るし、抵抗１２０に流れる電
流は、ＤＵＴの端子ｔ1 に流れる電流と漏洩電流ｉだけ
異ったものになってしまう。
定用ケーブルによって接続されていると、電流測定、電
圧測定に誤差が生じてしまう。例えば、測定ケーブルの
抵抗１２２の存在によって、端子ｂの電位はもはやＤＵ
Ｔの端子ｔ1 の電位とは異るし、抵抗１２０に流れる電
流は、ＤＵＴの端子ｔ1 に流れる電流と漏洩電流ｉだけ
異ったものになってしまう。
【０００７】上記の問題を解決するため、いわゆるケル
ビン接続とガード技術がもちいられる。図１のバッファ
１３１ｂの入力端子ＳをＤＵＴの端子ｔ１に接続して図
２の抵抗１２２に起因する電圧誤差を回避する。また、
端子ｆと端子ｓからＤＵＴへ延伸するケーブルを絶縁物
を介して被覆する導体を設け、その導体を、前記端子
ｆ，ｓから延伸するケーブルの電位と実質的に同電位と
するためバッファ１３１ｂの出力端子ｇに接続する。こ
の構成により、図２の漏洩電流ｉが減少せしめられる。
ビン接続とガード技術がもちいられる。図１のバッファ
１３１ｂの入力端子ＳをＤＵＴの端子ｔ１に接続して図
２の抵抗１２２に起因する電圧誤差を回避する。また、
端子ｆと端子ｓからＤＵＴへ延伸するケーブルを絶縁物
を介して被覆する導体を設け、その導体を、前記端子
ｆ，ｓから延伸するケーブルの電位と実質的に同電位と
するためバッファ１３１ｂの出力端子ｇに接続する。こ
の構成により、図２の漏洩電流ｉが減少せしめられる。
【０００８】さらに接地端子ｇｎｄを設けて、ケーブル
全体を被覆する導体に接続すれば、外来電波や誘導によ
る雑音がその内部に侵入することが回避され、測定誤差
の発生を避けることができる。
全体を被覆する導体に接続すれば、外来電波や誘導によ
る雑音がその内部に侵入することが回避され、測定誤差
の発生を避けることができる。
【０００９】図３は、前記の構成の１実現である従来技
術の１つを示す。図においてＳＭＵ１００の前記した内
部端子ｆ，ｓ，ｇ，ｇｎｄに対応した外部端子Ｆ，Ｓ，
Ｇ，ＧＮＤに三芯同軸ケーブルＬＮ1 ，ＬＮ2 が接続さ
れている。端子Ｆ，Ｓはそれぞれのケーブルを介してＤ
ＵＴの一方の端子ｔ1 で最終的に結合されて、ケルビン
接続されている。端子Ｆから電流がＤＵＴへ供給され、
端子ＳにおいてＤＵＴの電位が検出される。それぞれの
端子Ｆ，Ｓからの導体が別々に端子Ｇに接続されたそれ
ぞれの導体でガードされ、端子ＧＮＤに接続された導体
で遮蔽されている。ＤＵＴの他方の端子ｔ2 は、別のＳ
ＭＵへ接続されるが、典型的には、一方の導体をそのＳ
ＭＵのＧＮＤへ接続し、もう一方の導体で端子ｔ2 の電
位を検知する。
術の１つを示す。図においてＳＭＵ１００の前記した内
部端子ｆ，ｓ，ｇ，ｇｎｄに対応した外部端子Ｆ，Ｓ，
Ｇ，ＧＮＤに三芯同軸ケーブルＬＮ1 ，ＬＮ2 が接続さ
れている。端子Ｆ，Ｓはそれぞれのケーブルを介してＤ
ＵＴの一方の端子ｔ1 で最終的に結合されて、ケルビン
接続されている。端子Ｆから電流がＤＵＴへ供給され、
端子ＳにおいてＤＵＴの電位が検出される。それぞれの
端子Ｆ，Ｓからの導体が別々に端子Ｇに接続されたそれ
ぞれの導体でガードされ、端子ＧＮＤに接続された導体
で遮蔽されている。ＤＵＴの他方の端子ｔ2 は、別のＳ
ＭＵへ接続されるが、典型的には、一方の導体をそのＳ
ＭＵのＧＮＤへ接続し、もう一方の導体で端子ｔ2 の電
位を検知する。
【００１０】図３の構成は、ＤＵＴの端子当り２本の三
芯ケーブルが必要となり、測定すべき端子が多数のばあ
い、配線及びその取扱いに困難をともなう欠点がある。
芯ケーブルが必要となり、測定すべき端子が多数のばあ
い、配線及びその取扱いに困難をともなう欠点がある。
【００１１】図４では、４芯同軸ケーブル２００を介し
てＳＭＵ１００とＤＵＴとを接続するので、ケーブル数
は半減する。端子ＦとＳを交替させても同じである。し
かしケーブルが太くなり柔軟性を失う欠点が生ずる。
てＳＭＵ１００とＤＵＴとを接続するので、ケーブル数
は半減する。端子ＦとＳを交替させても同じである。し
かしケーブルが太くなり柔軟性を失う欠点が生ずる。
【００１２】また、図３の構成においても図４の構成に
おいても端子Ｇと端子ＦあるいはＳ間の容量、即わちガ
ード容量Ｃｇが大きいという問題がある。図１から明ら
かなように、この容量Ｃｇは、端子ｆ，ｇ間、あるいは
端子ｓ，ｇ間に負荷され、ＳＭＵの帰還ループにおける
高域帰還量の減少、移相量の増加が起り、ＳＭＵの安定
性が損われ、結果として測定値にバラツキが生ずる。従
来技術の例では、三芯同軸を使用する図３の場合Ｃｇは
１４０ｐＦ，四芯同軸のばあい１２０−１３０ｐＦであ
った。三芯同軸そのものは一本当りのＣｇが７０ｐＦと
小さいが、二本並列に接続されるのでＣｇは大きくな
る。四芯同軸は、柔軟性を保つため三芯同軸と同程度の
太さとする必要があり、一本でも三芯同軸と同程度の太
さとするとＣｇが増加する。
おいても端子Ｇと端子ＦあるいはＳ間の容量、即わちガ
ード容量Ｃｇが大きいという問題がある。図１から明ら
かなように、この容量Ｃｇは、端子ｆ，ｇ間、あるいは
端子ｓ，ｇ間に負荷され、ＳＭＵの帰還ループにおける
高域帰還量の減少、移相量の増加が起り、ＳＭＵの安定
性が損われ、結果として測定値にバラツキが生ずる。従
来技術の例では、三芯同軸を使用する図３の場合Ｃｇは
１４０ｐＦ，四芯同軸のばあい１２０−１３０ｐＦであ
った。三芯同軸そのものは一本当りのＣｇが７０ｐＦと
小さいが、二本並列に接続されるのでＣｇは大きくな
る。四芯同軸は、柔軟性を保つため三芯同軸と同程度の
太さとする必要があり、一本でも三芯同軸と同程度の太
さとするとＣｇが増加する。
【００１３】
【発明の目的】従って、本発明の目的は、ケルビン接続
に用いる低ガード容量の測定用ケーブルと、それを用い
た電圧・電流等の測定システムにより前記の問題を解消
することにある。
に用いる低ガード容量の測定用ケーブルと、それを用い
た電圧・電流等の測定システムにより前記の問題を解消
することにある。
【００１４】
【発明の概要】本発明を実施した測定用ケーブルは、従
来技術の四芯同軸ケーブルにおいて、電圧検出用導体に
流れる電流が小さいことに着目して太さを極小化するこ
とにより、同じケーブル径でガード容量Ｃｇを減少せし
めている。そしてこの低ガード容量の測定用ケーブルを
使いＳＭＵを用いた測定をおこなうことにより、よりバ
ラツキのない測定値が得られる。
来技術の四芯同軸ケーブルにおいて、電圧検出用導体に
流れる電流が小さいことに着目して太さを極小化するこ
とにより、同じケーブル径でガード容量Ｃｇを減少せし
めている。そしてこの低ガード容量の測定用ケーブルを
使いＳＭＵを用いた測定をおこなうことにより、よりバ
ラツキのない測定値が得られる。
【００１５】
【発明の実施例】本発明の一実施例の測定用ケーブル３
００の断面を図６に、従来技術による四芯同軸ケーブル
２００の断面を図５に示した。同一機能部分には同じ参
照番号を付してある。
００の断面を図６に、従来技術による四芯同軸ケーブル
２００の断面を図５に示した。同一機能部分には同じ参
照番号を付してある。
【００１６】図５において、導体２０１、２０３、２０
５、２０７が絶縁物２０２、２０４、２０６を介して同
心状に配置されている。絶縁物２０８は外部被覆であり
ケーブルの保護をおこなう。使用状態では、導体２０
１、２０３は実質同電位とされるから、ガード電極Ｇに
接続される導体２０５と導体２０３間の容量Ｃｇは導体
２０３の外径Ｒ3 と導体２０５の内径Ｒ5 によって次式
で表される。 Ｃｇ＝２πε／ｌｏｇ（Ｒ5 ／Ｒ3 ） 但し、πは円周率（３．１４１５９）、εは絶縁物２０
４の誘電率（例えばテフロンでは、２．０×８．８５４
ｐＦ／ｍ）である。典型的な例ではＲ5 ／Ｒ3 ＝２．３
であり、Ｃｇ＝１３４ｐＦ／ｍである。
５、２０７が絶縁物２０２、２０４、２０６を介して同
心状に配置されている。絶縁物２０８は外部被覆であり
ケーブルの保護をおこなう。使用状態では、導体２０
１、２０３は実質同電位とされるから、ガード電極Ｇに
接続される導体２０５と導体２０３間の容量Ｃｇは導体
２０３の外径Ｒ3 と導体２０５の内径Ｒ5 によって次式
で表される。 Ｃｇ＝２πε／ｌｏｇ（Ｒ5 ／Ｒ3 ） 但し、πは円周率（３．１４１５９）、εは絶縁物２０
４の誘電率（例えばテフロンでは、２．０×８．８５４
ｐＦ／ｍ）である。典型的な例ではＲ5 ／Ｒ3 ＝２．３
であり、Ｃｇ＝１３４ｐＦ／ｍである。
【００１７】図６において、図５の導体２０３が管状か
ら単線導体３０３に変更されている。導体３０３は、使
用に当たって電圧検出用に用いられ、そのインダクタン
スも、測定システムに大きな影響を与えないので、十分
細くし、かつ導体２０１に近接して配置される。好適実
施例では、導体２０１の直径は０．４５ｍｍで縁物２０
２の厚さは０．１ｍｍ、導体３０３の直径は０．１６ｍ
ｍ、絶縁物２０４の外径は２．７７ｍｍである。Ｃｇの
実質は、導体２０１と導体２０５による同軸容量であ
り、従来例と同一外径寸法で（Ｒ5 ／Ｒ3 ＝６．１５程
度となり）、Ｃｇの計算値は６１．２ｐＦ／ｍである
が、導体３０３等の影響、製造上のばらつきもあり、実
測値は６２−７０ｐＦ／ｍとなった。
ら単線導体３０３に変更されている。導体３０３は、使
用に当たって電圧検出用に用いられ、そのインダクタン
スも、測定システムに大きな影響を与えないので、十分
細くし、かつ導体２０１に近接して配置される。好適実
施例では、導体２０１の直径は０．４５ｍｍで縁物２０
２の厚さは０．１ｍｍ、導体３０３の直径は０．１６ｍ
ｍ、絶縁物２０４の外径は２．７７ｍｍである。Ｃｇの
実質は、導体２０１と導体２０５による同軸容量であ
り、従来例と同一外径寸法で（Ｒ5 ／Ｒ3 ＝６．１５程
度となり）、Ｃｇの計算値は６１．２ｐＦ／ｍである
が、導体３０３等の影響、製造上のばらつきもあり、実
測値は６２−７０ｐＦ／ｍとなった。
【００１８】本発明の好適実施例では、絶縁物２０２、
２０４、２０６はテフロン（登録商標）樹脂であり、絶
縁物２０８はポリ塩化ビニルである。外径寸法は直径
４．７ｍｍで従来の三芯同軸ケーブルと同程度となっ
た。
２０４、２０６はテフロン（登録商標）樹脂であり、絶
縁物２０８はポリ塩化ビニルである。外径寸法は直径
４．７ｍｍで従来の三芯同軸ケーブルと同程度となっ
た。
【００１９】図６から明らかなように、絶縁物２０２、
２０４は一体成形することもできる。また、導体２０５
と絶縁物２０４の間にカーボン粉末剤等の低雑音ケーブ
ル処理をおこなうこともできる。
２０４は一体成形することもできる。また、導体２０５
と絶縁物２０４の間にカーボン粉末剤等の低雑音ケーブ
ル処理をおこなうこともできる。
【００２０】図６のケーブルをＳＭＵ１００を用いた測
定に用いるときは、図７のように接続して用いる。即わ
ち、本発明の測定用ケーブル３００の一端で、端子Ｆ、
Ｓ、Ｇ、ＧＮＤをそれぞれ導体２０１、３０３、２０
５、２０７に接続する。そして、もう一方の端におい
て、導体２０２、３０３をＤＵＴの端子ｔ1 に接続す
る。導体２０７は接地して使うのを基本とする。図７に
おいても図３、図４と同様に絶縁物は省略して描いてあ
る。
定に用いるときは、図７のように接続して用いる。即わ
ち、本発明の測定用ケーブル３００の一端で、端子Ｆ、
Ｓ、Ｇ、ＧＮＤをそれぞれ導体２０１、３０３、２０
５、２０７に接続する。そして、もう一方の端におい
て、導体２０２、３０３をＤＵＴの端子ｔ1 に接続す
る。導体２０７は接地して使うのを基本とする。図７に
おいても図３、図４と同様に絶縁物は省略して描いてあ
る。
【００２１】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明を実施した
測定用ケーブルでは、ガードに用いられる第３導体と、
第１、第２導体間の容量が、従来の四芯あるいは三芯同
軸ケーブルをケルビン接続、ガードつき測定に用いる接
続で取る容量より小さい。そして外形寸法も実質的に太
くならないようにできるので測定ケーブルの柔軟性も劣
化することはない。従って、このような測定用ケーブル
とＳＭＵを用いる測定に用いるときは、測定ケーブルの
本数が少く、配線容易であり、測定値のバラツキを低減
した測定ができる。
測定用ケーブルでは、ガードに用いられる第３導体と、
第１、第２導体間の容量が、従来の四芯あるいは三芯同
軸ケーブルをケルビン接続、ガードつき測定に用いる接
続で取る容量より小さい。そして外形寸法も実質的に太
くならないようにできるので測定ケーブルの柔軟性も劣
化することはない。従って、このような測定用ケーブル
とＳＭＵを用いる測定に用いるときは、測定ケーブルの
本数が少く、配線容易であり、測定値のバラツキを低減
した測定ができる。
【００２２】
【図１】本発明の測定システムの一実施例で用いる電圧
電流特性測定ユニット（ＳＭＵ）の概略回路図である。
電流特性測定ユニット（ＳＭＵ）の概略回路図である。
【図２】ＳＭＵを使って測定をおこなう場合の測定ケー
ブルによる測定誤差の発生を説明するための回路図であ
る。
ブルによる測定誤差の発生を説明するための回路図であ
る。
【図３】ＳＭＵと三芯同軸ケーブルを用いた従来技術の
測定システムの接続を示す概略ブロック図である。
測定システムの接続を示す概略ブロック図である。
【図４】ＳＭＵと四芯同軸ケーブルを用いた従来技術の
測定システムの接続を示す概略ブロック図である。
測定システムの接続を示す概略ブロック図である。
【図５】従来技術の四芯同軸ケーブルの断面図である。
【図６】本発明の一実施例の測定ケーブルの断面図であ
る。
る。
【図７】本発明の一実施例の測定システムの概略ブロッ
ク図である。
ク図である。
１００：電圧電流特性測定ユニット（ＳＭＵ）
ＬＮ1 ，ＬＮ2 ：三芯同軸ケーブル
２００：従来技術の四芯同軸ケーブル
３００：本発明の一実施例の測定用ケーブル
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H01B 11/18
G01R 31/26
Claims (4)
- 【請求項１】後記（イ）及至（ヘ）から成り、（ト）を
特徴とする測定用ケーブル。 （イ）所定の長さで延伸する第１の導体。 （ロ）前記第１の導体を被覆する第１の絶縁物。 （ハ）前記第１の絶縁物上に截置され前記第１の導体と
ともに延伸する第２の導体。 （ニ）前記第１の絶縁物と前記第２の導体を被覆し前記
第２の導体とともに延伸する第２の絶縁物。 （ホ）前記第２の絶縁物を被覆し前記第２の絶縁物とと
もに延伸する第３の導体。 （ヘ）前記第３の導体を第３の絶縁物を介して被覆して
該第３の導体ともに延伸する第４の導体。 （ト）前記第１の導体と前記第３の導体間の静電容量が
前記第２の導体の有無により実質的に変化しないように
前記第２の導体を細くすること。 - 【請求項２】前記第１，第２の絶縁物が一体形成されて
成る請求項１記載の測定用ケーブル。 - 【請求項３】後記（イ）及至（ハ）より成る測定システ
ム。 （イ）請求項１又は２記載の測定用ケーブル。 （ロ）前記測定用ケーブルの一方の端に接続されて、前
記第１の導体に測定用電流を供給し、前記第２の導体の
電位を検出して、該電位と実質的に同電位となるよう前
記第３の導体を駆動する電圧電流特性測定ユニット。 （ハ）前記測定用ケーブルの他方の端において、被測定
素子の電極に前記第１の導体と前記第２の導体とを接続
するための接続手段。 - 【請求項４】前記第４の導体を前記測定ケーブルの両端
において接地したことを特徴とする請求項３記載の測定
システム。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20583493A JP3442822B2 (ja) | 1993-07-28 | 1993-07-28 | 測定用ケーブル及び測定システム |
| US08/262,773 US5493070A (en) | 1993-07-28 | 1994-06-20 | Measuring cable and measuring system |
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