JP3823784B2 - ナノワイヤーおよびその製造方法、並びにそれを用いたナノネットワーク、ナノネットワークの製造方法、炭素構造体、電子デバイス - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、カーボンナノチューブを用いるナノワイヤーおよびその製造方法、並びにそれを用いたナノネットワーク、ナノネットワークの製造方法、炭素構造体、電子デバイスに関する。
本発明は、広範なカーボンナノチューブの応用に展開可能なものである。
【０００２】
【従来の技術】
繊維状のカーボンを一般的にカーボンファイバーと呼んでいるが、直径数μｍ以上の太さの構造材料として用いられるカーボンファイバーは、従来から何種類もの製法が研究されて来ている。
【０００３】
これとは別に、近年発見されたカーボンナノチューブは直径１μｍ以下の太さのチューブ状材料であり、理想的なものとしては炭素６角網目のシート状の構造（グラフェンシート）がチューブの軸に平行になって管を形成し、さらにこの管が多重になることもある。このカーボンナノチューブは炭素でできた６角網目の繋り方や、チューブの太さにより金属的あるいは半導体的な性質を示すことが理論的に予想され、将来の機能材料として期待されている。
【０００４】
カーボンナノチューブの合成には、アーク放電法を利用するのが一般的になっているが、この他、レーザー蒸発法や熱分解法、プラズマ利用等が近年研究されてきている。ここで近年開発されたカーボンナノチューブについて概説する。
直径がカーボンファイバーよりも細い１μｍ以下の材料は、通称カーボンナノチューブと呼ばれ、カーボンファイバーとは区別されているが、特に明確な境界はない。狭義には、炭素の６角網目のグラフェンシートが、チューブの軸に平行に管を形成したものをカーボンナノチューブと呼ぶ（なお、本発明においてカーボンナノチューブとは、この狭義の解釈が適用される。）。
【０００５】
一般的に狭義のカーボンナノチューブは、さらに分類され、グラフェンシートが１枚の構造のものはシングルウォールカーボンナノチューブと呼ばれ、一方、多層のグラフェンシートから構成されているものはマルチウォールカーボンナノチューブと呼ばれている。どのような構造のカーボンナノチューブが得られるかは、合成方法や条件によってある程度決定される。
【０００６】
シングルウォールカーボンナノチューブは生成物における純度が低く、多量のアモルファスカーボンやグラファイトといった不純物の中に埋もれているような状態で存在している。しかし、アモルファスカーボンとカーボンナノチューブとを高精度に分離する方法がないため、シングルウォールカーボンナノチューブを利用する際には、アモルファスカーボンの取扱いが実用上の問題となっている。一方、マルチウォールカーボンナノチューブは高い収率で得られ、アモルファスカーボンの残留も極めて少ないため、高純度のカーボンナノチューブが入手しやすいというメリットがある。
【０００７】
これらのカーボンナノチューブは、金属配線と比べても高い電気伝導性を有するため、ナノサイズの微小電子デバイスにおける電気配線として利用することが期待されている。
Ｆｌｏｒｉａｎ Ｂａｎｈａｒｔは、アモルファスカーボンを糊のように用いて、２本のカーボンナノチューブを電子線のエネルギーで接着することをＮａｎｏ Ｌｅｔｔｅｒｓ（Ｖｏｌ．１（６），２００１，ｐ．３２９〜３３２）において報告している。ここで接着に供しているアモルファスカーボンは、カーボンナノチューブ中に不純物として残留していたものや、空気中にある炭素化合物が電子線による加熱により集合化されたものであり、かかるアモルファスカーボンにより、電子線の照射位置でカーボンナノチューブ同士が接続される。
【０００８】
一方、カーボンナノチューブの電気伝導度を変化させる方法として、シングルウォールカーボンナノチューブの表面をフッ素化することが知られている（「カーボンナノチューブ」化学同人（２００１）篠原：「カーボンナノチューブの可溶化と化学反応」（２００１）ｐ．９９〜１０１）。当該技術は、１本のカーボンナノチューブの表面をフッ素化するのではなく、複数の束になったシングルウォールカーボンナノチューブの周囲をフッ素化するものである。これにより、電気抵抗が、５〜１６Ωから２０ＭΩに急増する。
【０００９】
また、シングルウォールカーボンナノチューブに化学修飾する研究も行われている（「カーボンナノチューブ」化学同人（２００１）篠原：「カーボンナノチューブの可溶化と化学反応」（２００１）ｐ．１０１〜１０６）。しかしながら、当該技術においては、グラフェンシートの表面は非常に化学反応性が低いため、カーボンナノチューブを短く切断してオープンエンドを形成し化学修飾を行う方法が取られている。このとき、カーボンナノチューブを切断する方法として、酸処理と超音波処理とを組み合わせる方法が採られている。これは酸性溶液中で超音波処理することで、シングルウォールカーボンナノチューブの側面に欠陥を発生させて切断するものである。かかる方法により、カーボンナノチューブは短く切断される（数１００ｎｍ程度）。このように端部が化学修飾されたカーボンナノチューブは、化学修飾の態様によっては溶媒に溶解させることも可能である。
また、特許第２５９５９０３号公報に記載されたように、酸処理によってカーボンナノチューブ表面を化学的修飾することも可能であるが、端部と異なり表面は反応性が乏しいため、その変性割合は原子数比で１０％に満たない。
【００１０】
カーボンナノチューブ表面を修飾する他の方法としては、特開平８−２０９１２６号公報に記載されているように、水素あるいはメタン雰囲気下で高温長時間曝すことでカーボンナノチューブ表面を開環させ、カーボンナノチューブ表面を水素化あるいはメタン化する方法があるが、これも表面のグラフェンシートの一部が変性するだけである。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
カーボンナノチューブは、高電気伝導性、強靭性や化学安定性等、これまでにない優れた特性を有しているが、カーボンナノチューブをそのまま利用するのでは、応用範囲に限界が生じてしまう。従ってカーボンナノチューブを他の機能を有する機能層中に配置させ、その機能を有効に利用できる構造が必要である。しかしながら、一方でその特性により機能層中に安定的にカーボンナノチューブを配置することが困難であり、安定的に配置するために化学結合を試みると、一般にその優れた特性が損なわれてしまう。
【００１２】
例えば、既述の如くアモルファスカーボンを糊のように用いて、２本のカーボンナノチューブを電子線のエネルギーで接着する技術では、前記アモルファスカーボンは、カーボンナノチューブのグラフェンシート表面にアモルファスカーボン同士が集結することで、カーボンナノチューブ同士を固定しているだけなので、電気的なネットワークを考えた場合、接続を安定に維持するのは難しい。
【００１３】
また、既述の如く、シングルウォールカーボンナノチューブの表面をフッ素化する技術により、表面を絶縁して、これを配線として互いに接続させることも考えれるが、このワイヤー自体は高い抵抗性を示すため、これらを接触させてアモルファスカーボン等で固定したとしても電気抵抗が高く、ネットワーク配線を形成することが困難である。表面に付着したフッ素を適宜除去したり、選択的にフッ素を付着させないで電機接続部分を確保することや、フッ素の付着していないナノワイヤーの先端だけで電気接続させることも考えられるが、多くの電気接続を行う場合には、生産性が著しく低い。
【００１４】
さらに、既述の如く、カーボンナノチューブの側面の化学修飾は、シングルウォールカーボンナノチューブでのみ具体化されてきているが、シングルウォールカーボンナノチューブはグラフェンシートが１層しかないため、その１層に化学修飾してしまうとグラフェンシートが変性し、二重結合が失われることで電気伝導度が低下する等、カーボンナノチューブの特性劣化を引き起こしてしまう。
【００１５】
また、高純度のカーボンナノチューブを大量に使用することを考慮すると、入手容易なマルチウォールカーボンナノチューブを使用し得ることが望ましい。しかしながら、マルチウォールカーボンナノチューブは一般に反応性が乏しく、その表面を十分に化学修飾する具体的な方法はこれまで知られていなかった。さらに、最表面のグラフェンシート層しか結合基を結合させることができない従来の化学修飾の方法では、変性量が不十分なためカーボンナノチューブを機能層に埋め込むことができず、機能層を安定的にカーボンナノチューブに付着させることや、機能層として十分な機能を持たせることができない。
【００１６】
本発明は、以上の様な問題点に鑑みてなされたものであり、カーボンナノチューブを利用した新たなナノワイヤーおよびその製造方法を提供し、さらにはこのナノワイヤーから構成されるナノネットワークを簡便に製造する方法を提供することにより、カーボンナノチューブのハンドリング性を向上させ、カーボンナノチューブを含む電子デバイスや機能材料、およびその他構造材料などの、広範なカーボンナノチューブの応用を実現させることを目的とする。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
上記目的は、以下の本発明により達成される。
本発明のナノネットワークを構成するナノワイヤーは、芯部が、少なくとも１層のグラフェンシートから構成されるカーボンナノチューブからなり、該芯部の周囲にグラフェンシートが改質した１層または２層以上の改質グラフェンシートからなる機能層を備え、また、改質グラフェンシートがアモルファス領域を有することを特徴とするナノワイヤーである。
【００１８】
前記ナノワイヤーは中心に少なくとも１層のグラフェンシートから構成されるカーボンナノチューブの芯部が存在するため、カーボンナノチューブとしての特性をそのまま利用することができる。また、同時に芯部となるカーボンナノチューブの周囲に、１層または２層以上の改質グラフェンシートからなる機能層が設けられているため、炭素同士の結合が十分に絡み合い、機能層は芯部に安定して保持される。さらに、機能層を構成する改質グラフェンシート表面には、結合手が多数形成されるため、化学的な修飾を行うことも容易である。
【００１９】
なお、本発明において「改質」とは、主として、グラフェンシートを構成する六員環の網目構造が部分的に破壊された状態を意味する。ここで破壊とは、六員環の網目構造におけるπ結合やσ結合が開環して、元のグラフェンシート構造が部分的に失われることを指し、完全にグラフェンシート構造が崩壊して前記芯部からグラフェンシート全体が離れてしまう状態は含まないが、部分的に離れる状態は含まれる。
【００２０】
また、「改質」との用語の意味には、グラフェンシートを構成する六員環に、化学的な修飾が行われた状態をも含むものとする。ただし、この場合には、以下に示す３つの態様についてのみ、本発明における「改質」の概念に含めるものとする。
【００２１】
・グラフェンシートを構成する六員環の網目構造が部分的に破壊されてから、その破壊箇所に化学的な修飾が行われた状態。
・グラフェンシートの２層以上の領域にわたって、化学的な修飾が行われた状態。
・少なくとも１層のグラフェンシートを構成する六員環の網目構造が部分的に破壊され、他の１層のグラフェンシートに化学的な修飾が行われた状態。
【００２２】
前記改質グラフェンシートは、アモルファスカーボン領域を有している。また、前記改質グラフェンシートは、改質された炭素原子に、グラフェンシートとは異なる構造の構造体が結合していてもよい。前記構造体としては、機能性分子であってもよい。
前記機能層は、絶縁性あるいは半導体特性を備えていてもよい。前記機能層には、他の物体が分散されていてもよく、かかる他の物体としては、ドーピング剤や機能性分子等が挙げられる。
【００２３】
前記芯部を構成するカーボンナノチューブの中空管部分内には、所定の物体が取り込まれていてもよい。
前記芯部を構成するカーボンナノチューブとしては、半導体特性を示す構造および導体特性を示す構造のいずれであってもよく、使用目的に応じて選択することができる。
【００２４】
第１の本発明は、前記の複数本のナノワイヤーが、少なくともその側面で前記機能層同士が融合し合い網目構造を形成してなることを特徴とするナノネットワークである。
第１の本発明によれば、ナノワイヤーは中心に少なくとも１層のグラフェンシートから構成されるカーボンナノチューブの芯部が存在するため、カーボンナノチューブとしての特性をそのまま利用した微細なナノネットワークを組むことができる。また、同時に芯部となるカーボンナノチューブの周囲に、１層または２層以上の改質グラフェンシートからなる機能層が設けられているため、炭素同士の結合が十分に絡み合い、機能層は芯部に安定して保持されたまま、他のナノワイヤーと強固に接続され、安定かつ堅牢なナノネットワークを得ることができる。さらに、機能層を構成する改質グラフェンシート表面には、結合手が多数形成されるため、化学的な修飾を行うことも容易である。
【００２７】
第２の本発明は、２層以上のグラフェンシートから構成されるマルチウォールカーボンナノチューブに対し、少なくとも以下で説明する改質処理を施すことにより得られる、芯部が、少なくとも１層のグラフェンシートから構成されるカーボンナノチューブからなり、該芯部の周囲にグラフェンシートが改質した１層または２層以上の改質グラフェンシートからなる機能層を有するナノワイヤーの機能層同士を融合させ網目構造を形成するナノネットワークの製造方法である。
【００２８】
前記改質処理としては、メカノケミカル処理、加熱処理、酸性溶媒処理、および、超音波処理等が挙げられるが、カーボンナノチューブとしての長さが維持されたまま、あるいはある程度維持されたままで、マルチウォールカーボンナノチューブの側面のグラフェンシートを改質させることが、短時間で可能になる点で、メカノケミカル処理を採用することが好ましく、これに加えて、加熱処理、酸性溶媒処理、および、超音波処理からなる群より選ばれる少なくとも１の処理を組み合わせることがより好ましい。
【００２９】
前記改質処理の程度は、(1)前記ナノワイヤーがその長手方向に、前記芯部のカーボンナノチューブ由来のグラフェンシートに囲まれた中空管部分と、該中空管部分が絞られた形状の節部と、が交互に形成されるまで、(2)前記マルチウォールカーボンナノチューブの少なくとも表面に欠陥を生じさせることにより、グラフェンシートに囲まれた中空管部分を有するカーボンナノチューブが芯部として残された状態で、かつ、該芯部の周囲にグラフェンシートが改質した１層または２層以上の改質グラフェンシートからなる層が形成されるまで（特に前記改質グラフェンシートが、アモルファスカーボン領域を有する状態になるまで）、あるいは、(3)前記マルチウォールカーボンナノチューブの少なくとも表面に欠陥を生じさせることにより、グラフェンシートに囲まれた中空管部分を有するカーボンナノチューブが芯部として残された状態で、かつ、該芯部の周囲にグラフェンシートが改質しアモルファスカーボン領域を有する１層または２層以上の改質グラフェンシートからなる層が形成され、これらナノワイヤーの複数本が、前記アモルファスカーボン領域にて相互に融合した状態で付着したネットワーク構造を形成するまで行うものである。
ナノワイヤーの製造に用いるマルチウォールカーボンナノチューブとしては３層以上であってもよく、その場合、機能層が２層以上の改質グラフェンシートからなるものであってもよい。
【００３０】
第３の本発明は、他のナノネットワークの製造方法であり、１）少なくとも１層のグラフェンシートから構成されるカーボンナノチューブからなる芯部と、芯部の周囲にグラフェンシートが改質したアモルファスカーボン領域を有する改質グラフェンシートの１層または２層以上からなる機能層とを備えたナノワイヤーと、２）前記１）のナノワイヤー、３）少なくとも１層のグラフェンシートから構成されるカーボンナノチューブからなる芯部と、該芯部の周囲にグラフェンシートが改質した１層または２層以上の改質グラフェンシートからなる機能層を有するナノワイヤー、または４）カーボンナノチューブとを、前記１）のナノワイヤーにおけるアモルファスカーボン領域が、前記２）もしくは３）のナノワイヤー、または前記４）のカーボンナノチューブに当接するように交差させ、該交差部に電子線を照射することで相互間を電気接続することを特徴とするナノネットワークの製造方法である。
【００３１】
第３の本発明によれば、ナノワイヤー相互間、あるいはナノワイヤーおよびカーボンナノチューブ間の接続が、ナノワイヤーのグラフェンシート由来のアモルファスカーボンによるため、単に交差部に電子線を照射することで両者間を電気接続することでき、かつ、強固となり、堅牢なナノネットワークを簡単に製造することができる。
【００３２】
第４の本発明は、第１の本発明のナノネットワークを、電気配線として用いたことを特徴とする電子デバイスである。
第４の本発明によれば、上記優れた特性を有する、あるいは、所望の特性を保持させることができる第１の本発明のナノネットワークを用いているため、これら優れた特性に応じた各種機能を有する電子デバイスを得ることができる。
【００３３】
【発明の実施の形態】
最初に、本発明のナノネットワークに用いるナノワイヤーの好ましい実施形態について説明する。なお、以下の実施形態のナノワイヤーの製造方法については、［第２の本発明］の項で詳述する。
【００３４】
＜第１の実施形態＞
図１は、第１の実施形態のナノワイヤーの模式拡大断面図である。図１に示されるように、本実施形態のナノワイヤーは、２層のグラフェンシート１２ａ，１２ｂから構成される筒状のカーボンナノチューブからなる芯部１２と、その周囲にグラフェンシートが改質した１層の改質グラフェンシートからなる機能層１４と、を備える。
機能層１４を構成する改質グラフェンシートは、部分的に構造が破壊されており、当該箇所がアモルファスカーボン領域となっている。
【００３５】
図２に、改質グラフェンシートにおける改質部分を説明するための模式説明図を示す。カーボンナノチューブのグラフェンシートは、図２（ａ）に示すように六員環の網目構造を有している。これが適当な手段により改質されると、図２（ｂ）に示すように、六員環の網目構造が部分的に破壊され、ある程度自由な結合手が現れた状態となっている。本発明においては、このように六員環の網目構造が破壊され、ある程度自由な結合手が単発でなくある程度の面積をもって現れている状態をアモルファスカーボン状と称し、かかるアモルファスカーボン状の部分をアモルファスカーボン領域と称する。
【００３６】
なお、六員環のごく一部の結合が切断された程度では、機能層１４として機能し得ないため、機能層の目的に応じて、グラフェンシートの周囲に改質部分が存在することが望まれる。従って、本発明においては、ナノワイヤーの電気特性を１０％以上変化させる機能層が存在する程度の改質がなされていることが望まれる。
【００３７】
本実施形態によれば、ナノワイヤーは中心に２層のグラフェンシート１２ａ，１２ｂから構成されるカーボンナノチューブの芯部１２が存在するため、カーボンナノチューブとしての特性をそのまま利用することができる。また、同時に芯部１２となるカーボンナノチューブの周囲に、１層の改質グラフェンシートからなる機能層１４が設けられているため、炭素同士の結合が十分に絡み合い、機能層１４は芯部１２に安定して保持される。さらに、機能層１４を構成する改質グラフェンシート表面には、結合手が多数形成されるため、化学的な修飾を行うことも容易である。
【００３８】
機能層１４は、グラフェンシートが改質されたものであるので、六員環を構成する二重結合が部分的に破壊され、結合手が現れている。グラフェンシートの改質量を増加させることで、カーボンナノチューブからなる芯部１２に絡まるアモルファスカーボン被膜を形成することもできる。
【００３９】
カーボンナノチューブにおいては、グラフェンシートを筒状にしたときに接続される炭素の位置によって、導体特性を示したり、半導体特性を示したりする。半導体特性を示す際の電気伝導度は、一般に１０⁸〜１０⁹Ｓ／ｃｍと非常に高い。一方、アモルファスカーボンの電気伝導度は約１００Ｓ／ｃｍであり、芯部となるカーボンナノチューブと比較するとかなり高抵抗であるため、本実施形態のナノワイヤーは、表面のグラフェンシートが改質されていない通常のカーボンナノチューブとは異なる電気特性を持つナノワイヤーとなる。
【００４０】
さらに、かかる構造を有する複数の本実施形態のナノワイヤー同士を接触させると、接触点を介して電流を流すことが可能となるが、前記改質グラフェンシートは、グラフェンシート構造が残存してカーボンナノチューブに絡み付いているので、カーボンナノチューブに対して高い固着力を有しており、安定的な電気接続が可能となる。換言すれば、本実施形態のナノワイヤーには、カーボンナノチューブの電気特性を損なわずに、他のナノワイヤーとの安定的な電気接続を容易にする機能層が形成されている。
【００４１】
＜第２の実施形態＞
図３は、第２の実施形態のナノワイヤーの模式拡大断面図である。図３に示されるように、本実施形態のナノワイヤーは、２層のグラフェンシート２２ａ，２２ｂから構成される筒状のカーボンナノチューブからなる芯部２２と、その周囲にグラフェンシートが改質した２層の改質グラフェンシート２４ａ，２４ｂからなる機能層２４と、を備える。
【００４２】
機能層２４を構成する改質グラフェンシート２４ａ，２４ｂは、部分的に構造が破壊されており、当該箇所がアモルファスカーボン領域となっている。具体的には、表面側の改質グラフェンシート２４ｂの構造が破壊されておりアモルファスカーボン領域を形成しているが、中心側の改質グラフェンシート２４ａの構造は、完全には破壊されておらず、網目を構成する結合手が部分的に切断された状態にある。
【００４３】
図４に、本実施形態のナノワイヤーの透過型電子顕微鏡写真（倍率６０００００倍）を示す。なお、写真の倍率は、写真の引き伸ばしの程度により、多少の誤差が生じている（以下、全ての写真について同様）。また、当該写真のナノワイヤーを形成するのに用いたマルチウォールカーボンナノチューブは、６，７層構造であり、厳密には本実施形態のナノワイヤーと同一の構造ではない。
【００４４】
図４の写真からわかるように、中心にカーボンナノチューブが見られるのに対し、外周部に行く程ぼやけた感じになっている。これは外周部に行く程グラフェンシート構造が改質されているためである。既述の如く、写真のナノワイヤーを形成するのに用いたマルチウォールカーボンナノチューブは６，７層構造であり、機能層を構成するグラフェンシートは、そのうち外周の２層程度である。
【００４５】
本実施形態によれば、ナノワイヤーは中心に２層のグラフェンシート２２ａ，２２ｂから構成されるカーボンナノチューブの芯部２２が存在するため、カーボンナノチューブとしての特性をそのまま利用することができる。また、同時に芯部２２となるカーボンナノチューブの周囲に、２層の改質グラフェンシート２４ａ，２４ｂからなる機能層２４が設けられているため、炭素同士の結合が十分に絡み合い、機能層２４は芯部２２に安定して保持される。さらに、機能層２４を構成する改質グラフェンシート２４ａ，２４ｂ表面には、結合手が多数形成されるため、化学的な修飾を行うことも容易である。その他、第１の実施形態と同様の作用・効果を有する。
本発明においては、改質グラフェンシートの層の数としては、芯部への絡み付き構造が安定的に形成されるべく、本実施形態の如く２層以上であることが望ましい。
【００４６】
＜第３の実施形態＞
図５は、第３の実施形態のナノワイヤーの模式拡大断面図である。図５に示されるように、本実施形態のナノワイヤーは、２層のグラフェンシート３２ａ，３２ｂから構成される筒状のカーボンナノチューブからなる芯部３２と、その周囲にグラフェンシートが改質した２層の改質グラフェンシート３４ａ，３４ｂからなる機能層３４と、を備える。
【００４７】
機能層３４を構成する改質グラフェンシート３４ａ，３４ｂは、広い領域にわたり構造が破壊されて、アモルファスカーボン化されており（広域破壊部分３６）、第１や第２の実施形態のような部分的な破壊状態を越えている。すなわち、広域破壊部分３６では、改質グラフェンシート３４ａ，３４ｂの網目構造は完全に破壊され、両改質グラフェンシート３４ａ，３４ｂが広域破壊部分３６のアモルファスカーボンによって接続された状態となっている。勿論、改質グラフェンシート３４ａ，３４ｂの広域破壊部分３６以外の箇所には、アモルファスカーボン領域が存在していてもよい。
【００４８】
本実施形態によれば、ナノワイヤーは中心に２層のグラフェンシート３２ａ，３２ｂから構成されるカーボンナノチューブの芯部３２が存在するため、カーボンナノチューブとしての特性をそのまま利用することができる。また、同時に芯部３２となるカーボンナノチューブの周囲に、２層の改質グラフェンシート３４ａ，３４ｂからなる機能層２４が設けられており、改質グラフェンシート３４ａ，３４ｂには広域破壊部分３６が存在するものの、全体としては炭素同士の結合が十分に絡み合い、機能層３４は芯部３２に安定して保持される。さらに、機能層３４を構成する改質グラフェンシート３４ａ，３４ｂ表面には、結合手が多数形成されるため、化学的な修飾を行うことも容易である。
【００４９】
そして、広域破壊部分３６により２層の改質グラフェンシート３４ａ，３４ｂが電気的に接続されているため、この２層の改質グラフェンシート３４ａ，３４ｂの電気特性を適宜調整することにより、所望の電気素子として活用することも可能である。
【００５０】
＜第４の実施形態＞
図６は、第４の実施形態のナノワイヤーの模式拡大断面図である。図６に示されるように、本実施形態のナノワイヤーは、２層のグラフェンシート４２ａ，４２ｂから構成される筒状のカーボンナノチューブからなる芯部４２と、その周囲にグラフェンシートが改質した２層の改質グラフェンシート４４ａ，４４ｂからなる機能層４４と、を備える。
【００５１】
本実施形態では、２層の改質グラフェンシート４４ａ，４４ｂからなる機能層４４のみならず、２層のグラフェンシート４２ａ，４２ｂから構成されるカーボンナノチューブからなる芯部４２までもが改質されて、アモルファスカーボン化されている（節部Ｂ）。すなわち、本実施形態のナノワイヤーは、その長手方向に、芯部４２のカーボンナノチューブ由来のグラフェンシート４２ａ，４２ｂに囲まれた中空管部分Ａと、該中空管部分Ａが絞られた形状の節部Ｂと、が交互に形成された状態となっている。つまり、本実施形態のナノワイヤーは、改質処理により、芯部４２となるカーボンナノチューブの２層のグラフェンシート４２ａ，４２ｂの一部が改質している状態である。
【００５２】
本発明において、芯部４２となるカーボンナノチューブの全長に渡って、グラフェンシート４２ａ，４２ｂの改質の無いものである必要はなく、本実施形態のように、長さ方向に断続的に芯部４２のカーボンナノチューブが切断された状態であってもよい。この場合、芯部４２を構成するカーボンナノチューブは、短いカーボンナノチューブの集合体の状態となるが、機能層４４における改質グラフェンシート４４ａ，４４ｂにおいいても電気伝導性を残すことができるから、導電ワイヤーとしての機能を備えさせることができる。また、節部Ｂによるカーボンナノチューブの切断間隔を調整することにより、電気抵抗を調整することもできるので、抵抗ワイヤとして利用することもできる。
【００５３】
＜第５の実施形態＞
図７は、第５の実施形態のナノワイヤーにおける各層の部分のみをさらに大きく拡大して示す模式拡大断面図である。図７に示されるように、本実施形態のナノワイヤーは、１層のグラフェンシートから構成される筒状のカーボンナノチューブからなる芯部５２と、その周囲にグラフェンシートが改質した２層の改質グラフェンシート５４ａ，５４ｂからなる機能層５４と、を備える。
【００５４】
表面側の改質グラフェンシート５４ｂの構造は、網目を構成する結合手が多数切断され、このうちいくつかに、グラフェンシートとは異なる構造の構造体５８が結合している。なお、中心側の改質グラフェンシート５４ａの構造は、完全には破壊されておらず、網目を構成する結合手が部分的に切断された状態にある（不図示）。
【００５５】
構造体５８の改質グラフェンシート５４ｂへの結合は、図２により説明することができる。すなわち、図２（ａ）に示す改質前のカーボンナノチューブのグラフェンシートから、改質が進み図２（ｂ）に示す状態となった時、図示のように六員環の網目構造が部分的に破壊され、ある程度自由な結合手が現れた状態となる。この結合手部分は反応性が良好なので、図２（ｃ）に示すように機能性分子Ｒ等の構造体を容易に結合させることができる。
【００５６】
結合させる構造体５８としては、グラフェンシートとは異なる構造の構造体であればよく、原子、分子のほか、アモルファスカーボン等の非晶質体であってもよい。
例えば、改質グラフェンシート５４ｂの改質された炭素原子にフッ素を結合させることにより、改質グラフェンシート５４ｂに、さらには機能層５４に絶縁性を付与することができる。また、この量をある程度コントロールすることで、改質グラフェンシート５４ｂに、さらには機能層５４に半導体特性を付与することができる。
【００５７】
また、構造体５８として、電気伝導性および／または磁気特性に関与する等、機能性を有するもの（例えば機能性分子）を用いた場合には、当該機能に応じた機能を機能層に付与することができ、所望の特性を有するナノワイヤーを得ることができる。
【００５８】
前記機能性を有する構造体としては、例えば、原子、分子、イオン、結晶、粒子、ポリマー、生物体から抽出された分子や組織などが挙げられ、その性質としては、絶縁性、導電性、半導電性（半導体特性および電気抵抗特性のいずれをも含む概念とする。）、吸光性、発光性、発色性、伸縮性、発電性、光電性などの特性を有するものが挙げられる。これら特性が、温度や湿度や雰囲気ガスによって変化するものであってもよい。
【００５９】
また、機能性分子や機能微粒子など、設計された機能を有するものでもよい。近年、分子や微粒子の多くには半導体特性が多く見出されており、スイッチング機能やメモリー機能などを、カーボンナノチューブのグラフェンシート表面に付与することができる。
【００６０】
機能性分子としては、分子内部に電荷の偏りのある分子が好ましく、電荷供与性のある分子種と、電荷受容性のある分子種とを組み合わせた分子、対称的な分子に電荷供与性あるいは電荷受容性のある分子種を組み合わせた分子、それらの繰り返しからなる巨大分子、あるいはそれら分子の集合により機能させられる分子集合体等が挙げられる。なお、上記電荷供与性および電荷受容性は、電子親和力やイオン化ポテンシャルの値で定義することができる。
また、ＤＮＡ、コラーゲンなどの生体分子、あるいは生体に模倣した人工分子を使用してもよく、生体に類似した機能を付加することが可能となる。
【００６１】
これまでカーボンナノチューブ表面のグラフェンシートに、他の分子等を付着させるのは困難であったが、後述のナノワイヤーの製造方法によれば、改質グラフェンシートの改質部分に機能性分子を結合させることができるため、本実施形態に示すように、使用可能な材料の選択肢が大きく広がる。
【００６２】
また、シングルウォールカーボンナノチューブに他の構造体を結合させる従来の変性物の場合、グラフェンシート構造が変化してしまうため、カーボンナノチューブが本来有する電気特性を有効に利用することができなかったが、本実施形態のように、芯部５２としてカーボンナノチューブ構造が維持されるため、カーボンナノチューブの特性を有効に利用することができる。
近年、分子や微粒子の多くには半導電性が多く見出されており、スイッチング機能やメモリー機能などを、マルチウォールカーボンナノチューブに予め化学結合させておき、その後表層のグラフェンシートを改質させることもできる。
【００６３】
＜第６の実施形態＞
図８は、第６の実施形態のナノワイヤーにおける各層の部分のみをさらに大きく拡大して示す模式拡大断面図である。図８に示されるように、本実施形態のナノワイヤーは、１層のグラフェンシートから構成される筒状のカーボンナノチューブからなる芯部６２と、その周囲にグラフェンシートが改質した２層の改質グラフェンシート６４ａ，６４ｂからなる機能層６４と、を備える。
【００６４】
表面側の改質グラフェンシート６４ｂの構造は、網目を構成する結合手が多数切断されており、中心側の改質グラフェンシート６４ａにも、網目を構成する結合手が一部切断された状態となっている。
前記第５の実施形態では、この状態から結合手部分に機能性分子等のグラフェンシート以外の構造の構造体を結合させたが、本実施形態ではこれに代えて、改質部分の空間に、他の物体７０を分散させることで、他の物体７０の機能に応じて所望の機能を奏させることができる。従来、カーボンナノチューブ表面のグラフェンシート構造に分子等他の物体を分散（拡散）させることは不可能であったが、本実施形態の如く、改質グラフェンシートに対しては、改質部分に容易に他の物体を分散させることができる。
【００６５】
本実施形態において、改質グラフェンシート６４ａ，６４ｂからなる機能層６４に分散し得る他の物体としては、前記第５の実施形態と同様の構造体、すなわち、原子、分子の他、機能性分子や機能微粒子など、設計された機能を有するものが用いられ、それぞれの機能に応じた特性をナノワイヤーに付与することができる。
【００６６】
また、前記他の物体として、ドーピング剤を分散させてもよい。ドーピング剤を分散させることにより、ナノワイヤーに半導体的性質を付与することもできる。添加可能なドーピング剤としては、特に限定されるものではなく、半導体の分野においてドーピング剤として例示される全てのものをそのまま採用することができる。ドーピング剤としては、具体的には例えば、アルミニウム、アンチモン、砒素、ガリウム、インジウム、金、プラチナ、酸素、窒素、シリコン、ボロン、チタン、モリブデン等が挙げられる。
【００６７】
本実施形態のナノワイヤーを得るため、真空蒸着など物質の蒸気に晒す方法；染色のように目的物質を含む溶液の滴下、あるいはその溶液中への含侵させる方法；温度を繰り返し上昇下降させて、熱膨張係数の違いにより微細な亀裂を生じさせ、その部分に浸透させる方法；電子、原子、イオン、分子、粒子を加速して打ち込む方法；等によって、他の物体を前記カーボンナノチューブ相互の間隙および／または近傍に配置させてもよい。
【００６８】
本実施形態の変形例として、第１の実施形態のナノワイヤーを複数本その側面で改質グラフェンシートを介して接続し、その後改質グラフェンシートの接続点以外を絶縁させるように機能性高分子を結合あるいは分散させることができる。このようにすれば安定した電気接続で相互間の絶縁もなされたネットワーク配線構造を得ることができる。
【００６９】
＜第７の実施形態＞
図９は、第７の実施形態のナノワイヤーの模式拡大断面図である。図９に示されるように、本実施形態のナノワイヤーは、２層のグラフェンシート７２ａ，７２ｂから構成される筒状のカーボンナノチューブからなる芯部７２と、その周囲にグラフェンシートが改質した２層の改質グラフェンシート７４ａ，７４ｂからなる機能層７４と、を備える。すなわち、本実施形態のナノワイヤーは、基本構造は第２の実施形態のナノワイヤーと同様である。
【００７０】
本実施形態では、芯部７２を構成するカーボンナノチューブの中空管部分内に、所定の物体７８が取り込まれてなる。
所定の物体７８としては、前記第５の実施形態と同様の構造体、すなわち、原子、分子の他、機能性分子や機能微粒子など、設計された機能を有するものが用いられ、それぞれの機能に応じた特性をナノワイヤーに付与することができる。たとえば、中心にフラーレン等の機能性分子や、金属元素を取り込むことができる。
【００７１】
＜第８の実施形態＞
図１０は、第８の実施形態のナノワイヤーの模式拡大断面図である。図１０に示されるように、本実施形態のナノワイヤーは、２層のグラフェンシート８２ａ，８２ｂから構成される筒状のカーボンナノチューブからなる芯部８２と、その周囲にグラフェンシートが改質した２層の改質グラフェンシート８４ａ，８４ｂからなる機能層８４と、を備える。すなわち、本実施形態のナノワイヤーは、基本構造は第２の実施形態のナノワイヤーと同様である。
【００７２】
本実施形態では、機能層８４のさらに外層として、該機能層８４と異なる構造の第２の機能層９０が備えられてなる。第２の機能層９０を設けることにより、当該第２の機能層９０の機能に応じて、さらに他の機能をナノワイヤーに付与することができる。
【００７３】
例えば、ポリマーフィルムなどでこのナノワイヤーを覆うことにより、第２の機能層９０を設けた場合、カーボンナノチューブからなる芯部８２と、改質グラフェンシート８４ａ，８４ｂからなる機能層８４を保護する機能、固定する機能、および、内部を外部から絶縁する機能等をナノワイヤーに付与することができる。改質グラフェンシート８４ａ，８４ｂからなる機能層８４が、第５の実施形態や第６の実施形態のように、改質グラフェンシートに構造体、他の物体等が結合および／または分散されている場合、特にこれらを強固に固定化することもできる。
【００７４】
以上、本発明のナノネットワークに用いるナノワイヤーについて好ましい実施形態を挙げて詳細に説明したが、本発明におけるナノワイヤーは、これら態様に限定されるものではなく、本発明の要旨を変更しない限り、当業者は公知の知見により、本発明におけるナノワイヤーに変更および／または追加をすることができる。
本発明におけるナノワイヤーは、その電気特性を利用し、電子素子として用いることができるほか、その導電性、耐腐食性を利用して電極として用いることもでき、さらに電子的応用を離れて、その極めて高い強靭性を利用して各種構造物（シャーシー、フレーム、その他機械的な部品等）として用いることもできる。より具体的な用途については、後述する。
【００７５】
［第１の本発明］
第１の本発明は、上記の複数本のナノワイヤーが、少なくともその側面で前記機能層同士が融合し合い網目構造を形成してなることを特徴とするナノネットワークである。図１１に、第１の本発明のナノネットワークの代表的な走査電子顕微鏡写真（倍率３００００倍、当該写真は、後述の実施例１のナノワイヤーと同一）を示す。
【００７６】
図１１には、ナノワイヤー相互間が、機能層である改質グラフェンシートで結合しあい融合している様子が現れている。通常、単なるナノチューブの集合体からネットワークを形成すると、カーボンナノチューブ相互の交差部においては、図１２（ａ）に示すように、両者が角度を以って接触していることがわかる。しかし、第２の本発明においては、図１１の写真を見てもわかるように、ナノワイヤー相互の交差部においては、図１２（ｂ）に示すように、改質グラフェンシート由来のアモルファスカーボンＣが両者にまとわりついた状態となり、相互を強固に緊結させる。
【００７７】
なお、本発明のナノネットワークの製造方法は、後述の［第２の本発明］の項で、ナノワイヤーの製造方法と併せて説明する。
本発明のナノネットワークにおけるナノワイヤーは、中心に少なくとも１層のグラフェンシートから構成されるカーボンナノチューブの芯部が存在するため、カーボンナノチューブとしての特性をそのまま利用した微細なナノネットワークを組むことができる。また、同時に芯部となるカーボンナノチューブの周囲に、１層または２層以上の改質グラフェンシートからなる機能層が設けられているため、炭素同士の結合が十分に絡み合い、機能層は芯部に安定して保持されたまま、他のナノワイヤーと強固に接続され、安定かつ堅牢なナノネットワークを得ることができる。さらに、機能層を構成する改質グラフェンシート表面には、結合手が多数形成されるため、化学的な修飾を行うことも容易である。
【００７８】
また、本発明では、２層以上のグラフェンシートから構成されるマルチウォールカーボンナノチューブにおける、最外層を構成するグラフェンシートと、少なくとも１つの内層を構成するグラフェンシートと、がアモルファスカーボン領域により部分的に接続されてなることを特徴とする炭素構造体もナノワイヤーとして用いることができる。すなわち、外層を構成するグラフェンシートと、その内側の１層以上のグラフェンシートと、の間にまたがってアモルファスカーボン領域が設けられていることが特徴である。
【００７９】
図１３は、前記炭素構造体の一例を示す模式拡大断面図である。図１３に示すように、前記炭素構造体は、３層のグラフェンシート１０２ａ，１０２ｂ，１０２ｃから構成されるマルチウォールカーボンナノチューブ１０２の両端に、アモルファスカーボン領域ＤおよびＥが配されている。アモルファスカーボン領域ＤおよびＥは、グラフェンシート１０２ａ，１０２ｂおよび１０２ｃに接続されている。なお、前記炭素構造体においては、最外層を構成するグラフェンシートと、少なくとも１つの内層を構成するグラフェンシートと、がアモルファスカーボン領域により部分的に接続されていれば十分であり、全てのグラフェンシートと接続されていなくても構わない。また、最外層を構成するグラフェンシートと、少なくとも１つの内層を構成するグラフェンシートと、の接続位置も図１３に示される「両端」に限定されるものではなく、「片端のみ」「中途のみ」「両端および中途」等、いずれの態様であってもよい。
【００８０】
通常カーボンナノチューブでは、グラフェンシート表面のバンド構造により、表面に電流を流すことが可能となるものであるので、マルチウォールカーボンナノチューブであって、端部で互いに接触して電気伝導バンドが形成されなければ互いには通電しない。この場合、マルチウォールカーボンナノチューブの有する電気伝導特性を、最外層しか利用していない状態である。
【００８１】
これに対し、前記炭素構造体によれば、アモルファスカーボン領域ＤおよびＥが表面のグラフェンシート１０２ｃだけでなく、内側のグラフェンシート１０２ｂおよび１０２ａと電気的に接続された状態になっている。従って、マルチウォールカーボンナノチューブ１０２の表面のグラフェンシート１０２ｃだけではなく、内層のグラフェンシート１０２ｂおよび１０２ａにも、アモルファスカーボン領域ＤおよびＥを介して電流を流すことができ、電流密度並びに最大印加電流値を増加させることができる。
【００８２】
また、マルチウォールカーボンナノチューブ１０２を構成する複数のグラフェンシート１０２ａ，１０２ｂおよび１０２ｃとして、導電性特性および半導体特性の異なる特性の構造のものを組み合わせて、アモルファスカーボン領域ＤおよびＥで外層と内層との接続状態を位置により適宜異ならせる（例えば、グラフェンシート１０２ｃのみに接続するアモルファスカーボン領域と、グラフェンシート１０２ａ，１０２ｂおよび１０２ｃの全てと接続するアモルファスカーボン領域を設け、グラフェンシートの特性を上層から順に導電性、半導電性、導電性と異ならせる等）ことにより、半導体デバイスや電子回路を形成することも可能となる。
【００８３】
マルチウォールカーボンナノチューブ１０２にアモルファスカーボン領域ＤおよびＥを設ける手法は、基本的に後述の、本発明のナノネットワークに用いるナノワイヤーを製造するための製造方法と同一の手法により実現することができる。勿論、アモルファスカーボン領域ＤおよびＥとしては、必ずしもマルチウォールカーボンナノチューブのグラフェンシート由来のものでなくてもよく、外部からアモルファスカーボンを導入することでも、前記炭素構造体を製造することができる。ただし、後述のナノワイヤーの製造方法によれば、簡便に、かつグラフェンシート相互間の結合の強固な、前記炭素構造体を製造することができる。
【００８４】
なお、前記炭素構造体を製造した場合、アモルファスカーボン領域を形成したグラフェンシートは、勿論「改質した」状態と解されることから、かかる炭素構造体は、前記ナノワイヤーとも捉えることができ、本発明のナノネットワークに用いるナノワイヤーとしての効果・機能をも併せ持っている。
【００８５】
［第２の本発明］
第２の本発明は、２層以上のグラフェンシートから構成されるマルチウォールカーボンナノチューブに対し、少なくとも改質処理を施すことにより得られる、少なくとも１層のグラフェンシートから構成されるカーボンナノチューブからなる芯部と、該芯部の周囲にグラフェンシートが改質した１層または２層以上の改質グラフェンシートからなる機能層を有するナノワイヤーの機能層同士を融合させ網目構造を形成するナノネットワークの製造方法である。
前記前記改質処理は、前記マルチウォールカーボンナノチューブの少なくとも表面に欠陥を生じさせることにより、グラフェンシートに囲まれた中空管部分を有するカーボンナノチューブが芯部として残された状態で、かつ、該芯部の周囲にグラフェンシートが改質しアモルファスカーボン領域を有する１層または２層以上の改質グラフェンシートからなる機能層が形成される改質処理であり、かつ前記改質処理はナノワイヤーの複数本が、前記アモルファスカーボン領域にて相互に融合した状態で付着しネットワーク構造を形成するまで行われる。
【００８６】
前記の製造方法においては、マルチウォールカーボンナノチューブを用いて、元々カーボンナノチューブであった１層または２層以上のグラフェンシートを改質して機能層とし、内層のグラフェンシート構造のカーボンナノチューブ構造を利用可能なナノワイヤーにできるので、機能層は芯部となるカーボンナノチューブに対してベースとなるグラフェンシートの構造をある程度維持した状態で、絡み付いた状態に安定的に保持される。
【００８７】
第２の本発明については、以下、構成要素に分けて説明する。
＜マルチウォールカーボンナノチューブ＞
本発明においては、ナノワイヤーの製造に、２層以上のグラフェンシートから構成されるマルチウォールカーボンナノチューブが用いられる。
【００８８】
適用可能なカーボンナノチューブの長さとしては、特に限定されるものではないが、一般的に１０ｎｍ〜１０００μｍの範囲のものが用いられ、１００ｎｍ〜１００μｍの範囲のものが好ましく用いられる。カーボンナノチューブの直径（太さ）としては、特に限定されるものではないが、一般的に１ｎｍ〜１μｍの範囲のものが用いられ、カーボンナノチューブに適度なフレキシブルさが望まれる用途に対しては、３ｎｍ〜５００ｎｍの範囲のものが好ましく用いられる。
【００８９】
カーボンナノチューブは、製造したままの状態では、アモルファスカーボンや触媒等の不純物が混在するため、これらを精製して取り除いておくことが好ましい。ただし、本発明は、不純物の存在によって、その効果が制限されるものではない。
【００９０】
適用可能なカーボンナノチューブにおけるグラフェンシートの層の数としては、芯部となるカーボンナノチューブが安定的に存在し、かつその周囲に改質グラフェンシートからなる一様な機能層を形成するためには、４層以上であることが好ましい。
カーボンナノチューブの形態として、全体としてスパイラル状をしているコイル型や、中心にチューブを有し、これが球状のビーズを貫通した形状のナノビーズ型等であっても構わない。
【００９１】
後述の改質処理により、マルチウォールカーボンナノチューブにおける複数層のグラフェンシートのうち何層かが改質されて改質グラフェンシートとなり、残りは芯部となる。芯部を構成するカーボンナノチューブは、シングルウォールカーボンナノチューブでもマルチウォールカーボンナノチューブでも構わない。また、当該芯部としては、導電性を有するものや半導電性を有するものであっても構わない。
【００９２】
既述の如く、カーボンナノチューブにおいては、グラフェンシートを筒状にしたときに接続される炭素の位置によって、導体特性を示したり、半導体特性を示したりする。本発明のナノワイヤーは、所望とする特性に応じて、芯部が導体特性を示すもの、あるいは半導体特性を示すものを適宜選択すればよい。
【００９３】
＜改質処理＞
本発明のナノワイヤーの製造方法においては、上記マルチウォールカーボンナノチューブに対し、少なくとも改質処理が施される。「改質処理」とは、上記マルチウォールカーボンナノチューブを構成するグラフェンシートに、既述の「改質」の定義に従う改質を施すことができる処理をいう。
【００９４】
改質処理としては、メカノケミカル処理、加熱処理、酸性溶媒処理、および、超音波処理等が挙げられる。しかし、酸性溶媒処理および／または超音波処理のみでは、非常に時間がかかる一方で、側面構造の改質が過剰となりカーボンナノチューブが切断されてしまう場合がある。これに対し、メカノケミカル処理を行うことで、カーボンナノチューブとしての長さを維持したままで、短時間で、マルチウォールカーボンナノチューブ側面のグラフェンシートの改質を施すことができる。したがって、上記改質処理としては、メカノケミカル処理を行うことが好ましい。
さらに、メカノケミカル処理に加えて、加熱処理、酸性溶媒処理、および、超音波処理からなる群より選ばれる少なくとも１の処理を組み合わせることが好ましく、なかでも、少なくとも加熱処理を組み合わせることが特に好ましい。
【００９５】
これらの処理を組み合わせる場合、各処理は、その全てを、あるいは任意の組み合わせで、同時に行ってもよく、任意の順序で別々に行ってもよい。このとき、グラフェンシートの改質効果の高いメカノケミカル処理は、他の処理を同時に行う場合を含め、最初に行うことが望ましい。
【００９６】
これらの処理の組み合わせとしては、例えば、以下のような処理手順を挙げることができるが、本発明はこれらに限定されるものではない。なお、以下の例示において、１つの括弧内に複数の処理が挙げられているものは、各処理を同時に行うことを意味する。
【００９７】
・（メカノケミカル処理）→（酸性溶媒処理）→（加熱処理）→（超音波処理）
・（メカノケミカル処理）→（酸性溶媒処理）→（超音波処理）→（加熱処理）
・（メカノケミカル処理）→（酸性溶媒処理・超音波処理）→（加熱処理）
・（メカノケミカル処理）→（酸性溶媒処理・加熱処理）→（超音波処理）
・（メカノケミカル処理）→（酸性溶媒処理・加熱処理・超音波処理）
・（メカノケミカル処理・酸性溶媒処理・加熱処理）→（超音波処理）
・（メカノケミカル処理）→（酸性溶媒処理）→（加熱処理）
・（メカノケミカル処理）→（加熱処理）→（酸性溶媒処理）
・（メカノケミカル処理）→（酸性溶媒処理・加熱処理）
・（メカノケミカル処理）→（加熱処理）→（超音波処理）
・（メカノケミカル処理）→（加熱処理）
・（メカノケミカル処理・加熱処理）
【００９８】
次に、各改質処理ごとに、詳細を説明する。
（メカノケミカル処理）
本発明においてメカノケミカル処理とは、力学的な作用を加えることで化学的な変化を生じさせることをいう。より具体的には、マルチウォールカーボンナノチューブに対して、機械的な外力を与えることで、表面または表面から数層にわたるグラフェンシートを構成する六員環の網目構造が部分的に破壊することを言う。本発明においては、メカノケミカル処理をすることで、カーボンナノチューブ表面に欠陥（ラジカル）をつくり、芯部が、少なくとも１層のグラフェンシートから構成されるカーボンナノチューブからなり、該芯部の周囲にグラフェンシートが改質した１層または２層以上の改質グラフェンシートからなる機能層を有する第１の本発明のナノワイヤーを得ることができる。
【００９９】
メカノケミカル処理には、乾式と湿式とがあり、本発明においては、いずれの方式も採用することができ、両者を組み合わせることもできる。乾式のメカノケミカル処理としては、ボールミルを用いた処理（以下、単に「ボールミル処理」という場合がある。）、乳鉢を用い乳棒によりすり潰す処理（以下、単に「乳鉢処理」という場合がある。）等が挙げられる。一方、湿式のメカノケミカル処理としては、適当な分散媒にマルチウォールカーボンナノチューブを分散させた状態で、高い剪断力の攪拌装置、混練装置等により攪拌する処理や、媒体中に分散した状態でのボールミル処理等が挙げられる。酸性溶媒処理や超音波処理と組み合わせ、同時に処理を行う場合には、酸性溶媒や超音波処理用の分散媒にマルチウォールカーボンナノチューブを分散させて、湿式のメカノケミカル処理を施しながら、組み合わせの同時処理を行えばよい。
【０１００】
メカノケミカル処理においては、ボールミル処理や乳鉢処理等の機械的処理における応力や時間を変えることで、カーボンナノチューブ表面の欠陥（ラジカル生成部）を増減でき、組み合わせの処理を行う場合には、続く熱処理などによる融合状態（ネット間空隙）を制御することができる。通常反応しにくいといわれるマルチウォールカーボンナノチューブであっても、メカノケミカル処理を事前に行っておくことで、その後の融合が簡単にすすむ。さらには電気特性を変えることもできる。つまり、メカノケミカル処理を行うほどネットワークの電気抵抗値を上げることができる。
【０１０１】
メカノケミカル処理の具体的な処理条件等は、所望とする特性や原料となるマルチウォールカーボンナノチューブの種類、組み合わせる他の処理およびその条件等により、適宜調整すればよい。一般には、応力を加える時間を長くすることと、応力の大きさを上げることで、改質度を増すことができる。
【０１０２】
（酸性溶媒処理）
本発明において酸性溶媒処理とは、マルチウォールカーボンナノチューブを酸性溶媒により処理することをいう。使用可能な酸性溶液としては、例えば、硝酸、硫酸、塩酸、リン酸、重クロム酸、およびこれらの混酸等が挙げられるが、十分な改質効果を得るためには、硝酸や、重クロム酸と硫酸との混酸を用いることが好ましく、特に濃度の高いものを用いることが好ましい。
【０１０３】
酸性溶媒処理の具体的な処理条件等は、所望とする特性や原料となるマルチウォールカーボンナノチューブの種類、組み合わせる他の処理およびその条件等により、適宜調整すればよい。例えば、処理時間を延長することで、改質度を増すことができる。
【０１０４】
（加熱処理）
本発明において加熱処理とは、マルチウォールカーボンナノチューブを直接、あるいは、適当な分散媒に分散させた上で、熱を加える処理をいう。メカノケミカル処理に続いて当該加熱処理を行うことは、メカノケミカル処理において生じたミクロの欠陥を部分的な破壊に変え、改質を効率良く進行させ得る点で好ましい。また、メカノケミカル処理に続く熱処理時間を長くすることや、温度を上げることで、ラジカルとなった部分の溶融状態を誘引しやすくし、得られるナノワイヤーの構造を適切に制御することができる。さらには電気特性を変えることもできる。つまり、熱処理を行うほどネットワークの電気抵抗値を上げることができる。
【０１０５】
加熱処理の具体的な処理条件等は、所望とする特性や原料となるマルチウォールカーボンナノチューブの種類、組み合わせる他の処理およびその条件等により、適宜調整すればよい。一般的には、高温、長時間加熱処理により、改質度を増すことができる。
【０１０６】
（超音波処理）
本発明において超音波処理とは、マルチウォールカーボンナノチューブを適当な分散媒に分散させた上で、超音波分散機により分散する処理をいう。使用可能な超音波分散機としては、特に制限はない。また、他の処理によりネットワーク構造となったナノワイヤーを、当該超音波処理により分散することで、本発明のナノワイヤーを単体で取り出すこともできる。
【０１０７】
超音波処理の具体的な処理条件等は、所望とする特性や原料となるマルチウォールカーボンナノチューブの種類、組み合わせる他の処理およびその条件等により、適宜調整すればよい。一般的には、高周波で長時間超音波処理を行うことで、改質度を増すことができる。
【０１０８】
（その他の処理）
前記改質処理としては、上記メカノケミカル処理、加熱処理、酸性溶媒処理、および、超音波処理の他、マルチウォールカーボンナノチューブを構成するグラフェンシートの改質を施すことができる各種処理を採用することができる。例えば、化学反応による前記グラフェンシートへの付加反応または置換反応を挙げることができる。また、上記各処理に続いて、改質グラフェンシートの改質された炭素原子に、各種官能基、分子、原子等の構造体を付加させたり、改質グラフェンシートの改質された炭素原子に結合させた官能基に、分子を吸着させたりすることもできる。このようにして、得られるナノワイヤーに所望の特性を付与することができる。
【０１０９】
以上の各改質処理における、処理時間、処理温度、負荷、酸の種類、酸処理時間、温度等を調整することで、マルチウォールカーボンナノチューブにおける外層のグラフェンシート側面の改質量をコントロールが可能である他、さらに長時間処理を行うことで、芯部であるカーボンナノチューブに対しても変性を生じさせることができ、電気抵抗等の特性を調整することができるようになる（すなわち、前記炭素構造体を得ることができる。）。
また、この過程で、改質グラフェンシートの側面同士で、複数のナノワイヤーが融合し強固なカーボンナノチューブのネットワークを構成することが可能となる（すなわち、第１の本発明のナノネットワークを得ることができる。）。
【０１１０】
さらに、液体中で各種処理を施す場合には、マルチウォールカーボンナノチューブの濃度を高くすることにより、構造体の密度を上げ、ひいてはネットワーク間空隙を小さくすることができる。このように、前記液体中のカーボンナノチューブの濃度を調節することで、得られるナノワイヤーの構造を適切に制御することができる。
さらにアモルファスカーボンなどを別途添加することで、融合面の大きなネットワークを得ることも可能となる。
【０１１１】
（改質の程度）
以上の改質処理を施すには、各改質処理を適宜組み合わせることにより、および／または、改質処理の条件を適宜選択することにより、改質の程度として下記▲１▼〜▲３▼の程度とすることができる。
【０１１２】
▲１▼ 得られるナノワイヤーがその長手方向に、前記芯部のカーボンナノチューブ由来のグラフェンシートに囲まれた中空管部分と、中空管部分が絞られた形状の節部と、が交互に形成されるまで、すなわち図６に示す状態となるまで、前記改質処理を施す程度。
かかる程度まで改質処理を施すことにより、前記第４の実施形態のナノワイヤーを得ることができる。
【０１１３】
▲２▼ 前記マルチウォールカーボンナノチューブの少なくとも表面に欠陥を生じさせることにより、グラフェンシートに囲まれた中空管部分を有するカーボンナノチューブが芯部として残された状態で、かつ、該芯部の周囲にグラフェンシートが改質した１層または２層以上の改質グラフェンシートからなる層が形成されるまで、前記改質処理を施す程度。特に、前記改質グラフェンシートが、アモルファスカーボン領域を有する程度まで前記改質処理を施すことが好ましい。
かかる程度まで改質処理を施すことにより、前記第１〜３の実施形態のナノワイヤーを得ることができる。
【０１１４】
▲３▼ 前記マルチウォールカーボンナノチューブの少なくとも表面に欠陥を生じさせることにより、グラフェンシートに囲まれた中空管部分を有するカーボンナノチューブが芯部として残された状態で、かつ、該芯部の周囲にグラフェンシートが改質しアモルファスカーボン領域を有する１層または２層以上の改質グラフェンシートからなる層が形成され、これらナノワイヤーの複数本が、前記アモルファスカーボン領域にて相互に融合した状態で付着したネットワーク構造を形成するまで、前記改質処理を施す程度。
かかる程度まで改質処理を施すことにより、前記第２の本発明のナノネットワークを得ることができる。
【０１１５】
以上の改質処理によれば、ナノワイヤー同士が接合されたネットワーク構造のナノネットワークが主として形成されるが、ネットワーク構造としたくない場合には、メカノケミカル処理の時間やカーボンナノチューブの濃度などを調整し、また、得られたものから超音波分離などを用いて、単体のナノワイヤーを選別すればよい。
【０１１６】
改質処理においては、用いるマルチウォールカーボンナノチューブが３層以上で、得られるナノワイヤーにおける機能層が２層以上の改質グラフェンシートからなるものとすることが好ましい。
以下に改質処理の具体的な手順の例を挙げる。ただし、第４の本発明は、以下のものに限定されるものではない。
【０１１７】
（改質処理の手順の例１）
予めマルチウォールカーボンナノチューブを乳鉢に入れ、乳棒により５分ほどすり潰すことで、メカノケミカル処理を施す。次にこれを濃硝酸（６０％）に添加し、長時間（８時間以上）１２０℃のオイルバス中で還流する。その後遠心分離して沈殿物を得る。最後に精製水に再分散する。
【０１１８】
（改質処理の手順の例２）
予めカーボンナノチューブをボールミルで攪拌することで、メカノケミカル処理を施す。次にこれを炉に入れて、３００℃で２０分焼く。
【０１１９】
［第３の本発明］
第３の本発明は、他のナノネットワークの製造方法であり、１）少なくとも１層のグラフェンシートから構成されるカーボンナノチューブからなる芯部と、芯部の周囲にグラフェンシートが改質したアモルファスカーボン領域を有する改質グラフェンシートの１層または２層以上からなる機能層とを備えたナノワイヤーと、２）前記１）のナノワイヤー、３）少なくとも１層のグラフェンシートから構成されるカーボンナノチューブからなる芯部と、該芯部の周囲にグラフェンシートが改質した１層または２層以上の改質グラフェンシートからなる機能層を有するナノワイヤー（前記１）のナノワイヤーのようにアモルファスカーボン領域をもたないもの）、または４）カーボンナノチューブとを、前記１）のナノワイヤーにおけるアモルファスカーボン領域が、前記２）もしくは３）のナノワイヤー、または４）のカーボンナノチューブに当接するように交差させ、該交差部に電子線を照射することで相互間を電気接続することを特徴とするナノネットワークの製造方法である。
【０１２０】
図１４に、第３の本発明の原理を説明するための模式説明図を示す。図１４（ａ）において、１１２は前記の１）のナノワイヤーであり、詳しくは、改質グラフェンシートがアモルファスカーボン領域１１６を有するものである。一方、１１４は接続対象物であり、前記の２）もしくは３）のナノワイヤー、または前記４）のカーボンナノチューブである。接続対象物１１４がナノワイヤーである場合、改質グラフェンシートがアモルファスカーボン領域を有していても有していなくてもよい。
【０１２１】
図１４（ａ）に示すように、前記１）のナノワイヤー１１２と接続対象物１１４とは、ナノワイヤー１１２におけるアモルファスカーボン領域１１６が、接続対象物１１４に当接するように交差させられる。アモルファスカーボン領域１１６がナノワイヤー１１２の全体を被覆する状態である場合には、接続対象物１１４との当接位置は限定されない。
【０１２２】
そしてナノワイヤーＡ１１２と接続対象物１１４との交差部に電子線１１８を照射すると、図１４（ｂ）に示すように、アモルファスカーボン領域１１６のアモルファスカーボンが接続対象物１１４に融着し、両者間が橋渡しされるようになり、単にアモルファスカーボンの集合体を用いることによりカーボンナノチューブを融着せしめる従来法に比べ、極めて強固に接続される。
【０１２３】
このようにナノワイヤーＡ１１２と接続対象物１１４との間の接続が、ナノワイヤーＡ１１２のグラフェンシート由来のアモルファスカーボンによるため、単に交差部に電子線を照射することで両者間を電気接続することでき、かつ、強固となり、堅牢なナノネットワークを簡単に製造することができる。
【０１２４】
特に、アモルファスカーボン領域を有する本発明のナノワイヤー同士を接続する場合には、芯部となるカーボンナノチューブに絡み付いた改質グラフェンシートにより両者間を結合することができるため、安定した結合を形成することができる。
【０１２５】
改質グラフェンシートを介して複数のナノワイヤー（さらには芯部としてのカーボンナノチューブ）を相互接続することで、改質グラフェンシート同士が融合する。電気は主に表面を流れるため、このように本発明のナノワイヤー表面を融合変化させると、いままで金属的カーボンナノチューブ表面を流れていた電流は表面のアモルファスカーボン中を流れることになり、カーボンナノチューブの表面電気特性が変化する。このように未処理のカーボンナノチューブとは異なる電気特性を持つナノワイヤーを得ることができる。
【０１２６】
第５の本発明においては、用いるナノワイヤーが本発明のものか否かが確認し難い程度の改質状態のものであっても、電子線照射により同時に改質が進むため、問題無く使用することができる。すなわち、改質処理により潜在的な欠陥が含まれているグラフェンシートに、電子線が照射されることで、グラフェンシートがアモルファス化し、同時に接着対象物との融着が進行する。例えば、予めマルチウォールカーボンナノチューブにメカノケミカル処理を施しておき、次いで、マルチウォールカーボンナノチューブの接点に電子線を当てて融合することができる。
【０１２７】
［第４の本発明］
第４の本発明は、前記第１の本発明であるナノネットワークを、電気配線として用いたことを特徴とする電子デバイスである。
【０１２８】
本発明のナノネットワークは、電気配線への適用にとどまらず、極めて広範な技術分野への応用が期待される。本発明のナノネットワークの上記以外の各種用途について説明する。
【０１２９】
１）エレクトロニクス分野
本発明のナノネットワークは、電極、導線、電気配線、電子素子として利用することができる。本発明のナノネットワークは融合してなるものであるので、構造が安定で、高分子膜などに保持されなくても形状を維持しやすい。本発明のナノネットワークにおけるナノワイヤーは、一般の（未処理の）カーボンナノチューブと異なり、ネットワークの抵抗を製造条件で自由に調整できる。さらにカーボンナノチューブとしての特性も残していることから、分子エレクトロニクス用に設計された分子を前記他の物体として、カーボンナノチューブ相互の間隙に挿入することで、分子スイッチ、分子メモリ、分子プロセッサーなどを実現できるようになる。
【０１３０】
本発明のナノネットワークにより実現されるこれらデバイスは、従来法によるシリコンデバイスに比べ、基板に固定化された配線でなく、デバイス中の配線としてのカーボンナノチューブが柔らかく、これを自由に近づけたり離したりできること、リソグラフィの分解能よりも細い径のカーボンナノチューブ配線であること、化学結合を用いて配線ができること、など多くの優れた利点を有する。これらの利点により、例えば５ｎｍ以下ほどの小さな分子サイズに対して、直接的にアクセスできる。そのため、本発明のナノネットワークを用いれば、大規模の電子集積回路を、低コストで、簡単に、そして高密度に作製できるようになる。
【０１３１】
２）各種構造物
本発明のナノネットワークは、その強靭性を利用して各種構造物（シャーシー、フレーム、その他機械的な部品等）として用いることもできる。特に、中空部分を有するナノワイヤーを用いるナノネットワークは、軽量かつ強靭であることから、軽量性および強靭性が求められる各種分野における構造物に好適に応用することができる。
【０１３２】
一方、一般的に樹脂にフィラーを分散させるだけでも高い強靭性が得られるとされているが、前記複数のナノワイヤーが構造化してなるナノネットワークをマトリックス（樹脂）中に配置することとすれば、フィラーに相当するナノワイヤーがマトリックス中で強固な構造体を形成しており、全体として極めて高い強靭性を発揮する。本発明ではさらにその構造体が融合しているため、極めて強靭な組織体となっている。そのため、従来金属、特にチタン等の軽量かつ高強度の貴金属が用いられていた構造物についても、その代用材料として、フィラーの代替として本発明のナノネットワークを含む充填材入り樹脂を、好ましく適用することができる。
【０１３３】
【実施例】
以下、実施例を挙げて本発明をより具体的に説明する。
＜実施例１＞
（工程１）
マルチウォールカーボンナノチューブ（純度９０〜９５％）：０．０２ｇを乳鉢に入れ、乳棒により５分間すり潰した（メカノケミカル処理）。
【０１３４】
（工程２）
（工程１）で得られたマルチウォールカーボンナノチューブを、濃硝酸（６０％）：１４ｇを収容する２５ｍｌ丸底フラスコ中に加え、超音波分散機にて出力３Ｗで良く分散させ、カーボンナノチューブの分散液を得た（酸性溶媒処理・超音波処理）。
【０１３５】
（工程３）
（工程２）で得られたマルチウォールカーボンナノチューブの分散液を１２０℃のオイルバス中で１２時間還流した（加熱処理）。
【０１３６】
（工程４）
（工程３）で得られた分散液を雲母基板の片面に２滴垂らし、スピンコーター（回転成膜装置）を用いて塗り広げ、成膜した。このとき、スピンコーターの回転数を適切に調整することにより、雲母基板上の余分な分散液を除去させた。こうしてネットワーク化されたナノワイヤー（ナノネットワーク）を得た。図１１に、得られたナノワイヤー（ナノネットワーク）の走査電子顕微鏡写真を示す。図１１の走査電子顕微鏡写真からわかるように、ナノワイヤー相互が、表面にまとわりついた改質グラフェンシート由来のアモルファスカーボンにより融着しており、極めて強固なネットワークを形成している。
【０１３７】
また、このナノワイヤー（ナノネットワーク）を同様に、２つの金電極間（１８μｍ間隔、幅８０μｍ）に一層に配置して電圧を印加することで、電気特性を確認した。この結果を、図１６に実線で示す。
【０１３８】
＜参考例＞
（工程１）
マルチウォールカーボンナノチューブ（純度９０〜９５％）：０．０２ｇを。、濃硝酸（６０％）：１４ｇを収容する２５ｍｌ丸底フラスコ中に加え、出力３Ｗの超音波にてよく分散させカーボンナノチューブの分散液を得た。
【０１３９】
（工程２）
（工程１）で得られたマルチウォールカーボンナノチューブの分散液を１２０℃のオイルバス中で２０時間還流した（加熱処理）。
【０１４０】
（工程３）
（工程２）で得られた分散液を雲母基板の片面に２滴垂らし、スピンコーター（回転成膜装置）を用いて塗り広げ、成膜した。このとき、スピンコーターの回転数を適切に調整することにより、雲母基板上の余分な分散液を除去させた。こうしてネットワーク化されたナノワイヤー（ナノネットワーク）を得た。図１５に、得られたナノワイヤー（ナノネットワーク）の走査電子顕微鏡写真（倍率３５０００倍）を示す。図１５の走査電子顕微鏡写真からわかるように、ナノワイヤーは、そのまま単に折り重なった状態で存在しており、ナノワイヤー相互の接続は、交差部の接点のみとなっている。すなわち、本例においては、十分な改質処理が為されておらず、本発明のナノワイヤー（ナノネットワーク）が形成されていない。
【０１４１】
また、このナノワイヤー（ナノネットワーク）を同様に、２つの金電極間（１８μｍ間隔、幅８０μｍ）に一層に配置して電圧を印加することで、電気特性を確認した。この結果を、図１６に破線で示す。
図１６から明らかな通り、改質処理が施された実施例１では、改質処理が十分に為されていない参考例に比べて、ナノネットワークの電気抵抗が高くなっていることがわかる。抵抗値を計算したところ、参考例が１．７３×１０⁵Ωであり、実施例１が２．４５×１０⁵Ωであった。
【０１４２】
＜実施例２＞
（工程１）
マルチウォールカーボンナノチューブ（純度９０〜９５％）：０．０２ｇを乳鉢に入れ、乳棒により１０分間すり潰した（メカノケミカル処理）。
【０１４３】
（工程２）
（工程１）で得られたマルチウォールカーボンナノチューブを、濃硝酸（６０％）：１４ｇを収容する２５ｍｌ丸底フラスコ中に加え、超音波分散機にて出力３Ｗで良く分散させ、カーボンナノチューブの分散液を得た（酸性溶媒処理・超音波処理）。
【０１４４】
（工程３）
（工程２）で得られたマルチウォールカーボンナノチューブの分散液を１２０℃のオイルバス中で２０時間還流した（加熱処理）。
【０１４５】
（工程４）
（工程３）で得られた分散液を雲母基板の片面に２滴垂らし、スピンコーター（回転成膜装置）を用いて塗り広げ、成膜した。このとき、スピンコーターの回転数を適切に調整することにより、雲母基板上の余分な分散液を除去させた。こうしてネットワーク化されたナノワイヤー（ナノネットワーク）を得た。図１７に、得られたナノワイヤー（ナノネットワーク）の走査電子顕微鏡写真を示す。図１７の走査電子顕微鏡写真からわかるように、ナノワイヤー相互が、表面にまとわりついた改質グラフェンシート由来のアモルファスカーボンにより融着しており、極めて強固なネットワークを形成している。この融着状態は、実施例１のナノワイヤー（ナノネットワーク）よりもさらに進んでおり、グラフェンシートの改質が、一層進んでいることがわかる。
【０１４６】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、ナノワイヤー由来の優れた特徴（カーボンナノチューブの持つ特徴を利用できると同時に、付加的な機能を奏する機能層が安定的に付加されている。）を有するとともに、安定かつ堅牢なネットワークを容易に得ることができる。
【０１４７】
また、本発明によれば、簡易かつ強固にナノワイヤーとナノワイヤーまたはナノチューブとを接続して、ナノネットワークを形成することができ、さらに、本発明のナノネットワーク由来の優れた特徴を有する電子デバイスを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明のナノネットワークに用いるナノワイヤーの第１の実施形態を示す模式拡大断面図である。
【図２】 改質グラフェンシートにおける改質部分を説明するための模式説明図であり、（ａ）はグラフェンシートの六員環の網目構造を示し、（ｂ）はグラフェンシートの六員環の網目構造が部分的に破壊され、アモルファスカーボン状となっている状態を示し、（ｃ）は改質グラフェンシートに機能性分子が結合した状態を示す。
【図３】 本発明のナノネットワークに用いるナノワイヤーの第２の実施形態を示す模式拡大断面図である。
【図４】 図３のナノワイヤーの走査電子顕微鏡写真である。
【図５】 本発明のナノネットワークに用いるナノワイヤーの第３の実施形態を示す模式拡大断面図である。
【図６】 本発明のナノネットワークに用いるナノワイヤーの第４の実施形態を示す模式拡大断面図である。
【図７】 本発明のナノネットワークに用いるナノワイヤーの第５の実施形態を示す模式拡大断面図である。
【図８】 本発明のナノネットワークに用いるナノワイヤーの第６の実施形態を示す模式拡大断面図である。
【図９】 本発明のナノネットワークに用いるナノワイヤーの第７の実施形態を示す模式拡大断面図である。
【図１０】 本発明のナノネットワークに用いるナノワイヤーの第８の実施形態を示す模式拡大断面図である。
【図１１】 実施例の（本発明の代表的な）ナノワイヤー（ナノネットワーク）を示す走査電子顕微鏡写真である。
【図１２】 ナノネットワークにおける交差部の状態を説明するための模式拡大図であり、（ａ）は単なるカーボンナノチューブ相互の交差部を示し、（ｂ）は本発明のナノネットワーク相互の交差部を示す。
【図１３】 本発明のナノネットワークに用いる炭素構造体の一例を示す模式拡大断面図である。
【図１４】 本発明のナノネットワークの製造方法における原理を説明するための模式説明図である。
【図１５】 参考例のナノワイヤー（ナノネットワーク）を示す走査電子顕微鏡写真である。
【図１６】 実施例および参考例のナノワイヤー（ナノネットワーク）の電気特性を示すグラフである。
【図１７】 他の実施例のナノワイヤー（ナノネットワーク）を示す走査電子顕微鏡写真である。

Claims (19)

1. 複数本のナノワイヤーが網目構造を形成しているナノネットワークであって、前記ナノワイヤーが、少なくとも１層のグラフェンシートから構成されるカーボンナノチューブからなる芯部と、芯部の周囲にグラフェンシートが改質したアモルファスカーボン領域を有する改質グラフェンシートの１層または２層以上からなる機能層とを備え、前記ナノワイヤーが少なくともその側面で機能層同士が融合し合い網目構造を形成していることを特徴とするナノネットワーク。
2. 前記改質グラフェンシートの改質された炭素原子に、グラフェンシートとは異なる構造の構造体が結合してなることを特徴とする請求項１に記載のナノネットワーク。
3. 前記構造体が、機能性分子であることを特徴とする請求項２記載のナノネットワーク。
4. 前記機能層が、絶縁性を備えることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１に記載のナノネットワーク。
5. 前記機能層が、半導体特性を備えることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１に記載のナノネットワーク。
6. 前記機能層に、他の物体が分散されてなることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１に記載のナノネットワーク。
7. 前記他の物体が、ドーピング剤であることを特徴とする請求項６に記載のナノネットワーク。
8. 前記他の物体が、機能性分子であることを特徴とする請求項６に記載のナノネットワーク。
9. 前記芯部を構成するカーボンナノチューブの中空管部分内に、所定の物体が取り込まれてなることを特徴とする請求項１〜８のいずれか１に記載のナノネットワーク。
10. 前記芯部を構成するカーボンナノチューブが、半導体特性を示す構造であることを特徴とする請求項１〜９のいずれか１に記載のナノネットワーク。
11. 前記芯部を構成するカーボンナノチューブが、導体特性を示す構造であることを特徴とする請求項１〜９のいずれか１に記載のナノネットワーク。
12. 前記機能層のさらに外層として、該機能層と異なる構造の第２の機能層を備えることを特徴とする請求項１〜１１のいずれか１に記載のナノネットワーク。
13. ２層以上のグラフェンシートから構成されるマルチウォールカーボンナノチューブに対し、少なくとも改質処理を施すことにより得られる、少なくとも１層のグラフェンシートから構成されるカーボンナノチューブからなる芯部と、該芯部の周囲にグラフェンシートが改質した１層または２層以上の改質グラフェンシートからなる機能層を有するナノワイヤーの機能層同士を融合させ網目構造を形成するナノネットワークの製造方法であって、前記改質処理が、前記マルチウォールカーボンナノチューブの少なくとも表面に欠陥を生じさせることにより、グラフェンシートに囲まれた中空管部分を有するカーボンナノチューブが芯部として残された状態で、かつ、該芯部の周囲にグラフェンシートが改質しアモルファスカーボン領域を有する１層または２層以上の改質グラフェンシートからなる機能層が形成される改質処理であり、かつ前記改質処理がナノワイヤーの複数本が、前記アモルファスカーボン領域にて相互に融合した状態で付着しネットワーク構造を形成するまで行われることを特徴とするナノネットワークの製造方法。
14. 前記改質処理が、メカノケミカル処理であることを特徴とする請求項１３に記載のナノネットワークの製造方法。
15. 前記改質処理が、前記メカノケミカル処理に加えて、加熱処理、酸性溶媒処理、および、超音波処理からなる群より選ばれる少なくとも１の処理を組み合わせることを特徴とする請求項１４に記載のナノネットワークの製造方法。
16. 前記改質処理が、メカノケミカル処理の後に加熱処理と酸性溶 媒処理を行うことを特徴とする請求項１５に記載のナノネットワークの製造方法。
17. 用いるマルチウォールカーボンナノチューブが３層以上であり、機能層が２層以上の改質グラフェンシートからなることを特徴とする請求項１３に記載のナノネットワークの製造方法。
18. １）少なくとも１層のグラフェンシートから構成されるカーボンナノチューブからなる芯部と、芯部の周囲にグラフェンシートが改質したアモルファスカーボン領域を有する改質グラフェンシートの１層または２層以上からなる機能層を有するナノワイヤーと、
    ２）前記１）のナノワイヤー、３）少なくとも１層のグラフェンシートから構成されるカーボンナノチューブからなる芯部と、芯部の周囲にグラフェンシートが改質した１層または２層以上の改質グラフェンシートからなる機能層を有するナノワイヤー、または４）カーボンナノチューブとを、
    前記１）のナノワイヤーにおけるアモルファスカーボン領域が、前記２）もしくは３）のナノワイヤーまたは前記４）のカーボンナノチューブに当接するように交差させ、該交差部に電子線を照射することで相互間を電気接続することを特徴とするナノネットワークの製造方法。
19. 請求項１〜１２のいずれか１に記載のナノネットワークを、電気配線として用いたことを特徴とする電子デバイス。

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