JP3775257B2 - 角度センサ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、感知した磁束密度を電気信号に変換する磁電変換素子を用いて、固定部材と回転体との相対回転角度を検出する角度センサに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来の角度センサとして、特許第2920179号公報に開示される技術がある。この公報には、内面と外面とで異なる磁極を持つ管状磁石を含む形式の角度センサとして、管状磁石が2つの磁気部品間の主磁極間隙の中で回転運動し、これらの磁気部品の一方が、中にホール素子を収納する二次磁極間隙を呈する2つの固定子により形成されているセンサで、2つの固定子は管状磁石の内部に配置され、他方の磁気部品は管状磁石と同軸的な管状ヨークにより構成され、各固定子と管状磁石によって円筒形の主磁極間隙が構成される角度センサが開示されている。
【0003】
上述の構成の角度センサでは、センサと管状ヨークの相対回転角度に応じた磁束を2つの固定子で集磁(磁束を集める)し、センサと管状ヨークとの相対回転角度に応じた磁束を二次磁極間隙に通過させて、二次磁極間隙に配置されるホール素子にて通過する磁束に対応する電気信号を出力することで、センサと管状ヨークの相対回転角度を検出している。
【0004】
この角度センサによると、相対回転角度に比例した磁束が二次磁極間隙を通過するので、センサと管状ヨークとの相対回転角度に比例する出力信号を得ることが可能になる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら上述した構成の角度センサでは、センサを形成する2つの固定子は管状磁石の内径に沿った半円形状を呈しているため、形状が複雑であるとともに固定子も比較的大型化してしまい、角度センサのコストが高くなってしまう。更に、管状磁石や半円形状の固定子等の複雑な構成を採用することで、角度センサの小型化が困難である、という問題もある。
【0006】
そこで本発明は、上述した問題を解決すべく、相対回転角度に比例する出力信号を得ることが可能で、なおかつ可及的に低コストで小型化が可能な角度センサを提供することを技術的課題とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために請求項1の発明は、固定部材と、固定部材に対して相対回転可能な回転体と、回転体に固定される直方体形状を呈する第1磁石及び第1磁石と対向して回転体に固定されるとともに第1磁石と異なる磁極の直方体形状を呈する第2磁石と、第1磁石と第2磁石との間に発生する磁界中に配置されるように固定部材に固定され、磁束を感知する磁気感知方向に対して垂直な感磁面を有し、磁束密度の磁気感知方向成分に対応した電気信号を出力する磁電変換素子と、第1磁石と第2磁石との間に発生する磁界中に配置されるように固定部材に固定され、磁性体から成る補正ヨークとを備え、磁電変換素子から出力される電気信号に応じて固定部材と回転体との相対回転角度を検出する角度センサであって、補正ヨークは感磁面に対向して配置され、固定部材と回転体との相対回転の軸心をZ軸、Z軸と交わる磁気感知方向の軸心をX軸、Z軸およびX軸の両軸に垂直な方向の軸心をY軸としたときに、補正ヨークは、補正ヨークは、X軸方向に関する距離が第1磁石と第2磁石との間隔の3/4の範囲内に、Y軸方向に関する距離が第1磁石と第2磁石との間隔の1/2の範囲内に設定されるとともに、第1磁石を2個の磁石で形成するとともに第2磁石を2個の磁石で形成し、第1磁石を形成する2個の磁石及び第2磁石を形成する2個の磁石のそれぞれが離間して回転体に固定されるようにした。
【0008】
請求項1によると、第1磁石と第2磁石との間の磁束が磁電変換素子内を通過すると、磁電変換素子はこの磁束密度の磁気感知方向成分(磁束密度のX軸成分)に応じた電気信号を出力し、この電気信号に基づいて回転体と固定部材との相対回転角度が検出される。したがって、補正ヨークを備えない場合には磁電変換素子から出力される電気信号は正弦波形となる。請求項1においては、磁電変換素子の感磁面と対向して補正ヨークが固定部材に固定されているので、補正ヨーク近傍の磁束は補正ヨークに集磁されて、磁電変換素子の近傍を通過する磁束の密度や方向は補正ヨークを備えない場合に対して変化する。この補正ヨークによって磁電変換素子を通過する磁束が補正されるので、磁電変換素子の近傍での磁束密度の磁気感知方向成分を回転体と固定部材との相対回転角度の正弦成分に比例させずに、相対回転角度の大きさに対して磁束密度の磁気感知方向成分を比例させる、つまり相対回転角度の大きさと磁束密度の磁気感知方向成分との関係を直線とすることが可能になる。これによって、回転体と固定部材との相対回転角度の大きさに比例した電気信号が出力されるように設定することが可能になる。つまり、補正ヨークによる磁束の集磁により、相対回転角度の大きさと磁束密度の磁気感知方向成分との関係が直線となるように磁電変換素子を通過する磁束の密度、方向を補正することができる。また、このような集磁を行う補正ヨークは、X軸方向に関する距離が対向する第1磁石と第2磁石との間隔の3/4以下の範囲に、Y軸方向に関する距離が対向する第1磁石と第2磁石との間隔の1/2以下の範囲に設定されるため、補正ヨークを磁石の内径に沿った形状とする必要がなく、また、大型化する必要もない。したがって、請求項1によれば、相対回転角度の大きさと磁束の磁気感知方向の大きさとの関係を直線とすることが可能な角度センサを、低コスト且つ小型に提供することができる。
【0009】
また、第1磁石および第2磁石を直方体形状としているので、管状の磁石を用いる必要がないので磁石の製造に要するコストを抑えることができ、結果として角度センサの低コスト化を実現することができる。
【0010】
更に、第1磁石を2個の磁石で形成するとともに第2磁石を2個の磁石で形成し、第1磁石を形成する2個の磁石及び第2磁石を形成する2個の磁石のそれぞれを離間して回転体に固定しているので、第1磁石と第2磁石の間に発生する磁束の均一性が高まるため、回転体や固定部材のわずかな位置変動による磁電変換素子の出力変動がさらに小さくなり、角度センサの検出精度の低下を抑えることができ、好適である。
【0011】
請求項2に示すように、補正ヨークがZ軸上に配置され、磁電変換素子がZ軸からオフセットした位置に配置されるようにすると、補正ヨークが1個であっても磁電変換素子を通過する磁束の密度および方向を効率良く補正することができるため、部品数を少なくすることができ、結果として角度センサの低コスト化と小型化に有利である。
【0012】
また、請求項3に示すように、磁電変換素子の感磁面は互いに対向する第1感磁面及び第2感磁面を有し、補正ヨークは第1感磁面と対向する第1補正ヨーク及び第2感磁面と対向する第2補正ヨークを有するようにすると、第1補正ヨークと第2補正ヨークの間の磁束密度の分布が比較的均一になり、組み付け等により磁電変換素子の位置がずれた場合でも、所望の特性からの変動が少ない角度センサとすることができる。
【0013】
具体的には、請求項4に示すように、補正ヨーク及び磁電変換素子の中心がX軸線上に配置すると、請求項3で示した効果が最も顕著に現れて好適である。
【0014】
ここで、補正ヨークは長手方向が磁化しやすい方向となるため、請求項5で示すように、補正ヨークのX軸方向の長さが補正ヨークのY軸方向の長さよりも長くすると、正弦波出力を直線に補正する効果が高く、より小さな補正ヨークで相対回転角度と磁電変換素子の出力の関係を直線にすることができ、結果として小型化が実現できる。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。本発明の第1の実施の形態における角度センサを図1から図4に従って説明する。
【0016】
図1は第1の実施の形態における角度センサ11の平面図、図2は図1のA−A断面図である。角度センサ11は回転軸12の回転角度を検出するセンサであり、固定部材14と、回転軸12に取り付けられるとともに固定部材14に対して相対回転可能に配設され、磁性体よりなる筒状ヨーク(回転体)13と、筒状ヨーク13の内周面に取り付けられ直方体形状を呈する第1磁石M1、第1磁石M1と対向して筒状ヨーク13の内周面に取り付けられ直方体形状を呈するとともに第1磁石M1と異なる磁極の第2磁石M2とを備えている。筒状ヨーク13内の第1磁石M1と第2磁石M2との間に発生する磁界中には、筒状ヨーク13の回転に対して相対回転角度をなすように磁電変換素子15が固定部材14に固定されている。磁電変換素子15は、通過する磁束を感知する磁気感知方向に対して垂直な感磁面を有し、通過する磁束密度の磁気感知方向成分に対応した電気信号を出力し、この電気信号によって固定部材14に対する回転軸12(筒状ヨーク13)の回転角度θが検出される。図1において、Z軸は回転軸12の回転軸心を、X軸はZ軸と交わる磁気感知方向の軸心を、Y軸はZ軸とX軸とに垂直な方向の軸心をそれぞれ示している。尚、図1は回転軸の回転角度が0の状態を示している。
【0017】
筒状ヨーク13は平面小判形の有底筒体であって、回転軸12と一体的に連結されている。尚、筒状ヨーク13の機能は、第1磁石M1と第2磁石M2の外周側(ホール素子15とは逆側の面)の磁極を減少させ、結果としてホール素子15近傍に生ずる磁界の強度を高め、ホール素子15の出力を高めることである。そのため筒状ヨーク13を備えなくても角度センサ10の基本機能が損なわれるものではない。筒状ヨーク13の中心軸線は回転軸12の軸心(Z軸)と一致しており、回転軸12の回転とともに筒状ヨーク13はその中心軸線(Z軸)を回転中心として一体回転する。尚、筒状ヨーク13は、図1において円弧状に形成された左右両側を円弧部13a、13bと、左右方向に互いに平行に延在する上下両側を平壁部13c、13dとしている。
【0018】
筒状ヨーク13の平壁部13cの内周面には、第1磁石M1が固着されている。また、平壁部13dの内周面には、図1においてX軸を中心軸線として対称となるように第2磁石M2が固着されている。第1磁石M1及び第2磁石M2の各寸法(幅、着磁方向の厚さ、高さ)は、3mm、5.2mm、5mmとなっている。また、第1磁石M1と第2磁石M2との間隔は、10mmとなっている。第1磁石M1は平壁部13cに固着された側がS極に、その反対側がN極に着磁されている。第2磁石M2は平壁部13dに固着された側がN極に、その反対側がS極に着磁されている。したがって、筒状ヨーク13内に図1の破線矢印で示すように第1磁石M1から第2磁石M2に向かう磁界が形成される。そして、回転軸12が回転すると第1磁石M1及び第2磁石M2はZ軸を中心として回転する。
【0019】
磁電変換素子15はホール素子であり、筒状ヨーク13の中心、すなわち図1においてX軸とY軸とZ軸との交点がホール素子15の中心と一致するように固定部材14に固定されている。固定部材14は図2の点線で示される形状を呈しており、モールド成形によりホール素子15は固定部材14内に配設されている。ホール素子15の各寸法(X軸方向、Y軸方向、Z軸方向)は、それぞれ1.5mm、4.0mm、4.0mmとなっている。図1において、ホール素子15が通過する磁束を感知する磁気感知方向はX軸方向であり、ホール素子15のX軸に対して垂直な2つの面が、それぞれ第1感磁面15a、第2感磁面15bである。つまり、第1感磁面15a及び第2感磁面15bに対して垂直方向の磁束(X軸方向の磁束密度成分)のみが電気信号として出力される。また、第1感磁面15a及び第2感磁面15bに対して平行な磁束(Y軸方向の磁束)がホール素子15内を通過しても、ホール素子15は電気信号を出力しない。
【0020】
感磁面15a、15bと対向する箇所には、ホール素子を通過する磁束の方向を補正する第1補正ヨーク16A、第2補正ヨーク16Bがそれぞれ固定されている。補正ヨーク16A、16Bについても、ホール素子15と同様にモールド成形により固定部材14内に配設されている。補正ヨーク16A、16Bは軟磁性材料から成り、その各寸法(X軸方向、Y軸方向、Z軸方向)は、2.0mm、2.0mm、5.0mmとなっている。また、第1補正ヨーク16Aと第2補正ヨーク16Bは、第1補正ヨーク16Aと第2補正ヨーク16Bとを結ぶ直線がX軸と平行となるように固定部材14に固定されている。これにより、ホール素子15を通過する磁束が磁気感知方向に向かうように補正され易くなる。
【0021】
このように、第1の実施の形態では、補正ヨーク16A、16Bは、X軸方向には第1磁石M1と第2磁石M2との間隔の3/4以下の範囲に、Y軸方向には第1磁石M1と第2磁石M2との間隔の1/2以下の範囲に配置されている。
【0022】
上述した構成の角度センサ11の作動について説明する。図4は第1の実施の形態における角度センサ11の回転角度θとホール素子15を通過する磁束のX軸成分(磁気感知方向成分)BXとの関係を示すグラフである。第1の実施の形態では、角度センサ11の検出可能な角度範囲は−45度(図1の状態から回転軸が反時計回りに45度回転した状態)から+45度(図1の状態から時計回りに45度回転した状態)までに設定されている。また、補正ヨーク16A、16Bによる作用が理解しやすいように、図4には補正ヨーク16A、16Bを備えない角度センサにおける回転角度θと磁束のX軸成分BXとの関係も示している。
【0023】
補正ヨーク16A、16Bがない場合には、ホール素子15に対して第1磁石M1から第2磁石M2への磁束が回転するだけであるので、回転角度θに対する磁束のX軸成分は正弦波となる。これに対して図1のように補正ヨーク16A、16Bを備える角度センサ11は、補正ヨーク16A、16Bによってホール素子15を通過する磁束の磁気感知方向成分が補正されるので、補正ヨーク16A、16Bがない場合に対して磁束のX軸成分が変化する。この変化を調整することで回転角度θに対して磁束のX軸成分を比例させることが可能になる。
【0024】
補正ヨーク16A、16Bによる磁束の方向の補正について説明する。回転角度θが0から90度の範囲内では、補正ヨーク16A、16Bと各磁石M1、M2との最短距離は回転角度θが大きくなるのにともなって徐々に短くなる。したがって、図1に示す回転角度θが0の状態では最短距離は最も長く、図1の状態から回転軸12が回転すると、回転軸12の回転角度θが大きくなるにつれて最短距離が短くなる。この最短距離が短くなるほど補正ヨーク16A、16Bが受ける磁束の影響が大きくなるため、補正ヨーク16A、16Bと磁石M1、M2との距離が短いほど補正ヨーク16A、16Bによる磁束の方向を大きく補正することができる。先述したように、補正ヨーク16A、16Bがないときの回転角度θに対する磁束のX軸成分は正弦波となるので、図4からも判るように、補正ヨーク16A、16Bがないときには回転角度θが大きくなるにつれて直線からずれる磁束のX軸成分が大きくなるが、回転角度θが大きくなるにつれて補正ヨーク16A、16Bによる磁束の方向の補正力が大きくなるように構成されているので、正弦波に対する磁束のX軸成分のずれを適切に補正することができ、回転角度θと磁束のX軸成分を図4に示すような直線とすることが可能になる。
【0025】
補正ヨーク16A、16Bによる磁束のX軸成分の補正について、更に説明する。図3は角度センサ11のホール素子15と補正ヨーク16A、16Bに係る箇所の拡大図であり、回転角度θが45度のときを示している。図3において、補正ヨーク16A、16Bがない場合の磁束の方向を破線矢印で、補正ヨーク16A、16Bがある場合の磁束の方向を実線矢印でそれぞれ示す。図3からわかるように、回転角度θが45度のときには各磁石M1、M2による磁束の方向はX軸に対して45度の角度となっている。したがって、ホール素子15の感磁面15aに対して45度の角度をもって磁束がホール素子15を通過する。感磁面15a、15bと対向する箇所には補正ヨーク16A、16Bが配置されているので、筒状ヨーク13内部における磁束の方向は、補正ヨーク16A、16Bによる集磁によって図4の破線矢印方向から実線矢印方向へと補正される。この補正により第1感磁面15aから第2感磁面15bを通過する磁束の方向が破線矢印方向に対して磁気感知方向側に変位する。つまり、この補正によると、補正ヨーク16A、16Bを備えない場合に比べて磁束のX軸成分が増大する。尚、回転角度θが0のときには磁束のX軸成分は0であるので、補正ヨーク16A、16Bによる集磁が行われても磁束のX軸成分は0のままである。つまり、回転角度θが0のときには第1補正ヨーク16Aから第2補正ヨーク16Bへ向かう磁束がないため、磁束のX軸成分は0である。回転角度θが0から大きくなると、補正ヨーク16A、16Bによって集磁される磁束の方向が感磁面15a、15bと交差するようになり、磁束にX軸成分が発生する。このように、X軸方向に方位性をもって配置されている第1補正ヨーク16Aと第2補正ヨーク16Bの間では、磁束のX軸成分BXが増大する方向に磁束の方向が補正される。補正によって増大される磁束のX軸成分は、回転角度θが0から45度の範囲内では、回転角度θが45度である図3に示す状態で最大となる。このようになる理由として、先述したように、磁石M1、M2によって発生する磁束の方向がX軸に近づくに従って補正ヨーク16A、16Bと磁石M1、M2との距離が短くなり、補正ヨーク16A、16Bによる集磁が効率よく行われることと、第1補正ヨーク16Aと第2補正ヨーク16BがX軸方向に並んで配置されているため、X軸方向に形状的な異方性が生じ、X軸方向に磁化が容易な方向となり、結果として、ホール素子15を通過する磁束の方向がX軸方向へと補正され易くなることとの2つが考えられる。したがって、図4に示すように、回転角度θに対して感磁面15a、15bを通過する磁束のX軸成分を直線とすることができる。
【0026】
上述したように、第1の実施の形態では、補正ヨーク16A、16Bを、X軸方向には第1磁石M1と第2磁石M2との間隔の3/4以下の範囲に、Y軸方向には第1磁石M1と第2磁石M2との間隔の1/2以下の範囲に配置することで、補正ヨーク16A、16Bを磁石M1、M2に沿った形状とする必要がなくなり、複雑な構造とする必要がない。また、補正ヨーク16A、16Bは従来技術で示される固定子に比べて小さくできるので、角度センサの小型化に有利である。更に、管状磁石に比べて低コストな直方体形状の磁石M1、M2を用いており、コストの面からも有利である。したがって、第1の実施の形態によると、回転角度θに比例する出力信号を得ることが可能な角度センサ11を、低コスト且つ小型で提供することができる。
【0027】
次に、本発明の第2の実施の形態について図5を用いて説明する。第2の実施の形態における角度センサ110は、図1から図4に示した第1の実施の形態に対して、磁石M10、M20の構成、筒状ヨーク130の形状および補正ヨーク160A、160Bの寸法が異なるだけであり、それ以外の構成については第1の実施の形態で説明した角度センサ11と同一であるので、説明を省略する。
【0028】
図5において、第1磁石M10は2個の磁石からなり、第1磁石M10同士が周方向に離間して円筒形状の筒状ヨーク130の内周に取り付けられている。また、第2磁石M20も2個の磁石からなり、第1磁石M10と同様に第2磁石M20同士が周方向に離間して筒状ヨーク130の内周に取り付けられている。第1磁石M10から第1磁石M10に対向する第2磁石M20までの距離は、12mmである。第1磁石M10および第2磁石M20の各寸法(幅、着磁方向の厚さ、高さ)は、2.6mm、2.0mm、5.0mmとなっている。補正ヨーク160A、160Bの各寸法(X軸方向、Y軸方向、Z軸方向)は、2.2mm、0.6mm、5.0mmとなっている。尚、ホール素子150は第1の実施の形態のホール素子15と同一寸法である。このように、第2の実施の形態においても、補正ヨーク160A、160Bは、X軸方向に関する距離が対向する第1磁石M10と第2磁石M20との間隔の3/4の範囲内に、Y軸方向に関する距離が対向する第1磁石M10と第2磁石M20との間隔の1/2の範囲内に設定されている。
【0029】
このような磁石の構成によると、第1磁石M10と第2磁石M20の間の磁束の分布が一様になるので、組み付け時や寸法公差等によって筒状ヨーク130の回転中心と固定部材の中心とが若干ずれてしまうような場合であっても、ホール素子150の出力の変動は小さい。そのため、筒状ヨーク130や固定部材のわずかな位置変動が生じた場合であっても、図4に示すような回転角度θと磁束のX軸成分BXとの直線関係を維持することが可能になる。
【0030】
更に、第2の実施の形態では補正ヨーク160A、160BのX軸方向の長さ(2.2mm)がY軸方向の長さ(0.6mm)よりも長いため、補正ヨーク160A、160BはX軸方向が磁化しやすい方向となる。したがって、正弦波出力を直線に補正する効果が高く、図5に示す小さな補正ヨーク160A、160Bにより、相対回転角度θとホール素子150の出力の関係を直線にすることができ、結果として角度センサ110を小型化できる。
【0031】
以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は上述した実施の形態に限定される意図はなく、例えば、図1或いは図5の平面図で示される補正ヨークの形状を、直方体形状以外の楕円形状やひし形等、どのような形状としてもよく、ホール素子の各感磁面と垂直な方向に方位性を持つような形状とするのが好ましい。また、第1補正ヨーク及び第2補正ヨークのそれぞれを、複数個のヨークで構成してもよい。
【0032】
【発明の効果】
本発明によると、回転体と固定部材との相対回転角度の大きさに比例した電気信号が出力されるように設定することが可能になる。つまり、補正ヨークによる磁束の集磁により、相対回転角度の大きさと磁束密度の磁気感知方向成分との関係が直線となるように磁電変換素子を通過する磁束の密度、方向を補正することができる。また、このような集磁を行う補正ヨークは、X軸方向に関する距離が第1磁石と第2磁石との間隔の3/4の範囲内に、Y軸方向に関する距離が第1磁石と第2磁石との間隔の1/2の範囲内に設定されるため、補正ヨークを磁石の内径に沿った形状とする必要がなく、また、大型化する必要もない。したがって、相対回転角度の大きさと磁束の磁気感知方向の大きさとの関係を直線とすることが可能な角度センサを、低コスト且つ小型に提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態における角度センサの平面図である。
【図2】図1のA−A断面図である。
【図3】第1の実施の形態における角度センサ一部拡大図である。
【図4】第1の実施の形態の角度センサにおける回転角度と磁束密度との関係を示すグラフである。
【図5】本発明の第2の実施の形態における角度センサの平面図である。
【符号の説明】
11,110・・・角度センサ
12・・・回転軸
13、130・・・筒状ヨーク(回転体)
14・・・固定部材
15、150・・・ホール素子(磁電変換素子)
15a・・・第1感磁面
15b・・・第2感磁面
16A、160A・・・第1補正ヨーク
16B、160B・・・第2補正ヨーク
M1、M10・・・第1磁石
M2、M20・・・第2磁石
Claims (5)
- 固定部材と、
該固定部材に対して相対回転可能な回転体と、
該回転体に固定される直方体形状を呈する第1磁石及び該第1磁石と対向して前記回転体に固定されるとともに前記第1磁石と異なる磁極の直方体形状を呈する第2磁石と、
前記第1磁石と前記第2磁石との間に発生する磁界中に配置されるように前記固定部材に固定され、磁束を感知する磁気感知方向に対して垂直な感磁面を有し、磁束密度の磁気感知方向成分に対応した電気信号を出力する磁電変換素子と、
前記第1磁石と前記第2磁石との間に発生する磁界中に配置されるように前記固定部材に固定され、磁性体から成る補正ヨークと、
を備え、前記磁電変換素子から出力される電気信号に応じて前記固定部材と前記回転体との相対回転角度を検出する角度センサであって、
前記補正ヨークは前記感磁面に対向して配置され、前記固定部材と前記回転体との相対回転の軸心をZ軸、該Z軸と交わる前記磁気感知方向の軸心をX軸、前記Z軸および前記X軸の両軸に垂直な方向の軸心をY軸としたときに、前記補正ヨークは、前記X軸方向に関する距離が前記第1磁石と前記第2磁石との間隔の3/4の範囲内に、前記Y軸方向に関する距離が前記第1磁石と前記第2磁石との間隔の1/2の範囲内に設定されるとともに、
前記第1磁石を2個の磁石で形成するとともに前記第2磁石を2個の磁石で形成し、前記第1磁石を形成する2個の磁石及び前記第2磁石を形成する2個の磁石のそれぞれが離間して前記回転体に固定されることを特徴とする角度センサ。 - 請求項1に記載の角度センサにおいて、前記補正ヨークは前記Z軸上に配置され、前記磁電変換素子は前記Z軸からオフセットした位置に配置されることを特徴とする角度センサ。
- 前記磁電変換素子の前記感磁面は互いに対向する第1感磁面及び第2感磁面を有し、
前記補正ヨークは前記第1感磁面と対向する第1補正ヨーク及び前記第2感磁面と対向する第2補正ヨークを有することを特徴とする、請求項1に記載の角度センサ。 - 前記補正ヨーク及び磁電変換素子の中心が前記X軸線上に配置されることを特徴とする、請求項3に記載の角度センサ。
- 前記補正ヨークの前記X軸方向の長さが前記補正ヨークの前記Y軸方向の長さよりも長いことを特徴とする、請求項1乃至請求項3に記載の角度センサ。
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